KR950014993A - 투영광학계 및 투영 조정기 - Google Patents

투영광학계 및 투영 조정기 Download PDF

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Abstract

소정의 감소율을 갖는 제 2대물위로 제1대물의 상을 투영하는 투영광학계와 그 투영광학계에 장칙된 투영조정기에 있어서, 상기 투영광학계는, 상기 대물측에서 보아 연속하여 정굴절력을 갖는 제1렌즈군, 가시적으로 초점계를 이루고 있는 제2렌즈군 및, 정 굴절력을 갖는 제3렌즈군을 구비하고 있다.
상기 투영 광학계의 초점거리는 F로 나타내고, 상기 투영 광학계의 투영 배율은 B로 나타내고, 상기 제1대물과 상기 제2대물사이의 거리는 L로 나타내고, 상기 제1물체로부터 상기 제1렌즈군에 가장 가까이 있는 렌즈면까지의 거리는 do로 나타내고, 상기 제1대물의 축 방향 대물점으로부터의 근축 주변 광선이 제2렌즈군(G2)에 입사할 때 광축으로부터 근축 주변 광선의 입사 높이는 h1으로 나타내고, 상기 제1대물의 축방향 대물점으로부터의 근축 주변광선이 제2렌즈군으로부터 출사할 때 광축으로부터 근축 주변 광선의 출사 높이는 h2로 나타내면, 다음의 조건

Description

투영광학계 및 투영 조정기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 투영 광학계의 기본 구조도.

Claims (31)

