JP3411014B2 - 誘導電荷ミラー - Google Patents
誘導電荷ミラーInfo
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- JP3411014B2 JP3411014B2 JP2000336191A JP2000336191A JP3411014B2 JP 3411014 B2 JP3411014 B2 JP 3411014B2 JP 2000336191 A JP2000336191 A JP 2000336191A JP 2000336191 A JP2000336191 A JP 2000336191A JP 3411014 B2 JP3411014 B2 JP 3411014B2
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- conductor
- space
- electrode
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、デジタ
ルマイクロミラーデバイスに採用されて有用な誘導電荷
ミラーに関する。
ルマイクロミラーデバイスに採用されて有用な誘導電荷
ミラーに関する。
【０００２】
【従来の技術】マイクロミラーを静電力で制御する光空
間変調素子として、デジタルマイクロミラーデバイス
（DMD）が知られれている。ＤＭＤの構造の特徴を説明
する上で、図１２を参照して、USP5,867,202記載の空間
変調素子を構成する１つの画素（セル）の原理を説明す
る。
間変調素子として、デジタルマイクロミラーデバイス
（DMD）が知られれている。ＤＭＤの構造の特徴を説明
する上で、図１２を参照して、USP5,867,202記載の空間
変調素子を構成する１つの画素（セル）の原理を説明す
る。
【０００３】ヒンジ１０１は、ヨーク１０２を支持して
いる。ヨーク１０２は、ヒンジ１０１の支点軸１０５を
中心として回転可動となっている。ヨーク１０２の上面
には、ミラー１０３がピラー１０４を介して装着されて
いる（図では構成を分かりやすくするためにミラー１０
３とヨーク１０２が離れてしめされている）。ヒンジ１
０２を中心とする対称な位置であって、ヨーク１０２の
下部の固定位置には、２つの固定電極（アドレス電極と
も称される）（図に現れず）が配置されている。
いる。ヨーク１０２は、ヒンジ１０１の支点軸１０５を
中心として回転可動となっている。ヨーク１０２の上面
には、ミラー１０３がピラー１０４を介して装着されて
いる（図では構成を分かりやすくするためにミラー１０
３とヨーク１０２が離れてしめされている）。ヒンジ１
０２を中心とする対称な位置であって、ヨーク１０２の
下部の固定位置には、２つの固定電極（アドレス電極と
も称される）（図に現れず）が配置されている。
【０００４】ドライブ回路（図示せず）は、どちらか一
方の固定電極とヨーク１０２との間に電圧を供給し、静
電力を発生させる。これにより、ヨーク１０２が駆動さ
れ、左（Ｌ）方向或は右（Ｒ）回転方向に傾くことにな
る。ヨーク１０２の傾きは、ミラー角度の変化を意味す
る。
方の固定電極とヨーク１０２との間に電圧を供給し、静
電力を発生させる。これにより、ヨーク１０２が駆動さ
れ、左（Ｌ）方向或は右（Ｒ）回転方向に傾くことにな
る。ヨーク１０２の傾きは、ミラー角度の変化を意味す
る。
【０００５】ドライブ回路は、ミラーの第1の傾き方
向、第2の傾き方向のいずれかを選択することになる。
この第1の傾き方向の選択期間と第2の傾き方向の選択期
間との比率で、ミラーにより反射される光に変調を与え
ることができる。
向、第2の傾き方向のいずれかを選択することになる。
この第1の傾き方向の選択期間と第2の傾き方向の選択期
間との比率で、ミラーにより反射される光に変調を与え
ることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ヒンジ１０
１には３つの役目が考えられる。（１）空間変調素子を
構成するために、ヒンジ１０２は、画素を形成する各ミ
ラー１０３およびヨーク１０２を所定位置に固定する。
（２）ヒンジ１０１は、ミラー１０３およびヨーク１０
２と固定電極との間に発生する直線方向静電力を、ヨー
ク１０２の回転運動に変換するための支点となる。
（３）ヒンジ１０２は、ミラー１０３およびヨーク１０
２に所定の電位を与えるための導線の役目となる。
１には３つの役目が考えられる。（１）空間変調素子を
構成するために、ヒンジ１０２は、画素を形成する各ミ
ラー１０３およびヨーク１０２を所定位置に固定する。
（２）ヒンジ１０１は、ミラー１０３およびヨーク１０
２と固定電極との間に発生する直線方向静電力を、ヨー
ク１０２の回転運動に変換するための支点となる。
（３）ヒンジ１０２は、ミラー１０３およびヨーク１０
２に所定の電位を与えるための導線の役目となる。
【０００７】ヒンジ１０１は重要な役割をもっており、
低い電圧での小さな静電力で可動とするには応力の小さ
なものが要求され、反面、極めて多数回の回転動作に対
して機械的な長寿命が要求される。また、２方向回転数
に履歴差があった場合でも、ヒンジ応力にヒステリシス
が発生しない事も要請される。
低い電圧での小さな静電力で可動とするには応力の小さ
なものが要求され、反面、極めて多数回の回転動作に対
して機械的な長寿命が要求される。また、２方向回転数
に履歴差があった場合でも、ヒンジ応力にヒステリシス
が発生しない事も要請される。
【０００８】ヒンジに高度の技術が必要である。さらに
加えて、空間変調素子としての開口率をあげるために、
ヨーク１０２、ヒンジ１０１の上を覆う形で面積の広い
ミラー１０３を装着した２階建ての複雑な構造を持って
いる。このために各種のピラーを必要としている。した
がって、非常に複雑で微細な形状構造を有している。
加えて、空間変調素子としての開口率をあげるために、
ヨーク１０２、ヒンジ１０１の上を覆う形で面積の広い
ミラー１０３を装着した２階建ての複雑な構造を持って
