KR940009728B1 - 자기 기록매체 - Google Patents
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Abstract
내용 없음.
Description
본 발명은 자기기록매체에 관한 것이며, 더욱 상세하게는 적어도 2층의 코발트를 주체로한 강자성 금속박막을 증착하여 비자성 기체에 지지시킨 수평 기록형 자기기록매체에 관한 것이다.
근년에 자기기록매체는 고기록 밀도를 가지는 것이 요구되고 있다. 그중에서도 코발트를 주체로하고 니켈 또는 유사원소를 첨가한 강자성 금속박막을 사용한 자기기록매체는 포화자속밀도가 크고 보자력이 높기 때문에 연구의 촛점이 되고 있다. 이러한 유형의 자기기록매체는 각종 방법으로 제조될 수 있는데 연속적으로 입사각을 변화시키는 퇴적법으로 알려진 경사(oblique) 증착법도 포함된다. 경사 증착법의 바람직한 양태중의 하나는 2층 이상의 강자성 금속박막을 비자성 기체상에 증착시켜 그위에 다층 구조를 형성하는 것이다. 경사 증착법에 있어서 각각의 강자성 금속박막층은 증착과 같은 기상(vapor phase)법으로 강자성 금속의 증기를 공급하여 비자성 기체표면에 일정한 각도로 향하도록하여 제조된다. 제2층 또는 상부층은 강자성 금속의 주상결정립을 아래에 놓인층의 강자성 금속의 주상 결정립의 성장 방향과 교차하는 방향으로 성장시켜 얻는다. (특공소 56-26891, 56-42055, 63-21254, 60-37528, 특개소 54-603, 54-147010, 56-94520, 57-3233, 57-30228, 57-13519, 57-141027, 57-41028, 57-141029, 57-143730, 57-143731, 57-147129, 58-14324, 58-50628, 60-76025, 61-110333, 61-187122, 63-10315, 63-13117, 63-14317, 63-14320, 63-39127참조).
다층구조는 보자력 및 기타 전자기적 성질과 기계적성질을 개선시킨다. 그러나 개선이 더 필요하다.
수평 기록형의 자기기록매체에 관하여, 본 발명자들은 강자성 금속박막에서의 주상 입자의 성장방향과 그것들의 상호관계 및 그러한 막들의 두께와 그것들의 상호관계가 충분히 연구되지 않았으므로 전자기적 성질과 내구성면에서 개선의 여지가 있음을 발견하였다. 이러한 문제점들을 해결하기 위하여 본 출원인은 JP-A 9015/1988에서 상층의 주상입자의 성장 방향이 하부층의 주상입자의 성장방향과 교차하는 2층의 Co-Ni계 강자성 금속박막으로 이루어지는 자기기록매체에 주의를 돌렸다. 상부층을 하부층보다 얇도록 두께를 선택하여 전자기적 성질과 내구성 및 주행성을 개선시켰다. 사실상 내구성과 주행성은 만족스러울 정도로 개선되었지만 전자기적 성질은 여전히 개선할 여지가 남아있었다.
동일한 2층형의 자기기록매체에 관하여, 본 출원인은 JP-A 10314-1988에서 최소 입사각을 조절함으로써 전작기적 성질과 내구성을 개선시키는 시도를 하였다. 최소 입사각은 각각의 강자성 금속박막의 최종증착단계에서의 금속입자의 입사방향과 비자성 기체의 법선간의 각도이다. 그러나 상층의 최소 입사각이 비교적 크고 2층 배열이기 때문에 내구성, 특히 고운 고습하에서의 내구성과 전자기성은 예컨대 만족스럽지 못하였다.
경사증착법으로 형성된 3층 이상의 강자성 금속박막을 가진 자기기록매체도 알려져 있다. JP-A 134317/1987에 개시된 것은 각 강자성 금속박막층간의 두께 상호관계를 예상할 수 없고 금속입자의 입사각이 더 크기 때문에 전자기 특성 또는 내습내온도성이 만족스럽지 못하였다. JP-A 60205/1978에는 각층이 500 내지 700Å으로 두께가 거의 같고 강자성 금속의 입사각이 22 내지 72도이기 때문에 내부식성이 떨어지는 유사한 매체가 개시되어 있다. 또 JP-A 39127/1988과 10315/1988에서는 최상층의 강자성 금속박막이 산화물로 산화되어 내구성은 증대하지만 그 산화물로 인해 전자기성은 떨어지는 문제점이 있다.
