KR101235807B1

KR101235807B1 - 프로젝션 디스플레이

Info

Publication number: KR101235807B1
Application number: KR1020060090478A
Authority: KR
Inventors: 키릴 소콜로프; 김대식; 이영철; 알렉세이 보로둘린
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2006-09-19
Filing date: 2006-09-19
Publication date: 2013-02-21
Also published as: CN101517456B; EP2064582A4; KR20080025831A; US8226242B2; EP2064582A1; CN101517456A; US20080068514A1; WO2008035857A1; EP2064582B1

Abstract

프로젝션 디스플레이가 개시된다. 개시된 프로젝션 디스플레이는 복수개의 단색광빔을 조명하는 조명유닛과; 상기 조명된 복수의 광빔을 제1방향을 따라 스캐닝하는 제1스캐너와; 상기 제1스캐너에 의해 스캐닝되는 광빔을 픽셀 단위로 온/오프 제어하는 MEMS소자가 상기 제1방향과 나란한 선형 어레이로 배열된 광변조기와; 상기 제1스캐너와 상기 광변조기 사이에 배치된 것으로, 상기 제1스캐너에 의해 스캐닝되는 광이 입사되는 제1입사동과 상기 광변조기에서 변조된 광빔들이 입사되는 제2입사동을 가지는 F-θ렌즈와; 상기 F-θ렌즈의 제2입사동에 마주하게 배치되어 상기 제2입사동을 경유한 광빔을 상기 제1방향과 수직인 제2방향을 따라 스크린 상에 스캐닝하는 제2스캐너;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

프로젝션 디스플레이{Projection display}

도 1은 본 발명의 제1실시예에 의한 프로젝션 디스플레이를 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 2a는 도 1의 프로젝션 디스플레이를 다른 평면에서 나타낸 도면이고 도 2b는 도 2a의 일부를 확대한 도면이다.

도 3은 픽셀단위로 스크롤링된 광이 광변조기에서 변조되어 화상을 형성하는 원리를 설명하는 도면이다.

도 4는 제2실시예로서 광변조기로 마이크로 미러를 채용한 프로젝션 디스플레이를 보이는 도면이다.

도 5는 도 4의 프로젝션 디스플레이에 채용된 광변조기를 보이는 도면이다.

도 6a 및 도 6b는 도 5의 광변조기에 채용된 마이크로미러가 광을 온 및 오프 상태로 변조하는 원리를 설명하는 도면이다.

도 7은 제3실시예로서 광변조기로 그레이팅 소자를 채용한 프로젝션 디스플레이를 보이는 도면이다.

도 8a 및 도 8b는 도 7의 광변조기에 채용된 GEMS 소자가 광을 온 및 오프 상태로 변조하는 원리를 설명하는 도면이다.

도 9는 프로젝션 디스플레이의 제4실시예를 보이는 도면이다.

도 10은 프로젝션 디스플레이의 제5실시예를 보이는 도면이다.

도 11은 제5실시예의 프로젝션 디스플레이가 화상을 형성하는 것을 3D 시뮬레이션을 이용하여 도시한 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

120,220,320,420,520...조명유닛 140,240,340,440,540...제1스캐너

150,250,350...F-θ렌즈 160,260,360,460,560...광변조기

262...마이크로 미러 362...그레이팅 소자

170,270,370,470,570...제2스캐너 380,480...섀도우마스크

590...코렉션 렌즈 452,454...제1,제2 F-θ렌즈

본 발명은 복수의 단색광을 화상정보에 대응되도록 변조시켜 스크린에 확대투사하여 칼라화상을 표시하는 프로젝션 디스플레이에 관한 것으로서, 광효율이 높고 소형화가 가능한 구조의 프로젝션 디스플레이에 관한 것이다.

프로젝션 디스플레이는 광을 조명하는 조명유닛과 조명된 광을 스크롤 하는 스크롤링 유닛 및 광을 화상정보에 대응되도록 변조시키는 광변조기를 포함한다. 광변조기로는 액정(Liquid crystal)패널, DMD(Digital micromirror device)패널 등이 채용되며, 채용되는 패널의 수에 따라 단판식(single panel type) 또는 삼판식(three panel type)으로 분류된다.

