TW497360B - Induction charge mirror - Google Patents

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TW497360B
TW497360B TW090103932A TW90103932A TW497360B TW 497360 B TW497360 B TW 497360B TW 090103932 A TW090103932 A TW 090103932A TW 90103932 A TW90103932 A TW 90103932A TW 497360 B TW497360 B TW 497360B
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Kiyoyuki Kawai
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Description

497360 A7 B7 五、發明說明(1 發明背景 本發明係有 鏡裝置上。 數位微鏡裝 力控制微鏡。 在說明D Μ 有關美專利5, 像素(單胞)。 鉸鏈1〇1 支點軸線1 0 5 1 0 2之上表面 及軛1〇2分開 中,二固定電極 表面方之固定位 關感應電荷鏡,可有效應用於例如數位微 置(D M D )稱爲空間光調變器,由靜電 D結構之特色之前,以下參考圖1 ,說明 8 6 7,2 0 2所示之空間光調變器之一 支持一軛 轉動。 ,注意 顯示。 (亦稱 置處, 驅動電路(未顯 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 1 0 2之間,以 動,俾朝左(L 1〇2之傾斜意 驅動電路選 傾斜方向選擇期 調變由鏡施加於 較鍵1〇1 (1 )爲建 成鏡1 0 3及軛 產生一 )轉動 爲鏡角 擇第一 間及第 反射光 具有三 造該空 1〇2 一鏡 爲淸 在以 爲位 唯未 示) 靜電 或右 度之 傾斜 二傾 上。 功能 間光 於預 0 2。軛1 0 2可繞鉸鏈之一 1 0 3由一柱1〇4固定於軛 楚明瞭該圖之構造,鏡1〇3 鉸鏈1 0 1爲中心之對稱位置 址電極)安排於軛1 0 2之下 顯示於圖中。 供應電壓於固定電極之一及軛 力。由如此作,軛1 0 2受驅 (R )轉動方向傾斜。軛 變化。 方向或第二傾斜方向。在第一 斜方向選擇期間之速率上,該 調變器,鉸鏈固定每一像素形 定位置上。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(21〇 X 297公釐) -4- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 線一 497360 A7 B7 五、發明說明(2 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (2 )鉸鏈1 0 1提供一支點’用以變換一方面鏡 1〇3及軛1 0 2,及另一方面固定電極間所產生之線性 方向靜電力爲轉動。 (3 )鉸鏈1 0 1用作導體’用以施加預定之電位於 鏡1〇3及軛1〇2上。 軛1 0 1執行一重要之功能,且爲可由施加較低之電 位在小靜電力下移動,需要小應力之鉸鏈。然而,在此情 2 形,亦需要較長之機械服務壽命,即使轉動非常多之次數 亦然。而且,即使一方向之轉動數及另一方向之轉動數間 有歷史之不同,鉸鏈應力中亦需無滯後現象發生。 鉸鏈需要高度技術◦爲提高空間光調變器之孔徑率’ 提供一雙層複雜之結構,安裝較寬面積之一鏡,以覆蓋軛 1 0 2之蓋及鉸鏈1 0 1。故此,需要多種柱,且故此, 設置非常複雜之微結構。 自以上顯然可知,在製造此裝置中,需要對材料及形 狀使用高度之處理控制及非常高度之製造技術。 發明槪要 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 故此,本發明之目的在提供一種感應電荷鏡,此構成 一轉動鏡,此在無鉸鏈之靜電力下操作,並在較簡單之結 構中達成較大之孔徑率,且容易製造。 爲達成本發明之上述目的,提供一種感應電荷鏡,包 含一絕緣基體;一空間界定於絕緣基體之上表面部份中, 且至少其表面部份由絕緣材料包圍;一平坦鏡導體具有一 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 497360 Α7 Β7 五、發明說明(3 ) -----τ---*----_裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 面積小於該空間之平面形面積,並可傾斜置於該空間內; 一透明電極覆蓋該空間及鏡導體之上面方;第一及第二固 定電極安排於該空間之下表面方,並以平分鏡導體之面積 之一位置爲基準相對設置;用以正常施加一第一電位於透 明電極上之裝置;及用以交替施加第二及第三電位於第一 及第二固定電極上之裝置,以切換鏡導體之傾斜角度。 