JPS6130779A - ３軸形磁束検出用コイル - Google Patents
３軸形磁束検出用コイルInfo
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- JPS6130779A JPS6130779A JP15264784A JP15264784A JPS6130779A JP S6130779 A JPS6130779 A JP S6130779A JP 15264784 A JP15264784 A JP 15264784A JP 15264784 A JP15264784 A JP 15264784A JP S6130779 A JPS6130779 A JP S6130779A
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- thin films
- conductive thin
- magnetic flux
- conductive
- thin film
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/0206—Three-component magnetometers
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、超伝導量子干渉素子などを用いた磁束検出器
に用いられる３軸形磁束検出用コイルに関する。
に用いられる３軸形磁束検出用コイルに関する。
従来の技術
このような３軸形磁束検出用コイルとして、従来、第１
図に示すように、絶縁体１上に、３個のコイルＬｌ、Ｌ
２及びし３が互に直交関係に配され、この場合、絶縁体
１が球状形のブロック２でなり、また、］イルＬ１、Ｌ
２及びＬ３が、絶縁体１上に巻装された導線３でなると
いう構成を有するものが提案されＣいる。
図に示すように、絶縁体１上に、３個のコイルＬｌ、Ｌ
２及びし３が互に直交関係に配され、この場合、絶縁体
１が球状形のブロック２でなり、また、］イルＬ１、Ｌ
２及びＬ３が、絶縁体１上に巻装された導線３でなると
いう構成を有するものが提案されＣいる。
このような構成を有する３軸形磁束検出用コイルによれ
ば、３個のコイルＬ１、Ｌ２及びＬ３によって外部磁束
を３次元的に検出することができる。
ば、３個のコイルＬ１、Ｌ２及びＬ３によって外部磁束
を３次元的に検出することができる。
発明が解決しようとする問題点
このように、第１図に示す従来の３軸形磁束検出用コイ
ルによれば、外部磁束を３次元的に検出することができ
るが、その検出出力の精度は、コイルＬ１、Ｌ２及びし
３の直交関係の精度に依存する。
ルによれば、外部磁束を３次元的に検出することができ
るが、その検出出力の精度は、コイルＬ１、Ｌ２及びし
３の直交関係の精度に依存する。
しかしながら、第１図に示す従来の３軸形磁束検出用コ
イルの場合、３個のコイルＬ１、Ｌ２及びＬ３を絶縁体
１上に配している構成を得るのに、３個の導線３を絶縁
体１上に巻装しなければならないとともに、この場合、
絶縁体１が球状形のブロック２でなり、球表面を有して
いるので、３個のコイルＬ１、Ｌ２及びし３になる導線
３を、３個のコイルＬ１、Ｌ２及びＬ３が互に直交関係
に高精度に得られるように、絶縁体１上に巻装するのが
極めて困難である。
イルの場合、３個のコイルＬ１、Ｌ２及びＬ３を絶縁体
１上に配している構成を得るのに、３個の導線３を絶縁
体１上に巻装しなければならないとともに、この場合、
絶縁体１が球状形のブロック２でなり、球表面を有して
いるので、３個のコイルＬ１、Ｌ２及びし３になる導線
３を、３個のコイルＬ１、Ｌ２及びＬ３が互に直交関係
に高精度に得られるように、絶縁体１上に巻装するのが
極めて困難である。
このため、第１図に示す従来の３軸形磁束検出用コイル
の場合、外部磁束を高精度で検出することができるもの
として製造するのに困難をともなうという欠点を有して
いた。
の場合、外部磁束を高精度で検出することができるもの
として製造するのに困難をともなうという欠点を有して
いた。
問題を解決するための手段
よって、本発明は、上述した欠点のない新規な３軸形磁
束検出用コイルを提案せんとするものである。
束検出用コイルを提案せんとするものである。
