KR100389865B1 - 마이크로미러 디바이스 및 이를 채용한 프로젝터 - Google Patents

마이크로미러 디바이스 및 이를 채용한 프로젝터 Download PDF

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Abstract

마이크로미러가 다축으로 기울어짐 가능하게 되어 있어 칼라 스위치 기능을 할 수 있는 마이크로미러 디바이스 및 이를 채용한 프로젝터가 개시되어 있다.
개시된 마이크로미러 디바이스는, 독립적으로 조정할 수 있는 복수개의 마이크로미러를 가진 마이크로미러 디바이스에 있어서, 기판과; 상기 기판에 마련된 전극과; 소정 개수의 제1포스트에 의해 지지되고, 상기 각각의 제1포스트에 지지되는 부분을 힌지점으로 하여 다축의 회전축을 중심으로 기울어짐 가능하게 배치된 지지보;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 본 발명에 따른 마이크로미러 디바이스 및 이를 채용한 프로젝터는 1패널 방식이면서 칼라휠이 필요없기 때문에 칼라휠의 고속회전에 의한 소음과 기계적 운동으로 인한 불안정성이 없고, 생산원가가 절감된다.

Description

마이크로미러 디바이스 및 이를 채용한 프로젝터{A micromirror device and a projector employing it}
본 발명은 마이크로미러를 구동하여 입사광의 반사경로를 변환시킬 수 있도록 된 마이크로미러 디바이스에 관한 것으로서, 특히 마이크로미러가 다축의 회전축을 중심으로 기울어짐 가능하게 되어 있어 칼라 스위치 기능을 할 수 있는 마이크로미러 디바이스 및 이를 채용한 프로젝터에 관한 것이다.
일반적으로 마이크로미러 디바이스는 정전인력에 의해 구동 가능하도록 설치된 복수의 마이크로미러를 포함하여 각 미러의 기울어짐각도 또는 기울어짐방향에 따라 반사각을 달리함으로써 입사되는 광의 반사경로를 변환시킨다. 이 마이크로미러 디바이스는 프로젝션 텔레비전의 화상표시장치, 스캐너, 복사기 및 팩시밀리 등의 광주사장치에 적용된다. 특히, 화상표시장치로 채용시 마이크로미러는 화소 수 만큼 이차원적으로 배열되며, 각각의 마이크로미러를 각 화소에 대한 영상신호에 따라 독립적으로 구동시켜 입사광의 반사각도를 결정함으로써 화상을 생성한다.
도 1을 참조하면, 종래의 마이크로미러 디바이스(5)는 기판(10)과, 이 기판(10) 상에 형성된 어드레스전극(11) 및 랜딩전극(12)과, 포스트(15)에 의해 지지된 마이크로미러(16)와, 상기 마이크로미러(16)와 포스트(15) 사이에 연결되어마이크로미러(16)의 기울어짐시 토션을 받게 되는 토션힌지(15)를 포함하여 구성된다. 상기 랜딩전극(12)에 전압을 인가시 상기 마이크로미러(16)에 전압이 인가된다. 이때, 상기 어드레스전극(11)과 상기 마이크로미러(16) 사이에 걸린 전위차에 의해 발생된 정전인력에 의해 마이크로미러(16)가 가동된다.
도 2를 참조하면, 상술한 바와 같은 종래의 마이크로미러 디바이스를 채용한 프로젝터가 도시되어 있다. 광원(20)으로부터 출사된 빔이 제1콘덴서(22)에 의해 집광되어 칼라휠(25)로 입사된다. 여기에서, 하나의 마이크로미러(16)로 칼라를 구성하기 위해 상기 칼라휠(25)을 고속으로 회전시켜 R,G,B를 순차적으로 마이크로미러(16)에 조명하는 방식으로 칼라화상을 구현한다. 한편, 상기 칼라휠(25)을 통과한 빔은 제2콘덴서(27)를 경유하여 화소 수 만큼의 마이크로미러 디바이스(5)가 배열된 DMD(Digital Micromirror Devise) 칩(30)으로 입사된다. 각 화소에 대한 영상 신호에 따른 DMD 구동에 의해 각각의 마이크로미러(16)가 소정 각도로 기울어지면 각 화소에 대응되는 칼라의 빔이 적당한 각도로 반사되어 프로젝션렌즈(33)로 향하고 이 프로젝션렌즈(33)에 의해 확대된 빔이 스크린(35)에 맺친다.
