KR950033617A - 액정표시장치의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액정표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 액정표시장치의 스토리지 커패시터 용량을 증대시키기 위한 것이다.
본 발명은 절연성 투명기판위에 다결정실리콘을 증착하는 단계와, 상기 다결정 실리콘층을 패터닝하여 활성층을 형성하는 단계, 상기 활성층을 포함한 기판 전면에 게이트절연막과 게이트전극 형성용 도전층을 차례로 형성하는 단계, 상기 도전층을 패터닝하여 게이트전극을 형성하는 단계, 상기 활성층의 소정영역에 불순물을 이온주입하여 소오스영역과 드레인영역을 형성하는 단계, 상기 게이트전극의 표면을 산화하여 산화막을 형성하는 단계, 상기 게이트절연막을 선택적으로 식각하여 상기 드레인영역을 노출시키는 제1콘택홀을 형성하는 단계, 상기 게이트절연막 상부에 상기 제1콘택홀을 통해 드레인영역과 접속되는 화소전극을 형성하는 단계, 기판 전면에 층간절연막을 형성하는 단계, 상기 층간절연막 및 게이트절연막을 선택적으로 식각하여 상기 소오스영역을 노출시키는 제2콘택홀을 형성하는 단계, 금속을 증착하고 패터닝하여 상기 제2콘택홀을 통해 소오스 영역과 접속되는 소오스라인을 형성하는 단계를 포함하여 구성되는 액정표시장치의 제조방법을 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래의 액정표시장치 평면구조도 및 회로구성도, 제2도는 종래의 액정표시장치 제조방법을 도시한 공정순서도, 제3도는 본 발명의 액정표시장치 제조방법을 도시한 공정순서도, 제4도는 본 발명의 액정표시장치의 스토리지 커패시터 단면구조도.
Claims (4)
- 절연성 투명기판위에 다결정실리콘을 증착하는 단계와, 상기 다결정실리콘층을 패턴닝하여 활성층을 형성하는 단계, 상기 활성층을 포함한 기판 전면에 게이트절연막과 게이트전극 형성용 도전층을 차례로 형성하는 단계, 상기 도전층을 패터닝하여 게이트전극을 형성하는 단계, 상기 활성층의 소정영역에 불순물을 이온주입하여 소오스영역과 드레인영역을 형성하는 단계, 상기 게이트전극의 표면을 산화하여 산화막을 형성하는 단계, 상기 게이트절연막을 선택적으로 식각하여 상기 드레인영역을 노출시키는 제1콘택홀을 형성하는 단계, 상기 게이트절연막 상부에 상기 제1콘택홀을 통해 드레인영역과 접속되는 화소전극을 형성하는 단계 기판 전면에 층간절연막을 형성하는 단계, 상기 층간절연막 및 게이트절연막을 선택적으로 식각하여 상기 소오스영역을 노출시키는 제2콘택홀을 형성하는 단계, 금속을 증착하고 패터닝하여 상기 제2콘택홀을 통해 소오스영역과 접속되는 소오스라인을 형성하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 게이트전극 표면에 형성되는 산화막의 두께는 300∼100Å임을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 게이트전극 표면에 형성되는 산화막은 게이트전극 전표면 또는 게이트전극의 표면의 일부분에 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 게이트전극의 표면을 산화하여 산화막을 형성하는 단계후에 소오스영역과 드레인영역 형성을 위해 주입된 불순물을 활성화시키기 위한 열처리공정이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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| KR1019940012100A KR950033617A (ko) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | 액정표시장치의 제조방법 |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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ID=55313536
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR950033617A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100291268B1 (ko) * | 1998-07-08 | 2001-07-12 | 윤종용 | 액정표시장치 |
| KR100776753B1 (ko) * | 2001-07-20 | 2007-11-19 | 삼성전자주식회사 | 액정표시장치용 다결정실리콘 박막 트랜지스터의 제조방법 |
-
1994
- 1994-05-31 KR KR1019940012100A patent/KR950033617A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100291268B1 (ko) * | 1998-07-08 | 2001-07-12 | 윤종용 | 액정표시장치 |
| KR100776753B1 (ko) * | 2001-07-20 | 2007-11-19 | 삼성전자주식회사 | 액정표시장치용 다결정실리콘 박막 트랜지스터의 제조방법 |
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