JPH0737712A - 超小型コイルおよびその作製方法 - Google Patents
超小型コイルおよびその作製方法Info
- Publication number
- JPH0737712A JPH0737712A JP17781193A JP17781193A JPH0737712A JP H0737712 A JPH0737712 A JP H0737712A JP 17781193 A JP17781193 A JP 17781193A JP 17781193 A JP17781193 A JP 17781193A JP H0737712 A JPH0737712 A JP H0737712A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- conductor
- magnetic core
- conductor pattern
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】μｍ単位の細い導線を巻線する必要がなく、薄
膜形成技術とエッチング等のパターニングなどを適用
し、極めて簡便な方法によって、コイルを立体的に形成
し、設置面積が極めて小さく、超小型でコンパクトな構
造のコイルおよびその作製方法を提供する。 【構成】所定厚さの導電体と絶縁体とを交互に設定のピ
ッチ間隔で積層した積層体の膜面に対し直角方向に磁心
を装着し得る大きさの溝状の開口部を設けた多層コイル
部材を、導電体のピッチ間隔に対応し、導電体をコイル
状に連結し、かつ導通路の一部となる導電体パターンを
設けた基板上に、多層コイル部材の溝状の開口部側を合
わせて、導電体と導電体パターンをコイル状に接合する
と共に、磁心を装着した超小型コイルおよびその作製方
法。 【効果】平面型コイルのように磁心と垂直な面に大きな
面積を必要とすることなく、設置面積が極めて小さい超
小型のコンパクトなコイルが得られる。
膜形成技術とエッチング等のパターニングなどを適用
し、極めて簡便な方法によって、コイルを立体的に形成
し、設置面積が極めて小さく、超小型でコンパクトな構
造のコイルおよびその作製方法を提供する。 【構成】所定厚さの導電体と絶縁体とを交互に設定のピ
ッチ間隔で積層した積層体の膜面に対し直角方向に磁心
を装着し得る大きさの溝状の開口部を設けた多層コイル
部材を、導電体のピッチ間隔に対応し、導電体をコイル
状に連結し、かつ導通路の一部となる導電体パターンを
設けた基板上に、多層コイル部材の溝状の開口部側を合
わせて、導電体と導電体パターンをコイル状に接合する
と共に、磁心を装着した超小型コイルおよびその作製方
法。 【効果】平面型コイルのように磁心と垂直な面に大きな
面積を必要とすることなく、設置面積が極めて小さい超
小型のコンパクトなコイルが得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は導体を螺旋状に形成した
コイルに係わり、さらに詳しくはＩＣカードまたはメモ
リカード等に搭載して情報の伝達を好適に行うことがで
きる超小型コイルあるいは非接触コネクタ等に好適に用
いられる超小型コイルおよびその作製方法に関する。
コイルに係わり、さらに詳しくはＩＣカードまたはメモ
リカード等に搭載して情報の伝達を好適に行うことがで
きる超小型コイルあるいは非接触コネクタ等に好適に用
いられる超小型コイルおよびその作製方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の一般的なコイルは、銅等からなる
導線を磁心に巻き付けて作製される。しかし、ｍｍ単
位、あるいはそれ以下の小さい寸法のコイルを作製する
場合には、導線の径がμｍ単位の細線となるため、高度
の巻線技術が必要となりコイルの作製が極めて難しくな
る。平面型のシートコイルは、例えば、ホトリソグラフ
ィによる薄膜形成技術を用いて、エッチング等のパター
ニングにより、基板上にシート状コイル導体を形成させ
ることができ、通常の立体的コイルを形成する場合の難
しい巻線の工程は不要となるが、同一面上にスパイラル
の平面的な導体パターンを形成するためにコイルの配置
面積が大きくなるという問題があった。
導線を磁心に巻き付けて作製される。しかし、ｍｍ単
位、あるいはそれ以下の小さい寸法のコイルを作製する
場合には、導線の径がμｍ単位の細線となるため、高度
