KR950015549A - 평탄한 기판의 박막 코팅 방법 및 장치 - Google Patents

평탄한 기판의 박막 코팅 방법 및 장치 Download PDF

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이. 허티그 로이
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제랄드 이. 메스터슨
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Abstract

본 발명은 사실상 평탄한 표면 즉, 기판에 포토레지스트와 같은 고-점착성액체 화학물질을 효과적이고 효율적으로 코팅하기 위한 장치 및 방법에 관한 것으로, 평탄한 표면을 먼저 한 방향으로 회전시키고 그리고 나서 반복하여 상기 회전방향을 역전시킴에 의해 평탄한 표면이 진동되고, 화학물질은 표면의 회전에 의한 원심력과 상기 표면의 각 가속도에 의한 접선방향에 의해 퍼지며, 상기 접선력은 화학물질이 상기 화학물질의 표면장력을 너무 빨리 초과하지 않고 퍼지는 것을 도와서 사실상 소량의 화학물질로 특히 효과적인 코팅이 이루어질 수 있도록 하고, 다른 방법으로는 상기 평상한 표면을 바이브레이팅시키므로써 화학물질이 퍼지게 하는데, 상기 표면을 바이브레이팅시키는 것은 상기 화학물질에 방사방향 힘, 원심력, 그리고 만약 있다면 상기 표면장력에 직접 반대되지않는 비-방사방향 힘을 인가하므로써 상기 화학물질이 그의 표면장력을 초과하지 않고 더울 고르고 효율적으로 퍼지게 하며, 상기 바이브레이팅은 저진폭 및 고주파수로 표면을 진동시키거나 또는 작은 원형운동으로 표면을 빠르게 운동시킴에 의해 얻어지는 것을 특징으로 한다.

Description

평탄한 기판의 박막 코팅 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 원리에 따른 진동형 척크 조립체를 개략적으로 보여주는 도면이다,
제2도는 진동형 척크 및 평탄한 패널의 평면도이고,
제3도는 제1도 및 제2도의 척크의 진동을 보여주는 도면이다.

Claims (9)

  1. 표면에 소정량의 액체를 도포하는 단계와; 상기 표면을 진동시켜서 상기 표면위로 액체가 퍼지게 하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판의 표면에 액막을 도포하기 위한 평탄한 기판의 박막 코팅 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 진동시키는 단계는 상기 기간을 제 1주기동안 제 1 방향으로 회전시키는 단계와, 제 2 주기동안 상기 제 1 방향의 반대방향인 제 2방향으로 회전시키는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평탄한 기판의 박막 코팅 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제 1 방향으로 회전시키고 제 2 방향으로 회전시키는 단계가 반복되는 것을 특징으로 하는 평탄한 기판의 박막 코팅 방법.
  4. 기판을 확고하게 유지할 수 있는 척크와, 상기 기판의 표면위에 놓여진 소정량의 액체가 상기 표면위로 퍼지도록 상기 척크를 진동시키기 위한 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평탄한 기판의 박막 코팅 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 진동시키기 위한 수단은 상기 기판을 두가지 방향중 어느쪽으로든 회전시키기 위한 수단과, 상기 기판이 회전하고 있는 방향을 역전시키기 위한 수단으로 이루어지는 평탄한 기판의 박막 코팅 장치.
  6. 표면에 소정량의 액체를 도포하는 딘계와, 상기 표면위로 상기 액체가 퍼지도록 상기 표면을 바이브레이트 시키는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평탄한 기판의 박막 코팅 방법.
  7. 기판을 확고하게 유지할 수 있는 척크와, 상기 기판의 표면위에 놓여진 소정랑의 액체를 상기 기판의 표면위로 퍼지도록 상기 척크를 바이브레이트시키기 위한 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 탄한 기판의 박막 코팅 장치.
  8. 표면에 소정량의 액체를 도포하는 단계와, 상기 표면위로 상기 액체가 퍼지도록 상기 액체에 비-방사방항 힘을 인가하기 위해 상기 표면을 운동시키는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평탄한 기판의 박막 코팅 방법.
  9. 기판을 확고하게 유지할 수 있는 척크와, 상기 기판이 상기 척크에 의해 확고하게 유지된 경우 표면위로 액체가 퍼지도록 상기 기판의 표면위의 소정량의 액체에 비-방사방향 힘을 인가하도록 상기 척크를 이동시키기 위한 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평탄한 기판의 박막 코팅 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940029213A 1993-11-12 1994-11-09 평탄한기판의박막코팅방법및장치 KR100307852B1 (ko)

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