이 경우, 상기 칼라휠(25)은 고속으로 회전하므로 소음이 발생하고 기계적 운동에 의해 안정성에 불리하며, 칼라휠의 경계 부분에서 광손실이 발생하여 이것을 줄이기 위해서는 아주 작은 빔크기로 광을 포커싱해야만 한다. 그런데 광원이 점광원이 아니고 어느정도의 부피를 가지고 있기 때문에 빔사이즈를 작게 하는데 한계가 있으므로 광손실은 불가피하다. 뿐만 아니라 칼라휠 자체의 단가도 매우 고가이므로 제조비용 상승의 일요인이 된다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 마이크로미러를 다축의 회전축을 중심으로 기울어짐 가능하도록 하여 칼라휠 없이 칼라 스위치 기능을 할 수 있는 마이크로미러 디바이스 및 이를 채용한 프로젝터를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 마이크로미러 디바이스의 단면도,
도 2는 종래의 마이크로미러 디바이스를 채용한 프로젝터의 개략적인 배치도,
도 3은 본 발명에 따른 마이크로미러 디바이스의 분리 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 마이크로미러 디바이스의 단면도,
도 5는 본 발명에 따른 마이크로미러 디바이스의 수평보의 평면도,
도 6은 본 발명에 따른 마이크로미러 디바이스를 채용한 프로젝터의 개략적인 배치도,
도 7은 본 발명에 따른 마이크로미러 디바이스의 미작동시의 상태를 나타낸 도면,
도 8 및 도 9는 본 발명에 따른 마이크로미러 디바이스의 작동 설명도.
<도면 중 주요부분에 대한 부호의 설명>
100...기판 105a,105b,105c,105d...전극
110...제1포스트 120...수평보
122...중앙부 124...스프링
130...마이크로미러 140...마이크로미러 디바이스
150...광원 160...광분기유닛
161,163...제1 및 제2이색미러 162,164...제1 및 제2전반사미러
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 마이크로미러 디바이스는, 독립적으로 조정할 수 있는 복수개의 마이크로미러를 가진 마이크로미러 디바이스에 있어서, 기판과; 상기 기판에 마련된 전극과; 소정 개수의 제1포스트에 의해 지지되고, 상기 각각의 제1포스트에 지지되는 부분을 힌지점으로 하여 다축의 회전축을 중심으로 기울어짐 가능하게 배치된 지지보;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 전극은 상호 마주보는 전극끼리 쌍을 이루어 대칭적으로 배치되고 각 전극마다 두 개씩 한세트로 구비된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 마이크로미러는, 두 개의 회전축을 기준으로 기울어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 회전축은, 상호 직교하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 지지보는, 상기 마이크로미러를 지지하기 위한 제2포스트를 지지하는 중앙부와, 상기 제1포스트와 상기 중앙부 사이에 연결된 두 쌍의 스프링으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 스프링은 점대칭형으로 형성되어 마이크로미러가 기울어질 때 뒤틀림 탄성변형되도록 지그재그형으로 형성된 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 프로젝터는, 광을 조사하는 광원과; 광원으로부터의 광을 파장영역에 따라 분기시켜 서로 다른 각도로 반사 및/또는 투과시키는 광분기유닛과; 상기 광분기유닛을 경유한 