  1. 제1대물의 상을 고정된 축소 배율을 가진 제2대물에 투영하는 투영 광학계에 있어서, 상기 제1대물측에서 보아 연속계로서 정 굴절력을 가진 제1렌즈군과, 초점계를 실제로 구성하는 제2렌즈군 및 정굴절력을 가진 제3렌즈군을 포함하고, 상기 투영 광학계의 초점거리는 F로 나타내고, 상기 투영 광학계의 투영 배율은 B로 나타내고, 상기 제1대물과 상기 제2대물사이의 거리는 L로 나타내고, 상기 제1물체로부터 상기 제1렌즈군에 가장 가까이 있는 렌즈면까지의 거리는 do로 나타내고, 상기 제1대물의 축방향 대물점으로부터의 근축 주변 광선이 제2렌즈군(G2)에 입사할 때 광축으로부터 근축 주변 광선의 입사 높이는 h1으로 나타내고, 상기 제1대물의 축방향 대물점으로부터의 근축 주변광선이 제2렌즈군으로부터 출사할 때 광축으로부터 근축 주변 광선의 출사 높이는 h2로 나타내면, 다음의 조건이 만족되어지는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1대물과 상기 제2대물간의 거리는 L로 나타내고, 제1렌즈군의 초점거리는 fl으로 나타내면, 다음 조건 0.05≤f1/L≤0.3이 만족되어지는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1대물에서 투영 광학계의 광축으로부터 대물의 최대 높이는 HMAX로 나타내고, 제1대물과 제2대물간의 거리를 L로 나타내면, 다음 조건 0.04≤HMAX/L≤0.2가 만족되어지는 것을 특징으로 하는 투영 광학계
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1렌즈군은 적어도 2개 이상의 정렌즈를 포함하고, 상기 제2렌즈군은 적어도 4개 이상의 부렌즈와 적어도 4개 이상의 정렌즈를 포함하며, 상기 제3렌즈군은 적어도 2개 이상의 정렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제2렌즈군은 상기 제1대물측에서 보아 연속계로서 부굴절력을 가진 제1서브렌즈군과, 정굴절력을 가진 제2서브렌즈군 및 부굴절력을 가진 제3서브렌즈군을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제1서브렌즈군의 초점거리는 f21으로 나타내고, 제2서브 렌즈군의 초점거리를 f22로 나타내면, 다음 조건가 만족되어지는 것을 특징으로 하는 투명 광학계.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제3서브렌즈군의 초점거리는 f23로 나타내고 상기 제1대물 및 제2대물간의 거리는 L로 나타내면 다음조건가 만족되어지는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  8. 제5항에 있어서, 상기 제1서브 렌즈군의 초점거리는 f21으로 나타내고 상기 제2서브렌즈군의 초점 거리는 f22로 나타내면, 다음조건가 만족되어지는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  9. 제3항에 있어서, 상기 제1렌즈군은 적어도 2개 이상의 정렌즈를 포함하고, 상기 제3렌즈군은 적어도 2개 이상의 정렌즈를 포함하고, 상기 제2렌즈군은 상기 제1대물 측에서 보아 연속계로서, 부 굴절력을 가진 제1서브렌즈군과 정 굴절력을 가진 제2서브 렌즈군 및 부굴절력을 가진 제3서브 렌즈군을 포함하고, 상기 제1서브 렌즈군은 적어도 2개 이상의 부렌즈를 포함하고, 상기 제2서브 렌즈군은 적어도 2개 이상의 정렌즈를 포함하고, 상기 제3서브 렌즈군은 적어도 2개 이상의 부렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  10. 제9항에 있어서, 상기 제2서브 렌즈군은 2개 이상의 양 블록렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  11. 제8항에 있어서, 상기 제1물체에서 축방향 대물점으로부터의 근축 주변 광선이 상기 제1렌즈군에 입사할 때, 근축 주변 광선의 입사각을 ul으로 나타내고, 상기 제1대물에서 축방향 대물점으로부터의 근축 주변광선이 상기 제2렌즈군에 입사할 때, 근축 주변 광선의 입사각을 u2로 나타내고, 상기 제1대물에서 축방향 대물점으로부터의 근축 주변광선이 상기 제2렌즈군으로부터 출사할 때, 근축 주변광선의 출사각은 u2'로 나타내고, 상기 제1대물에서 축방향 대물점으로부터의 근축주변 광선이 상기 제3렌즈군으로부터 출사할 때, 근축 주변 광선의 출사각은 u3'로 나타내면, 다음 조건,로 만족되어지는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  12. 제11항에 있어서, 상기 제1렌즈군이 초점거리는 f1으로 나타내고, 상기 제2렌즈군의 초점거리는 f2로 나타내고, 제3렌즈군의 초점거리는 f3는 나타내면, 다음조건가 만족되어지는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  13. 제3항에 있어서, 상기 제2렌즈군은 상기 제1대물측에서 보아 연속계로서, 부굴절력을 가진 제1서브렌즈와, 정굴절력을 가진 제2서브렌즈와, 부굴절력을 가진 제3서브렌즈군 및 정굴절력을 가진 제4서브 렌즈군을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  14. 제13항에 있어신, 상기 제1렌즈군은 적어도 2개 이상의 정렌즈를 포함하고, 상기 제3렌즈군은 적어도 2개 이상의 정렌즈를 포함하고, 상기 제1서브렌즈군은 적어도 2개 이상의 부렌즈를 포함하고, 상기 제2서브렌즈군은 적어도 4개 이상의 정렌즈를 포함하고, 상기 제3서브렌즈군은 적어도 2개 이상의 부렌즈를 포함하며, 상기 제4서브렌즈군은 적어도 2개 이상의 정렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제1서브렌즈군의 초점거리는 f21으로 나타내고 상기 제2서브렌즈군의 초점 거리는 f22나타내면, 다음조건가 만족되어지는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  16. 