の巻線技術が必要となりコイルの作製が極めて難しくな
る。平面型のシートコイルは、例えば、ホトリソグラフ
ィによる薄膜形成技術を用いて、エッチング等のパター
ニングにより、基板上にシート状コイル導体を形成させ
ることができ、通常の立体的コイルを形成する場合の難
しい巻線の工程は不要となるが、同一面上にスパイラル
の平面的な導体パターンを形成するためにコイルの配置
面積が大きくなるという問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述したごとく、従来
の巻線型コイルで小形化をはかる場合には、導線の径が
μｍ単位の細線となるために高度の巻線技術が必要とな
りコイルの作製が極めて難しくなるという問題があり、
また平面型のシートコイルの場合には、薄膜形成技術と
エッチング等のパターニングによって比較的容易にコイ
ルを形成することができるが、コイルの配置面積が大き
くなるという問題があった。
の巻線型コイルで小形化をはかる場合には、導線の径が
μｍ単位の細線となるために高度の巻線技術が必要とな
りコイルの作製が極めて難しくなるという問題があり、
また平面型のシートコイルの場合には、薄膜形成技術と
エッチング等のパターニングによって比較的容易にコイ
ルを形成することができるが、コイルの配置面積が大き
くなるという問題があった。
【０００４】本発明の目的は、上記従来技術における問
題点を解消するものであって、μｍ単位の細い導線を巻
線する必要がなく、薄膜形成技術とエッチング等のパタ
ーニングおよび機械的加工等の極めて簡便な方法を用い
てコイルを立体的に形成し、設置面積が極めて小さい超
小型でコンパクトな構造のコイルおよびその作製方法を
提供することにある。
題点を解消するものであって、μｍ単位の細い導線を巻
線する必要がなく、薄膜形成技術とエッチング等のパタ
ーニングおよび機械的加工等の極めて簡便な方法を用い
てコイルを立体的に形成し、設置面積が極めて小さい超
小型でコンパクトな構造のコイルおよびその作製方法を
提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記本発明の目的を達成
するために、所定厚さの導電体と絶縁体とを交互に設定
のピッチ間隔で積層した積層体の膜面に対して直角方向
に磁心を装着し得る大きさの溝状の開口部を設けた多層
コイル部材を、上記導電体のピッチ間隔に対応し、該導
電体をコイル状に連結し、かつ導通路の一部となる導電
体パターンを設けた基板上に、上記多層コイル部材の溝
状の開口部側を合わせて、上記導電体と上記導電体パタ
ーンをコイル状に接合すると共に、上記磁心を装着して
超小型コイルとするものである。すなわち、多層コイル
部材を構成する積層体の絶縁体を隔てて導電体を繋ぎ導
通路の一部となる導電体パターンを形成した基板とを重
ね合わせて接合しコイルとするものである。多層コイル
部材を構成する積層体は、各種の成膜技術による膜の形
成、成形および接着の後、機械加工等により容易に作製
することができ、また基板上に形成する導電体パターン
は、メッキ、蒸着、スパッタ等の各種の成膜技術、エッ
チングや導電ペースト塗布等のパターニング技術により
容易に作製することが可能であり、極細の導線の巻線な
どを行わずに超小型コイルを作製することができる。ま
た、組立後に形成されるコイル導通路は、磁心に巻き付
く形となり、平面型コイルのように、スパイラル状に広
がって磁心と垂直な面で大きな面積を占めることはな
い。さらに本発明は、超小型コイルを作製する方法に関
するものであって、所定厚さの導電体と絶縁体とを交互
に設定のピッチ間隔で積層した積層体を形成する工程
と、上記積層体の膜面に対し直角方向に、磁心を装着し
得る大きさの溝状開口部を形成した多層コイル部材を作
製する工程と、上記多層コイル部材の導電体のピッチ間
隔に対応し、該導電体をコイル状に連結し、かつ導通路
の一部となる導電体パターンを基板上に形成する工程
と、上記導電体パターンを形成した基板上に、上記多層
コイル部材の溝状の開口部側とを合わせて、上記導電体
と上記導電体パターンをコイル状に接合する工程と、上
記磁心を装着する工程を少なくとも含む超小型コイルの
作製方法である。
するために、所定厚さの導電体と絶縁体とを交互に設定
のピッチ間隔で積層した積層体の膜面に対して直角方向