따라서 본 발명의 목적은 상기한 종래기술의 문제점들을 극보하고 전자기성 및 고온 고습하에서 내구성도 동시에 충족시키는 다층의 경사증착 강자성 금속박막을 가진 신규하고 개선된 자기기록매체를 제공하는 것이다. 상기 목적 및 기타 목적은 최대치 θmax과 최소치 θmin사이에서 변화하는 입사각으로 경사 증착하여 형성된 적어도 2층의 코발트를 주성분으로 하는 강자성 금속박막을 필수성분으로 하는, 비자성 기체의 주표면상의 자성층으로 이루어지는 자기기록매체를 제공함으로써 이루어진다. 기체 가까이와 기체로부터 떨어져 놓인 강자성 금속박막을 각각 최하층과 최상층으로 가정한다. 제1구체예에서 강자성 금속박막의 최하층은 강자성 금속박막의 최상층보다 더 작은 θmax값에서 증착된다.
제2구체예에서, 강자성 금속박막의 초상층은 강자성 금속박막의 최하층보다 더 큰 θmin값에서 증착된다. 제1및 제2구체예의 필요조건의 조합도 생각할 수 있다.
바람직하게는 최상층에 대한 강자성 금속의 퇴적과 관련된 θmax과 θmin의 합은 최하층의 θmax과θmin의 합보다 크다. 두층은 강자성 금속의 입사방향이 기체 표면의 법선 반대쪽에서 서로 교차하도록 증착된다. 최상층과 최하층의 퇴적시 최소 입사각 θmin은 각각 20 내지 60°와 10 내지 50°이다. 최상층과 최하층의 퇴적시 최대 입사각 θmax는 각각 80 내지 90°와 31내지 89°이다.
경사증착법을 사용한 자기기록매체의 제조에 있어, 강자성 금속박막은 원통상의 냉각 드럼을 그 표면에 비자성 기체를 수반하여 회전하도록하면서 금속을 증착시키기 위해 강자성 금속원에 전자빔을 조사하거나 에너지를 공급함으로써 비자성 기체에 증착된다. 강자성 금속의 입사방향과 기체 표면의 법선간의 각이 통상 입사각으로 알려져 있다. 실제로 입사각은 시작에서부터 끝날때까지 점차 간소하도록 증착된다. 따라서 비자성 기체에 퇴적된 강자성 금속박막의 주상입자 또는 결정은 기체에 인접한 쪽에서 기체표면에 거의 평행하게 배향하지만 기체로부터 떨어져 위치함에 따라 원호형상으로 성장한다. 증착시에 입사각의 최대치와 최소치는 일반적으로 각각 최대 입사각 θmax과 최소 입사각θmin으로 알려져 있다. θmax는 90°까지이고 입사각이 θmax에서 θmin으로 변화함에 따라 증착효율은 증가한다. 자성층이 표면에 평행한 방향으로 자화될 수 있는 수평기록형 자기기록매체에 있어서 θmax은 90°로 설정된다. 이것은 기체표면에 대한 주상입자의 평균기울기가 θmax이 클수록 감소되어 강자성 금속박막이 표면에 평행한 방향으로 보자력 Hc이 증가되기 때문이다.
본 발명의 제1구체예에서 최하층, 즉 기체에 인접한 강자성 금속박막은 최상측, 즉 기체로부터 떨어져 위치한 강자성 금속박막에 사용된 θmax보다 θmax가 더 작다. 이것은 최하층이 90°보다 작은 θmax에서 증착됨을 나타낸다. 그 이유는 다음과 같다.
비자성 기체에는 일반적으로 기체 표면으로부터 위에 놓인 강자성 금속박막으로 이동할 수 있는 산소 및 수분이 함유되어 있다. 따라서 강자성 금속박막은 기체쪽으로부터 부식이 일어난다. 한 연구는 거의 90°인 θmax에서, 즉 기체표면에 거의 평행하게 퇴적된 강자성 금속의 일부에서 주상입자는 낮은 퇴적효율로 인해 직경이 더 작고 기체내에 산소와 물이 투과할 수 있는 틈이 입자사이에 있게되어 부식을 촉진함을 나타내주었다.