いる。このために各種のピラーを必要としている。した
がって、非常に複雑で微細な形状構造を有している。
【０００９】以上の事から、このディバイス製作におい
て材質や形状について極めて高度のプロセス制御を要
し、極めて高度な製造技術が必要となる。
て材質や形状について極めて高度のプロセス制御を要
し、極めて高度な製造技術が必要となる。
【００１０】そこでこの発明の目的は、静電力で動作す
る回転ミラーをヒンジフリーとし、簡易な構造で大きな
開口率を実現し、製造性の容易な誘導電荷ミラーを提供
することにある。
る回転ミラーをヒンジフリーとし、簡易な構造で大きな
開口率を実現し、製造性の容易な誘導電荷ミラーを提供
することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明は上記の目的を
達成するために、絶縁基板と、前記絶縁基板の上面に構
成され、少なくとも一部が絶縁物で囲まれた空間と、前
記空間の平面面積より小さく、この空間内に傾斜自在に
配置された平面状のミラー導体と、前記空間及びミラー
導体の上側を覆う透明電極と、前記空間の下面側に配置
され、かつ前記ミラー導体の面積を2分する位置に対応
して配置された第1、第2の固定電極と、前記透明電極に
第1の電位を与える手段と、前記ミラー導体の傾斜角度
を切替えるために、前記第1、第2の固定電極にそれぞれ
第2の電位と第3の電位を交互に与える手段とを備え、前
記ミラー導体と前記透明電極間の距離は前記ミラー導体
と前記第1、第2の固定電極間の距離よりも大きく設定さ
れている。
達成するために、絶縁基板と、前記絶縁基板の上面に構
成され、少なくとも一部が絶縁物で囲まれた空間と、前
記空間の平面面積より小さく、この空間内に傾斜自在に
配置された平面状のミラー導体と、前記空間及びミラー
導体の上側を覆う透明電極と、前記空間の下面側に配置
され、かつ前記ミラー導体の面積を2分する位置に対応
して配置された第1、第2の固定電極と、前記透明電極に
第1の電位を与える手段と、前記ミラー導体の傾斜角度
を切替えるために、前記第1、第2の固定電極にそれぞれ
第2の電位と第3の電位を交互に与える手段とを備え、前
記ミラー導体と前記透明電極間の距離は前記ミラー導体
と前記第1、第2の固定電極間の距離よりも大きく設定さ
れている。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を参照して説明する。
面を参照して説明する。
【００１３】図１は、本発明の第1の実施の形態におけ
る１つの画素の部分の横断面を示す。図２はこの画素の
部分を上から見た断面図を示す。
る１つの画素の部分の横断面を示す。図２はこの画素の
部分を上から見た断面図を示す。
【００１４】少なくとも上側の側壁が透明性を有する絶
縁材により、絶縁基板１０が構成される。絶縁基板１０
の上面には、透明電極１２が設けられ、さらにこの透明
電極１２の上面には、ガラス基板１１が設けられてい
る。ガラス基板１１は透明電極１２を保護するものであ
り、本発明にとって本質的なものではない。
縁材により、絶縁基板１０が構成される。絶縁基板１０
の上面には、透明電極１２が設けられ、さらにこの透明
電極１２の上面には、ガラス基板１１が設けられてい
る。ガラス基板１１は透明電極１２を保護するものであ
り、本発明にとって本質的なものではない。
【００１５】絶縁基板１０は、空間１３を有する。空間
１３は、例えば、平面的には四角形であり、高さは低い
空間である。空間１３には、ミラー導体１４が入れられ
る。ミラー導体１４は空間１３の中で上下方向に移動可
能である。ミラー導体１４は空間１３とギャップ（空
隙）をもっている。
１３は、例えば、平面的には四角形であり、高さは低い
空間である。空間１３には、ミラー導体１４が入れられ
る。ミラー導体１４は空間１３の中で上下方向に移動可
能である。ミラー導体１４は空間１３とギャップ（空
隙）をもっている。
【００１６】空間１３の下側には、間隔をおいて左右対
称に固定電極１５Ａ，１５Ｂが配置されている。
称に固定電極１５Ａ，１５Ｂが配置されている。
【００１７】電気的ドライブ手段は、例えば次のように
構成される。
構成される。
【００１８】外部電源１６からの電圧Ｖ０は、透明電極
１２に与えらえる。電源１７からの電圧Ｖ１は、スイッ
チ１８Ａと１８Ｂの各一方の入力端子Ｘ，Ｘに供給され
る。スイッチ１８Ａと１８Ｂの各他方の入力端子Ｙ，Ｙ
は、接地されている。
１２に与えらえる。電源１７からの電圧Ｖ１は、スイッ
チ１８Ａと１８Ｂの各一方の入力端子Ｘ，Ｘに供給され
る。スイッチ１８Ａと１８Ｂの各他方の入力端子Ｙ，Ｙ
は、接地されている。
【００１９】さらにスイッチ１８Ａと１８Ｂの出力端子
Ｚ，Ｚは、スイッチ１９Ａと１９Ｂの各一方の入力端子
Ｘ，Ｘに接続される。スイッチ１９Ａ，１９Ｂの各他方
の端子Ｙ，Ｙは、接地されている。そして、スイッチ１
９Ａと１９Ｂの出力端子Ｚ，Ｚは、それぞれ固定電極１
５Ａ、１５Ｂに接続されている。
Ｚ，Ｚは、スイッチ１９Ａと１９Ｂの各一方の入力端子
Ｘ，Ｘに接続される。スイッチ１９Ａ，１９Ｂの各他方
の端子Ｙ，Ｙは、接地されている。そして、スイッチ１
９Ａと１９Ｂの出力端子Ｚ，Ｚは、それぞれ固定電極１
５Ａ、１５Ｂに接続されている。
【００２０】スイッチ１８Ａ，１８Ｂ，スイッチ１９
Ａ，１９Ｂの各端子Ｙは、図では０電位としているが、
０電位以外の同一電位であればよい。スイッチ１８Ａ，
１８Ｂは同期して動作する。また端子１９Ａ，１９Ｂも
同期して動作する。
Ａ，１９Ｂの各端子Ｙは、図では０電位としているが、
０電位以外の同一電位であればよい。スイッチ１８Ａ，
１８Ｂは同期して動作する。また端子１９Ａ，１９Ｂも
同期して動作する。
【００２１】スイッチ１９Ａ，１９Ｂが、端子Ｘ，Ｘを
選択している状態でスイッチ１８Ａ，１８Ｂが端子Ｘ、
端子Ｙを交互に選択すると、この選択動作に同期してミ
ラー導体１４は、その傾斜方向が切り替わる。
選択している状態でスイッチ１８Ａ，１８Ｂが端子Ｘ、