に磁心を装着し得る大きさの溝状の開口部を設けた多層
コイル部材を、上記導電体のピッチ間隔に対応し、該導
電体をコイル状に連結し、かつ導通路の一部となる導電
体パターンを設けた基板上に、上記多層コイル部材の溝
状の開口部側を合わせて、上記導電体と上記導電体パタ
ーンをコイル状に接合すると共に、上記磁心を装着して
超小型コイルとするものである。すなわち、多層コイル
部材を構成する積層体の絶縁体を隔てて導電体を繋ぎ導
通路の一部となる導電体パターンを形成した基板とを重
ね合わせて接合しコイルとするものである。多層コイル
部材を構成する積層体は、各種の成膜技術による膜の形
成、成形および接着の後、機械加工等により容易に作製
することができ、また基板上に形成する導電体パターン
は、メッキ、蒸着、スパッタ等の各種の成膜技術、エッ
チングや導電ペースト塗布等のパターニング技術により
容易に作製することが可能であり、極細の導線の巻線な
どを行わずに超小型コイルを作製することができる。ま
た、組立後に形成されるコイル導通路は、磁心に巻き付
く形となり、平面型コイルのように、スパイラル状に広
がって磁心と垂直な面で大きな面積を占めることはな
い。さらに本発明は、超小型コイルを作製する方法に関
するものであって、所定厚さの導電体と絶縁体とを交互
に設定のピッチ間隔で積層した積層体を形成する工程
と、上記積層体の膜面に対し直角方向に、磁心を装着し
得る大きさの溝状開口部を形成した多層コイル部材を作
製する工程と、上記多層コイル部材の導電体のピッチ間
隔に対応し、該導電体をコイル状に連結し、かつ導通路
の一部となる導電体パターンを基板上に形成する工程
と、上記導電体パターンを形成した基板上に、上記多層
コイル部材の溝状の開口部側とを合わせて、上記導電体
と上記導電体パターンをコイル状に接合する工程と、上
記磁心を装着する工程を少なくとも含む超小型コイルの
作製方法である。
【０００６】
【実施例】以下に本発明の実施例を挙げ、図面を用いて
さらに詳細に説明する。図１は、本発明の超小型コイル
組立体の構成の一例を示すもので、図２（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）は、図１の超小型コイル組立体を分解し
た部分図を示し、（ａ）は磁心を挿入する溝状の開口部
を有する積層体で、（ｂ）は磁心、（ｃ）は積層体の絶
縁体を隔てて導電体を繋ぎ導通路の一部となる導電体パ
ターンを形成した基板を示す。図２（ａ）において、積
層体１全体は、幅が約２ｍｍ、高さが約１ｍｍ、長さ約
２ｍｍで、断面がコの字型をした磁心６挿入用の溝７が
設けられている。そして、コの字型の幅は約１００〜２
００μｍである。積層体１を構成している導電体２と絶
縁体３は、それぞれ厚さが約１００〜２００μｍのＣｕ
層とＳｉＯ2層が、それぞれ１５〜３０層（コイルの巻
数１５〜３０回）交互に積層されている。そして、図２
（ｂ）に示す磁心６は、フェライトあるいは純鉄よりな
り、その表面に２０〜３０μｍの厚さの絶縁層（ＳｉＯ
2層など）で被覆されている。図２（ｃ）に示すごと
く、基板４には、図２（ａ）に示した積層体１を構成す
る導電体２のピッチと幅に応じた導電体パターン５が形
成されている。この導電体パターン５の幅は１００〜２
００μｍで、膜厚は１００μｍ程度あるいはそれ以下と
した。この導体パターン５の形成は、基板４としてＳｉ
基板を用い、ホトレジスト法により、Ｃｕを蒸着しパタ
ーニングした。図２（ａ）に示す積層体１と、図２
（ｃ）に示す導電体パターン５を形成した基板４とは、
図２（ｂ）に示す磁心６を挾み、導電体２と導電体パタ
ーン５を突き合わせ接合（溶接）するが、このとき溝７
の一方の端の導電体２と接した導電体パターン５は、も
う一方の端では、先の導電体２と絶縁体３を挾んで隣接
する別の導電体２と接合され、全体として磁心６を囲む
一本の導通路による螺旋状（スパイラル）のコイルが形
成される。
さらに詳細に説明する。図１は、本発明の超小型コイル
組立体の構成の一例を示すもので、図２（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）は、図１の超小型コイル組立体を分解し
た部分図を示し、（ａ）は磁心を挿入する溝状の開口部
を有する積層体で、（ｂ）は磁心、（ｃ）は積層体の絶
縁体を隔てて導電体を繋ぎ導通路の一部となる導電体パ