本発明による３軸形磁束検出用コイルによれば、第１図
で上述した従来の３軸形磁束検出用コイルの場合と同様
に、絶縁体上に、３個の第１、第２及び第３のコイルが
互に直交関係に配されている構成を有する。
で上述した従来の３軸形磁束検出用コイルの場合と同様
に、絶縁体上に、３個の第１、第２及び第３のコイルが
互に直交関係に配されている構成を有する。
しかしながら、本願第１番目の発明による３軸形磁束検
出用コイルによれば、絶縁体が、立方形またはそれと類
似の形状のブロックでなり、そして、第１のコイルが絶
縁体の相対向する第１及び第２の外側表面上と、他の相
対向する第３及び第４外側表面上とに連続延長している
第１の導体薄膜でなり、また、第２のコイルが絶縁体の
第１及び第２の外側表面上と、他の相対向する第５及び
第６の外側表面上とに連続延長している第２の導体薄膜
でなり、さらに、第３のコイルが絶縁体の第３及び第４
の外側表面上と、第及び第６の外側表面とに連続延長し
ている第３の導体薄膜でなる。
出用コイルによれば、絶縁体が、立方形またはそれと類
似の形状のブロックでなり、そして、第１のコイルが絶
縁体の相対向する第１及び第２の外側表面上と、他の相
対向する第３及び第４外側表面上とに連続延長している
第１の導体薄膜でなり、また、第２のコイルが絶縁体の
第１及び第２の外側表面上と、他の相対向する第５及び
第６の外側表面上とに連続延長している第２の導体薄膜
でなり、さらに、第３のコイルが絶縁体の第３及び第４
の外側表面上と、第及び第６の外側表面とに連続延長し
ている第３の導体薄膜でなる。
この場合、第１及び第２の外側表面上において交差する
第１及び第２の導体薄膜が、第１及び第２の絶縁被膜に
よって電気的に絶縁分離され、また、第３及び第４の外
側表面上において交差する第１及び第３の導体薄膜が、
第３及び第４の絶縁被膜によって電気的に絶縁分離され
、さらに、第５及び第６の外側表面上において交差する
第２及び第３の導体薄膜が、第５及び第６の絶縁被膜に
よって電気的に絶縁分離されている。
第１及び第２の導体薄膜が、第１及び第２の絶縁被膜に
よって電気的に絶縁分離され、また、第３及び第４の外
側表面上において交差する第１及び第３の導体薄膜が、
第３及び第４の絶縁被膜によって電気的に絶縁分離され
、さらに、第５及び第６の外側表面上において交差する
第２及び第３の導体薄膜が、第５及び第６の絶縁被膜に
よって電気的に絶縁分離されている。
また、本願第２番目の発明による３軸形磁束検出用コイ
ルによれば、絶縁体が、中空の立方形またはそれと類似
のブロックでなり、そして、第１のコイルが、絶縁体の
相対向する第１及び第２の外側表面または内側表面上と
、他の相対向する第３及び第４の外側表面または内側表
面上とに連続延長している第１の導体薄膜でなり、また
、第２のコイルが絶縁体の第１及び第２の外側表面また
は内側表面上と、他の第５及び第６の外側表面または内
側表面上とに連続延長している第２の導体薄膜でなり、
ざらに、第３のコイルが絶縁体の第３及び第２の外側表
面または内側表面上と、第５及び第６の外側表面または
内側表面上とに連続延長している第３の導体薄膜でなる
。
ルによれば、絶縁体が、中空の立方形またはそれと類似
のブロックでなり、そして、第１のコイルが、絶縁体の
相対向する第１及び第２の外側表面または内側表面上と
、他の相対向する第３及び第４の外側表面または内側表
面上とに連続延長している第１の導体薄膜でなり、また
、第２のコイルが絶縁体の第１及び第２の外側表面また
は内側表面上と、他の第５及び第６の外側表面または内
側表面上とに連続延長している第２の導体薄膜でなり、
ざらに、第３のコイルが絶縁体の第３及び第２の外側表
面または内側表面上と、第５及び第６の外側表面または
内側表面上とに連続延長している第３の導体薄膜でなる
。
この場合、第１及び第２の外側表面または内側表面上に
おいて交差する第１及び第２の導体薄膜が、第１６．及
び第２の絶縁被膜によって電気的に足部され、また、第
３及び第４の外側表面または内側表面上において交叉す
る第１及び第３の導体薄膜が、第３及び第４の絶縁被膜
によって電気的に絶縁分離され、さらに、第５及び第６
の外側表面また内側表面上において交叉する第２及び第
３の導体薄膜が、第５及び第６の絶縁被膜によって電気
的に絶縁分離されている。