입사광을 선택적으로 반사시킬 수 있도록 다축의 회전축을 중심으로 기울어지는 마이크로미러를 소정의 방향 및 각도로 회동시켜 화상을 형성하는 마이크로미러 디바이스와; 상기 마이크로미러 디바이스로부터 입사되는 광이 스크린으로 향하도록 확대투과시키는 투사렌즈유닛;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 마이크로미러 디바이스는, 기판과; 상기 기판에 마련된 전극과; 소정 개수의 제1포스트에 의해 지지되고, 상기 각각의 제1포스트에 지지되는 부분을 힌지점으로 하여 다축의 회전축을 중심으로 기울어짐 가능하게 배치된 지지보와; 상기 지지보에 돌출 형성된 제2포스트와; 상기 제2포스트에 의해 지지되며, 상기 전극과의 상호작용에 의해 기울어지도록 된 마이크로미러;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 마이크로미러 디바이스는, 독립적으로 조정할 수 있는 복수개의 마이크로미러를 가진 마이크로미러 디바이스에 있어서, SRAM이 내장된 기판과; 상기 기판상에 구비되어 정전력에 의해 상기 마이크로미러를 기울어지게 하는 복수개의 전극과; 상기 기판상에 세워진 3개 이상의 포스트와; 상기 포스트에 의해 지지된 지지보;를 포함하고, 상기 마이크로미러가 상기 전극과의 상호작용에 의해 네 방향으로 기울어질 수 있도록 된 것을 특징으로한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마이크로미러 디바이스에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 마이크로미러 디바이스(140)는, 기판(100)과, 이 기판(100)에 마련된 복수개의 전극(105a)(105b)(105c)(105d)과, 제1포스트(110)에 의해 지지되고, 상기 제1포스트(110)에 지지되는 부분을 힌지점으로 하여 다축의 회전축을 중심으로 기울어짐 가능하게 배치된 지지보(120)와, 상기 지지보(120)에 돌출 형성된 제2포스트(125)와, 상기 제2포스트(125)에 의해 지지되며, 그 일면에 입사된 광을 반사시키는 마이크로미러(130)를 포함하여 이루어진다.
상기 기판(100)에는 SRAM이 내장되어 있고, 이 SRAM에 상기 제1포스트(110)가 접속되어 있으며, 상기 제1포스트(110)는 다시 상기 지지보(120)와 제2포스트(125)를 통해 상기 마이크로미러(130)에 연결된다. 따라서, 상기 기판(100)에 전원이 공급되면 상기 제1포스트(110), 지지보(120) 및 제2포스트(125)를 거쳐 상기 마이크로미러(130)에 전원이 인가된다. 또한, 상기 전극(105a)(105b)(105c)(105d) 중 어느 하나에 전압이 인가되면 상기 마이크로미러(130)와의 사이에 정전력이 발생되어 상기 마이크로미러(130)가 기울어진다.
이때, 상기 전극(105a)(105b)(105c)(105d)은 상기 기판(100)의 사방에 상호 대칭적으로 배치되어 상기 마이크로미러(130)가 다축 구동을 할 수 있도록 한다. 예컨대, 상기 마이크로미러(130)가 X축 및 Y축 두 축을 중심으로 기울어지도록 전극을 구성할 수 있다. 또한, 상기 두 축은 상호 직교하도록 구성함으로써 마이크로미러(130)가 네 방향으로 기울어지게 할 수 있다.
즉, 상기 마이크로미러(130)가 상기 전극(105a)(105b)(105c)(105d) 중 서로 마주보는 한 쌍의 전극에 의해 한 축(X-X축)을 중심으로 기울어지게 할 수 있고, 마주보는 다른 쌍의 전극에 의해 다른 축(Y-Y축)을 중심으로 기울어지게 할 수 있다. 따라서, 상기 마이크로미러(130)는 네 방향의 반사각을 선택할 수 있도록 된다.