단판식 프로젝션 디스플레이의 경우 백색광을 조사하는 광원과 조사된 백색광으로부터 컬러필터를 사용하여 적색, 녹색, 청색광을 시간 순차적으로 분리하여 사용하므로 광효율이 낮다. 삼판식 프로젝션 디스플레이의 경우 백색광을 조사하는 광원과 조사된 백색광을 적색, 녹색, 청색광으로 분리하는 복수의 다이크로익 미러와 복수의 디스플레이 패널 및 색합성유닛을 포함하게 되며, 채용되는 광부품수가 많아져서 벌키한 구조가 된다.

또한, 스크롤링 유닛으로는 회전 스파이럴 렌즈나 회전 프리즘이 사용되는데, 스파이럴 렌즈는 크기가 커서 소형화에 부적절하며 회전 프리즘은 색 깨짐(color break-up)을 유발할 수 있다는 단점이 있다.

본 발명은 상기한 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 광효율이 높으면서도 소형화가 가능한 구조의 프로젝션 디스플레이를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 프로젝션 디스플레이는 복수개의 단색광빔을 조명하는 조명유닛과; 상기 조명된 복수의 광빔을 제1방향을 따라 스캐닝하는 제1스캐너와; 상기 제1스캐너에 의해 스캐닝되는 광빔을 픽셀 단위로 온/오프 제어하는 MEMS소자가 상기 제1방향과 나란한 선형 어레이로 배열된 광변조기와; 상기 제1스캐너와 상기 광변조기 사이에 배치된 것으로, 상기 제1스캐너에 의해 스캐닝되는 광이 입사되는 제1입사동과 상기 광변조기에서 변조된 광빔들이 입사되는 제2입사동을 가지는 F-θ렌즈와; 상기 F-θ렌즈의 제2입사동에 마 주하게 배치되어 상기 제2입사동을 경유한 광빔을 상기 제1방향과 수직인 제2방향을 따라 스크린 상에 스캐닝하는 제2스캐너;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 조명유닛은 복수개의 레이저 광원과 상기 복수개의 광원에서 조사된 각각의 광빔을 콜리메이팅하는 복수개의 콜리메이터와; 상기 콜리메이팅 된 각각의 광빔이 상기 제1스캐너를 향하도록 경로를 바꾸는 엑스큐브 프리즘;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기 복수개의 레이저 광원은 상기 제1스캐너에 입사되는 상호 인접하는 단색광빔의 입사각 차이가 소정의 값 △θ를 갖는 것을 특징으로 한다.

상기 △θ는 픽셀 피치에 대응하는 값을 갖는 것을 특징으로 한다.

상기 광변조기는 상기 F-θ렌즈의 초점면에 배치되는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프로젝션 디스플레이를 상세히 설명하기로 한다. 그러나 아래에 예시되는 실시예는 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니며, 본 발명을 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 충분히 설명하기 위해 제공되는 것이다. 이하의 도면들에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 도면상에서 각 구성요소의 크기는 설명의 명료성과 편의상 과장되어 있을 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 의한 프로젝션 디스플레이를 개략적으로 나타내며, 도 2a는 도 1을 다른 평면에서 나타내며, 도 2b는 도 2a의 조명유닛(120)을 확대하여 보인 도면이다. 또한, 도 3은 픽셀단위로 스크롤링된 광이 광변조기에서 변조되어 화상을 형성하는 원리를 설명하는 도면이다. 도면들을 참조하면, 프로젝 션 디스플레이(100)는 조명유닛(120)과 제1스캐너(140)와 F-θ렌즈(150)와 광변조기(160) 및 제2스캐너(170)를 포함한다.