おいて交差する第１及び第２の導体薄膜が、第１６．及
び第２の絶縁被膜によって電気的に足部され、また、第
３及び第４の外側表面または内側表面上において交叉す
る第１及び第３の導体薄膜が、第３及び第４の絶縁被膜
によって電気的に絶縁分離され、さらに、第５及び第６
の外側表面また内側表面上において交叉する第２及び第
３の導体薄膜が、第５及び第６の絶縁被膜によって電気
的に絶縁分離されている。
作 用
このような本発明による３軸形磁束検出用コイルによれ
ば、第１、第２及び第３のコイルによって外部磁束を３
次元的に検出することができる。
ば、第１、第２及び第３のコイルによって外部磁束を３
次元的に検出することができる。
発明の効果
上述した一本発明による３軸形磁束検出用コイルによれ
ば、その絶縁体が立方形またはそれと類似の形状を有し
ているブロックでなるので、第１、第２及び第３のコイ
ルが、絶縁体上に直交関係に配されている構成を、高精
度に得るのが、きわめて容易である。
ば、その絶縁体が立方形またはそれと類似の形状を有し
ているブロックでなるので、第１、第２及び第３のコイ
ルが、絶縁体上に直交関係に配されている構成を、高精
度に得るのが、きわめて容易である。
従って、本発明による３軸形磁束検出用コイルによれば
、外部磁束を高精度で得ることができるものとして製造
するのが容易であるという優れた特徴を有する。
、外部磁束を高精度で得ることができるものとして製造
するのが容易であるという優れた特徴を有する。
友１１上−
まず、第２図を伴なって本願第１番目の発明による３軸
形磁束検出用コイルの実施例を述べよう。
形磁束検出用コイルの実施例を述べよう。
第２図に示す本願第１番目の発明による３軸形磁束検出
用コイルは、第１〜図で上述した従来の３軸形磁束検出
用コイルの場合と同様に、絶縁体１上に、３個のコイル
Ｌ１、Ｆ２及びＦ３が互に直交関係に配されている構成
を有する。
用コイルは、第１〜図で上述した従来の３軸形磁束検出
用コイルの場合と同様に、絶縁体１上に、３個のコイル
Ｌ１、Ｆ２及びＦ３が互に直交関係に配されている構成
を有する。
しかしながら、第２図に示す本願第１番目の発明による
３軸形磁束検出用コイルの場合、絶縁体１が、相対向し
ている３組の表面Ｓ１及びＧ２、Ｇ３及びＧ４、Ｇ５及
びＧ６を有している中空でない立方形またはそれと類似
の形状を有するブロック１２でなる。
３軸形磁束検出用コイルの場合、絶縁体１が、相対向し
ている３組の表面Ｓ１及びＧ２、Ｇ３及びＧ４、Ｇ５及
びＧ６を有している中空でない立方形またはそれと類似
の形状を有するブロック１２でなる。
また、コイルＬ１が、ブロック１２の表面Ｓ１、Ｇ２、
Ｇ３及びＳ４上に連続延長している薄膜形成法を用いて
形成された導体薄膜Ｆ１でなる。また、コイルＬ２が、
ブロック１２の表面Ｓ１、Ｇ２、Ｇ５及びＳ６上に、表
面Ｓ１及びＳ２上において導体、薄膜Ｆ１と交叉して、
連続延長している導体簿膜Ｆ２でなる。さらに、コイル
Ｌ３が、ブロック１２の表面Ｓ３、Ｇ４、Ｇ５及びＳ６
上に、表面Ｓ３及びＳ４上において導体薄膜Ｆ１と交叉
し、また、表面Ｓ５及びＳ６上において導体薄膜Ｆ２と
交叉して、連続延長している導体薄膜Ｆ３でなる。
Ｇ３及びＳ４上に連続延長している薄膜形成法を用いて
形成された導体薄膜Ｆ１でなる。また、コイルＬ２が、
ブロック１２の表面Ｓ１、Ｇ２、Ｇ５及びＳ６上に、表
面Ｓ１及びＳ２上において導体、薄膜Ｆ１と交叉して、
連続延長している導体簿膜Ｆ２でなる。さらに、コイル
Ｌ３が、ブロック１２の表面Ｓ３、Ｇ４、Ｇ５及びＳ６
上に、表面Ｓ３及びＳ４上において導体薄膜Ｆ１と交叉
し、また、表面Ｓ５及びＳ６上において導体薄膜Ｆ２と
交叉して、連続延長している導体薄膜Ｆ３でなる。
この場合、表面Ｓ１及びＳ２上に、導体薄膜Ｆ１及びＦ
２が交叉する位置において、それら導体薄膜Ｆ１及びＦ
２を電気的に絶縁分離すべくそれら導体薄膜Ｆ１及びＦ
２間に延長している絶縁被膜Ｇ１及びＧ２が薄膜形成法
によって形成されている。また、表面Ｓ３及びＳ４上に
、導体薄膜Ｆ１及びＦ３が交叉する位置において、それ
ら導体薄膜Ｆ１及びＦ３を電気的に絶縁分離すべくそれ
ら導体薄膜Ｆ２及び１３間に延長している絶縁被膜Ｇ３
及びＧ４が形成されている。さらに、表面Ｓ５及びＳ６
上に、導°体薄膜Ｆ２及びＦ３が交叉する位置において