本發明之其他目的及優點說明於以下,且部份可自該 說明明瞭,或可由實施本發明知道。本發明之目的及優點 可由此後特別指出之工具及組合實現及獲得。 附圖簡述 本說明書中所含並構成其一部份之附圖顯示本發明之 現較佳實施例,聯同以上之一般說明及以下所提之較佳實 施例之詳細說明,用以說明本發明之原理。 圖1爲分解透視圖,顯示普通感應電荷鏡之結構; 圖2爲橫斷面圖,用以說明本發明之一實施例之感應 電荷鏡之基本結構; 圖3爲自上方所視之圖2之感應電荷鏡之斷面圖; 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖4用以說明置於相同電位上之固定電極1 5 A,1 5 B,1 1 ,俾容易明瞭本發明之基本原理; 圖5用以說明平坦導體2 1及2 0間之靜電電容,俾 容易明瞭本發明之基本操作; 圖6用以說明鏡導體1 4之姿態閂定操作,俾容易明 瞭本發明之基本操作原理; 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 497360 A7 __B7 五、發明說明(4 ) Η 7 A及7 B顯不本發明之感應電荷鏡之一單胞中之 電極間之靜電電容; 圖8 A至8 C顯示本發明之感應電荷鏡之鏡導體之姿 態切換操作; 圖9 A及9 B顯示本發明之另一實施例之感應電荷鏡 之鏡導體1 4之實際結構,及本發明之另一實施例之感應 I電荷鏡之空間13之實際形狀; 圖1 0顯示本發明之另一實施例之感應電荷鏡; 圖11顯示本發明之另一實施例之感應電荷鏡;及 圖1 2顯示本發明之另一實施例之感應電荷鏡。主要 元件對照 絕緣基體 玻璃基體 透明電極 空間 鏡導體 固定電極 外部電源 電源 開關 平坦導體 電容器 鉸鏈 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂---------·
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 497360 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明(5 ) 1〇2 軛 10 3 鏡 1 0 4 柱 1 〇 5 支點軸線 發明之簡要說明 以下參考附圖,說明本發明之實施例。 圖2爲斷面圖,顯示本發明之一實施例之一像素之一 部份。圖3爲斷面圖,顯示自上方所視之此像素之該部份 〇 一絕緣基體1 0由絕緣材料所製,具有一透明側壁至 少在其上面處。一透明電極1 2設置於絕緣基體1 0之上 表面上。一玻璃基體1 1設置於透明電極之上表面上。玻 璃基體1 1保護透明電極1 2,且不構成本發明之基本元 件。 絕緣基體1 0具有一空間1 3。空間1 3例如爲平面 方形,並爲低高度。一鏡導體1 4安排於空間1 3中,且 可在上下方向上移動於空間1 3中。鏡導體1 4具有一空 隙在空間1 3中。 在空間13之下面,安排固定電極15A,15B成 分開關係於右/左對稱行列中。 例如,構製一電驅動裝置,如以下所述。 自外部電源1 6施加一電壓V 〇於透明電極1 2上。 來自電源1 7之一電壓V 1供應於開關1 8 A及1 8 B之 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) !· 裝 訂: --線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) -8 - 497360 A7 B7 五、發明說明(6 ) 輸入端X及X上,及開關1 8 A及1 8 B之所屬輸入端γ 及Y接地。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 開關1 8 A及1 8 B之輸出端Z及Z分別連接至開關 1 9 A及1 9 B之輸入端X及X。開關1 9 A及1 9 B之 所屬端端Y及Y接地,開關1 9 A及1 9 B之輸出端連接 至固定電極15A及15B。 雖開關1 8 A。1 8 B及開關1 9 A,1 9 B置於零 電ilA ’但此等亦可置於零電位以外之相同電位。開關1 8 Α及1 8 Β同步操作,及開關1 9 Α及1 9 Β亦同步操作 〇 如以開關1 9 A及1 9 B選擇置於端X及X,及開關 1 8A及1 8 B交替選擇端X及Y,則鏡導體1 4具有其 傾斜方向與此選擇操作同步切換。 以下說本發明之基本操作原理。 首先,考慮固定電極1 5A及1 5 B置於相同電位( 零電位)之情形。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖4顯示一狀態,其中,固定電壓1 5A及1 5 B二 者置於零電位。在圖4中,參考編號1 8用以顯示與固定 電極1 5A及1 5B相對應之電極。在圖4中,鏡導體 1 4置於空間1 3內平行中間狀態中。