KR950010028A - 액체를 함유한 마이크로전자 장치 패키지 및 그 제조방법 - Google Patents

액체를 함유한 마이크로전자 장치 패키지 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 액체 함유 마이크로전자 장치 패키지 제조 방법에 관한 것이다. 이 방법은 마이크로전자 장치(22)를 포함한 패키지 기부(16)와 패키지 기부(16)에 대해 외주면에 배치된 시일 영역을 제공하는 단계(블럭 32)와, 뚜껑(12)을 제공하는 단계(34)와, 기부(16)와 뚜껑(12)사이에 배치된 밀페제(14)를 제공하는 단계(블럭 34)를 포함한다. 이 방법은 밀폐제(14)의 활성 온도 이상의 온도를 가진 액체(24)내에 패키지 기부(16), 밀폐제(14) 및 뚜껑(12)을 침수시키는 단계(블럭 36)와, 패키지 기부(16)와 뚜껑(12) 사이의 패키지에 액체(24)를 들어가게 하고 밀폐제(14)가 작동하도록 가열시키기에 충분한 시간동안 액체(24)내에서 패키지 기부(16), 밀폐제(14) 및 뚜껑(12)을 유지하는 단계(블럭 38)를 또한 포함한다. 더욱이, 이 방법은 액체를 함유한 밀폐 마이크로전자 장치 패키지(10)를 제공하도록 액체로부터 패키지 기부(16), 뚜껑(12) 및 밀폐제(14)를 제거하는 단계(블럭 40)를 포함한다.

Description

액체를 함유한 마이크로전자 장치 패키지 및 그 제조방법
제1도는 본 발명에 따른 액체 함유 마이크로전자 장치 패키지(microelectronic device package)의 등각도,
제2도는 제1도의 선(2-2)을 따라 취한 측단면도,
제3도는 본 발명에 제2실시예의 측단면도.

Claims (3)

  1. 액체(24)를 함유한 마이크로전자 장치(microelectronic device) 패키지(10)제조 방법에 있어서, 마이크로전자 장치(22)를 포함한 기부(16)와, 이 기부(16)의 주변에 배치된 시일 영역을 제공하는 단계(블럭 34)와, 뚜껑(12)을 기부(16)상에 위치시키는 단계와, 활성온도를 가진 밀폐제(14;sealant)를 기부(16)와 뚜껑(12)사이에 배치하는 단계(블럭 34)와, 활성 온도 이상의 온도를 가진 액체(24)내에 기부(16), 밀폐제(14) 및 뚜껑(12)을 침수 시키는 단계(블럭 36)와, 기부(16)와 뚜껑(12)사이에 액체(24)가 들어가고 밀폐제(14)를 활성화시키도록 밀폐제(14)를 가열하기에 충분한 시간동안 액체(24)내에 기부(16), 밀페제(14) 및 뚜껑(12)을 유지하는 단계(블럭 38)와, 액체(24)를 함유한 밀봉한 마이크로전자 장치 패키지(10)를 제공하도록 기부(16), 뚜껑(12) 및 밀폐제(14)를 액체(24)로부터 제거하는 단계(블럭40)를 폼함하는 것을 특징으로 하는 마이크로전자 장치 패키지 제조 방법.
  2. 액체(24)를 함유한 마이크로전자 장치 패키지(10)에 있어서, 기부(16)와, 상기 기부(16)상에 정착된 마이크로전자장치(22)와, 마이크로전자 장치(22)를 커버하는 뚜껑(12)과, 기부(16)와 뚜껑(22) 사이에 배치되며, 이들 사이에 중공 밀폐 캐비티를 형성하도록 뚜껑(12)을 기부(16)에 고정하며, 활성 온도를 가진 밀폐제(14)와, 밀폐된 캐비티에 배치되고, 퍼플루오르카본(perflourocarbons)의 혼합물을 포함하고 활성 온도를 초과하는 끊는점을 가진 액체(24)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로전자 장치 패키지.
  3. 반도체 장치(22)를 에워싸는 패키지(10)내에서 캐비티를 충전하기 위한 방법에 있어서, 액체(24)를 제1온도로 가열하는 단계와, 뚜껑(12)과 기부(16)를 가지며, 제1온도보다 낮은 경화 온도를 가지고 뚜껑(12)을 기부(16)에 밀폐하도록 뚜껑(12)과 기부(16) 사이의 밀폐제(14)를 포함한 패키지를 액체(24)내에 위치시키는 단계(블럭 36)와, 캐비티가 액체(24)를 포함하고 밀폐제(14)가 경화될때까지 패키지를 액체(24)내에 유지하는 단계(블럭 38)를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐비티 충전방법
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940022884A 1993-09-13 1994-09-12 액체를 함유한 마이크로전자 장치 패키지 및 그 제조방법 KR950010028A (ko)

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