KR950035058A - 표면파(saw)장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 페이스 다운 본딩에 의해 베이스 기판상에 고정되어 있는 SAW 소자(1)와, SAW 소자를 둘러싸기 위하여 베이스 기판에 접합되어 있는 캡을 구비하고 있는 SAW 장치에 관한 것이다. 본 발명의 SAW 장치는, SAW 소자(1)의 IDT(5a, 5b)에 접속되어 있는 복수개의 입출력 전극들 중에서, IDT(5a, 5b)가 배치된 영역의 일측에 형성된 제1의 입출력 전극(7a)과 다른 측에 형성된 입출력 전극(8a) 사이의 중심간 거리 L2와, IDT(5a, 5b)의 도파로 방향으로의 양외측 말단간의 거리 L3와의 사이에 관계식 L2<3.5×L3를 만족한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 첫번째 실시예에 따른 SAW 장치의 구조를 도식적으로 보여주는 단면도이다, 제2도는 본 발명의 첫번째 실시예에 따른 SAW 장치에 사용되는 2-포트형 SAW 공진자의 평면도이다, 제3도는 IDT를 도식적으로 설명하는 평면도이다, 제4도는 본 발명의 첫번째 실시예에 따른 SAW 장치에서, 입출력 전극간의 거리 L2와, 중심 주파수의 이동량 및 단선 불량율과의 관계를 나타낸 도면이다.
Claims (8)
- 압전기판과, 압전기판상에 형성된 적어도 1개의 교차지 트랜지듀스와, 전기 교차지 트랜스듀스에 전기적으로 접속되어 있는 복수개의 입출력 전극을 구비하고 있으며; 상기한 복수개의 입출력 전극들이 도파로 방향으로 교차지 트랜스듀스의 양측에 배치된 제1, 제2입출력 전극을 적어도 포함하며; 상기한 제1, 제2입출력 전극의 중심간 거리를 L2, 상기한 적어도 1개의 교차지 트랜스듀스가 배치된 영역의 도파로 방향으로의 양외측 말단간 거리를 L3라 할때, 관계식 L2<3.5×L3을 만족하도록 구성된 표면파 소자와, 상기한 표면과 소자가 탑재된 베이스 기판과, 상기한 표면과 소자를 둘러싸고 있으며, 상기한 베이스 기판에 접합되어 있는 캡을 구비함을 특징으로 하는 표면파 장치.
- 제1항에 있어서, 상기한 적어도 1개의 교차지 트랜스듀스는, 제1, 제2의 교차지 트랜스듀스를 구비하고 있으며, 상기한 거리 L3는 제1의 교차지 트랜스듀스의 외측 말단과, 제2의 교차지 트랜스듀스의 외측 말단간의 거리로 정의됨을 특징으로 하는 표면파 장치.
- 제2항에 있어서, 상기한 제1의 교차지 트랜스듀스에는 한쌍의 제1입출력 전극이, 상기한 제2의 교차지트랜스듀스에는 한쌍의 제2입출력 전극이 전기적으로 접속되어 있음을 특징으로 하는 표면파 장치.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기한 표면파 소자가 도전성 접합재에 의해 베이스 기판상에 패이스 다운 본딩(face down bonding)에 의해 고정되어 있음을 특징으로 하는 표면파 장치.
- 제4항에 있어서, 상기한 도전성 접합재가 땜납 범프임을 특징으로 하는 표면파 장치.
- 제1항에 있어서, 상기한 캡은 도전성 접합재에 의해 베이스 기판에 고정되어 있음을 특징으로 하는 표면파 장치.
- 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기한 교차지 트랜스듀스가 도전성 접합재에 의해 베이스 기판에 고정되어 있음을 특징으로 하는 표면파 장치.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 교차지 트랜스듀스의 도파로 방향으로의 양측에 형성된 한쌍의 반사기를 구비함을 특징으로 하는 표면파 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1994-94982 | 1994-05-09 | ||
JP6094982A JPH07303022A (ja) | 1994-05-09 | 1994-05-09 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR950035058A true KR950035058A (ko) | 1995-12-30 |
KR0180806B1 KR0180806B1 (ko) | 1999-04-01 |
Family
ID=14125112
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019950011288A KR0180806B1 (ko) | 1994-05-09 | 1995-05-09 | 표면파 장치 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0682408B1 (ko) |
JP (1) | JPH07303022A (ko) |
KR (1) | KR0180806B1 (ko) |
DE (1) | DE69517556T2 (ko) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10150341A (ja) * | 1996-09-19 | 1998-06-02 | Murata Mfg Co Ltd | 1ポート型弾性表面波装置 |
JP3275775B2 (ja) | 1997-05-16 | 2002-04-22 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
US8617934B1 (en) | 2000-11-28 | 2013-12-31 | Knowles Electronics, Llc | Methods of manufacture of top port multi-part surface mount silicon condenser microphone packages |
US7434305B2 (en) | 2000-11-28 | 2008-10-14 | Knowles Electronics, Llc. | Method of manufacturing a microphone |
JP2002344284A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-11-29 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置、および、これを搭載した通信装置 |
JPWO2005088834A1 (ja) * | 2004-03-12 | 2007-08-09 | 株式会社村田製作所 | 1ポート弾性表面波共振子装置 |
CN103999484B (zh) | 2011-11-04 | 2017-06-30 | 美商楼氏电子有限公司 | 作为声学设备中的屏障的嵌入式电介质和制造方法 |
US9078063B2 (en) | 2012-08-10 | 2015-07-07 | Knowles Electronics, Llc | Microphone assembly with barrier to prevent contaminant infiltration |
US9794661B2 (en) | 2015-08-07 | 2017-10-17 | Knowles Electronics, Llc | Ingress protection for reducing particle infiltration into acoustic chamber of a MEMS microphone package |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58138115A (ja) * | 1982-02-12 | 1983-08-16 | Murata Mfg Co Ltd | チップ状圧電振動部品の製造方法 |
JPH02170611A (ja) * | 1988-12-22 | 1990-07-02 | Clarion Co Ltd | 弾性表面波装置 |
-
1994
- 1994-05-09 JP JP6094982A patent/JPH07303022A/ja active Pending
-
1995
- 1995-05-05 DE DE69517556T patent/DE69517556T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-05-05 EP EP95106866A patent/EP0682408B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-05-09 KR KR1019950011288A patent/KR0180806B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69517556D1 (de) | 2000-07-27 |
EP0682408B1 (en) | 2000-06-21 |
EP0682408A1 (en) | 1995-11-15 |
JPH07303022A (ja) | 1995-11-14 |
DE69517556T2 (de) | 2001-03-08 |
KR0180806B1 (ko) | 1999-04-01 |
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