KR940704051A - 연장된 수명의 시준기(Extended lifetime collimator) - Google Patents

연장된 수명의 시준기(Extended lifetime collimator)

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Abstract

음극 스퍼터링용 개선되, 수명이 연장된 시준기(11)는 시준기의 타게트(13)측으로부터 웨이퍼(14)측으로 종방향으로 테이퍼진 다수의 통로(20)를 가진다. 이러한 종방향으로의 테이퍼는 대체로 시준기9110의 타게트측상의 노출된 표면상의 스퍼터된 입자의 누적에 의해 발생되는 시준기의 사용 수명 및 웨이퍼 침착율의 역효과를 감소시킨다. 종래의 시준기에 비교할 때, 이러한 시준기(11)는 교체 또는 세척되기 전에 보다 많은 수의 웨이퍼(14)를 스퍼터 코팅하는데 이용될 수 있으므로 처리능력을 향상시킨다.

Description

연장된 수명의 시준기(Extended lifetime collimator)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 양호한 실시예에 따른 수명이 연장된 시준기를 갖춘 스퍼터링 챔버를 단면으로 도시한 개략도이다, 제1A도는 스퍼터링전의 시준기의 부분 평면도이다, 제2도는 스퍼터링전의 제1A도에 도시한 시준기의 몇몇 유닛 셀을 단면으로 도시한 확대 개략도이다, 제3도 및 제4도는 스퍼터링중에 유닛 셀의 측벽상에 스퍼터된 입자들이 점차 누적됨을 도시한, 제2도와 유사한 확대 단면 개략도이다, 제5도는 스퍼터링전의 종래의 시준기를 단면으로 도시한 확대 개략도이다, 제6도는 스퍼터된 입자들이 어느정도 누적된 후의 종래 시준기를 도시한 제5도와 유사한 확대 단면 개략도이다, 제7도는 본 발명의 대안적 실시예에 따른 수명이 연장된 시준기를 단면으로 도시한 개략도이다.

Claims (13)

  1. 진공가능한 챔버와; 상기 챔버내에 장착된 스퍼터 타게트와; 상기 타게트와 대향되게 상기 챔버내에 장착된 웨이퍼와; 상기 타게트와 상기 웨이퍼 사이에 장착된 시준기를 포함하며, 상기 시준기는 상기 시준기를 통하여 연장하는 다수의 통로를 가지며, 각각의 상기 통로는 상기 시준기의 타게트측상에 비교적 큰 영역의 입구와 상기 시준기의 웨이퍼측상에 비교적 작은 영역의 출구를 가지며, 상기 통로는 상기 비교적 큰 영역의 입구로부터 상기 비교적 작은 영역의 출구까지 길이방향으로 데이퍼진 것을 특징으로 하는 스퍼터 코팅 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 시준기는 단일의 단편 구조인 것을 특징으로 하는 스퍼터 코팅 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 시준기는 알루미늄, 구리, 스테인레스 강 및 티타늄중의 한 성분으로 형성된 것을 특징으로 하는 스퍼터 코팅 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 통로는 횡단면이 원형이고 종단면이 사다리꼴인 원추형인 것을 특징으로 하는 스퍼터 코팅 장치.
  5. 제4항에 있어서, 각각의 상기 통로에 대하여, 입구축 개방 영역 대 출구측 개방 영역의 비가 약 1.2 : 1 내지 2.0 : 1의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 스퍼터 코팅 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 시준기는 상기 타게트와 상기 웨이퍼에 평행하게 정렬된 적어도 3개의 평행판을 추가로 포함하며, 각각의 상기 판은 다수의 관통 구멍을 가지며, 각각의 상기 데이퍼진 통로는 다수의 정렬된 관통 구멍들로 한정되는 것을 특징으로 하는 스퍼터 코팅 장치.
  7. 제6항에 있어서, 각각의 상기 관통 구멍은 횡단면이 원형인 것을 특징으로 하는 스퍼터 코팅 장치.
  8. 제7항에 있어서, 각각의 상기 통로에 대하여, 입구축 개방 영역 대 출구측 개방 영역의 비는 약 1.2 : 1 내지 2.0 : 1의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 스퍼터 코팅 장치.
  9. 진공가능한 챔버와; 상기 챔버내에 장착된 스퍼터 타게트와; 상기 타게트와 대향되게 상기 챔버내에 장착된 웨이퍼와; 상기 타게트와 상기 웨이퍼 사이에 장착된 시준기를 포함하며, 상기 시준기는 상기 데이퍼로부터 상기 웨이퍼까지 스퍼터된 입자들을 통과시키는 다수의 개방 유닛 셀을 가지며, 상기 유닛 셀은 종단면이 사다리꼴이고 상기 시준기의 웨이퍼측 단부에서 횡단면의 최소 유효 개방 영역을 가지는 것을 특징으로 하는 스퍼터 코팅 장치.
  10. 스퍼터 코팅 챔버내에서 타게트와 웨이퍼 사이에 시준기를 설치하는 단계와; 상기 타게트로부터 상기 웨이퍼로 입자들을 스퍼터링하고, 상기 시준기의 내부벽상에 접촉하는 상기 스퍼터된 입자중 몇몇을 차단하며, 상기 스퍼터된 입자중 몇몇은 데이퍼진 통로로 통과하도록 하는 단계를 포함하며, 상기 시준기는 내부벽에 의해 한정된 다수의 통로를 가지며, 상기 내부벽은 상기 시준기의 웨이퍼측보다 타게트측의 두께가 작아서 상기 각각의 통로는 상기 타게트로부터 상기 웨이퍼까지 길이방향의 안쪽으로 데이퍼지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 스퍼터 코팅 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 타게트와 상기 웨이퍼 사이에 대체로 평행하게 배향된 다수의 시준기판을 정렬시키는 단계를 추가로 포하하며, 상기 각각의 판은 그 안에 형성된 다수의 구멍을 가지며, 상기 테이퍼진 각각의 통로는 다수의 정렬된 구멍에 의해 한정되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 스퍼터 코팅 방법.
  12. 스퍼터링 챔버내에서 타게트에 대향 장착된 웨이퍼의 스퍼터 코팅중에 이용하기 위한 웨이퍼 처리 콤포넌트에 있어서, 스퍼터된 입자들을 타게트로부터 웨이퍼로 통과시키는 다수의 통로를 가지는 시준기를 포함하며, 상기 통로는 상기 시준기의 타게트측으로부터 웨이퍼측까지 길이방향으로 안쪽으로 테이퍼지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 처리 콤포넌트.
  13. 제12항에 있어서, 상기 통로는 횡단면이 원형이고 종단면이 사다리꼴이며, 상기 원형 단면의 면적이 상기 타게트측으로부터 상기 웨이퍼측으로 감소되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 처리 콤포넌트.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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