端子Ｙを交互に選択すると、この選択動作に同期してミ
ラー導体１４は、その傾斜方向が切り替わる。
【００２２】次に、本発明の基本的な動作原理を説明す
る。
る。
【００２３】まず、固定電極１５Ａ，１５Ｂ同電位（０
電位）の場合を考える。
電位）の場合を考える。
【００２４】図３に、図１の固定電極１５Ａ，１５Ｂが
ともに０電位のときの状態を示す。そこで図３では、固
定電極１５Ａ、１５Ｂに相当する電極として、符号１８
を使用する。また、図３では、ミラー導体１４は、空間
１３の中間に平行している状態を示している。このと
き、平行な透明電極１２と電極１８との間の距離をＬと
すると、電極１８と透明電極１２との間にはＥ＝Ｖ０／
Ｌ（Ｖ／ｍ）の電界が生じる。
ともに０電位のときの状態を示す。そこで図３では、固
定電極１５Ａ、１５Ｂに相当する電極として、符号１８
を使用する。また、図３では、ミラー導体１４は、空間
１３の中間に平行している状態を示している。このと
き、平行な透明電極１２と電極１８との間の距離をＬと
すると、電極１８と透明電極１２との間にはＥ＝Ｖ０／
Ｌ（Ｖ／ｍ）の電界が生じる。
【００２５】従って、ミラー導体１４の表面には１／２
ε０Ｅ２（Ｎ／ｍ２）の静電力が発生するが上下方向に
つりあうためミラー導体１４は動かない。しかしなが
ら、この状態は不安定である。
ε０Ｅ２（Ｎ／ｍ２）の静電力が発生するが上下方向に
つりあうためミラー導体１４は動かない。しかしなが
ら、この状態は不安定である。
【００２６】図４には、平板導体２０と、平板導体２１
で構成されるコンデンサ２２の例を示している。平板導
体２１の中心と、平板導体２０との距離はｄに維持され
るものとする。そして平板導体２１は、その両側が平板
導体２０に平行な面に対して、±ｘの傾きをもつものと
する。
で構成されるコンデンサ２２の例を示している。平板導
体２１の中心と、平板導体２０との距離はｄに維持され
るものとする。そして平板導体２１は、その両側が平板
導体２０に平行な面に対して、±ｘの傾きをもつものと
する。
【００２７】今、平板導体２０と２１の面積をＳとする
とき、このコンデンサ２２の静電容量Ｃは次式で与えら
れる。
とき、このコンデンサ２２の静電容量Ｃは次式で与えら
れる。
【００２８】
Ｃ＝（ε０Ｓ／２ｘ）lｎ（１＋ｘ／ｄ）／（１−ｘ／ｄ）
≒（ε０Ｓ／ｄ）｛１＋（１／３）（ｘ／ｄ）２＋（１／５）（ｘ／ｄ）４｝
（Ｆ）
この式から、ｘの増加すなわち傾きの増加にともない静
電容量が増加することがわかる。このことは、電極に外
部から電位を与えたとき、傾きの増加する方向に静電力
が発生することを意味している。
電容量が増加することがわかる。このことは、電極に外
部から電位を与えたとき、傾きの増加する方向に静電力
が発生することを意味している。
【００２９】従って、図５に示すように透明電極１２と
電極１８に外部電源により電位V０を与えると、絶縁さ
れた空間１３の中でミラー導体１４はいずれかの方向に
傾いて停止した状態となり、これが安定状態である。し
たがってこの動作状態は、傾きを保持する効果をもつ
（メカニカルラッチ）。このとき、ミラー導体１４の中
心と電極１８は距離ａ離れているとする。ミラー導体１
４の中心と透明電極１２の距離はL−ａとなる。
電極１８に外部電源により電位V０を与えると、絶縁さ
れた空間１３の中でミラー導体１４はいずれかの方向に
傾いて停止した状態となり、これが安定状態である。し
たがってこの動作状態は、傾きを保持する効果をもつ
（メカニカルラッチ）。このとき、ミラー導体１４の中
心と電極１８は距離ａ離れているとする。ミラー導体１
４の中心と透明電極１２の距離はL−ａとなる。
【００３０】ここで、ミラー導体１４の上側の電荷分布
が一様に近くなるように、ミラー導体１４と透明電極１
２との距離をミラー導体１４と電極１８（１５A、１５
B）との距離に比べて充分大きく配置する。すなわち、L
−ａ＞ａとする。
が一様に近くなるように、ミラー導体１４と透明電極１
２との距離をミラー導体１４と電極１８（１５A、１５
B）との距離に比べて充分大きく配置する。すなわち、L
−ａ＞ａとする。
【００３１】次に、ミラー導体１４の傾き方向、即ち姿
勢の切り替え動作を図６（Ａ），図６（Ｂ）、図７
（Ａ）乃至図７（Ｃ）を用いて説明する。
勢の切り替え動作を図６（Ａ），図６（Ｂ）、図７
（Ａ）乃至図７（Ｃ）を用いて説明する。
【００３２】まず、図６（Ａ）に示すように、ミラー導
体１４と透明電極１２との間の静電容量をＣ１，ミラー
導体１４と固定電極１５A、１５Bとの間の静電容量を各
々Ｃ ２、Ｃ３とすると、図６（Ｂ）に示す等価回路とな
る。
体１４と透明電極１２との間の静電容量をＣ１，ミラー
導体１４と固定電極１５A、１５Bとの間の静電容量を各
々Ｃ ２、Ｃ３とすると、図６（Ｂ）に示す等価回路とな
る。
【００３３】ミラー導体１４の上側の電荷分布が一様に
近くなるように、ミラー導体１４と透明電極１２との距
離をミラー導体１４と固定電極１５A、１５Bとの距離に
比べて充分大きく配置する。
近くなるように、ミラー導体１４と透明電極１２との距
離をミラー導体１４と固定電極１５A、１５Bとの距離に
比べて充分大きく配置する。
【００３４】ここで、図７（Ａ）に示すように固定電極
１５A、１５B共に０電位で、ミラー導体１４は固定電極
１５A側に傾いているとする。この状態から、図７
（Ｂ）に示すように固定電極１５Aに電位Ｖ１を与え
る。
１５A、１５B共に０電位で、ミラー導体１４は固定電極
１５A側に傾いているとする。この状態から、図７
（Ｂ）に示すように固定電極１５Aに電位Ｖ１を与え
る。
【００３５】ミラー導体１４と透明電極１２との間の静
電容量はＣ１，ミラー導体１４と固定電極１５A、１５B
との間の静電容量は各々Ｃ２、Ｃ３であり、等価回路
は、図６（Ｂ）に示す回路である。
電容量はＣ１，ミラー導体１４と固定電極１５A、１５B
との間の静電容量は各々Ｃ２、Ｃ３であり、等価回路
は、図６（Ｂ）に示す回路である。
【００３６】この状態で、ミラー導体１４の誘導電位ｖ