、それら導体薄膜Ｆ２及′びＦ３を電気的に絶縁分離す
べくそれら導体薄膜Ｆ２及び１３間に延長している絶縁
被膜Ｇ５及びＧ６が形成されている。
２が交叉する位置において、それら導体薄膜Ｆ１及びＦ
２を電気的に絶縁分離すべくそれら導体薄膜Ｆ１及びＦ
２間に延長している絶縁被膜Ｇ１及びＧ２が薄膜形成法
によって形成されている。また、表面Ｓ３及びＳ４上に
、導体薄膜Ｆ１及びＦ３が交叉する位置において、それ
ら導体薄膜Ｆ１及びＦ３を電気的に絶縁分離すべくそれ
ら導体薄膜Ｆ２及び１３間に延長している絶縁被膜Ｇ３
及びＧ４が形成されている。さらに、表面Ｓ５及びＳ６
上に、導°体薄膜Ｆ２及びＦ３が交叉する位置において
、それら導体薄膜Ｆ２及′びＦ３を電気的に絶縁分離す
べくそれら導体薄膜Ｆ２及び１３間に延長している絶縁
被膜Ｇ５及びＧ６が形成されている。
また、導体薄膜Ｆ１、Ｆ２及びＦ３がブロック１２の相
隣る外側表面のなす稜線上において、はんだ１５によっ
て補強されている。
隣る外側表面のなす稜線上において、はんだ１５によっ
て補強されている。
以上が、本願第１番目の発明による３軸形磁束検出用コ
イルの実施例の構成である。
イルの実施例の構成である。
このような構成によれば、第１図で上述した従来の３軸
形磁束検出用コイルの場合と同様に、コイルＬ１、Ｆ２
及びＦ３によって、外部磁束を３次元的に検出すること
ができることは明らかである。
形磁束検出用コイルの場合と同様に、コイルＬ１、Ｆ２
及びＦ３によって、外部磁束を３次元的に検出すること
ができることは明らかである。
しかしながら、第２図に示す本願第１番目の発明による
３軸形磁束検出用コイルのばあ、絶縁体１が立方形また
はそれと類似の形状を有するブロック１２でなり、しか
もコイルＬ１、Ｆ２及びＦ３がブロック１２の外側表面
上に形成された導体薄膜Ｆ１、Ｆ２及びＦ３でなり、そ
して、それら導体薄膜Ｆ１、Ｆ２及びＦ３、及びそれら
を絶縁分離するための絶縁被膜Ｇ１〜Ｇ６を、薄膜形成
法によって容易に形成することができる初で、コイルＬ
１、Ｆ２及びＦ３が、絶縁体１上に直交関係に配されて
いる構成を、高精度に得るのが、第１図で上述した従来
の３軸形磁束検出用コイルの場合に比し格段的に容易で
ある。
３軸形磁束検出用コイルのばあ、絶縁体１が立方形また
はそれと類似の形状を有するブロック１２でなり、しか
もコイルＬ１、Ｆ２及びＦ３がブロック１２の外側表面
上に形成された導体薄膜Ｆ１、Ｆ２及びＦ３でなり、そ
して、それら導体薄膜Ｆ１、Ｆ２及びＦ３、及びそれら
を絶縁分離するための絶縁被膜Ｇ１〜Ｇ６を、薄膜形成
法によって容易に形成することができる初で、コイルＬ
１、Ｆ２及びＦ３が、絶縁体１上に直交関係に配されて
いる構成を、高精度に得るのが、第１図で上述した従来
の３軸形磁束検出用コイルの場合に比し格段的に容易で
ある。
また、コイルＬ１、Ｆ２及びＦ３としての導体薄膜Ｆ１
、Ｆ２及びＦ３の幅を、薄膜形成法によって十分狭い幅
に形成することができるので、コイルＬ１、Ｆ２及びＦ
３において同じインダクタを得るのに、絶縁体１の場合
に比し格段に小さくすることができる。
、Ｆ２及びＦ３の幅を、薄膜形成法によって十分狭い幅
に形成することができるので、コイルＬ１、Ｆ２及びＦ
３において同じインダクタを得るのに、絶縁体１の場合
に比し格段に小さくすることができる。
従って、第２図に示す本願第１番目の発明による３軸形
磁束検出用コイルによれば、外部磁束を３次元的に高精
度で得ることができるものとして、小型に製造するのが
容易であるという特徴を有する。
磁束検出用コイルによれば、外部磁束を３次元的に高精
度で得ることができるものとして、小型に製造するのが
容易であるという特徴を有する。
丸１乳え−
次に、第３図を伴なって、本願第２番目の発明の発明に
よる３軸形磁束検出用コイルの実施例を述べよう。
よる３軸形磁束検出用コイルの実施例を述べよう。
第３図に示す本願第２番目の発明発明による３軸形磁束
検出用コイルも、第１図で上述した従来の３軸形磁束検
出用コイルの場合と同様に、絶縁体１上に、３個のコイ
ルＬ１、し２及びＦ３が互に直交関係に配されている構
成を有する。
検出用コイルも、第１図で上述した従来の３軸形磁束検
出用コイルの場合と同様に、絶縁体１上に、３個のコイ