如在此時’平行透 明電極1 2及電極1 8間之距離由L表示,則電埸E = V 0 / L ( V /m )產生於電極1 8及透明電極1 2之間 〇 如此,一靜電力1 / 2 ε Ο E 2 ( N / m 2 )產生於鏡 ^9- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 497360 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明(7 ) 導體1 4之表面上,但鏡導體1 4並不移動,因其在上下 方向中平衡。然而,此狀態並不穩定。 圖5顯示由平坦導體2 0及2 1所構成之一電容器 2 2之例◦平坦導體2 1之中心及平坦導體2 0間之 距距維持於一高度d。平坦導體2 1故置於在每一面對平 行於平坦導體2 0之一平面傾斜± X之位置。 現使平坦導體2 0及2 1之面積爲S。則電容器2 2 之靜電電容C爲 C = ( a 0S/2x)In(l+x/d)/(l-x/d) 与 U OS/d){ l + l/3)(x/d)2 + (l/5)(x/d)4} ( F )。 自此等式,顯然,隨x之增加,即傾斜增加,靜電電 容增加。此意爲當自外部施加電位於電極上時,產生在斜 增加方向上之靜電力。 故此,如由外部電源施加一電位V 〇於透明電極1 2 及電極1 8上,則在絕緣之空間1 3內,鏡導體1 4在任 一方向上傾斜,並置於休止狀態。此爲在一穩定狀態。如 此,此操作狀態具有傾斜保持效果(機械閂定)。此時, 假定鏡導體1 4之中心及電極1 8分開一距離a。故鏡導 體1 4之中心及透明電極1 2間之距離置於L 一 a。 在此,爲使鏡導體1 4之上面上之電荷分佈近於均勻 ,鏡導體1 4及透明電極1 2間之距離置於較之鏡導體 1 4及電極1 8 ( 1 5 A及1 5 B )間之距離足夠大之距 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 10- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--------訂---------線· ^/360 A7
離。即是L 一 a > a 五、發明說明(8 ) 然後,以下參考圖7A,7B及圖8A至8C,說明 銳導體1 4之傾斜方向,即姿態切換操作。 首先,如顯示於圖7 A,假設鏡導體1 4及透明電極 1 2間之靜電電容爲c 1,及鏡導體1 4及固定電極1 5 A ’ 1 5 B間之靜電電容爲C 2及C 3。則一等效電路如 顯示於圖7 B。 爲使鏡導體1 4上面之電荷分佈近於均勻,鏡導體 1 4及透明電極1 2間之距離置於較之鏡導體1 4及固定 電極1 5 A,1 5 B間之距離足夠大之距離上。 在此,假設鏡導體1 4向固定電極1 5 A方傾斜’且 固定電極1 5A,1 5B二者置於零電位,如顯示於圖8 A。自此狀態,供應一電位V 1於固定電極1 5 A上’如 顯示於圖8 B ^ 鏡導體1 4及透明電極1 2間之靜電電容假定爲c 1 ,及鏡導體1 4及固定電極1 5A,1 5 B閭之靜電電容 假角爲C 2,C 3。及等效電路如顯示於圖7 B ° 在此狀態,鏡導體1 4之感應電位V如以下等式提供 V = (C1V0 + C2V1)/(C1+C2 + C3) 在此,假定電位V 0由外部電源1 6置定’故感應電 位 V = V 1。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 x 297公爱了 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 訂---------線一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 497360 A7 -_ B7 __ 五、發明說明(9 ) 此時,在鏡導體1 4中由靜電感應之電荷之情形爲’ 各別靜電電容之電荷Ql,Q2,及Q3爲: Q 1 = c 1 ( v 1 - v 〇 ) Q 2 =〇 Q 3 - C 3 V 1 一負電荷Q 1產生於鏡導體1 4之上面,且如鏡導體 1 4及透明電極1 2間之距離置於L 一 a > a ,則此提供 大致均勻之電荷分佈。 另一方面,如顯示於圖8 B,由於一電位V 1由電源 1 7施加於固定電極1 5 A上,及一電位V 〇亦施加於電 極1 5 B上,故一正電荷Q 3產生於鏡導體1 4之下面上 。此正電荷並不均勻,且強烈分佈於固定電極1 5 B方。 由於在鏡導體1 4中所產生之此等電荷爲靜電感應者,故 其總和爲零,且故此Q 1 + Q 3 = 0。由此電荷,在鏡導 體1 4之上面上產生每單位面積近於均勻之上面方向之力 ,且如鏡導體1 4之面積之一半爲S,則產生與該一半相 對應之一靜電力F。 F=(Ql)2/(4e〇S) ( N ) 另一方面,在鏡導體1 4之下面上,電荷+Q 3向電 極1 5 B附近方聚集,並產生下面方向之靜電力f。 