KR960020465A - 지지 필러와 금속화 지지 필러, 마이크로미러 장치 및 변형가능한 미러 장치의 제조 방법 - Google Patents

지지 필러와 금속화 지지 필러, 마이크로미러 장치 및 변형가능한 미러 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

마이크로기계 장치, 특히 디지탈 마이크로미러 장치와 사용하기 위한 지지필러(408)는 기판(400)에 의해 지지되는 필러 물질(422)을 포함하고, 금속층(406)으로 덮혀진다. 지지 필러(408)는 기판(400)상의 필러 물질층을 증착시키고, 지지 필러(408)를 정의하도록 필러층을 패턴화시키고, 지지 필러(408)위에 금속층(408)위에 금속층(406)울 증착시켜 지지 핀러플 밀봉하므로써 제조된다. 필러 상부와 동일 평면인 평면은 필러(408)위의 스폐이서층(410)을 적용하므로써 생성될 수 있다. 스페이서층(410)을 적용한 후, 스페이서층(410)을 적용한 후, 스페이서층(410)은 필러의 최상단부를 노출시키기 위하여 에칭된다.

Description

지지 필러와 금속화 지지 필러, 마이크로미러 장치 및 변형가능한 미러 장치의 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4A 내지 제4Q도는 본 발명의 일 실시예에 따라 지지대를 가지는 DMD 소자의 제조시 각종 단계를 보여주는 DMD 어레이의 한 소자의 힌지 축을 따라 취한 절개 측단면을 도시한 도면,
제5도는 제4C도의 힌지 지지 필러의 금속 단계의 적용범위를 보여주는 절개 측단면을 도시한 도면,
제6도는 본 발명의 일 실시예에 따라 개선된 지지대를 가지는 전형적인 토션빔 DMD의 일부의 투시도.

Claims (12)

  1. 기판상에 필러 물질을 증착시키는 단계와; 상기 필러 물질을 패턴화시켜 지지 필러를 정의하는 단계와; 상기 지지 필러위에 금속층을 증착시키고, 상기 지지 필러는 상기 금속층에 의해 밀봉되어 금속화 지지 필러를 형성하는 단계를 포함하는 금속화 지지 필러를 제조하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 필러 물질은 포토레지스트, 폴리실리콘, 산화물, 질화물 및 산화질화물로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 금속화 지지 필러를 제조하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 금속층을 증착시키는 상기 단계는 상기 지지 필러위에 금속층을 스퍼터링하는 단계를 포함하는 금속화 지지 필러를 제조하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 금속화 지지 필러 주위에 스페이서층을 증착시키는 단계와, 상기 금속화 지지 필러의 주위 및 최상단부상의 상기 스페이서층의 일부를 제거하는 단계를 더 포함하는 금속화 지지 필러를 제조하는 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 스페이서층은 유기 포토레지스트인 금속화 지지 필러를 제조하는 방법.
  6. 기판상에 필러 물질을 증착시키는 단계와; 상기 필러 물질을 패턴화시켜 제1지지 필러를 정의하는 단계와; 상기 제1지지 필러상에 제2금속층을 증착시키는 단계와; 전극 및 제1금속화 지지 필러를 형성하도록 상기 제1금속층을 패턴화시키고, 상기 제1금속화 지지 필러는 상기 제1금속층에 의해 덮혀지는 상기 필러 물질로 구성되는 단계와; 상기 기판상에 제1스페이서를 증착시키는 단계와; 상기 제1스페이서층 상기 제1지지 필러위에 제2금속층을 증착시키고, 상기 제2금속층은 힌지를 형성하는 단계와; 상기 제2금속층상에 제2필러 물질을 증착시키는 단계와; 상기 힌지에 부착되는 제2지지 필터를 정의하기 위하여 상기 제2필러 물질을 패턴화시키는 단계와; 상기 제2지지 필러위에 제3금속층을 증착시켜 제2금속화 지지 필러를 형성하는 단계와; 상기 제1스페이서층위에 제2스페이서츨을 증착시키는 단계와; 상기 제2금속화 지지 필러의 최상단부로부터 상기 제2스페이서층의 일부를 제거하는 단계와; 상기 제2스페이서층위에 제4금속층을 증착시키고, 상기 제4금속층은 상기 제2지지필러에 부착되는 적어도 하나의 미러를 형성하는 단계와; 상기 힌지 및 상기 미러 아래에 공기갭을 형성하기 위하여 상기 제1스페이서 및 상기 제2스페이서층을 제거하는 단계를 포함하는 마이크로미러 장치를 제조하는 방법.
  7. 기판상에 필러 물질을 증착 및 패턴화시켜 지지 필러를 정의하는 단계와; 상기 지지 필러상에 제1금속층을 증착시켜 금속화 지지 필러를 형성하는 단계와; 상기 기판상에 스페이서층을 증착시키는 단계와; 상기 금속화 지지 필러의 최상단부로부터 상기 스페이서층의 일부를 제거하는 단계와; 상기 스페이서층 및 상기 금속화 지지 필러위에 적어도 하나의 부가직인 금속층을 증착시키고, 상기 적어도 하나의 부가적인 금속층은 힌지와, 상기 지지 필러로부터 상기 힌지에 의해 매달리는 미러를 형성하는 단계와; 상기 힌지 및 상기 미러 아래에 공기갭을 형성하기 위하여 상기 스페이서층 부분을 제거하는 단계를 포함하는 변형가능한 미러 장치를 제조하는 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 필러 물질은 포토레지스트, 폴리실리콘, 산화물, 질화물 및 산화질화물로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 변형가능한 미러 장치를 제조하는 방법.
  9. 제7항에 있어서, 제1금속층을 증착시키는 상기 단계는 상기 지지 필러상에 알루미늄 합금을 스퍼터링하는 단계를 포함하는 변형가능한 미러 장치를 제조하는 방법.
  10. 기판과; 제1금속 외장 내측의 제1필러 물질로 구성되는, 상기 기판상의 적어도 하나의 힌지 지지 필러와; 상기 힌지 지지 필러에 접속되는 적어도 하나의 힌지와; 상기 힌지에 접속되며, 제2금속 외장 내측의 제2필터 물질로 구성되는 적어도 하나의 미러 지지 필러와; 상기 미러 지지 필러에 의해 지지되는 적어도 하나의 미러 소자를 포함하는 마이크로미러 장치.
  11. 기판과; 금속 외장 내측의 필러 물질로 구성되는, 상기 기판상의 적어도 하나의 힌지 지지 필러와; 상기 힌지 지지 필러에 접속되는 적어도 하나의 힌지와; 상기 적어도 하나의 힌지에 의해 지지되는 적어도 하나의 미러 소자를 포함하는 마이크로미러 장치.
  12. 마이크로기계 장치를 위한 지지 필러에 있어서; 기판과; 상기 기판에 의해 지지되며, 원하는 지지 필러의 형태로 형성되는 필러 물질과; 상기 필러 물질위에 형성되며, 상기 기판에 의해 적어도 부분적으로 지지되는 금속층을 포함하는 지지 필러.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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