ルＬ１、し２及びＦ３が互に直交関係に配されている構
成を有する。
しかしながら、第３図に示す本願第２番目の発明発明に
よる３軸形磁束検出用コイルの場合、絶縁体１が、相対
向している３組の正方形またはそれと類似の形状を有す
る板Ｐ１及びＦ２、Ｆ３及びＦ４、及びＦ５及びＦ６か
らなる中空である立方形またはそれと類似の形状を有す
るブロック２２でなる。
よる３軸形磁束検出用コイルの場合、絶縁体１が、相対
向している３組の正方形またはそれと類似の形状を有す
る板Ｐ１及びＦ２、Ｆ３及びＦ４、及びＦ５及びＦ６か
らなる中空である立方形またはそれと類似の形状を有す
るブロック２２でなる。
また、コイルＬ１が、第４図とともに参照して明らかな
ように、板Ｐ１の内側表面８１’、板Ｐ２の内側表面８
２′、板Ｐ３の内側表面８３′、及び板Ｐ４の内側表面
Ｓ４’上に連続延長している薄膜形成法によって形成さ
れた導体薄膜Ｆ１でなる。また、コイルＬ２が、板Ｐ１
の内側表面８１′、板Ｐ２の内側表面８２’ 、板Ｐ５
の外側表面Ｓ５、及び板Ｐ６の内側表面８６’上に、板
Ｐ１の内側表面８１’及び板Ｐ２の内側表面８２’上に
おいて、導体薄膜Ｆ１と交叉して連続延長している、同
様の導体薄膜Ｆ２でなる。さらに、コイルＬ３が、板Ｐ
３の内側表面８３′、板Ｐ４の内側表面８４′、板Ｐ５
の外側表面Ｓ５、及び板Ｐ６の内側表面８６′上に、板
Ｐ３の内側表面３３’及び板Ｐ４の内側表面８４’上に
おいて、導体薄膜Ｆ１と交叉し、板Ｐ５の外側表面Ｓ５
及び板Ｐ６の内″側表面８６’上において、導体薄膜Ｆ
３と交叉して連続延長している、同様の導体薄膜Ｆ３で
なる。
ように、板Ｐ１の内側表面８１’、板Ｐ２の内側表面８
２′、板Ｐ３の内側表面８３′、及び板Ｐ４の内側表面
Ｓ４’上に連続延長している薄膜形成法によって形成さ
れた導体薄膜Ｆ１でなる。また、コイルＬ２が、板Ｐ１
の内側表面８１′、板Ｐ２の内側表面８２’ 、板Ｐ５
の外側表面Ｓ５、及び板Ｐ６の内側表面８６’上に、板
Ｐ１の内側表面８１’及び板Ｐ２の内側表面８２’上に
おいて、導体薄膜Ｆ１と交叉して連続延長している、同
様の導体薄膜Ｆ２でなる。さらに、コイルＬ３が、板Ｐ
３の内側表面８３′、板Ｐ４の内側表面８４′、板Ｐ５
の外側表面Ｓ５、及び板Ｐ６の内側表面８６′上に、板
Ｐ３の内側表面３３’及び板Ｐ４の内側表面８４’上に
おいて、導体薄膜Ｆ１と交叉し、板Ｐ５の外側表面Ｓ５
及び板Ｐ６の内″側表面８６’上において、導体薄膜Ｆ
３と交叉して連続延長している、同様の導体薄膜Ｆ３で
なる。
この場合、導体薄膜Ｆ１は、板Ｐ１の内側表面８１′、
板Ｐ２の内側表面８２′、板Ｐ３の内側表面８３′、及
び板Ｐ４の内側表面Ｓ４’上にそれぞれ延長している導
体薄膜部がはんだバンプＨ１によって連結されている構
、成を有する。また、導体薄膜Ｆ２は、板Ｐ１の内側表
面８１′、板Ｐ２の内側表面８２′、板Ｐ５の外側表面
Ｓ５、及び板Ｐ６の内側表面Ｓ６’上にそれぞれ延長し
ている導体薄膜部が、同様に、はんだバンプＨ２によっ
て連結されている構成を有する。さらに、導体薄膜Ｆ３
は、板Ｐ３の内側表面８３′、板Ｐ４の内側表面８４′
、板Ｐ５の外側表面Ｓ５、及び板Ｐ６の内側表面８６′
上にそれぞれ延長している導体薄膜部が、はんだバンプ
Ｈ３によって連結されている構成を有する。なお、上述
したようにはんだバンプＨ１，）−１２及びＨ３によっ
て導体薄膜Ｆ１、Ｆ２及びＦ３を形成することによって
、ブロック２２が構成されているものである。
板Ｐ２の内側表面８２′、板Ｐ３の内側表面８３′、及
び板Ｐ４の内側表面Ｓ４’上にそれぞれ延長している導
体薄膜部がはんだバンプＨ１によって連結されている構
、成を有する。また、導体薄膜Ｆ２は、板Ｐ１の内側表
面８１′、板Ｐ２の内側表面８２′、板Ｐ５の外側表面
Ｓ５、及び板Ｐ６の内側表面Ｓ６’上にそれぞれ延長し
ている導体薄膜部が、同様に、はんだバンプＨ２によっ
て連結されている構成を有する。さらに、導体薄膜Ｆ３
は、板Ｐ３の内側表面８３′、板Ｐ４の内側表面８４′
、板Ｐ５の外側表面Ｓ５、及び板Ｐ６の内側表面８６′
上にそれぞれ延長している導体薄膜部が、はんだバンプ
Ｈ３によって連結されている構成を有する。なお、上述
したようにはんだバンプＨ１，）−１２及びＨ３によっ
て導体薄膜Ｆ１、Ｆ２及びＦ３を形成することによって
