KR950702714A - 포지티브 작용성 방사선 민감성 혼합물 및 이로부터 제조된 기록물질 (Positive-acting radiation-sensitive mixture and recording material produced therewith) - Google Patents

포지티브 작용성 방사선 민감성 혼합물 및 이로부터 제조된 기록물질 (Positive-acting radiation-sensitive mixture and recording material produced therewith) Download PDF

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Abstract

본 발명은 물에 불용성이지만 알칼리 수용액에는 가용성인, 적어도 팽윤성인 결합제 (a), 화학선의 작용하에 산을 형성하는 화합물(b) 및 산에 의해 분해될 수 있는 C-O-C또는 C-O-Si결합을 하나 이상 가진 화합물(c)을 포함하고, 화합물(b)로부터 이론적으로 형성될 수 있는 산의 최대량을 기준으로 하여, 아민 또는 아미드 결합에 질소원자가 하나 이상 존재하는 하나 이상의 화합물을 추가로 0.1내지 70mol% 함유하는 방사선 민감성 혼합물에 관한 것이다. 아민 또는 아미드 결합에 질소원자가 하나 이상 존재하는 화합물의 함량은, 화합물(b)로부터 이론적으로 형성될 수 있는 산의 최대량을 기준으로 하여, 바람직하게는 0.5내지 50mol%, 특히 바람직하게는 1내지 40mol%이다. 화합물의 비점은 대기압에서 100℃이상, 바람직하게는 150℃이상, 특히 바람직하게는 150℃이상이다. 혼합물은 특히 전자부품의 제조에 사용된다. 본 발명은 또한 기재와 방사선 민감성 피막으로 이루어진 기록물질에 관한 것이다.

Description

포지티브 작용성 방사선 민감성 혼합물 및 이로부터 제조된 기록물질 (Positive-acting radiation-sensitive mixture and recording material produced therewith)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (8)

  1. 물에 불용성이지만 알칼리 수용액에는 가용성이거나 적어도 팽윤성인 결합제(a), 화학선의 작용하에 산을 형성하는 화합물(b) 및 산에 의해 분해될 수 있는 C-O-C 또는 C-O-Si 결합을 하나 이상 가진 화합물 (c)을 포함하는 방사선 민감성 혼합물로서, 화합물(b)로부터 이론적으로 형성될 수 있는 산의 최대량을 기준으로 하여, 아민 또는 아미드 결합에 질소원자가 하나 이상 존재하는 하나 이상의 화합물을 추가로 0.1 내지 70mol% 포함하는 방사선 민감성 혼합물.
  2. 제1항에 있어서, 아민 또는 아미드 결합에 질소원자가 하나 이상 존재하는 화합물의 함량이, 화합물(b)로부터 이론적으로 형성될 수 있는 산의 최대량을 기준으로 하여, 0.1 내지 70mol%, 바람직하게는 0.5 내지 50mol%, 특히 바람직하게는 1내지 40mol%인 방사선 민감성 혼합물.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 아민 또는 아미드 결합에 질소원자가 하나 이상 존재하는 화합물의 비점이 대기압에서 100℃이상, 바람직하게는 150℃이상, 특히 바람직하게는 180℃이상인 방사선 민감성 혼합물.
  4. 제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서, 아민 또는 아미드 결합에 질소원자가 하나 이상 존재하는 화합물이 계면활성 특성을 갖는 방사선 민감성 혼합물.
  5. 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서, 결합제 또는 결합제 혼합물(a)의 비율이, 각각의 경우, 혼합물중 비휘발성 성분의 총 중량을 기준으로 하여, 약 1내지 90중량%, 바람직하게는 50내지 90중량%인 방사선 민감성 혼합물.
  6. 제1항 내지 제5항 중의 어느 한 항에 있어서, 산 형성 화합물(들) (b)의 비율이, 각각의 경우, 혼합물중 비휘발성 성분의 총 중량을 기준으로 하여, 0.01 내지 7중량%, 바람직하게는 0.05 내지 5중량%인 방사선 민감성 혼잡물.
  7. 제1항 내지 제6항 중의 어느 한 항에 있어서, 산 분해 가능한 화합물(들)의 비율이, 각각의 경우, 혼합물 중 비휘발성 성분의 총 중량을 기준으로 하여, 1내지 50중량%, 바람직하게는 5내지 35중량%인 방사선 민감성 혼합물.
  8. 기재와 기재 위에 존재하는 방사선 민감성 피막(여기서, 피막은 제1항 내지 제7항 중의 어느 한 항에서 청구한 바와 같은 본 발명에 따르는 혼합물을 포함한다)으로 이루어진 방사선 민감성 기록물질.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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