조명유닛(120)은 복수개의 단색광빔을 조명하는 것으로, 예를 들어 적색광(R), 녹색광(G), 청색광(B)을 조사하는 제1광원, 제2광원 및 제3광원(122R,122G,122B)과, 상기 복수개의 광원(122R,122G,122B) 각각에 마주하게 배치되어 광을 콜리메이팅 하는 콜리메이터(124R,124G,124B)와, 상기 콜리메이팅 된 광의 경로를 바꾸어 제1스캐너(140)로 향하게 하는 엑스큐브 프리즘(128)을 포함하여 이루어진다. 상기 복수개의 광원(122R,122G,122B)은 레이저 광원이 될 수 있으며, 레이저 광원으로는 레이저 다이오드, VCSEL(Vertical cavity surface emitting laser), 또는 마이크로 레이저가 채용될 수 있다. 엑스큐브 프리즘(128)은 광을 파장에 따라 투과 또는 반사시키는 적색 및 청색 다이크로익 미러(128a,128b)를 포함하고 있어 입사된 칼라광의 경로를 바꾸는 것이다. 여기서, 엑스큐브 프리즘(128)을 구성하는 적색 다이크로익 미러(128a) 및 청색 다이크로익 미러(128b)의 배치는 예시적인 것이며 상호 바뀔 수도 있다. 제1광원(122R) 및 제3광원(122B)은 엑스큐브 프리즘(128)에 대해 소정각도, △θ만큼 기울어지게 배치되고 제2광원(122G)은 엑스큐브 프리즘(128)과 나란하게 배치된다. 따라서, 엑스큐브 프리즘(128)을 경유한 적색광(R), 청색광(B)은 제1스캐너(140)에 입사될 때 녹색광(G)의 입사각에 비해 각각 +△θ, -△θ만큼의 입사각 차이를 가지게 된다. 엑스큐브 프리즘(128)을 구성하는 적색 다이크로익 미러(128a) 및 청색 다이크로익 미러(128b)의 배치가 바뀐 경우라면, 적색광(R) 및 청색광(B)은 제1스캐너(140)에 입사될 때 녹색광(G)의 입사각에 비해 각각 -△θ, +△θ만큼의 입사각 차이를 가지게 될 것이다. △θ는 후술하는 바와 같이 픽셀 피치에 알맞는 값이 되도록 결정되게 된다.

제1스캐너(140)는 입사된 광빔들을 제1방향으로 스캐닝하는 것이다. 도면에서 제1방향은 화살표 A로 표시하였고, -Y방향에 해당한다. 제1스캐너(140)로는 예를 들어 마이크로 미러를 포함하여 이루어지는 MEM 스캐너 (micro electromechanical scanner)가 채용될 수 있다. 제1스캐너(140)는 회전축을 X축으로 하여 소정 각도 범위로 진동함으로써 입사된 광을 Y축을 따라 스캐닝하게 된다.

F-θ렌즈(150)는 제1스캐너(140)에 의한 비선형효과를 보상하여 광변조기(160)에 일정한 간격으로 광이 입사되게 하며 또한 광변조기(160)에 의해 변조된 광을 제2스캐너(170)를 향하도록 포커싱하는 것이다. 이를 위하여 F-θ렌즈(150)의 입사동(entrance pupil)은 제1입사동(150-1)과 제2입사동(150-2)의 두 부분으로 나누어진다. 제1입사동(150-1)은 제1스캐너(140)와, 제2입사동(150-2)은 제2스캐너(170)와 마주하도록 배치되어 있다.

광변조기(160)는 광을 온/오프 제어하는 MEMS(micro electromechanical system) 소자(미도시)가 제1스캐너(140)의 스캐닝 방향을 따라 선형 어레이로 배열되어 이루어진다. MEMS 소자로는 마이크로 미러를 이용하는 DMD(digital micromirror device)소자, TMA(thinfilm micromirror array-actuated)소자 등이 채용될 수 있다. 또한, 그레이팅소자를 이용하는 GEMS(grating electomechanical system)소자, GLV(grating light valve)소자 등이 채용될 수 있다.