、ブロック２２が構成されているものである。
また、板Ｐ１の内側表面Ｓ１’上に、導体薄膜Ｆ１と導
体簿膜Ｆ２とが交叉する位置において、それらを電気的
に絶縁分離すべくそれら間に延長している絶縁被膜Ｇ１
が形成されている。
体簿膜Ｆ２とが交叉する位置において、それらを電気的
に絶縁分離すべくそれら間に延長している絶縁被膜Ｇ１
が形成されている。
また、板Ｐ２の内側表面８２’上に、導体薄膜Ｆ１と導
体薄膜Ｆ２とが交叉する位置において、それらを電気的
に絶縁分離すべくそれら間に延長している絶縁被膜Ｇ２
が、薄膜形成法によって形成されている。
体薄膜Ｆ２とが交叉する位置において、それらを電気的
に絶縁分離すべくそれら間に延長している絶縁被膜Ｇ２
が、薄膜形成法によって形成されている。
また、板Ｐ３の内側表面Ｓ３’上に、導体薄膜Ｆ１と導
体薄膜Ｆ３とが交叉する位置において、それらを電気的
に絶縁分離すべくそれら間に延長している絶縁被膜Ｇ３
が、同様に形成されている。
体薄膜Ｆ３とが交叉する位置において、それらを電気的
に絶縁分離すべくそれら間に延長している絶縁被膜Ｇ３
が、同様に形成されている。
また、板Ｐ４の内側表面Ｓ４’上に、導体薄膜Ｆ１と導
体薄膜Ｆ２とが交叉する位置において、それらを電気的
に絶縁分離すべくそれら導体薄膜部ｆ１１及びｆ２１間
に延長している絶縁被膜Ｇ４が、同様に形成されている
。
体薄膜Ｆ２とが交叉する位置において、それらを電気的
に絶縁分離すべくそれら導体薄膜部ｆ１１及びｆ２１間
に延長している絶縁被膜Ｇ４が、同様に形成されている
。
また、板Ｐ５の外側表面Ｓ５’上に、導体薄膜Ｆ２と導
体薄膜Ｆ３とが交叉する位置において、それらを電気的
に絶縁分離すべくそれら間に延長している絶縁被膜Ｇ５
が、同様に形成されている。
体薄膜Ｆ３とが交叉する位置において、それらを電気的
に絶縁分離すべくそれら間に延長している絶縁被膜Ｇ５
が、同様に形成されている。
また、板Ｐ６の内側表面Ｓ６’上に、導体薄膜Ｆ２と導
体薄膜Ｆ３とが交叉する位置において、それらを電気的
に絶縁分離すべく間に延長している絶縁被膜Ｇ６が形成
されている。
体薄膜Ｆ３とが交叉する位置において、それらを電気的
に絶縁分離すべく間に延長している絶縁被膜Ｇ６が形成
されている。
以上が、本願第２番目の発明による３軸形磁束検出用コ
イルの実施例の構成である。
イルの実施例の構成である。
このような構成によれば、それが、第２図で上述した本
願第１番目の発明による３軸形磁束検出用コイルに準じ
た構成を有するので、詳細説明は省略するが、第２図に
示す本願第１番目の発明による３軸形磁束検出用コイル
と同様の、優れた作用、効果が得られることが明らかで
あろう。
願第１番目の発明による３軸形磁束検出用コイルに準じ
た構成を有するので、詳細説明は省略するが、第２図に
示す本願第１番目の発明による３軸形磁束検出用コイル
と同様の、優れた作用、効果が得られることが明らかで
あろう。
なお、上述においては、本願第１番目の発明及び本願第
２番目の発明による３軸形磁束検出用コイルのそれぞれ
について、１つの実施例を示したに留まり、本発明の精
神を脱することなしに、種々の変型、変更をなし得るで
あろう。
２番目の発明による３軸形磁束検出用コイルのそれぞれ
について、１つの実施例を示したに留まり、本発明の精
神を脱することなしに、種々の変型、変更をなし得るで
あろう。
第１図は、従来の３軸形磁束検出用コイルを示す路線的
斜視図である。 第２図は、本願第１番目の発明による３軸形磁束検出用
コイルの実施例を示す路線的斜視図である。 第３図及び第４図は、本願第２番目の発明による３軸形
磁束検出用コイルの実施例を示す路線的斜視図、及びそ
の分解斜視図である。 １・・・・・・・・・・・・・・・絶縁体２．１２．２
２ ・・・・・・・・・・・・・・・ブロックＬ１〜Ｌ２・
・・コイル ３・・・・・・・・・・・・・・・導線８１〜Ｓ６・・
・外側表面 Ｆ１〜Ｆ３・・・導体薄膜 ０１〜Ｇ６・・・絶縁被膜 １５・・・・・・・・・・・・はんだ Ｐ１〜Ｐ６・・・板 Ｓ１’〜Ｓ６′ ・・・・・・・・・・・・・・・内側表面Ｈ１〜Ｈ３・
・・はんだバンプ 第１図 第２図 Ｌ２（ヒｌ） １第３図
斜視図である。 第２図は、本願第１番目の発明による３軸形磁束検出用