본 발명자들은 90°보다 작은 θmax에서 최하층을 퇴적하여 틈형성을 최소화함으로써 내부식성이 개선된 자기기록매체를 만들 수 있음을 발견하였다. 틈을 감소시키면 강자성 금속의 패킹밀도를 증가시킬 수 있고 이것은 차례로 포화 자화도를 높인다.
Hi-8 규격의 표준 비디오 기록에서 저역신호(0.75㎒)의 색신호)와 고역신호(7.0㎒의 휘도신호)가 중첩기록된다. 증착된 적어도 2층의 금속박막필름을 가진 본 발명의 자기기록매체는 저역신호가 주로 최하층에 기록되도록 고안된다. 최하층은 θmax이 작은 쪽으로 퇴적되어 Hc가 더 낮아지지만 저역신호를 기록하기에는 유리한 전자기 특성을 나타낸다.
한편 최상층은 최상층 증착시의 θmax이 최하층 증착시의 θmax보다 크기 때문에 Hc가 증가되고 고역신호를 기록하기에 적당한 전자기 특성을 지닌다. 결론적으로, 매체는 전체적으로 높은 내부식성을 지니면서 전체에 걸쳐 개선된 전자기적 특성을 지닌다.
본 발명의 제2구체예에서, 강자성 금속박막의 최상층은 강자성 금속박막의 최하층을 퇴적하는데 사용되는 θmin보다 더큰 θmin값에서 퇴적된다. 최소 입사각 θmin은 θmin의 값이 크면 주상입상의 평균 기울기가 작아지고 Hc가 증가되도록 주상입자의 기울기와 관련되어 있다. θmin이 작아지면 차례로 주상입자의 평균 기울기가 커지고 주상 입자의 대다수가 고효율로 퇴적되어 입자는 직경이 더욱 균일해지고 그 사이에 틈이 적어져 더 조밀한 막이 된다. 그런다음, 제 2구체예의 최소 입사각을 조절하면 최상층이 높은 Hc를 가지고 최하층이 비교적 낮은 Hc를 가지도록 할 수 있다. 자성층은 전체적으로 전자기적 특성이 개선되고 최하층은 내부식성을 향상된다. 제1구체예에서처럼 최상층과 최하층의 증착과 관련하여 θmax값을 부가적으로 조절함으로써 더 개선된다.
제 1 구체예와 제 2 구체예에서 최상층으로서의 강자성 금속의 최적과 관련된 θmax θmin의 합이 최하층으로서의 강자성 금속퇴적과 관련된 θmax과 θmin의 합보다 클 경우 전자기적 특성과 재부식성이 더 개선된다.
본 발명에 따른 자기기록매체의 구성을 더욱 상세히 설명하기로 한다. 자기기록매체는 비자성 기체와 주표면에 퇴적된 자성층으로 이루어진다. 비자기성기체의 재질에 특별한 제한은 없다. 강자성 금속의 증착시에 발생하는 열에 견딜수 있는 수지의 세편 또는 필름, 예컨대 폴리에틸렌 테레프탈레이트가 사용된다. 기타 유용한 재료는 JP-A 10315/1988에 개시되어 있다.
기체위에는 모두 경사증착법으로 형성된 코발트를 주성분으로 하는 적어도 2층의 강자성 금속박막을 필수성분으로 하는 자성층이 형성되어 있다. 적어도 2층중에서 기체에 인접하여 퇴적된 층과 기체로부터 떨어져 퇴적된 층을 여기서 각각 최하층과 최하층으로 지정한다.
본 발명의 제1구체예에 따르면, 강자성 금속박막의 최하층과 관련된 θmax이 강자성 금속박막의 최상층과 관련된 θmax보다 작다. 결과적으로 내부식성과 전자기적 특성 모두 개선된다.
바람직하게는 최상층의 증착시 최대 입사각 θmax은 80 내지 90°, 특히 85 내지 90°이고, 최하층의 증착시는 최대 입사각 θmax은 31 내지 89°, 특히 600 내지 84°이다.
본 발명의 제2구체예에 따르면 강자성 금속박막의 최상층과 관련된 θmin은 강자성 금속박막의 최하층과 관련된 θmin보다 더 크다. 결과적으로 내부식성과 전자기적 특성 둘다가 개선된다.