제2스캐너(170)는 F-θ렌즈(150)의 제2입사동(150-2)에 마주하게 배치되어 광빔을 제2방향을 따라 스캐닝하여 스크린(S) 상에 화상을 형성한다. 제2방향은 제1방향과 수직인 방향이 되며 화살표 B로 표시하였고, 도면에서 Z방향에 해당한다. 제2스캐너(170)는 예를 들어 MEM 스캐너(micro electromechanical scanner)가 채용될 수 있으며, Y축을 회전축으로 하여 소정 각도 범위로 진동함으로써 광빔을 스크린(S)상에 Z방향을 따라 스캐닝한다.

본 발명의 프로젝션 디스플레이가 스크린 상에 화상을 투사하는 작용을 설명하면 다음과 같다. 제1 내지 제3광원(122R, 122G,122B)에서 조사된 R,G,B 광은 제1 내지 제3광원(122R, 122G,122B)에 마주하게 배치된 제1 내지 제3콜리메이터(124R, 124G,124B)에 의해 평행빔으로 정형되어 엑스큐브 프리즘(128)으로 입사한다. 제2광원(122G)은 엑스큐브 프리즘(128)에 나란하게 배치되어 있다. 녹색광은 적색 다이크로익 미러(128a)와 청색 다이크로익미러(128b)를 경로 변환없이 그대로 투과한다. 제1광원(122R) 및 제3광원은 엑스큐브 프리즘(128)에 대해 소정 각도, Δθ로 기울어지게 배치되어 있다. 따라서, 적색광(R) 및 청색광(B)이 각각 적색 다이크로익미러(128a)와 청색 다이크로익미러(128b)에 의해 경로를 바꿀 때 녹색광(G)과는 소정 경로차를 가지게 되며 제1스캐너(170)에 입사하는 입사각은 ±Δθ 만큼 차이가 나게 된다. 제1스캐너(170)는 X축을 회전축으로 하여 소정 각도 범위로 진동함으로써 제1스캐너(170)에 입사된 광빔을 Y 방향을 따라 스캐닝한다. 도 3에서 도시한 바와 같이 시간이 t₁에서 t₃로 경과함에 따라 제1스캐너(170)는 각 φ₁인 위치에서 φ₃인 위치로 회전한다. 이에 의해 광변조기(160)에 도달하는 R,G,B광은 화살 표 A 방향을 따라 Δy 만큼씩 이동하게 된다. 광변조기(160)는 도달된 광을 화상정보에 대응하여 온/오프 제어하여 밝은 픽셀 또는 어두은 픽셀을 형성하며, 이들의 조합으로 화상이 형성되게 된다. 상기 R,G,B 광이 광변조기(160)에 도달하는 간격, Δy는 픽셀 피치가 되며 f-θ렌즈(150)의 초점거리(f) 및 Δθ에 의해 결정된다. 예를 들어 광변조기가 f-θ렌즈(150)의 초점면(focal plane)에 마련되는 경우, △y는 △y=fㆍ△θ 의 식에 따른다. 광변조기(160)에서 변조된 광은 F-θ렌즈(150)의 제2입사동(150-2)으로 입사된 후 제2스캐너(170)로 입사된다. 광변조기(160)에 의해 변조된 광은 F-θ렌즈(150)의 제2입사동(150-2)을 통해 입사되어 포커싱 된 후 제2스캐너(170)에 입사된다. 제2스캐너(170)는 Y축을 회전축으로 진동하며 이에 의해 입사된 광빔을 이번에는 제1스캐너(140)의 스캔방향과 수직인 Z축을 따라 스캔함으로써 스크린(S)상에 화상을 형성하게 된다.