제15항에 있어서, 상기 제3렌즈군의 초점거리는 f23로 나타내고, 상기 제1대물와 상기 제2대물간의 거리는 L로 나타내면, 다음 조건가 만족되어지는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  17. 제16항에 있어서, 상기 제1서브렌즈군의 초점거리는 f21으로 나타내고 상기 제2서브렌즈군의 초점거리는 f22로 나타내면, 다음 조건가 만족되어지는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  18. 제1항에 있어서, 상기 제2렌즈군이 상기 제1대물측에서 보아 연속계로서 부굴절력을 가진 제1서브렌즈군과, 정굴절력을 가진 제2서브렌즈군 및 부굴절력을 가진 제3서브렌즈군을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 광학 시스템.
  19. 제18항에 있어서, 상기 제1서브렌즈군은 상기 제2대물측을 향해 더 높은 곡률을 가진 부렌즈와 부양 오목부렌즈 및, 상기 제1대물측에 직면하는 더 높은 곡률을 가진 정렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 광학 시스템.
  20. 제19항에 있어서, 상기 제2서브렌즈군은 제1대물측을 향해 더 높은 곡률을 가진 정렌즈와, 적어도 2개의 정 양불록 렌즈 및, 상기 제2대물측에 직면하는 더 강한 곡률을 가진 정렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  21. 제20항에 있어서, 상기 제3서브 렌즈군은 상기 제2대물측을 향해 더 높은 곡률을 가진 부렌즈와, 양외측렌즈 및, 상기 제1대물측을 향하는 더 높은 곡률을 가진 부렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  22. 제21항에 있어서, 상기 제2렌즈군은 상기 제3서브렌즈군의 제2대물측에서 정굴절력을 가진 제4서브렌즈군을 포함하며, 상기 제4서브렌즈군은 상기 제2대물측을 향해 볼록한 채로 적어도 2개 이상의 정렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 광학제.
  23. 제22항에 있어서, 상기 제1렌즈군은 상기 제2대물측 및 정 양블록렌즈를 향해 더 높은 곡률을 가진 정렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  24. 제23항에 있어서, 상기 제3렌즈군은 상기 제1대물측을 향해 블록한 채로 적어도 3개의 정렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  25. 제1항에 있어서, 상기 제2렌즈군은 약한 정굴절력을 갖는 것을 특징으로 하는 투영 광학계.
  26. 고정된 패턴이 형성된 제1대물에 조사시키는 조사 수단과, 상기 제1대물의 상을 제2대물에 투영하는 투영 광학계와, 상기 제2물체를 지지하는 제1지지 수단 및 상기 제2물체를 지지하는 제2지지 수단을 포함하고 투명 조정기(aligner)에 있어서, 상기 투영 광학계는 상기 제1대물측에서 보아 연속계로서, 정굴절력을 가진 제1렌즈군과, 초점계를 실제로 구성하는 상기 제2렌즈군 및 정굴절력을 가진 제3렌즈군을 포함하고, 상기 투영 광학계의 초점거리는 F로 나타내고, 상기 투영 광학계의 투영 배율은 B로 나타내며, 상기 제1대물과 상기 제2대물간의 거리는 L로 나타내고, 상기 제1대체로부터 상기 제1렌즈군엣 제1물체에 가장 가까이 있는 렌즈 표면까지의 거리를 do로 나타내면, 상기 제1대물체의 축방향 대물점으로부터 근축 주변 광선이 제2렌즈군(G2)에 입사할 때 광경로로부터 근축 주변 광선의 입사 높이는 h1으로 나타내고, 상기 제1물체의 축방향 대물점으로부터 근축 주변광선이 제2렌즈군(G)에서 출사할때 광경로로부터 근축 주변의 광선의 출사높이는 h2로 나타내면, 다음 조건이 만족되어지는 것을 특징으로 하는 투영 조정기.
  27. 제26항에 있어서, 상기 제2렌즈군은 상기 제1대물측에서 보아 연속계로서 적어도 부굴절력을 가진 제1서브렌즈군과, 정굴절력을 가진 제2서브렌즈군 및 부굴절력을 가진 제3서브렌즈군을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 조정기.
  28. 제26항에 있어서, 상기 제1서브렌즈군은 상기 제2대물측을 향해 더 높은 곡률을 가진 부렌즈와, 부양오목렌즈 및, 상기 제1대물측을 향해 더 높은 곡률을 가진 부렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 조정기.
  29. 제26항에 있어서, 상기 제2서브렌즈군의 상기 제1대물측을 향해 더 높은 곡률을 가진 정렌즈와, 적어도 2개 이상의 정 양블록 렌즈 및, 상기 제2대물측을 향해 더 높은 곡률을 가진 양 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 조정기.
  30. 제26항에 있어서, 상기 제3서브렌즈군은 상기 제2대물측을 항해 더 높은 곡률을 가진 부렌즈와, 부양오목렌즈 및, 상기 제1대물측을 향해 더 높은 곡률을 가진 부렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 조정기.
  31. 제26항에 있어서, 상기 제2렌즈군은 상기 제3서브렌즈군의 제2대물측에서 정굴절력을 가진 제4서브렌즈군을 포함하고, 상기 제4서브렌즈군은 상기 제2대물측을 향해 볼록한 채로 적어도 2개의 정렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 조정기.
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