상기 각각의 전극(105a)(105b)(105c)(105d)은 두 개의 전극이 한세트로 구성되어 구비될 수 있다. 그러면, 상기 마이크로미러(130)가 기울어질 때 다른 방향으로 편향되어 기울어지는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기 지지보(120)는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제2포스트(125)를 지지하는 중앙부(122)와, 상기 각각의 제1포스트(110)와 상기 중앙부(122) 사이에 연결된 두쌍의 스프링(124)으로 이루어진다. 상기 스프링(124)은 상기 마이크로미러(130)가 정전력에 의해 기울어질 때 휨 탄성변형된다. 따라서, 정전력 발생에 의해 상기 마이크로미러(130)가 기울어질 때 그 회전축(X-X축 또는 Y-Y축)상으로 상호 마주보는 각 쌍의 스프링은 뒤틀림 탄성변형이 된다. 이에 따라 정전력 해제시 상기 마이크로미러(130)가 상기 뒤틀림 탄선변형의 복원력에 의해 복원된다. 그리고, 상기 스프링(124)의 복원력과 정전력 사이에 평형을 이루는 지점까지 마이크로미러(130)가 기울어지게 된다. 상기 마이크로미러(130)의 기울기 각도 및 방향은상기 전극의 전압의 크기 및 어느쪽 전극에 전압을 인가하느냐에 따라 결정된다.
한편, 상기 제1포스트(124)는 복수개로 구성되고, 적어도 세 개 이상으로 구성될 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 마이크로미러 디바이스(140)는 다축 구동특히, 2축 구동을 할 수 있어 마이크로미러(130)를 사방으로 기울게 할 수 있다. 이와 같이 구성된 마이크로미러가 복수개 배열되어 각각 독립적으로 기울어지게 조절함으로써 화상을 형성한다.
다음은 상기의 마이크로미러 디바이스를 채용한 프로젝터에 대해 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 마이크로미러 디바이스를 채용한 프로젝터는, 광을 조사하는 광원(150)과, 이 광원(150)으로부터의 빔을 파장영역에 따라 분리시켜 각각 다른 각도로 투과 및/또는 반사시키는 광분기유닛(160)과, 상기 광분기유닛(160)으로부터 각각 분리된 R,G,B 삼색광을 집속 및/또는 발산시킴으로써 입사광의 진행경로를 변환시키는 마이크로미러 디바이스(140)와, 상기 마이크로미러 디바이스(140)로부터의 광이 스크린(170)으로 향하도록 확대 투과시키는 투사렌즈유닛(165) 포함한다.
상기 마이크로미러 디바이스(140)는 마이크로미러(130)를 소정의 기울어짐각도(θ)로 기울어지게 하여 광의 진행경로를 변경한다. 마이크로미러(130)의 회전축이 하나일 때에는 마이크로미러 디바이스에 의해 각 칼라마다 on-off의 두 상태가 선택되었다. 그런데 본 발명에서처럼 회전축이 2개일 때에는 마이크로미러(130)가좌우상하의 네방향으로 기울어짐 가능하므로 칼라휠 없이도 칼라를 구현할 수 있다.
상기 광원(150)은 광을 생성하는 램프(153)와, 이 램프(153)로부터 출사된 광을 반사시켜 그 진행경로를 안내하는 반사경(155)을 포함한다. 상기 반사경(155)은 상기 램프(153)의 위치를 일초점으로 하고 광이 집속되는 지점을 다른 초점으로 하는 타원형이거나, 상기 램프(153)의 위치를 일초점으로 하고 이 램프(153)에서 출사되고 상기 반사경(155)에서 반사된 광이 평행광이 되도록 된 포물경일 수 있다.
상기 광분기유닛(160)은 상기 광원(150)으로부터의 광을 파장영역에 따라 R,G,B삼색으로 분리시키는 것으로, 제1이색미러(161), 제2이색미러(163) 및 한쌍의 제1 및 제2전반사미러(162)(164)를 구비한다. 예를 들어, 상기 제1이색미러(161)는 레드(R) 반사용 이색미러로서 레드 파장영역의 광은 상기 제1전반사미러(162)쪽으로 반사시키는 한편, 나머지 그린(G)과 블루(B) 파장영역의 광은 투과시킨다. 그리고, 상기 제2이색미러(163))는 예를 들어 그린 파장영역의 광을 반사시키고 나머지 광은 투과시키는 그린반사용 이색미러로서, 상기 제1이색미러(161)를 투과한 그린광(G)과 블루광(B)은 상기 제2이색미러(163)로 입사된 후 그린광은 상기 제2전반사미러(164)쪽으로 반사되고 블루광은 그대로 투과된다.