도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 프로젝션 디스플레이를 나타낸 도면이고 도 5는 도 4의 프로젝션 디스플레이에 채용된 광변조기를 나타낸다. 또한, 도 6a 및 도 6b는 도 5의 광변조기가 광을 온/오프 제어하는 원리를 설명하는 도면이다. 도면들을 참조하면, 프로젝션 디스플레이(200)는 조명유닛(220)과 제1스캐너(240)와 F-θ렌즈(250)와 광변조기(260), 섀도우마스크(280) 및 제2스캐너(270)를 포함한다. 조명유닛(220), 제1스캐너(240), F-θ렌즈(250) 및 제2스캐너(270)는 제1실시예에서 설명한 동일 명칭의 부재들과 실질적으로 동일하다. 광변조기(260)은 마이크로 미러(262)가 선형으로 배열되어 이루어져 있다. 마이크로 미러(262)는 정전기력에 의해 상기 배열된 방향에 대해 틸트(tilt) 구동이 가능하다. 도 6a를 참조 하면, 마이크로 미러(262)가 틸트되지 않은 상태일 때, 입사된 광은 스크린을 향하는 방향으로 반사되어 온 상태의 광(I_on), 즉 밝은 픽셀을 형성하게 된다. 도 6b를 참조하면, 마이크로 미러(262)가 틸트 구동된 상태일 때, 입사된 광은 스크린을 향하지 않는 방향으로 반사되어 오프 상태의 광(I_off), 즉, 어두운 픽셀을 형성하게 된다. 오프 상태로 변조된 광(I_off)이 스크린(S)을 향하지 않도록 효과적으로 차단하기 위해 F-θ렌즈(250)의 전방에 섀도우마스크(280)가 구비될 수 있다. 섀도우마스크(280)가 마련되는 위치는 도시한 예에 한정되지 않으며, 오프 상태의 광을 효과적으로 차단할 수 있는 위치이면 어느 곳이든 무방하다. 예를 들어 F-θ렌즈(250)의 후방에 마련되는 것도 가능하다.

도 7는 본 발명의 제3실시예에 따른 프로젝션 디스플레이를 나타낸 도면이고 도 8a 및 도 8b는 도 7의 프로젝션 디스플레이에 채용된 광변조기가 광을 온/오프 제어하는 원리를 설명하는 도면이다. 도면들을 참조하면, 프로젝션 디스플레이(300)는 조명유닛(320)과 제1스캐너(340)와 F-θ렌즈(350)와 광변조기(360), 섀도우마스크(380) 및 제2스캐너(370)를 포함한다. 조명유닛(320), 제1스캐너(340), F-θ렌즈(350) 및 제2스캐너(370)는 제1실시예에서 설명한 동일 명칭의 부재들과 실질적으로 동일하다. 광변조기(360)는 그레이팅 소자(362)가 Y방향을 따라 반복적으로 배열되어 이루어진다. 그레이팅 소자(362)는 기판(363)과 전극(364)과 금속막(365)이 코팅된 리본층(366)을 포함한다. 도 8a를 참조하면, 금속막(365)과 전극(364) 사이에 전압이 인가되지 않아 정전기력이 작용하지 않는 상태에서 리본 층(366)은 기판(363)에 대해 일정한 높이를 유지하며 입사된 광에 대해 플랫 미러로 작용한다. 즉, 입사된 광은 0차 회절광의 형태로 반사되어 스크린(S)을 향하는 온 상태의 광(I_on)으로 변조된다. 도 8b를 참조하면, 금속막(365)과 전극(364) 간에 전압이 인가되면 리본층(363)은 정전력에 의해 전극(364) 쪽으로 편향됨으로써 그레이팅을 형성하게 된다. 이에 의해 입사된 광은 회절되어 ±1차, ±2차,...이상으로 회절된다. ±1차광 이상의 회절광은 스크린(S)을 향하지 않도록 차단되어 어두운 픽셀을 형성하는 오프 상태의 광(I_off)으로 변조된다. 이러한 오프 상태의 광(I_off)이 효과적으로 차단되도록 F-θ렌즈(350)의 후방에는 섀도우마스크(380)가 구비될 수 있다. 섀도우마스크(380)가 마련되는 위치는 도시한 예에 한정되지 않으며, 오프 상태의 광을 효과적으로 차단할 수 있는 위치이면 어느 곳이든 무방하다. 예를 들어 F-θ렌즈(350)의 전방에 마련될 수도 있다.