f=(Q3)2/(2e〇S) ( N ) 如此,在固定電極1 5A方,產生一上面方向之力 f A = F ( N )及 在固定電極1 5 B方’產生一下面方向之力 -----;----- ------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · -線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公f ) -12- 497360 A7 B7 五、發明說明(1〇 ) f B = F— f= — p (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 即是,由f A f B,產生圖中之一右轉矩力,如顯市於圖 8 C,鏡導體1 4具有其固定電極1 5 B側改變至向下狀 態並穩定。鏡導體1 4之電位v (定爲V )如在一預定範 圍中,可產生一轉矩力。 即是,作爲該等效電路之接近解,如 〇1二01(>-\^0),(22 = 02〇-\〇,及(3 3::=:_〇3"^,
則使上面方向之力作用於C 2方之條件爲 I Q2 | <(1/2) | Q1 I 及使下面方向之力作用於C 3方之條件爲 (1/2) I Q1 I < | Q3 | 爲滿足上述條件,各別靜電電容器C 1,C 2 ’及 C 3僅需一方面置於外部電源1 6,外部電源1 7 ’及鏡 導體1 4,以及另一方面透明電極1 2,固定電極1 5A ,及固定電極1 5 B之間。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如上述,當鏡導體1 4之姿態自圖8 A所示之狀態改 變至圖8 B所示之狀態時,已入射於鏡導體1 4之表面上 之一鏡上,及然後自其上反射之光自圖8 A所示之稱爲方 向(通)朝圖8B所示之稱爲方向(斷)移行。 爲使切換之時間最短,僅需在圖8 B中切換之傾斜狀 態上產生一最大靜電力。即是,在此狀態,宜置電位V 〇 於使V = V 1。 此時,V0=V1(C1+C3)/C1。
如圖4所說明,在切換傾斜後,即使固定電極1 5 A 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 497360 A7 -___ — B7 五、發明說明) 之電位V 1置於零(固定電極1 5A及1 5 B置於相同電 位位準,且故此其電極電位可置於V 1而非零),亦維持 相同之傾斜狀態。 在本發明中’由利用靜電感應施加一電位於鏡導體1 4上。故此,鏡導體1 4之電位亦由改變鏡導體1 4及透 明電極1 2間之靜電電容,及鏡導體1 4及固定電極1 5 j A,15B間之靜電電容C2,C3改變。在定置外部電 源1 6,1 7,俾由切換例如傾斜狀態來達成最大狀態之 情形’如鏡導體1 4偶然移動至最接近固定電極1 5 A, 1 5 B固定電極1 5 A,1 5 B之平行狀態,則可能發生 不產生力矩力。在此情形,有一狀態發生,其中,靜電電 容C 1減小,及靜電電容c 2,C 3增加。故此,如此達 成一復置操作,以增加外部電源1 6之電位V 〇,或減小 外部電源1 7之電位V 1,及由如此作,傾斜狀態增加, 且其後,切換可完成至正常狀態。或可使靜電電容C 2, C 3之値不增加至一過度之程度。 圖9 A及9 B各顯示本發明之另一實施例。 圖9 A爲鏡導體1 4之一實際形狀,具有一凸出物1 4 a在其下表面之中央區附近(接近其轉矩軸線)。圖9 B爲〜實際形狀,其中,凸出物(停止件)1 3 a自一空 間;L 3之下表面向鏡導體1 4之下表面之中央區(轉矩軸 線)鄰近伸出。 凸出物1 4 a及停止件1 3 a用以防止靜電電容C 2 ’ C 3之較大變化,且並不用作轉動支點。爲此,此等無 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
裝--------訂---------線J 497360 A7 ___B7____ 五、發明說明(12 ) 需嚴格精確。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在圖2中,當如上定置時’開關1 9 A及1 9 B選擇 輸入端X及X,開關1 8 A及1 8 B切換’使固定電極 1 5 A及1 5 B之電位可交替切換’且由如此作’可切換 鏡導體1 4之傾斜。而且,如固定電極1 5A及1 5 B由 開關1 9 A及1 9 B切換至輸入端Y方而置於一預定電位 ,則鏡導體1 4保持其狀態。 鏡導體1 4之表面設有一鏡’並反射入射光’如由圖 8 A及8 C之虛線所示。如鏡導體1 4採取圖8 A所示之 姿態,則反射光提供輸出光(通)。如固定電極1 5 A及 1 5 B之電位極性反向,且由如此作,鏡導體1 4採取圖 8 C所示之姿態,反射光提供輸出光(斷)。 如上述,如電位V 〇施加於透明電極1 2上’則一電 位v在靜電感應下產生於鏡導體1 4上,且如一電位V 1 或0施加於固定電極1 5 A,1 5 B上’則任一特定方向 之力矩力可產生於鏡導體14上。