따라서, 상기 레드광은 상기 제1전반사미러(162)에 의해, 상기 그린광은 상기 제2전반사미러(164)에 의해, 그리고 상기 블루광은 상기 제2이색미러(163)에 의해 서로 다른 각도로 마이크로미러 디바이스(140)쪽으로 입사된다. 그러면, R,G,B각각의 서로 다른 입사각과 각각의 입사각에 대응하는 상기 마이크로미러(130)의 경사각에 따라 R,G,B가 선택적으로 상기 투사렌즈유닛(165)에 입사되어 칼라를 구현한다.
도 7은 마이크로미러 디바이스(140)의 미작동시의 준비상태를 도시한 것으로서, R, G, B로 표시된 것은 각각 상기 제2이색미러(163), 제1,2 전반사미러(162)(164)로부터 출사되는 광의 출발점을 도식적으로 나타낸 것이다. 그리고, BALCK로 표시된 것은 블랙화상의 형성을 위한 마이크로미러의 기울기를 정하기 위해 참고용으로 표시한 것이다. 이때, 소정의 기준축(I)에 대해 마이크로미러(130)가 기울지 않은 상태에서는 R,G,B 모두 투사렌즈유닛(165)으로 들어가지 못한다.
한편, 도 8과 같이 상기 마이크로미러(130)가 Y축을 중심으로 도면상 화살표 반대 방향으로 회동하여 기울어질 경우 레드(R)만 투사렌즈유닛(165)으로 들어가고 나머지 다른 색의 광은 투사렌즈유닛(165) 밖으로 발산되어 레드칼라가 구현된다. 또한, 상기 마이크로미러(130)가 Y축을 중심으로 화살표 방향으로 기울어질 경우 블루(B)만 투사렌즈유닛(165)으로 들어가고 나머지 레드나 그린은 투사렌즈유닛(165) 밖으로 발산되어 블루칼라가 된다.
또한, 도 9와 같이 상기 마이크로미러(130)가 X축을 중심으로 도면상 화살표 방향으로 기울어지면 R,G,B 모두 뿐만 아니라 불필요한 표면 반사광도 모두 투사렌즈유닛(165)으로 들어가지 못해 블랙화상이 구현된다. 그리고, 반대방향으로 기울어지면 그린칼라(G)가 된다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 마이크로미러 디바이스를 사용함으로써 상기 전극(105a)(105b)(105c)(105d) 중 어느 전극에 전압을 인가하느냐에 따라 마이크로미러(130)를 사방으로 기울어지게 할 수 있고, 그 기울어진 방향에 따라 R,G,B 칼라를 선택적으로 구현할 수 있으므로 본 발명에서는 칼라휠 없이 마이크로미러 디바이스가 칼라 스위치 작용을 할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 마이크로미러 디바이스 및 이를 채용한 프로젝터는 1패널 방식이면서 칼라휠이 필요없기 때문에 칼라휠의 고속회전에 의한 소음과 기계적 운동으로 인한 불안정성이 없고, 생산원가가 절감된다.
또한, 종래의 1패널 방식의 경우 R,G,B 광을 시간순차적으로 변조해서 보내야 하므로 3패널 방식에 비해 광량이 1/3로 줄어 들고 계속해서 리프레시(refresh)해야 하므로 칼라브레이크현상이 심하다. 그러나 본 발명의 경우 종래 1패널 방식에 비해 광량이 개선된다. 즉, 백색은 1/3로 광량이 줄어 들어 종래와 같지만 단색의 경우 3패널 방식과 동일 광량을 얻을 수 있지만, 두가지 색의 합성색인 경우에는 광량이 2/3로 줄어 들어 종래 1패널 방식에서 1/3로 줄어드는 것에 비해 밝기를 향상할 수 있는 이점이 있다.