도 9는 본 발명의 제4실시예에 따른 프로젝션 디스플레이를 나타낸 도면이다. 도면을 참조하면, 프로젝션 디스플레이(400)는 조명유닛(420)과 제1스캐너(440)와 제1 F-θ렌즈(452)와 광변조기(460), 제2 F-θ렌즈(454) 및 제2스캐너(470)를 포함한다. 조명유닛(420), 제1스캐너(440), 광변조기(460) 및 제2스캐너(470)는 제1실시예에서 설명한 동일 명칭의 부재들과 실질적으로 동일하다. 제1 F-θ렌즈(452)는 제1스캐너(440)에 의해 스캐닝되어 입사되는 광빔을 선형인 간격을 갖도록 보상하는 것이다. 제2 F-θ렌즈(454)는 광변조기(460)에 의해 온 상태로 변조되어 입사된 광빔을 제2스캐너(470)를 향하도록 포커싱하는 것이다. 제1실시예 의 경우 하나의 F-θ렌즈에 의해 수행되던 작용을 두 개의 F-θ렌즈를 통해 달성한다는 점에서 차이가 있다.

도 10은 본 발명의 제5실시예에 따른 프로젝션 디스플레이를 나타낸 도면이다. 제1실시예와 다른 구성은 동일하며 제2스캐너(570)와 스크린(S) 사이에 코렉션 렌즈(590)를 더 포함하고 있다. 코렉션 렌즈(590)는 제2스캐너(570)에 의해 스캐닝 될 때 비선형 효과에 의해 스크린에 형성되는 화상에 생길 수 있는 일그러짐(distortion)을 보상하기 위한 것이다. 코렉션 렌즈(590)로는 예를 들어 F-θ렌즈가 채용될 수 있다.

도 11은 제5실시예의 프로젝션 디스플레이에 의해 화상이 투사되는 것을 3차원 시뮬레이션 결과를 이용하여 나타낸 도면이다. 도면에 나타난 바와 같이 코렉션 렌즈를 더 포함하는 제5실시예의 프로젝션 디스플레이는 제1방향(Y) 및 제2방향(Z) 모두에 대해 일그러짐이 없는 화상을 형성하게 된다.

본 발명에 따른 프로젝션 디스플레이는 다음과 같은 장점이 있다.

첫째, 삼판식 프로젝션 디스플레이에 비해 광부품의 수가 작으면서도 종래의 단판식 프로젝션 디스플레이에 비해 광효율이 높은 구조이다.

둘째, 회전 프리즘과 같은 벌키한 부품이 채용되지 않아 진동이 작으며 또한 보다 컴팩트한 구성을 갖는다.

상기한 실시예들은 예시적인 것에 불과한 것으로, 당해 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라 서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위 내에서 정해져야만 할 것이다.

Claims

복수개의 단색광빔을 조명하는 조명유닛;

상기 조명된 복수의 광빔을 제1방향을 따라 스캐닝하는 제1스캐너;

상기 제1스캐너에 의해 스캐닝되는 광빔을 픽셀 단위로 온/오프 제어하는 MEMS소자가 상기 제1방향과 나란한 선형 어레이로 배열된 광변조기;

상기 제1스캐너와 상기 광변조기 사이에 배치된 것으로, 상기 제1스캐너에 의해 스캐닝되는 광이 입사되는 제1입사동과 상기 광변조기에서 변조된 광빔들이 입사되는 제2입사동을 가지는 F-θ렌즈;

상기 F-θ렌즈의 제2입사동에 마주하게 배치되어 상기 제2입사동을 경유한 광빔을 상기 제1방향과 수직인 제2방향을 따라 스크린 상에 스캐닝하는 제2스캐너;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로젝션 디스플레이.
제1항에 있어서,

상기 조명유닛은,

복수개의 레이저 광원;

상기 복수개의 광원에서 조사된 각각의 광빔을 콜리메이팅하는 복수개의 콜리메이터;