바람직하게는, 최상층의 증착시에 최소 입사각 θmin은 20 내지 60°, 특히 31 내지 60°이고, 최하층의 증착시에 최소 입사각 θmin은 10내지 50°, 특히 10 내지 30°이다. 제1및 제2구체예의 조건을 동시에 만족시킬때 더 나은 결과가 얻어진다.
제1및 제2구체예중 어느 하나 또는 둘다에서 최상층에 대한 강자성 금속의 증착과 관련된 θmax과 θmin의 합계는 바람직하게는 최하층에 대한 강자성 금속의 증착과 관련된 θmax과 θmin의 합보다 크다. 최상층과 관련된 θmax과 θmin의 합계는 바람직하게는 100내지 150°, 특히 116 내지 150°이고, 한편 최하층과 관련된 θmax과 θmin의 합계는 바람직하게는 41 내지 139°, 특히 70 내지 114°이다.
또한 바람직하게는 강자성 금속박막의 두층은 기체 표면의 법선의 한쪽위에 있는 한층의 강자성 금속의 입사방향이 그 법선의 반대쪽위에 있는 나머지 다른층의 강자성 금속의 입사방향과 교차되도록 증착된다. 달리 말하면 두층에 있는 강자성 금속 주상 입자의 성장 방향이 기체표면의 법선의 반대쪽에서 서로 교차한다.
이러한 교차하는 입자 배향은 비자성 기체의 이동방향을 역으로 하여, 즉 기체를 한 방향으로 움직이면서 한층을 경사 증착하고 기체를 반대방향으로 움직이면서 또다른 층을 경사증착함으로서 이루어진다.
3층 이상이 포함될 경우는 입사방향 교차배열을 만족시키는 두층은 최상층과 인접한층, 또는 최상층과 한층을 사이에 두고 최상층과 인접하여 증착된 층이다. 이러한 배열에 있어서, 최상층과 제1 또는 제2의 이어지는 층은 자성층이 전역에 걸쳐 개선된 전자기적 성질을 갖도록 고역 및 저역신호에 대해 적당한 Hc값을 갖도록 된다.
강자성 금속박막층의 수는 중요하지 않다. 특정한 목적에 따라 2,3,4 또는 그 이상의 층의 배열을 선택할 수 있다. 3층 이상의 다층 배열의 경우 최상층과 최하층에 개재한 중간층은 중간층이 최적이 Hc와 내부식성을 갖도록 기록 신호역과 잔여층의 두께를 고려하여 θmax, θmin, 두께 및 주상입자 성장방향과 같은 증착변수를 선택하여 형성될 수 있다. 저역신호와 고역신호가 Hi-8 규격 비디오 기록에서처럼 중첩 방법으로 기록될 경우 증착변수는 각층에 할당된 기록신호역을 고려하여 결정된다.
자성층을 구성하는 강자성 금속박막은 코발트를 주성분으로 하는 재료이고, 바람직하게는 코발트-니켈합금, 가장 바람직하게는 약 800mol%의 Co와 약 20mol%의 Ni로 이루어지는 코발트-니켈합금이다. 10mol% 이하의 Cr을 함유하는 것도 용인된다. 코발트를 주성분으로하는 금속재료는 JP-A 10315/1988에 개시된 것처럼 부가의 금속을 더 함유할 수도 있다. 필요로 한다면, 내부식성을 개선하기 위해 표면하층에 소량의 산소를 혼입할 수도 있다.
각각의 강자성 금속박막 또는 층은 두께가 약 400 내지 1200Å이다. 최상층의 두께가 400Å 미만이면 약 7.0㎒의 고역신호가 부수적인 출력손실과 함께 적은 정도로 기록된다. 두께가 1200Å이상이면 잡음이 증대하여 S/N이 저하된다. 전체적으로 자성층은 액 0.75㎒의 저역에서 충분한 출력을 얻을 수 있기 때문에 두께가 적어도 2000Å인것이 바람직하다. 저역과 고역 둘다에서 높은 출력을 얻기 위해 층두께는 최상층에서 하층으로 증가된다. 모든 강자성 금속박막은 경사증착으로 형성된다. 경사증착방법 및 장치는 문헌에 설명되어 있는 앞에서 언급한 특허공보에도 있으며 어느것을 사용해도 된다.