ターンを形成した基板を示す。図２（ａ）において、積
層体１全体は、幅が約２ｍｍ、高さが約１ｍｍ、長さ約
２ｍｍで、断面がコの字型をした磁心６挿入用の溝７が
設けられている。そして、コの字型の幅は約１００〜２
００μｍである。積層体１を構成している導電体２と絶
縁体３は、それぞれ厚さが約１００〜２００μｍのＣｕ
層とＳｉＯ2層が、それぞれ１５〜３０層（コイルの巻
数１５〜３０回）交互に積層されている。そして、図２
（ｂ）に示す磁心６は、フェライトあるいは純鉄よりな
り、その表面に２０〜３０μｍの厚さの絶縁層（ＳｉＯ
2層など）で被覆されている。図２（ｃ）に示すごと
く、基板４には、図２（ａ）に示した積層体１を構成す
る導電体２のピッチと幅に応じた導電体パターン５が形
成されている。この導電体パターン５の幅は１００〜２
００μｍで、膜厚は１００μｍ程度あるいはそれ以下と
した。この導体パターン５の形成は、基板４としてＳｉ
基板を用い、ホトレジスト法により、Ｃｕを蒸着しパタ
ーニングした。図２（ａ）に示す積層体１と、図２
（ｃ）に示す導電体パターン５を形成した基板４とは、
図２（ｂ）に示す磁心６を挾み、導電体２と導電体パタ
ーン５を突き合わせ接合（溶接）するが、このとき溝７
の一方の端の導電体２と接した導電体パターン５は、も
う一方の端では、先の導電体２と絶縁体３を挾んで隣接
する別の導電体２と接合され、全体として磁心６を囲む
一本の導通路による螺旋状（スパイラル）のコイルが形
成される。
【０００７】
【発明の効果】以上説明したごとく、本発明の超小型コ
イルは、磁心に平行にコイルを分割した形とするもので
あって、複数の導電体と絶縁体とを交互に重ね合わせて
磁心の入る溝を設けた積層体と、この積層体の導電体ピ
ッチと幅に応じた導電体パターンを持った基板とを接合
して立体的なコイルを構成するものであるから、極めて
難しい細い導線を巻線することなく容易に超小型コイル
を作製することができる。また、平面コイルのように磁
心と垂直な面に大きな面積を必要とすることなく、設置
面積が極めて小さい超小型のコンパクトなコイルを得る
ことができる。
イルは、磁心に平行にコイルを分割した形とするもので
あって、複数の導電体と絶縁体とを交互に重ね合わせて
磁心の入る溝を設けた積層体と、この積層体の導電体ピ
ッチと幅に応じた導電体パターンを持った基板とを接合
して立体的なコイルを構成するものであるから、極めて
難しい細い導線を巻線することなく容易に超小型コイル
を作製することができる。また、平面コイルのように磁
心と垂直な面に大きな面積を必要とすることなく、設置
面積が極めて小さい超小型のコンパクトなコイルを得る
ことができる。
【図１】本発明の実施例で作製した超小型コイルの全体
の構成を示す斜視図。
の構成を示す斜視図。
【図２】本発明の実施例で作製した超小型コイルの構成
を示す分解図。
を示す分解図。
１…積層体 ２…導電体 ３…絶縁体 ４…基板 ５…導電体パターン ６…磁心 ７…溝 ８…絶縁層
Claims (2)
- 【請求項１】所定厚さの導電体と絶縁体とを交互に設定
のピッチ間隔で積層した積層体の膜面に対し直角方向に
磁心を装着し得る大きさの溝状の開口部を設けた多層コ
イル部材を、上記導電体のピッチ間隔に対応し、該導電
体をコイル状に連結し、かつ導通路の一部となる導電体
パターンを設けた基板上に、上記多層コイル部材の溝状
の開口部側を合わせて、上記導電体と上記導電体パター
ンをコイル状に接合すると共に、上記磁心を装着してな
ることを特徴とする超小型コイル。 - 【請求項２】所定厚さの導電体と絶縁体とを交互に設定
のピッチ間隔で積層した積層体を形成する工程と、上記
積層体の膜面に対し直角方向に、磁心を装着し得る大き
さの溝状開口部を形成した多層コイル部材を作製する工
程と、上記多層コイル部材の導電体のピッチ間隔に対応
し、該導電体をコイル状に連結し、かつ形成されるコイ
ルの導通路の一部となる導電体パターンを基板上に形成
する工程と、上記導電体パターンを形成した基板上に、
上記多層コイル部材の溝状の開口部側とを合わせて、上
記導電体と上記導電体パターンをコイル状に接合する工
程と、上記磁心を装着する工程を少なくとも含むことを
