KR950012610A - 기판 건조장치 및 기판 건조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 피처리체를 수용하는 피처리체 수용영역 및 휘발성의 처리액을 수용하는 처리액 수용역역을 가지며, 처리액을 기화시키기 위한 가열수단을 구비한 처리조와, 피처리체 본체 수용영역의 아래쪽에 설치되고, 기화된 상기 처리액을 사용하여 상기 피처리체로부터 제거된 수분을 받은 용기와, 용기에 부착되고, 상기 용기로부터의 수분을 처리조의 외부에 배출하는 액배출관과, 처리조의 피처리체 수용영역의 위쪽에 설치되고, 기화된 처리액을 응축시키는 냉각수단을 구비하고, 액배출관은 개폐밸브를 가지고 있고, 또 상기 개폐밸브보다도 용기에 접근하는 위치에 상기 배기관으로부터 분지된 관을 가지는 기판 건조장치를 제공한다.

Description

기판 건조장치 및 기판 건조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 및 제2도는 본 발명의 샘플1의 기판 공정장치의 1실시예를 나타내는 개략도.
제3도는 제1도에 나타낸 기판 건조장치에 있어서 수분제거위치에 대한 받이그릇의 영역을 나타내는 도면.

Claims (30)

  1. 피처리체를 수용하는 피처리체 수용역역 및 휘발성의 처리액을 수용하는 처리액 수용영역을 가지며, 상기 처리액을 기화시키기 위한 가열수단을 구비한 처리조와, 상기 피처리체 본체 수용영역의 아래쪽에 설치되고, 기화된 상기 처리액을 사용하여 상기 피처리체로부터 제거된 수분을 받은 용기와, 상기 용기에 부착되고, 상기 용기로부터의 수분을 상기 처리조의 외부에 배출하는 액 배출관과, 상기 처리조의 상기 피처리체 수용영역의 위쪽에 설치되고, 상기 기화된 처리액을 응축시키는 냉각수단을 구비하고, 상기 액 배출관은 개폐밸브를 가지고 있고, 또 상기 개폐밸브보다도 상기 용기에 가까운 위치에 상기 배기관으로부터 분지된 관을 가지는 기판 건조장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 처리조의 외부에 위치하는 배기관이 트랩부를 가지는 기판 건조장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 트랩부의 최고부보다도 상기 액 배출관으로부터 분지된 관의 앞끝단의 위치가 높은 기판 건조장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 액 배출관에 접속되고, 상기 액 배출관중에 흐르는 배출액의 전도율을 측정하는 전도율계를 더욱 구비하는 기판 건조장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 전도율계 및 상기 개폐밸브에 접속되어 있고, 측정된 전도율의 정보에 따라서 상기 개폐밸브의 개폐를 제어하는 제어수단을 더욱 구비하는 기판건조장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제어수단이 상기 피처리체 수용영역에 상기 피처리체를 반입하는 반송수단에 접속되어 있는 기판 건조장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 냉각수단이 상기 처리조의 내벽에 따라 나사형상으로 설치된 관내에 냉매를 흐르게 하는 구성을 가지는 기판 건조장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 냉각수단에 의하여 응축하고, 액방울로서 낙하하는 처리액을 받은 처리액 회수수단이 상기 냉각수단의 아래쪽에 설치되어 있는 기판 건조장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 처리액 회수수단이 상기 처리조의 내벽에 따라서 설치된 물받이 형성체인 기판 건조장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 물받이 형상체에 접속되고, 상기 물받이 형상체에 의하여 저장된 처리액을 상기 처리액 수용역역에 되돌리기 위한 회수관을 더욱 구비하는 기판 건조장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 회수관에 여과수단이 부착되어 있는 기판 건조장치.
  12. 제8항에 있어서, 상기 처리액 회수수단이 상기 처리조의 내벽에 따라 틈새를 가지도록 설치된 물받이통 형상체인 기판 건조장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 물받이통 형상체는 복수의 판형상체를 조합시킴으로써 구성되는 기판 건조장치.