は次式で与えられる。
は次式で与えられる。
【００３７】
ｖ＝（Ｃ１Ｖ０＋Ｃ２Ｖ１）／（Ｃ１＋Ｃ２＋Ｃ３）
ここで、誘導電位ｖがｖ＝V１となるように外部電源１
６により電位Ｖ０を設定したとする。
６により電位Ｖ０を設定したとする。
【００３８】このときミラー導体１４に静電誘導される
電荷は、各静電容量の電荷をQ１、Q ２、Q3とすると Q１＝Ｃ１（Ｖ１−Ｖ０） Q２＝０ Q3＝Ｃ３Ｖ１ ミラー導体１４の上側にはQ１の負電荷が発生し、ミラ
ー導体１４と透明電極１２との距離を充分L−ａ＞ａと
なるように設定すればほぼ一様な電荷分布となる。
電荷は、各静電容量の電荷をQ１、Q ２、Q3とすると Q１＝Ｃ１（Ｖ１−Ｖ０） Q２＝０ Q3＝Ｃ３Ｖ１ ミラー導体１４の上側にはQ１の負電荷が発生し、ミラ
ー導体１４と透明電極１２との距離を充分L−ａ＞ａと
なるように設定すればほぼ一様な電荷分布となる。
【００３９】一方、図７（Ｂ）に示すように、固定電極
１５Aには電源１７により電位V０、電極１５Bには電位
０を与えてあるので、ミラー導体１４の下側にはQ3の正
電荷が発生する。しかしこの正電荷は、一様にはならず
に固定電極１５B側に強く分布する。ミラー導体１４に
発生する電荷は静電誘導によるものであるから総和は０
になるので、Q１＋Q3＝０となる。この電荷によりミラ
ー導体１４の上側では単位面積あたりほぼ一様に上側向
きの力が発生し、半分の面積をSとすれば、半分あたり
Ｆの静電力が発生する。
１５Aには電源１７により電位V０、電極１５Bには電位
０を与えてあるので、ミラー導体１４の下側にはQ3の正
電荷が発生する。しかしこの正電荷は、一様にはならず
に固定電極１５B側に強く分布する。ミラー導体１４に
発生する電荷は静電誘導によるものであるから総和は０
になるので、Q１＋Q3＝０となる。この電荷によりミラ
ー導体１４の上側では単位面積あたりほぼ一様に上側向
きの力が発生し、半分の面積をSとすれば、半分あたり
Ｆの静電力が発生する。
【００４０】Ｆ＝（Q１）２／（４ε０Ｓ） （Ｎ）
一方、ミラー導体１４の下側には電極１５Bに近い側に
電荷＋Q3が集まり、下向きにｆの静電力が発生する。
電荷＋Q3が集まり、下向きにｆの静電力が発生する。
【００４１】ｆ＝（Q３）２／（２ε０Ｓ） （Ｎ）
したがって、固定電極１５A側では上向きの力
ｆＡ＝F （Ｎ）
固定電極１５B側では下向きの力
ｆB＝F−ｆ＝−Ｆ （Ｎ）
が発生する。すなわち、ｆＡ、ｆBにより、図中右回り
のモーメント力となり、図７（Ｃ）のようにミラー導体
１４は固定電極１５B側が下向きの状態に変化し、安定
する。ミラー導体１４の電位ｖをVとしたが、所定の範
囲にあればモーメント力を発生させることができる。
のモーメント力となり、図７（Ｃ）のようにミラー導体
１４は固定電極１５B側が下向きの状態に変化し、安定
する。ミラー導体１４の電位ｖをVとしたが、所定の範
囲にあればモーメント力を発生させることができる。
【００４２】すなわち、（等価回路での近似解として）
Ｑ１＝Ｃ１（ｖ−Ｖ０），Ｑ２＝Ｃ２（ｖ−Ｖ），Ｑ３
＝Ｃ３ｖとすれば、Ｃ２側で上向きの力となるための条
件は ｜Ｑ２｜＜（１／２）｜Ｑ１｜ Ｃ３側で下向きの力となるための条件は （１／２）｜Ｑ１｜＜｜Ｑ３｜ である。
Ｑ１＝Ｃ１（ｖ−Ｖ０），Ｑ２＝Ｃ２（ｖ−Ｖ），Ｑ３
＝Ｃ３ｖとすれば、Ｃ２側で上向きの力となるための条
件は ｜Ｑ２｜＜（１／２）｜Ｑ１｜ Ｃ３側で下向きの力となるための条件は （１／２）｜Ｑ１｜＜｜Ｑ３｜ である。
【００４３】上記の条件を満たすように外部電源１６、
外部電源１７、ミラー導体１４と透明電極１２、固定電
極１５Ａ、固定電極１５Ｂ間の各静電容量Ｃ１、Ｃ２、
Ｃ３を設定すればよい。
外部電源１７、ミラー導体１４と透明電極１２、固定電
極１５Ａ、固定電極１５Ｂ間の各静電容量Ｃ１、Ｃ２、
Ｃ３を設定すればよい。
【００４４】上記のようにミラー導体1４の姿勢が、図
７（Ａ）に示す状態から図７（Ｂ）に示す状態に変化す
ると、ミラー導体１４の表面のミラーに照射されている
光の反射光は、図７（Ａ）に示す方向（この方向をオン
とする）から図７（Ｂ）に示す方向（この方向をオフと
する）に進行する。
７（Ａ）に示す状態から図７（Ｂ）に示す状態に変化す
ると、ミラー導体１４の表面のミラーに照射されている
光の反射光は、図７（Ａ）に示す方向（この方向をオン
とする）から図７（Ｂ）に示す方向（この方向をオフと
する）に進行する。
【００４５】切り替え時間を最短にするには、図７
（Ｂ）の傾き状態切り替えで最大静電力を発生させるよ
うにすればよい。すなわち、この状態で、ｖ＝V１とな
るようにＶ０を設定しておくのがよい。
（Ｂ）の傾き状態切り替えで最大静電力を発生させるよ
うにすればよい。すなわち、この状態で、ｖ＝V１とな
るようにＶ０を設定しておくのがよい。
【００４６】このとき、Ｖ０＝Ｖ１（Ｃ１＋Ｃ３）／Ｃ
１である。
１である。
【００４７】図２で説明したように、傾きが切り替わっ
た後は、固定電極１５Aの電位V１を０（固定電極１５A
と固定電極１５Bを同電位とすることである。したがっ
て、０でなく両電極電位をV１にしてもよい。）にして
も同じ傾きの状態を保持する。
た後は、固定電極１５Aの電位V１を０（固定電極１５A
と固定電極１５Bを同電位とすることである。したがっ
て、０でなく両電極電位をV１にしてもよい。）にして
も同じ傾きの状態を保持する。
【００４８】本発明では静電誘導を利用してミラー導体
１４に電位を与えている。したがって、ミラー導体１４
と透明電極１２間の静電容量Ｃ１，ミラー導体１４と固
定電極１５Ａ，１５Ｂ間の各静電容量Ｃ２、Ｃ３の変化
によってミラー導体１４の電位も変わる。例えば、上述
したように傾き状態の切り替えで最適になるように外部
電源１６，１７を設定した場合、ミラー導体１４がたま
たま固定電極１５Ａ，１５Ｂに平行に最近接状態にあっ
た場合にはモーメント力が発生しない事が起こりうる。
この場合には、静電容量Ｃ１が減少し、静電容量Ｃ２、
Ｃ３が増加した状態になっている。従って、外部電源１
