KR970048699A - 스프링 팁을 갖는 마이크로미케니컬 디바이스 - Google Patents

스프링 팁을 갖는 마이크로미케니컬 디바이스 Download PDF

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Abstract

본 발명은 스프링 팁(60)을 갖는 마이크로미케니컬 디바이스(50)및 그 제조방법에 관한 것이다.랜딩 스톱(34a)이 있는 저부(bottom)에서,적어도 1개의 힌지(24a)에 의해 현수된 편향 가능 소자(36)가 에어 갭 상에 존재하도록 마이크로미케니컬 디바이스(50)가 형성된다.소자(36)는 상기 힌지 상에서 편향되고,적어도 1개의 작은 금속 돌출부(60) 또는 스프링 팁을 통하여 랜딩 스톱(34a)에 접촉하게 된다.스프링 팁은 더 많은 힘의 분포 및 적은 내구력 및 접착력을 허용하며 접촉에 의해 구부려진다.스프링 팁은 금속층(6)의 패턴에 부가하여 표준 반도체 처리 단계에서 형성되며,이 금속층으로부터,분리된 금속 소자를 생성하기 위해 힌지가 형성된다.편향 가능 소자가 형성될 때,그 소자를 형성하는 금속은 팁에서,분리된 금속 소자에 고정되어,스프링 팁을 형성하게 된다.

Description

스프링 팁을 갖는 마이크로미케니컬 디바이스
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (10)

  1. 마이크로미케니컬 디바이스(micromechanical device)에 있어서,기판;마이크로미케니컬 디바이스를 활성화시키도록 동작될 수 있는 상기 기판 위에 형성되는 어드레싱 회로;적어도 1개의 힌지에 의해 상기 어드레싱 회로 상에 현수(suspend)된 편향 가능 소자;상기 어드레싱 회로에 근접하여 상기 기판 상에 형성되는 적어도 1개의 랜딩 스톱(landing stop);및 상기 소자가 활성화되어 상기 어드레싱 회로를 향하여 편향될 때 상기 랜딩 스톱과 접촉하도록 상기 편향 가능 소자로 부터 연장하는 가요성 팁을 포함하는 마이크로미케니컬 디바이스.
  2. 제1항에 있어서,상기 마이크로미케니컬 디바이스가 디지털 마이크로미러 디바이스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로미케니컬 디바이스.
  3. 제1항에 있어서,상기 마이크로미케니컬 디바이스가 가동 미러 어레이를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로미케니컬 디바이스.
  4. 제1항에 있어서,상기 마이크로미케니컬 디바이스가 캔틸레버 힌지 공간 광변조기 소자(cantilever hinge spatial light modulator element)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로미케니컬 디바이스.
  5. 제1항에 있어서,상기 마이크로미케니컬 디바이스가 토오션(torsion)힌지 공간 광 변조기 소자를 더 포함 하는 것을 특징으로 하는 마이크로미케니컬 디바이스.
  6. 제1항에 있어서,상기 마이크로미케니컬 디바이스가 이중 레벨 공간 광 변조기 소자의 편향 가능 소자를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로미케니컬 디바이스.
  7. 스프링 힌지(spring hinge)를 갖는 마이크로미케니컬 디바이스를 제조하는 방법에 있어서,어드레싱 회로를 기판 상에 형성하는 단계;랜딩 스톱을 상기 어드레싱 회로에 근접한 상기 기판 상에 형성하는 단계;상기 랜딩 스톱 및 상기 어드레싱 회로 상에 스페이서 재료를 스핀하는 단계;상기 스페이서 재료에 비아(via)들을 형성하는 단계;제1금속층이 상기 비아들을 충전하도록 상기 제1금속층을 피착하는 단계;적어도 1개의 힌지에 또한,적어도 1개의 분리된 금속 소자들에 지지목(support post)들을 형성하기 위해 상기 제1금속층을 패턴하고 에칭하는 단계;제2금속층을 피착하는 단계;편향 가능 소자가 상기 랜딩 스톱을 접촉하게 되는 지점에서 상기 분리된 금속 소자가 상기 편향 가능 소자에 부착되도록,상기 편향 가능 소자들을 형성하기 위해 상기 제2금속층을 패턴하고 에칭하는 단계;및 상기 어드레싱 회로에 의해 활성화된 경우,상기 편향 가능 소자가 자유롭게 이동할 수 있도록 상기 스페이서 재료를 제거하는 단계를 포함하는 스프링 힌지를 갖는 마이크로미케니컬 디바이스의 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서,상기 제2금속층을 패턴하고 에칭하는 단계와 상기 스페이서를 제거하는 단계 사이에 제2스페이서층을 스핀하는 단계;상기 제2스페이서층에 비아들을 형성하는 단계;제3금속층이 상기 비아들을 충전하도록 제3금속층을 피착하는 단계;및 반사성 소자를 형성하기 위해 상기 제3금속층을 패턴하고 에칭하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스프링 힌지를 갖는 마이크로미케니컬 디바이스의 제조 방법.
  9. 제7항에 있어서,1개의 힌지는 적어도 1개의 힌지 스텝을 형성하기 위해 상기 제1금속층 패턴하므로써 형성되는 것을 특징으로 하는 스프링 힌지를 갖는 마이크로미케니컬 디바이스의 제조 방법.
  10. 제7항에 있어서,2개의 힌지는 적어도 1개의 힌지 스텝을 형성하도록 상기 제1금속층을 패턴하므로써 형성되는 것을 특징으로 하는 스프링 힌지를 갖는 마이크로미케니컬 디바이스의 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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