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明之單胞不施加影響於預定之操作上,即使其結 構並無鉸鏈構造亦然。依據本發明,鏡導體1 4置於絕緣 空間1 3內,及預定之電位施加於透明電極1 2及固定電 極1 5 A,1 5 B上。由如此作,由此非常簡單之結構控 制鏡之角度,且可獲得光之通/斷操作。而且,亦可容易 由使用絕緣空間1 3,即由透明樹脂製造絕緣基1 0,獲 得較大之孔徑率。 雖在以上說明中,使用鏡導體1 4作爲置於絕緣空間 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 x 297公釐) Γ^Γ 497360 A7 B7 五、發明說明(13 ) 1 3內之物件,因爲僅需施加感應電位(電荷)於鏡導體 1 4上,但相同之效果亦可由使鏡導體1 4絕緣獲得。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如使用約1 0至3 0 // m之一金屬鏡作爲鏡導體1 4 ,則可獲得在// S級之姿態切換速度,即使在V 1二5 ( V)及V0=10至20 (V)亦然◦故此,可由使用半 導體晶片構製開關1 8 A,1 8 B,1 9 A,1 9 B,及 固定電極1 5 A,1 5 B,並構製一絕緣空間1 3,鏡導 體1 4,及透明電極1 2於所製之結構上。 圖1 0顯示本發明之另一實施例。此圖顯示一實際結 構,其中,在固定電極(15A,15B)方,設置一第 四電極1 5 C包圍此等固定電極1 5A,1 5 B。如上述 ,本發明之感應電荷鏡之基本操作由適當切換固定電極 1 5 A,1 5 B上之電位執行。電極1 5 C維持於一預定 電位,且在圖10中,連接至電源17,並置於電位VI 。此時,電極1 5 C並不直接有助於鏡導體1 4之傾斜切 換操作,但此有效於靜電屏蔽,以減少來自鄰近相似結構 (單胞)之影響。即是,本發明之感應電荷鏡除固定電極 1 5 A,1 5 B外,另加有例如電極1 5 C。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖1 1顯示本發明之另一實施例。 透明電極1 2,鏡導體1 4,及其下之固定電極1 5 A,1 5 B之基本結構與圖2所示之實施例相同。故此, 此處使用相同之參考編號,以標示與圖2所示相當之部份 或元件。本發明與圖2之實施例不同在於,取代圖2之絕 緣空間1 3者’由導體分隔壁3 0 A,3 0 B界定一空間 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 497360 A7 ___ B7 五、發明說明(14 ) 1 3,鏡導體1 4置於該空間1 3中。電源1 7之電位 V 1提供於導體分隔壁3 0 A,3 Ο B,俾置於較電位 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) V 0爲高之電位上。在本結構中,如鏡導體1 4接觸導體 分隔壁3 0A,3 Ο B,則電源1 7電連接至鏡導體1 4 ,以提供電位V 1於鏡導體1 4。另一方面,如鏡導體 14不接觸導體分隔壁30A,30B,則主要由透明電 極1 2及固定電極1 5A,1 5B之靜電感應下提供一電 位,及鏡導體1 4之傾斜切換操作如以上早前所述執行。 圖1 2顯示一等效結構,其中,在圖1 1昕示之實施 例中,一半導體晶片構造具有一驅動電路附著於絕緣基體 1 0之後表面上。圖1 2並顯示每一部份之大小及詳細角 度値。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 固定電極1 5 A,1 5 B由例如圖案印製於絕緣基體 1 0之後表面上所構成。而且,線性凸出物1 3 a構製於 空間1 3之底表面之中央部份處,及設計考慮到防止鏡導 體1 4移動接近空間1 3之內底表面至較之所需爲大之程 度。在圖1 2中,鏡導體1 4顯示傾斜於角度1 〇 ° ,其 端部移動一距離4 // m。圖1 2並顯示例如入射光及由導 體(金屬鏡)1 4所反射之光間之一角度。此角度在輸出 光(通)時爲20° ,及輸出光(斷)時爲60° ◦自鏡 導體1 4之中心至透明電極1 2之距離爲2 0 // m。 開關1 8 A,1 8 B由一 D式正反器構成,其正相輸 出Q及反相輸出Q分別連接至反或電路1 9 A及1 9 B ( 相當於早前實施例之開關1 9 A及1 9 B )之輸出端X。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 497360 A7 _R7 _ 五、發明說明(15 ) 在機械信號” 0 ”之時刻,D式正反益之輸出供應至電極 1 5 A及1 5 B。爲獲得輸出光(通)’資料置於” 1 ” ,及爲獲得出光(斷),資料置於” 〇 ’’ 。 爲使二電極1 5 A及1 5 B在同一電位上,機械閂信 號置於高位準” 1 ” ,且不管資料如何,鏡導體保持於預 定之傾斜度。 如上述,依據本發明,可提供一感應電荷鏡,此構成 !ί 一轉動鏡,此在無鉸鏈之靜電力下操作,並在較簡單之結 構上達成較大之孔徑率,並容易製造。 精於本藝之人士容易想出其他優點及修改。故此,本 發明在其較廣大方面並不限於此處所示及所述之特定細節 及代表性實施例。故此,可作各種修改,而不脫離後附申 請專利及其等效者所定之本發明一般構想之精神及範圍。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 -線一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) -T8-