６の電圧Ｖ０を増加させるか、外部電源１７の電圧Ｖ１
を減少させるかのリセット動作を行って傾き状態を作っ
た後、通常動作に切り替えれば良い。あるいは、静電容
量Ｃ２、Ｃ３の値が過度に増加しなければよい。
１４に電位を与えている。したがって、ミラー導体１４
と透明電極１２間の静電容量Ｃ１，ミラー導体１４と固
定電極１５Ａ，１５Ｂ間の各静電容量Ｃ２、Ｃ３の変化
によってミラー導体１４の電位も変わる。例えば、上述
したように傾き状態の切り替えで最適になるように外部
電源１６，１７を設定した場合、ミラー導体１４がたま
たま固定電極１５Ａ，１５Ｂに平行に最近接状態にあっ
た場合にはモーメント力が発生しない事が起こりうる。
この場合には、静電容量Ｃ１が減少し、静電容量Ｃ２、
Ｃ３が増加した状態になっている。従って、外部電源１
６の電圧Ｖ０を増加させるか、外部電源１７の電圧Ｖ１
を減少させるかのリセット動作を行って傾き状態を作っ
た後、通常動作に切り替えれば良い。あるいは、静電容
量Ｃ２、Ｃ３の値が過度に増加しなければよい。
【００４９】図８（Ａ）、図７（Ｂ）には、本発明の他
の実施の形態を示す。
の実施の形態を示す。
【００５０】図８（Ａ）は、ミラー導体１４の下部の中
央付近（回転モーメント軸付近）にミラー導体１４自身
に突起１４ａを形成した例である。また図８（Ｂ）は、
ミラー導体１４の下部の中央付近（回転モーメント軸付
近）に、空間１３から起立した突起（ストッパー）１３
ａを形成した例である。
央付近（回転モーメント軸付近）にミラー導体１４自身
に突起１４ａを形成した例である。また図８（Ｂ）は、
ミラー導体１４の下部の中央付近（回転モーメント軸付
近）に、空間１３から起立した突起（ストッパー）１３
ａを形成した例である。
【００５１】上記の突起１４ａ、ストッパー１３ａは、
静電容量Ｃ２、Ｃ３の大幅な変化を防止するものであ
り、回転の支点ではない。このため厳密な精度を必要と
しない。
静電容量Ｃ２、Ｃ３の大幅な変化を防止するものであ
り、回転の支点ではない。このため厳密な精度を必要と
しない。
【００５２】以上の説明により、図１において、スイッ
チ１９A、１９Bが入力端子Ｘを選択しているとき、スイ
ッチ１８A、１８Ｂを切り替えて固定電極１５A、１５B
の電位を交互に切りかえることで、ミラー導体１４の傾
きを切り替えることができる。また、スイッチ１９A、
１９Bを入力端子Ｙ側に切替えて固定電極１５A、１５B
を一定電位にすれば、そのミラー導体１４の状態が保持
される。
チ１９A、１９Bが入力端子Ｘを選択しているとき、スイ
ッチ１８A、１８Ｂを切り替えて固定電極１５A、１５B
の電位を交互に切りかえることで、ミラー導体１４の傾
きを切り替えることができる。また、スイッチ１９A、
１９Bを入力端子Ｙ側に切替えて固定電極１５A、１５B
を一定電位にすれば、そのミラー導体１４の状態が保持
される。
【００５３】ミラー導体１４の表面はミラーであり、図
７（Ａ）、図７（Ｃ）に破線で示すように、入射光が反
射する。ミラー導体１４の姿勢が図７（Ａ）に示すよう
な姿勢であれば、反射光は、オン出力光となる。また、
固定電極１５A、１５Bの電位極性を反転させて、ミラー
導体１４の姿勢が図７（Ｃ）に示すような姿勢であれ
ば、反射光は、オフ出力光となる。
７（Ａ）、図７（Ｃ）に破線で示すように、入射光が反
射する。ミラー導体１４の姿勢が図７（Ａ）に示すよう
な姿勢であれば、反射光は、オン出力光となる。また、
固定電極１５A、１５Bの電位極性を反転させて、ミラー
導体１４の姿勢が図７（Ｃ）に示すような姿勢であれ
ば、反射光は、オフ出力光となる。
【００５４】上記したように、透明電極１２に電位V０
を与え、静電誘導によりミラー導体１４に電位ｖが発生
し、固定電極１５A、１５BにV１又は０の電位を与える
ことで、ミラー導体１４に対して任意の向きのモーメン
ト力を発生できる。
を与え、静電誘導によりミラー導体１４に電位ｖが発生
し、固定電極１５A、１５BにV１又は０の電位を与える
ことで、ミラー導体１４に対して任意の向きのモーメン
ト力を発生できる。
【００５５】したがって、本発明のセルは、ヒンジフリ
ー（ヒンジ無し）としてもその目的とする動作には全く
影響しない。本発明によれば絶縁空間１３にミラー導体
１４を入れ、透明電極１２、固定電極１５Ａ，１５Ｂに
所定の電位を与えるという極めて簡単な構造で、ミラー
角度を制御し、光オン／オフ動作を得ることができる。
また、絶縁空間１３、つまり絶縁基板１０を透明な樹脂
で構成することで大きな開口率が容易に得られる。
ー（ヒンジ無し）としてもその目的とする動作には全く
影響しない。本発明によれば絶縁空間１３にミラー導体
１４を入れ、透明電極１２、固定電極１５Ａ，１５Ｂに
所定の電位を与えるという極めて簡単な構造で、ミラー
角度を制御し、光オン／オフ動作を得ることができる。
また、絶縁空間１３、つまり絶縁基板１０を透明な樹脂
で構成することで大きな開口率が容易に得られる。
【００５６】以上の説明では絶縁空間１３の中に配置さ
れる物体としてミラー導体１４を用いた。しかし、ミラ
ー導体１４に誘導電位（電荷）を与える事ができればよ
いのであるから、ミラー導体１４に絶縁を施しても同じ
効果が得られる。
れる物体としてミラー導体１４を用いた。しかし、ミラ
ー導体１４に誘導電位（電荷）を与える事ができればよ
いのであるから、ミラー導体１４に絶縁を施しても同じ
効果が得られる。
【００５７】ミラー導体１４としては、１０〜３０μｍ
程度の金属ミラーを用いれば、V１＝５（Ｖ）、V０＝１
０〜２０（Ｖ）としてもμSオーダの姿勢切り替え速度
を得ることができる。したがって、スイッチ１８Ａ、１
８Ｂ、１９Ａ、１９Ｂ、固定電極１５Ａ、１５Ｂを半導
体チップで構成し、その上に絶縁空間１３とミラー導体
１４、透明電極１２を構成してもよい。
程度の金属ミラーを用いれば、V１＝５（Ｖ）、V０＝１
０〜２０（Ｖ）としてもμSオーダの姿勢切り替え速度
を得ることができる。したがって、スイッチ１８Ａ、１
８Ｂ、１９Ａ、１９Ｂ、固定電極１５Ａ、１５Ｂを半導
