KR100928495B1 - 배향막 인쇄 마스크용 지그 장치와, 이를 적용한 배향막인쇄 마스크용 세정 장비 및 이를 이용한 마스크 세정 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 배향막 인쇄용 마스크의 일면을 받치며, 적어도 어느 하나 이상의 부위가 절곡 형성됨과 더불어 상기 마스크의 너비 방향을 따라 소정 간격을 가지면서 구비되는 다수의 지지부재;상기 각 지지부재를 연결하는 적어도 하나 이상의 연결부재; 그리고,상기 각 지지부재에 의해 받쳐진 마스크를 상기 지지부재에 고정하는 고정부:를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 배향막 인쇄 마스크용 지그 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 각 지지부재는그 중앙부위를 기준으로 양단이 하향 절곡 형성됨을 특징으로 하는 배향막 인쇄 마스크용 지그 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 각 지지부재는적어도 둘 이상의 부위가 절곡되되, 각 절곡은 서로 반대 방향을 향해 이루어지도록 형성됨을 특징으로 하는 배향막 인쇄 마스크용 지그 장치.
- 제 2 항 또는, 제 3 항에 있어서,상기 각 지지부재는단면이 원형인 핀, 단면이 다각형인 바(bar), 단면이 원형이되 내부가 빈 원형 파이프, 단면이 다각형이되 내부가 빈 다각 파이프 중 어느 하나로 형성됨을 특징으로 하는 배향막 인쇄 마스크용 지그 장치.
- 제 2 항 또는, 제 3 항에 있어서,상기 각 지지부재의 절곡된 부위는 라운드지게 형성됨을 특징으로 하는 배향막 인쇄 마스크용 지그 장치.
- 제 2 항 또는, 제 3 항에 있어서,상기 각 지지부재 간은상기 마스크의 구겨짐이 발생되지는 않되, 상기 마스크의 세정은 원활히 이루어질 수 있는 범위의 간격을 가지도록 배치됨을 특징으로 하는 배향막 인쇄 마스크용 지그 장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 각 지지부재는상기 마스크의 각 부위 중 패턴이 형성되지 않은 부위를 받치는 위치에 각각 구비됨을 특징으로 하는 배향막 인쇄 마스크용 지그 장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 각 지지부재와 상기 연결부재 간의 교차되는 부위는상기 마스크가 위치된 측으로 돌출되지 않도록 형성됨을 특징으로 하는 배향막 인쇄 마스크용 지그 장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 고정부는상기 각 지지부재의 양단 끝부분에 각각 구비됨을 특징으로 하는 배향막 인쇄 마스크용 지그 장치.
- 제 9 항에 있어서,상기 고정부는상기 마스크와 면접촉을 하면서 고정하는 클램프로 형성됨을 특징으로 하는 배향막 인쇄 마스크용 지그 장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 각 지지부재 중 최외측에 위치된 두 지지부재에는상기 각 지지부재에 의해 받쳐진 마스크가 외측 방향으로 이탈됨을 방지하는 이탈 방지부가 더 구비됨을 특징으로 하는 배향막 인쇄 마스크용 지그 장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 이탈 방지부는그 양단이 상기 최외측에 위치된 지지부재의 양단에 각각 연결되게 형성됨을 특징으로 하는 배향막 인쇄 마스크용 지그 장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 각 지지부재의 양단 저부에는그 이동을 위한 이동부가 더 구비됨을 특징으로 하는 배향막 인쇄 마스크용 지그 장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 이동부는그 상면에 상기 각 지지부재의 양단이 결합되는 몸체와,상기 몸체의 저부에 구비되어 구름 이동이 가능한 롤러를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 배향막 인쇄 마스크용 지그 장치.
- 제 14 항에 있어서,상기 각 지지부재는 상기 몸체로부터 착탈 가능하도록 구성됨을 특징으로 하는 배향막 인쇄 마스크용 지그 장치.
- 배향막 인쇄용 마스크가 적어도 한 번 이상 접혀진 상태로 장착되는 지그 장치;상기 지그 장치가 완전히 잠길 수 있을 정도의 공간을 가지며, 상기 공간 상에는 상기 마스크의 세정을 위한 세정액이 저장된 세정 장치; 그리고,상기 지그 장치가 완전히 잠길 수 있을 정도의 공간을 가지며, 상기 공간 상으로 상기 마스크의 건조를 위한 건조 가스가 공급되는 건조 장치:가 포함되어 구축됨을 특징으로 하는 배향막 인쇄 마스크용 세정 장비.
- 제 16 항에 있어서,상기 세정 장치는그 내부에 N-메틸피로리돈액(NMP;N-Methyl Pyrrolidone)이 저장되며, 상기 NMP로 상기 마스크에 잔류하는 폴리이미드 찌꺼기를 세정하는 적어도 하나 이상의 PI 세정부와,그 내부에 이소프로필알콜(IPA;Iso Propyl Alcohol)이 저장되며, 상기 PI 세정부에 의해 세정된 마스크를 제공받아 상기 IPA로 상기 마스크에 잔류하는 NMP를 세정하는 적어도 하나 이상의 NMP 세척부가 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 배향막 인쇄 마스크용 세정 장비.
- 제 17 항에 있어서,상기 PI 세정부는 두 개로 구성되고,상기 두 PI 세정부 중 지그 장치가 가장 먼저 투입되는 측의 어느 한 PI 세정부에는 기포를 생성하여 그 내부에 저장된 NMP로 제공하는 기포 생성부가 더 구비됨을 특징으로 하는 배향막 인쇄 마스크용 세정 장비.
- 제 16 항 또는, 제 17 항에 있어서,상기 건조 장치에 사용되는 건조 가스는 N2 가스임을 특징으로 하는 배향막 인쇄 마스크용 세정 장비.
- (가) 중앙 부위를 기준으로 양단이 하향 절곡된 다수의 지지부재가 구비된 지그 장치를 준비하는 단계;(나) 상기 지그 장치의 각 지지부재 상에 배향막 인쇄용 마스크가 적어도 한번 이상 접혀지도록 장착하는 단계;(다) 상기 지그 장치를 적어도 하나 이상의 PI 세정부에 저장된 NMP에 순차적으로 담가 마스크에 존재하는 PI를 세정하는 단계;(라) 상기 지그 장치를 NMP 세척부에 저장된 IPA에 담가 상기 PI를 세정하면서 마스크에 잔류된 상기 NMP를 세정하는 단계;(마) 상기 지그 장치를 건조 장치로 제공하여 상기 NMP의 세정이 완료된 마스크를 건조하는 단계; 그리고,(바) 상기 지그 장치를 취출하는 단계;가 포함되어 진행됨을 특징으로 하는 배향막 인쇄용 마스크의 세정 방법.
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