コイルの実施例を示す路線的斜視図である。 第３図及び第４図は、本願第２番目の発明による３軸形
磁束検出用コイルの実施例を示す路線的斜視図、及びそ
の分解斜視図である。 １・・・・・・・・・・・・・・・絶縁体２．１２．２
２ ・・・・・・・・・・・・・・・ブロックＬ１〜Ｌ２・
・・コイル ３・・・・・・・・・・・・・・・導線８１〜Ｓ６・・
・外側表面 Ｆ１〜Ｆ３・・・導体薄膜 ０１〜Ｇ６・・・絶縁被膜 １５・・・・・・・・・・・・はんだ Ｐ１〜Ｐ６・・・板 Ｓ１’〜Ｓ６′ ・・・・・・・・・・・・・・・内側表面Ｈ１〜Ｈ３・
・・はんだバンプ 第１図 第２図 Ｌ２（ヒｌ） １第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、絶縁体上に、３個の第１、第２及び第３のコイルが
互に直交関係に配されている構成を有する３軸形磁束検
出用コイルにおいて、 上記絶縁体が、相対向している第１及び第 ２の外側表面の組と、相対向している第３及び第４の外
側表面の組と、相対向している第５及び第６の外側表面
の組とを有する立方形またはそれと類似の形状のブロッ
クでなり、上記第１のコイルが、上記第１の外側表面 上と、上記第２の外側表面上と、上記第３の外側表面上
と、上記第４の外側表面上とに連続延長している第１の
導体薄膜でなり、 上記第２のコイルが、上記第１の外側表面 上と、上記第２の外側表面上と、上記第５の外側表面上
と、上記第６の外側表面上とに、連続延長している第２
の導体薄膜でなり、 上記第３のコイルが、上記第３の外側表面 上と、上記第４の外側表面上と、上記第５の外側表面上
と、上記第６の外側表向上とに連続延長している第３の
導体薄膜でなり、 上記第１の外側表面上及び上記第２の外側 表面上に、上記第１及び第２の導体薄膜が交叉している
位置において、それら第１及び第２の導体薄膜を電気的
に絶縁分離すべくそれら第１及び第２の導体薄膜間に延
長している第１及び第２の絶縁被膜がそれぞれ形成され
、上記第３の外側表面上及び上記第４の外側 表面上に、上記第１及び第３の導体薄膜が交叉している
位置において、それら第１及び第３の導体薄膜を電気的
に絶縁分離すべくそれら第１及び第３の導体薄膜間に延
長している第３及び第４の絶縁被膜がそれぞれ形成され
、上記第５の外側表面上及び上記第６の外側 表面上に、上記第２及び第３の導体薄膜が交叉している
位置において、それら第２及び第３の導体薄膜を電気的
に絶縁分離すべくそれら第２及び第３の導体薄膜間に延
長している第５及び第６の絶縁被膜がそれぞれ形成され
ていることを特徴とする３軸形磁束検出用コイル。 ２、絶縁体上に、３個の第１、第２及び第３のコイルが
互に直交関係に配されている構成を有する３軸形磁束検
出用コイルにおいて、 上記絶縁体が、相対向している第１及び第 ２の外側表面及び内側表面の組と、相対向している第３
及び第４の外側表面及び内側表面の組と、相対向してい
る第５及び第６の外側表面及び内側表面の組とを有する
中空の立方形またはそれと類似のブロックでなり、 上記第１のコイルが、上記第１の外側表面 または内側表面上と、上記第２の外側表面または内側表
面上と、上記第３の外側表面または内側表面上と、上記
第４の外側表面または内側表面上とに連続延長している
第１の導体薄膜でなり、 上記第２のコイルが、上記第１の外側表面 または内側表面上と、上記第２の外側表面または内側表
面上と、上記第５の外側表面または内側表面上と、上記
第６の外側表面または内側表面上とに連続延長している
第２の導体薄膜でなり、 上記第３のコイルが、上記第３の外側表面 または内側表面上と、上記第４の外側表面または内側表
面上と、上記第５の外側表面または内側表面上と、上記
第６の外側表面または内側表面上とに連続延長している
第３の導体薄膜でなり、 上記第１の外側表面または内側表面上及び 上記第２の外側表面または内側表面上に、上記第１及び
第２の導体薄膜が交叉している位置において、それら第
１及び第２の導体薄膜を電気的に絶縁分離すべくそれら
第１及び第２の導体薄膜間に延長している第１及び第２
の絶縁被膜がそれぞれ形成され、 上記第３の外側表面または内側表面上及び 上記第４の外側表面または内側表面上に、上記第１及び
第３の導体薄膜が交叉している位置において、それら第
１及び第３の導体薄膜を電気的に絶縁分離すべくそれら