体チップで構成し、その上に絶縁空間１３とミラー導体
１４、透明電極１２を構成してもよい。
【００５８】図９に本発明の他の実施の形態を示す。
【００５９】固定電極１５A、１５B側に、これら固定電
極１５Ａ，１５Ｂを取り囲むような第４の電極１５Cを
配置した例を示す。先に説明したように、本発明の誘導
電荷ミラーの基本的な動作は固定電極１５A、１５Bに適
宜電位を切り替えて行われる。電極１５Cは、一定電位
に保たれ、図９では、電源１７に接続され、電位V１と
なっている。このとき電極１５Cは、ミラー導体１４の
傾きの切り替え動作には直接には寄与しないが、隣接す
る他の同様な構成（セル）からの影響を低減する静電シ
ールドに有効である。すなわち、この発明の誘導電荷ミ
ラーは、固定電極１５A、１５Bのほかに、さらに電極１
５C等の追加することが可能である。
極１５Ａ，１５Ｂを取り囲むような第４の電極１５Cを
配置した例を示す。先に説明したように、本発明の誘導
電荷ミラーの基本的な動作は固定電極１５A、１５Bに適
宜電位を切り替えて行われる。電極１５Cは、一定電位
に保たれ、図９では、電源１７に接続され、電位V１と
なっている。このとき電極１５Cは、ミラー導体１４の
傾きの切り替え動作には直接には寄与しないが、隣接す
る他の同様な構成（セル）からの影響を低減する静電シ
ールドに有効である。すなわち、この発明の誘導電荷ミ
ラーは、固定電極１５A、１５Bのほかに、さらに電極１
５C等の追加することが可能である。
【００６０】図１０には、本発明の別の実施例を示す。
【００６１】透明電極１２、ミラー導体１４、下部の固
定電極１５Ａ、１５Ｂの基本構成は図１の実施例と同じ
である。したがって、図１に示した構成と同一部分に
は、図１と同一符号を付している。異なるのは図１の絶
縁空間３の代わりに、導体隔壁３０Ａ、３０Ｂで挟まれ
た空間３０を構成し、この空間１３の中にミラー導体１
４が設置されていることである。導体隔壁３０Ａ、３０
Ｂは、電位Ｖ０より高電位となるように、電源１７の電
位Ｖ１を与えられる。この構成ではミラー導体１４が導
体隔壁３０Ａ、３０Ｂと接触している時にはこのミラー
導体１４に電源１７が電気的に接続され電位Ｖ１が与え
られる。ミラー導体１４が導体隔壁３０Ａ、３０Ｂと非
接触のときには主に透明電極１２と固定電極１５Ａ、１
５Ｂによる静電誘導により電位が与えられ、先に説明し
たようにミラー導体１４の傾き切り替え動作が行われ
る。
定電極１５Ａ、１５Ｂの基本構成は図１の実施例と同じ
である。したがって、図１に示した構成と同一部分に
は、図１と同一符号を付している。異なるのは図１の絶
縁空間３の代わりに、導体隔壁３０Ａ、３０Ｂで挟まれ
た空間３０を構成し、この空間１３の中にミラー導体１
４が設置されていることである。導体隔壁３０Ａ、３０
Ｂは、電位Ｖ０より高電位となるように、電源１７の電
位Ｖ１を与えられる。この構成ではミラー導体１４が導
体隔壁３０Ａ、３０Ｂと接触している時にはこのミラー
導体１４に電源１７が電気的に接続され電位Ｖ１が与え
られる。ミラー導体１４が導体隔壁３０Ａ、３０Ｂと非
接触のときには主に透明電極１２と固定電極１５Ａ、１
５Ｂによる静電誘導により電位が与えられ、先に説明し
たようにミラー導体１４の傾き切り替え動作が行われ
る。
【００６２】図１１には、図１０の実施の形態におい
て、絶縁基板１０の裏面にドライブ回路を登載した半導
体チップを取り付けた際の等価的な構成を示している。
また、各部の寸法や、角度の具体的数値例も示してい
る。
て、絶縁基板１０の裏面にドライブ回路を登載した半導
体チップを取り付けた際の等価的な構成を示している。
また、各部の寸法や、角度の具体的数値例も示してい
る。
【００６３】絶縁基板１０の裏面には、例えばパターン
印刷により、固定電極１５Ａ，１５Ｂが形成されてい
る。また空間１３の底面の中央部には、線状に突起１３
ａが形成され、ミラー導体１４が必要以上に空間１３の
底面に接近しないように対策が施されている。また図１
１では、ミラー導体１４が傾いたときの角度１０°、ミ
ラー導体１４の端部の移動距離４μｍを示している。さ
らに、導体（金属ミラー）１４によって反射される反射
光と、入射光との角度の例を示している。出力光（Ｏ
Ｎ）の場合は、２０°であり、出力光（ＯＦＦ）の場合
は、６０°である。さらに、ミラー導体１４の中心か
ら、透明電極１２までの距離は２０μｍである。
印刷により、固定電極１５Ａ，１５Ｂが形成されてい
る。また空間１３の底面の中央部には、線状に突起１３
ａが形成され、ミラー導体１４が必要以上に空間１３の
底面に接近しないように対策が施されている。また図１
１では、ミラー導体１４が傾いたときの角度１０°、ミ
ラー導体１４の端部の移動距離４μｍを示している。さ
らに、導体（金属ミラー）１４によって反射される反射
光と、入射光との角度の例を示している。出力光（Ｏ
Ｎ）の場合は、２０°であり、出力光（ＯＦＦ）の場合
は、６０°である。さらに、ミラー導体１４の中心か
ら、透明電極１２までの距離は２０μｍである。
【００６４】スイッチ１８Ａ，１８Ｂは、Ｄタイプフリ
ップフロップで構成され、その非反転出力Ｑと、／Ｑ
（Ｑの反転出力）がＮＯＲ回路１９Ａ、１９Ｂ（先の実
施例のスイッチ１９Ａ，１９Ｂに対応する）の各入力端
子Ｘにそれぞれ供給される。メカニカル信号が“０”の
時、Ｄタイプフリップフロップの出力が電極１５Ａ，１
５Ｂに供給される。出力光のオン状態を得るためには、
データが“１”とされる。また出力光のオフ状態を得る
ためには、データが“０”とされる。
ップフロップで構成され、その非反転出力Ｑと、／Ｑ
（Ｑの反転出力）がＮＯＲ回路１９Ａ、１９Ｂ（先の実
施例のスイッチ１９Ａ，１９Ｂに対応する）の各入力端
子Ｘにそれぞれ供給される。メカニカル信号が“０”の
時、Ｄタイプフリップフロップの出力が電極１５Ａ，１
５Ｂに供給される。出力光のオン状態を得るためには、
データが“１”とされる。また出力光のオフ状態を得る
ためには、データが“０”とされる。