뿐만 아니라, 동화상이 아닌 경우 리프레시 빈도가 훨씬 줄어들기 때문에 칼라브레이크 현상을 줄일 수 있다.

Claims (17)

  1. 독립적으로 조절할 수 있는 복수개의 마이크로미러를 가진 마이크로미러 디바이스에 있어서,
    기판과;
    상기 기판에 마련된 전극과;
    소정 개수의 제1포스트에 의해 지지되고, 상기 각각의 제1포스트에 지지되는 부분을 힌지점으로 하여 다축의 회전축을 중심으로 기울어짐 가능하게 배치된 지지보와;
    상기 지지보에 돌출형성되고, 상기 마이크로미러를 지지하는 제2포스트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 전극은 상호 마주보는 전극끼리 쌍을 이루어 대칭적으로 배치되고 각 전극마다 두 개씩 한세트로 구비된 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 마이크로미러는,
    두 개의 회전축을 기준으로 기울어지는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 회전축은,
    상호 직교하는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 지지보는,
    상기 제2포스트를 지지하는 중앙부와,
    상기 제1포스트와 상기 중앙부 사이에 연결된 두 쌍의 스프링으로 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 스프링은 점대칭형으로 형성되어 마이크로미러가 기울어질 때 뒤틀림 탄성변형되도록 지그재그형으로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스.
  7. 광을 조사하는 광원과;
    광원으로부터의 광을 파장영역에 따라 분기시켜 서로 다른 각도로 반사 및/또는 투과시키는 광분기유닛과;
    기판과, 상기 기판에 마련된 전극과, 소정 개수의 제1포스트에 의해 지지되고, 상기 각각의 제1포스트에 지지되는 부분을 힌지점으로 하여 다축의 회전축을 중심으로 기울어짐 가능하게 배치된 지지보와, 상기 지지보에 돌출형성되고, 마이크로미러를 지지하는 제2포스트;를 구비하여, 상기 광분기유닛을 경유한 입사광을 선택적으로 반사시킬 수 있도록 상기 마이크로미러를 전극과의 상호작용에 의해 다축의 회전축을 중심으로 회동시켜 화상을 형성하는 마이크로미러 디바이스와;
    상기 마이크로미러 디바이스로부터 입사되는 광이 스크린으로 향하도록 확대투과시키는 투사렌즈유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로젝터.
  8. 삭제
  9. 제 7항에 있어서, 상기 전극은 상호 마주보는 전극끼리 쌍을 이루어 대칭적으로 배치되고 각 전극마다 두 개씩 한세트로 구비된 것을 특징으로 하는 프로젝터.
  10. 제 7항 또는 제 9항에 있어서, 상기 회전축은,
    두 개의 회전축을 기준으로 기울어지는 것을 특징으로 하는 프로젝터.
  11. 제 10항에 있어서, 상기 회전축은,
    상호 직교하는 것을 특징으로 하는 프로젝터.
  12. 제 7항, 9항 또는 11항에 있어서, 상기 지지보는,
    상기 제2포스트를 지지하는 중앙부와,
    상기 제1포스트와 상기 중앙부 사이에 연결된 두 쌍의 스프링으로 이루어진 것을 특징으로 하는 프로젝터.
  13. 제 12항에 있어서, 상기 스프링은 점대칭형으로 형성되어 마이크로미러가 기울어질 때 뒤틀림 탄성변형되도록 지그재그형으로 형성된 것을 특징으로 하는 프로젝터.
  14. 제 1항에 있어서,
    상기 기판에 SRAM이 내장된 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스.
  15. 제 14항에 있어서, 상기 복수개의 마이크로미러는,
    상기 SRAM에 의해 각각 독립적으로 기울어지는 방향을 조절할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스.
  16. 제 14항 또는 제 15항에 있어서, 상기 마이크로미러는,
    두 개의 회전축을 기준으로 기울어지는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스.
  17. 제 16항에 있어서, 상기 회전축은,
    상호 직교하는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스.
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