第１及び第３の導体薄膜間に延長している第３及び第４
の絶縁被膜がそれぞれ形成され、 上記第５の外側表面または内側表面上及び 上記第６の外側表面または内側表面上に、上記第２及び
第３の導体薄膜が交叉している位置において、それら第
２及び第３の導体薄膜を電気的に絶縁分離すべくそれら
第２及び第３の導体薄膜間に延長している第５及び第６
の絶縁被膜がそれぞれ形成されていることを特徴とする
３軸形磁束検出用コイル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15264784A JPS6130779A (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | ３軸形磁束検出用コイル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15264784A JPS6130779A (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | ３軸形磁束検出用コイル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6130779A true JPS6130779A (ja) | 1986-02-13 |
Family
ID=15544985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15264784A Pending JPS6130779A (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | ３軸形磁束検出用コイル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6130779A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007525676A (ja) * | 2004-02-27 | 2007-09-06 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | 垂直ダイ・チップオンボード |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4945360A (ja) * | 1972-09-08 | 1974-04-30 | ||
| JPS59133474A (ja) * | 1982-12-22 | 1984-07-31 | シ−メンス，アクチエンゲゼルシヤフト | 生体磁気の多チャンネル測定装置とその製造方法 |
| JPS60108769A (ja) * | 1983-11-18 | 1985-06-14 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | ３軸磁束検出コイルの製造方法 |
-
1984
- 1984-07-23 JP JP15264784A patent/JPS6130779A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4945360A (ja) * | 1972-09-08 | 1974-04-30 | ||
| JPS59133474A (ja) * | 1982-12-22 | 1984-07-31 | シ−メンス，アクチエンゲゼルシヤフト | 生体磁気の多チャンネル測定装置とその製造方法 |
| JPS60108769A (ja) * | 1983-11-18 | 1985-06-14 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | ３軸磁束検出コイルの製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007525676A (ja) * | 2004-02-27 | 2007-09-06 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | 垂直ダイ・チップオンボード |
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