【００６５】両電極１５Ａ、１５Ｂを同電位にする場合
には、メカニカルラッチ信号がハイレベル“１”に設定
され、データに係わらず一定の傾きを保持する。
には、メカニカルラッチ信号がハイレベル“１”に設定
され、データに係わらず一定の傾きを保持する。
【００６６】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によると、
静電力で動作する回転ミラーをヒンジフリーとし、簡易
な構造で大きな開口率を実現し、製造性の容易な誘導電
荷ミラーを提供できる。
静電力で動作する回転ミラーをヒンジフリーとし、簡易
な構造で大きな開口率を実現し、製造性の容易な誘導電
荷ミラーを提供できる。
【図１】本発明の一実施例に係る誘導電荷ミラーの基本
構成を説明するために示した横断面図。
構成を説明するために示した横断面図。
【図２】図１の誘導電荷ミーを上からみた断面図。
【図３】本発明の基本的な動作原理を分かりやすくする
ために、固定電極１５Ａ，１５Ｂ、１１が同電位のとき
の状態を説明する図。
ために、固定電極１５Ａ，１５Ｂ、１１が同電位のとき
の状態を説明する図。
【図４】本発明の基本的な動作を理解しやすいように、
平板導体２１と２０との間の静電容量を説明するために
示した図。
平板導体２１と２０との間の静電容量を説明するために
示した図。
【図５】本発明の基本的な動作原理を分かりやすくする
ために、導体１４の姿勢のラッチ動作を説明するために
示した図。
ために、導体１４の姿勢のラッチ動作を説明するために
示した図。
【図６】本発明の誘導電荷ミラーのセルにおける電極間
静電容量と、その等価回路を示す図。
静電容量と、その等価回路を示す図。
【図７】本発明の誘導電荷ミラーの導体１４の姿勢切替
え動作を説明するために示した図。
え動作を説明するために示した図。
【図８】本発明の誘導電荷ミラーの導体１４の他の実施
例及び空間１３の他の実施例を示す図。
例及び空間１３の他の実施例を示す図。
【図９】本発明の誘導電荷ミラーの他の実施の形態を示
す図。
す図。
【図１０】本発明の誘導電荷ミラーの更に他の実施の形
態を示す図。
態を示す図。
【図１１】本発明の誘導電荷ミラーのまた他の実施の形
態を示す図。
態を示す図。
【図１２】従来の誘導電荷ミーの構成を示す分解斜視
図。
図。
１０…基板、１１…ガラス基板、１２…透明電極、１３
…空間、１４…ミラー導体、１５Ａ、１５Ｂ…固定電
極、１６…外部電源、１７…電源、１８Ａ，１８Ｂ…ス
イッチ、１９Ａ，１９Ｂ…スイッチ。
…空間、１４…ミラー導体、１５Ａ、１５Ｂ…固定電
極、１６…外部電源、１７…電源、１８Ａ，１８Ｂ…ス
イッチ、１９Ａ，１９Ｂ…スイッチ。
Claims (10)
- 【請求項１】 絶縁基板と、 前記絶縁基板の上面に構成され、少なくとも一部が絶縁
物で囲まれた空間と、 前記空間の平面面積より小さく、この空間内に傾斜自在
に配置された平面状のミラー導体と、 前記空間及び前記ミラー導体の上面を覆う透明電極と、 前記空間の下面側に配置され、かつ前記ミラー導体の面
積を２分する位置に対応して配置された第1、第2の固定
電極と、 前記透明電極に第1の電位を与える手段と、 前記ミラー導体の傾斜角度を切替えるために、前記第
1、第2の固定電極にそれぞれ第2と第3の電位を交互に与
える手段とを具備し、前記ミラー導体と前記透明電極間
の距離は前記ミラー導体と前記第1、第2の固定電極間の
距離よりも大きく設定されていることを特徴とする誘導
電荷ミラー。 - 【請求項２】 絶縁基板と、 前記絶縁基板の上面に構成され、少なくとも一部が絶縁
物で囲まれた空間と、 前記空間の平面面積より小さく、この空間内に傾斜自在
に配置された平面状のミラー導体と、 前記空間及び前記ミラー導体の上面を覆う透明電極と、 前記空間の下面側に配置され、かつ前記ミラー導体の面
積を２分する位置に対応して配置された第1、第2の固定
電極と、 前記透明電極に第1の電位を与える手段と、 前記ミラー導体の傾斜角度を切替えるために、前記第
1、第2の固定電極にそれぞれ第2と第3の電位を交互に与
える手段と前記ミラー導体の傾斜角度を保持するため
に、前記第1、第2の固定電極に同時にそれぞれ同じ電位
を与える第3の手段と、 を具備し、前記ミラー導体と前記透明電極間の距離は前
記ミラー導体と前記第1、第2の固定電極間の距離よりも
大きく設定されていることを特徴とする誘導電荷ミラ
ー。 - 【請求項３】 請求項１または２において、 前記第1の固定電極に与えられる前記第2の電位をＶ１と
し、 前記透明電極と前記ミラー導体との間の静電容量をＣ
１ 、前記ミラー導体と前記第2の固定電極との間の静
電容量をＣ３ としたとき、 前記透明電極に与えられる前記第1の電位をＶ０を、以
下の式に設定することを特徴とする誘導電荷ミラー。 Ｖ０＝Ｖ１（Ｃ１＋Ｃ３）／Ｃ１ - 【請求項４】 請求項１または２において、 前記ミラー導体の下面の中央付近あるいは前記空間の前
記固定電極側の中央付近に突起したストッパを形成して
いることを特徴とする誘導電荷ミラー。 - 【請求項５】 請求項１または２において、 前記第1と第2の固定電極を間隔をおいて取り囲みシール
ド効果をもつ第3の固定電極を設けたことを特徴とする
誘導電荷ミラー。 - 【請求項６】 請求項１において、 前記第1と第2の固定電極に対して、第2の電位と第3の電
位を交互に与える手段は、前記絶縁基板の裏に登載され
た半導体チップに構築されていることを特徴とする誘導
電荷ミラー。 - 【請求項７】 請求項２において、 少なくとも前記第2及び第3の手段は、前記絶縁基板の裏
に登載された半導体チップに構築されていることを特徴
とする誘導電荷ミラー。 - 【請求項８】 請求項１または２において、 前記透明電極は、ガラス基板に設けられていることを特
徴とする誘導電荷ミラー。 - 【請求項９】 請求項１または２において、 前記空間は、前記絶縁物に囲まれていることを特徴とす
る誘導電荷ミラー。 - 【請求項１０】 請求項１または２において、 前記空間は、前記絶縁物と導体により囲まれていること