상기 콜리메이팅 된 각각의 광빔이 상기 제1스캐너를 향하도록 경로를 바꾸는 엑스큐브 프리즘;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로젝션 디스플 레이.
제2항에 있어서,

상기 복수개의 레이저 광원은

상기 제1스캐너에 입사되는 상호 인접하는 단색광빔의 입사각 차이가 소정의 값 △θ를 갖도록 배치되는 것을 특징으로 하는 프로젝션 디스플레이.
제3항에 있어서,

상기 △θ는 픽셀 피치에 대응하는 값을 갖는 것을 특징으로 하는 프로젝션 디스플레이.
제2항에 있어서,

상기 레이저 광원은 레이저 다이오드, VCSEL, 또는 마이크로 레이저을 채용하는 것을 특징으로 하는 프로젝션 디스플레이.
제1항에 있어서,

상기 제1스캐너는 마이크로 미러를 채용한 MEM 스캐너인 것을 특징으로 하는 프로젝션 디스플레이.
제1항에 있어서,

상기 광변조기는 상기 F-θ렌즈의 초점면에 배치되는 것을 특징으로 하는 프로젝션 디스플레이.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 MEMS소자는 상기 제1방향에 대해 틸트 방향으로 구동 가능한 마이크로 미러인 것을 특징으로 하는 프로젝션 디스플레이.
제8항에 있어서, 상기 마이크로 미러는,

틸트되지 않은 상태에서 광빔을 스크린을 향하는 방향으로 반사시켜 온 상태의 픽셀을 형성하고,

틸트 상태에서 광빔을 스크린을 향하지 않는 방향으로 반사시켜 오프 상태의 픽셀을 형성하는 것을 특징으로 하는 프로젝션 디스플레이.
제9항에 있어서,

상기 광변조기에 의해 오프 상태로 변조된 광이 상기 제2입사동으로 입사되지 않도록 차단하는 섀도우마스크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로젝션 디스플레이.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 MEMS소자는 정전기력에 의해 편향 구동되는 그레이팅 소자인 것을 특징 으로 하는 프로젝션 디스플레이.
제11항에 있어서, 상기 그레이팅 소자는,

정전기력이 작용하지 않는 상태에서 플랫미러로 작용하여 광빔을 스크린을 향하는 방향으로 반사시켜 온 상태의 픽셀을 형성하고,

정전기력이 작용하는 상태에서 회절격자를 형성하여 ±1차광 이상의 회절광을 스크린을 향하지 않는 방향으로 발생시켜 오프 상태의 픽셀을 형성하는 것을 특징으로 하는 프로젝션 디스플레이.
제12항에 있어서,

상기 광변조기에 의해 오프 상태로 변조된 광이 상기 제2입사동으로 입사되지 않도록 차단하는 하는 섀도우마스크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로젝션 디스플레이.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제2스캐너는 마이크로 미러를 채용한 MEM 스캐너인 것을 특징으로 하는 프로젝션 디스플레이.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제2스캐너와 스크린 사이에 배치된 것으로, 상기 제2스캐너에 의해 스 캐닝된 광빔의 경로를 보정하는 코렉션 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로젝션 디스플레이.
복수개의 단색광빔을 조명하는 조명유닛;

상기 조명된 복수의 광빔을 제1방향을 따라 스캐닝하는 제1스캐너;

상기 제1스캐너에 의해 스캐닝되어 입사되는 광빔을 선형인 간격을 갖도록 보상하는 제1 F-θ렌즈;

상기 제1스캐너에 의해 스캐닝되는 광빔을 픽셀 단위로 온/오프 제어하는 MEMS소자가 상기 제1방향과 나란한 선형 어레이로 배열된 광변조기;

상기 광변조기에 의해 온 상태로 변조되어 입사된 광빔을 포커싱하는 제2 F-θ렌즈;

상기 제2 F-θ렌즈와 마주하게 배치되어 상기 제2 F-θ렌즈를 경유한 광빔을 상기 제1방향과 수직인 제2방향을 따라 스크린 상에 스캐닝하는 제2스캐너;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로젝션 디스플레이.