  14. 제1항에 있어서, 상기 피처리체 수용역에 상기 피처리체를 반입하는 반송수단에 대면하는 처리조면에 부착된 상기 반입수단의 승강을 가능하게 하기 위한 절결 오목부를 가지는 차폐판과, 상기 차폐관이 부착된 처리조면에 반대쪽면에 부착된 칸막이판을 더욱 구비하는 기판 건조장치.
  15. 피처리체를 수용하는 피처리체 수용영역 및 휘발성의 처리액을 수용하는 처리액 수용영역을 가지며, 상기 처리액을 기화시키기 위한 가열수단을 구비한 처리조와, 상기 피처리체 수용영역의 아래쪽에 설치되고, 기화된 상기 처리액을 사용하여 상기 피처리체로부터 제거된 수분을 받은 용기와, 상기 용기에 부착되고, 상기 용기로부터의 수분을 상기 처리조의 외부에 배출하는 액 배출관과, 상기 처리조의 상기 피처리체 수용영역의 위쪽에 설치되고, 상기 기화된 처리액을 응축시키는 냉각수단과, 상기 처리조에 설치되고, 상기 처리조를 순화시키는 처리순환수단을 구비하고, 상기 처리액 순화수단이 처리액 정화수단을 구비하고 있는 기판 건조장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 처리액 순환수단이, 처리액을 순환시키는 액순환관과, 상기 액순환관에 설치되고, 상기 처리액을 상기 처리액 수용역역으로부터 빨아올리는 펌프와, 상기 펌프의 소정 타이밍으로 구동시키는 제어부로 구성되느 기판 건조장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 액순환관에는 처리액을 보충하는 액보급관이 접속되어 있는 기판 건조장치.
  18. 제16항에 있어서, 상기 펌프, 처리액 정화수단 및 제어부를 수용하는 케이싱을 더욱 구비하는 기판 건조장치.
  19. 제15항에 있어서, 상기 처리조의 외부에 위치하는 액배출관이 트랩부를 가지는 기판 건조장치.
  20. 제19항에 있어서, 상기 트랩부의 최고부보다도 상기 액배출관으로부터 분지된 관의 앞끝단의 위치가 높은 기판 건조장치.
  21. 제15항에 있어서, 상기 액배출관에 접속되고, 상기 액배출관중에 흐르는 배출액의 전도율을 측정하는 전도율계를 더욱 구비하는 기판 건조장치.
  22. 제21항에 있어서, 상기 전도율계 및 상기 개폐밸브에 접속되어 있고, 측정된 전도율의 정보에 따라서 상기 개폐밸브의 개폐를 제어하는 제어수단을 더욱 구비하는 기판 건조장치.
  23. 제22항에 있어서, 상기 제어수단이 상기 피처리체 수용영역에 상기 피처리체를 투입하는 반송수단에 접속되어 있는 기판 건조장치.
  24. 제15항에 있어서, 상기 제어수단이 상기 처리조의 내벽에 따라 나사형상으로 설치된 관내에 냉매를 흐르게 시킨 구성을 가지는 기판 건조장치.
  25. 제15항에 있어서, 상기 피처리체 수용역역에 상기 피처리체를 반입하는 반송수단에 대면하는 처리조면에 부착된 상기 반입수단의 승강을 가능하게 하기 위한 절결오목부를 가지는 차폐판과, 상기 차폐판이 부착된 처리조면의 반대쪽면에 부착된 칸막이판을 더욱 구비하는 기판 건조장치.
  26. 처리조의 처리액 수용영역에 수용된 휘발성이 처리액을 증발시켜서 처리액 증기를 발생시키는 공정과, 상기 처리액 증기를 상기 처리조의 피처리체 수용역역에 수용된 피처리체에 접촉시킴으로써 상기 피처리체에 부착하여 있는 수분을 제거하는 공정과, 상기 피처리체로부터 제거된 수분을 상기 처리조 외부로 배출하는 공정과, 상기 처리액증기를 냉각하여 응축시켜서 처리액으로 하여 상기 처리액 수용영역에 귀환시키는 공정을 구비하는 기판 건조방법.
  27. 제26항에 있어서, 상기 수분이 상기 처리조 외부로 배출하는 조작개시 및 정지를 소정의 타이밍으로 하는 기판 건조방법.
  28. 제26항에 있어서, 상기 처리액 증기를 냉각하여 응축시킨 처리액을 정화하는 공정을 더욱 구비하는 기판 건조방법.
  29. 제26항에 있어서, 상기 처리액 수용영역에 수용된 처리액을 순환시키는 공정을 더욱 구비하는 기판 건조방법.
  30. 제29항에 있어서, 순환중의 처리액을 정화하는 공정을 더욱 구비하는 기판 건조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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