を特徴とする誘導電荷ミラー。
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|---|---|---|---|
| JP2000336191A JP3411014B2 (ja) | 2000-11-02 | 2000-11-02 | 誘導電荷ミラー |
| TW090103932A TW497360B (en) | 2000-11-02 | 2001-02-21 | Induction charge mirror |
| KR10-2001-0010335A KR100378656B1 (ko) | 2000-11-02 | 2001-02-28 | 유도 전하 거울 |
| US09/793,988 US6525759B2 (en) | 2000-11-02 | 2001-02-28 | Induction charge mirror |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000336191A JP3411014B2 (ja) | 2000-11-02 | 2000-11-02 | 誘導電荷ミラー |
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|---|---|
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ID=18811808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000336191A Expired - Fee Related JP3411014B2 (ja) | 2000-11-02 | 2000-11-02 | 誘導電荷ミラー |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6525759B2 (ja) |
| JP (1) | JP3411014B2 (ja) |
| KR (1) | KR100378656B1 (ja) |
| TW (1) | TW497360B (ja) |
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| US7480090B2 (en) | 2005-10-20 | 2009-01-20 | Ricoh Company, Ltd. | Optical deflecting device, optical deflecting device array, method for driving the optical deflecting device and image projection display apparatus using the device |
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| US6900915B2 (en) | 2001-11-14 | 2005-05-31 | Ricoh Company, Ltd. | Light deflecting method and apparatus efficiently using a floating mirror |
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| JP2005070305A (ja) * | 2003-08-22 | 2005-03-17 | Toshiba Corp | ヒンジレス・ミラー装置とその制御方法 |
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| JP4544574B2 (ja) * | 2004-05-17 | 2010-09-15 | 株式会社リコー | 光偏向装置 |
| JP4688130B2 (ja) * | 2004-10-20 | 2011-05-25 | 株式会社リコー | 光学システム、色情報表示方法、光偏向装置および画像投影表示装置 |
| US7423798B2 (en) * | 2005-08-16 | 2008-09-09 | Spatial Photonics, Inc. | Addressing circuit and method for bi-directional micro-mirror array |
| JP2007199101A (ja) * | 2006-01-23 | 2007-08-09 | Fujifilm Corp | 微小電気機械素子アレイ装置及び画像形成装置 |
| WO2012058652A2 (en) | 2010-10-29 | 2012-05-03 | Drexel University | Tunable electro-optic filter stack |
| WO2012037445A2 (en) | 2010-09-17 | 2012-03-22 | Drexel University | Novel applications for alliform carbon |
| EP2284594B1 (en) * | 2009-08-13 | 2013-11-27 | Edward Pakhchyan | Display including waveguide, micro-prisms and micro-mechanical light modulators |
| DE102014208498B4 (de) * | 2014-05-07 | 2024-05-29 | Robert Bosch Gmbh | Montagekörper für Mikrospiegelchips, Spiegelvorrichtung und Herstellungsverfahren für eine Spiegelvorrichtung |
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