特徴とする超小型コイルの作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17781193A JPH0737712A (ja) | 1993-07-19 | 1993-07-19 | 超小型コイルおよびその作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17781193A JPH0737712A (ja) | 1993-07-19 | 1993-07-19 | 超小型コイルおよびその作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0737712A true JPH0737712A (ja) | 1995-02-07 |
Family
ID=16037508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17781193A Withdrawn JPH0737712A (ja) | 1993-07-19 | 1993-07-19 | 超小型コイルおよびその作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0737712A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7212095B2 (en) * | 2002-09-30 | 2007-05-01 | Tdk Corporation | Inductive element and manufacturing method of the same |
-
1993
- 1993-07-19 JP JP17781193A patent/JPH0737712A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7212095B2 (en) * | 2002-09-30 | 2007-05-01 | Tdk Corporation | Inductive element and manufacturing method of the same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3601619B2 (ja) | コモンモードチョークコイル | |
| JP4367487B2 (ja) | コイル部品 | |
| JPH056829A (ja) | 薄型トランス | |
| JPH05250636A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH0737712A (ja) | 超小型コイルおよびその作製方法 | |
| JPH1154345A (ja) | トランス | |
| JPH038311A (ja) | 積層型トランス | |
| JP3693399B2 (ja) | 薄形積層トランスおよびその製造方法 | |
| JPH1032117A (ja) | コイル | |
| US5570074A (en) | Very low leakage inductance, single-laminate transformer | |
| JPS5928305A (ja) | インダクタンス素子とその製造方法 | |
| KR100190566B1 (ko) | 가요성 트랜스포머의 2차 권선 구조 | |
| JP2971943B2 (ja) | 薄型トランス | |
| JPH11265813A (ja) | 折り曲げコイル及びこれを用いた電気機器 | |
| JP3383930B2 (ja) | 薄膜コイルおよび薄膜コイル実装モジュール | |
| JP2754764B2 (ja) | 混成集積回路 | |
| JPH09199327A (ja) | コイル部品 | |
| JPH02288310A (ja) | フラットコイル | |
| JPH1154335A (ja) | インダクタンス素子 | |
| JPS5898906A (ja) | 鉄心 | |
| JP3109414B2 (ja) | チップアンテナの製造方法 | |
| JPH0247627Y2 (ja) | ||
| JP2001044045A (ja) | スイッチング電源用トランス | |
| JP2522263Y2 (ja) | 薄型トランス | |
| JP2633949B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001003 |