Claims (1)

  1. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 497360 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 . 一種感應電荷鏡,包含: 一絕緣基體; 一空間,界定於絕緣基體之上表面部份中,且至少其 表面部份由絕緣材料包圍; 一平坦鏡導體,具有一面積小於該空間之平面形面積 ,並可傾斜置於該空間內; 一透明電極,覆蓋該空間及鏡導體之上面; 第一及第二固定電極,安排於該空間之下表面方,並 以平分鏡導體之面積之一位置爲基準相對設置; 用以正常施加一第一電位於透明電極上之裝置;及 用以交替施加第二及第三電位於第一及第二固定電極 上之裝置,以切換鏡導體之傾斜角度。 2.—種感應電荷鏡,包含: 一絕緣基體; 一空間,界定於絕緣基體之上表面部份中,且至少其 表面部份由絕緣材料包圍; 一平坦鏡導體,具有一面積小於該空間之平面形面積 ,並可傾斜置於該空間內; 一透明電極,覆蓋該空間及鏡導體之上面; 第一及第二固定電極,安排於該空間之下表面方,並 以平分鏡導體之面積之一位置爲基準相對設置; 第一裝置,用以正常施加一第一電位於透明電極上; 第二裝置,用以交替施加第二及第三電位於第一及第 二固定電極上,以切換鏡導體之傾斜角度;及 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂·-------- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) .1Q - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 497360 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 第三裝置,用以同時施加相同之電位於第一及第二固 定電極上,以獲得鏡導體之一傾斜角度。 3 ·如申請專利範圍第1或2項所述之感應電荷鏡, 其中,鏡導體及透明電極間之距離置於較之鏡導體及第一 及第二固定電極間之距離爲大之距離上。 4 ·如申請專利範圍第1或2項所述之感應電荷鏡, 其中,如施加於第一固定電極上之第二電位由V 1表不, 及透明電極及鏡導體間之靜電電容由C 1表示,及鏡導體 及第二固定電極間之靜電電容由C 3表示,則由V 0所提 供並施加於透明電極上之第一電位如以下: V〇=vi (C1 + C3)/C1。 5 ·如申請專利範圍第1或2項所述之感應電荷鏡, 其中,一凸出停止件設置於鏡導體之下表面之中央附近, 或該空間之固定電極方表面之中央附近。 6 ·如申請專利範圍第1或2項所述之感應電荷鏡, 其中,設置一第三固定電極,成分開關係包圍第一及第二 固定電極,並具有屏蔽效果。 7 .如申請專利範圍第1項所述之感應電荷鏡,其中 ,用以交替施加第二及第三電位於第一及第二固定電極上 之裝置設置於一半導體晶片上,附著於絕緣基體之後表面 上。 8 ·如申請專利範圍第2項所述之感應電荷鏡,其中 ,至少第二及第三裝置設置於一半導體晶片上,附著於絕 緣基體之後表面上。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂---------· 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) -20- 497360 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 9 .如申請專利範圍第1或2項所述之感應電荷鏡, 其中,透明電極設置於玻璃基體上。 1〇·如申請專利範圍第1或2項所述之感應電荷鏡 ,其中,該空間整個由絕緣材料包圍。 1 1 .如申請專利範圍第1或2項所述之感應電荷鏡 ,其中,該空間由絕緣材料及導體包圍。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝--------訂---------線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) -21 -
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