간략하게 말하면, 경사증착은 회전하는 냉각드럼의 표면과 접한 공급롤로부터 풀린 장척의 필름현상이 비자성 기체를 공급하고, 적어도 하나의 강자성 금속 원에 전자빔을 조사하거나 에너지를 공급하여 금속을 증발시키고, 움직이는 기체의 노출된 표면에 금속을 퇴적하고, 권취롤에 기체의 길이를 권취함으로써 행해진다.
입사각은 퇴적이 시작될때 θmax에서 퇴적이 끝날때 θmin으로 변하고 코발트를 주성분으로한 강자성 금속의 주상입자는 기체 표면에 활모양으로 근접하여 성장한다. 한층이상이 생성될 경우 이 과정이 반복된다. 강자성 금속의 입사방향이 기체 표면의 법선의 반대쪽에서 서로 교차하도록 두층의 강자성 금속박막을 퇴적하려고 하는 경우 제2층의 퇴적시 기체의 이동방향은 제1층의 이동방향과 역으로 된다.
본 발명에 따른 자기기록매체의 자성층에 자성층을 보호하고 내부식성을 개선시키기 위해 종래의 어떤 보호막층도 사용할 수 있다. 또한 테이프 형태로 매체가 유연하게 이동하도록 자성층의 반대쪽 표면에 공지의 각종 백코트(backcoat)층을 구비할 수 있다.
본 발명에 따른 자기기록매체는 고밀도 기록이 필요한 각종 유형의 자기기록에 유용하고 특히 고역신호와 저역신호가 중첩하여 기록되는 H-8규격에서 필요한 것처럼 비디오 기록에 유용하다.
[실시예]
본 발명의 실시예는 설명하기 위한 것이며 제한하는 것은 아니다.
[실시예1]
공급롤로부터 두께가 7㎛인 장척의 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET) 필름을 풀어내어 회전원통상 냉각 드럼의 주면을 따라 공급하고 20at% Ni-CO 합금을 증발시켜 강자성 금속박막의 하층에 퇴적시키고 나서 권취롤에 코팅된 PET 필름을 권취하여 10-4Torr의 아르곤 분위기에서 경사증착을 행하였다.
다음으로 결과의 권취롤을 공급롤로 사용하는 것을 제외하고는 상기와 동일한 방법으로 경사 증착을 반복하여, PET 필름표면에 법선의 반대쪽에 있는 하층의 입사방향과 교차하는 입사방향으로 상부층의 강자성 금속이 퇴적되도록 강자성 금속박막의 상부층을 하부층위에 퇴적하였다.
2층 구조의 자성층을 가진 자기기록매체를 얻었다.
표1에 나타낸 것처럼 하부 및 상부층의 증착시에 최소 및 최대 입사각 θmin과 θmax을 변화시켜 일련의 자기기록매체샘플을 제조하였다.
모든 샘플에 있어서, 하부층의 두께는 1100Å이었고, 상부층의 두께는 900Å이었다.
샘플을 8mm의 너비로 잘라내어 Hi-8규격의 비디오 카셋트를 제조하였다.
(1)발청
60℃ : RH 90% 의 환경에서 1주간 보존후 테이프 샘플의 자성층쪽의 변색도를 육안으로 판정하였다.
평가 기준은 하기와 같다.
◎ : 변화없음
○ : 담황색으로 변색
: 황색으로 변색
× : 청색으로 변색
(2) 커핑(Cupping)
60℃, 90% RH에서 1주간 보존후 테이프 샘플을 평면상에 놓고 테이프 폭방향 단부의 컬링높이 h를 측정하였다.
평가 기준은 하기와 같다.
◎ : ｜h｜=0
○ : 0 〈 ｜h｜≤0.2mm
: 0.2mm〈｜h｜≤0.5mm
× : 0.5mm≤｜h｜
커핑은 테이프 폭방향의 변형도를 나타내는 지표이고 커핑이 클수록 테이프와 자기헤드간의 간격을 일정하게 유지하기 어려우므로 출력 변동이 커진다.
(3) 전자기 특성(7㎒에서)
Hi-8규격 VTR 데크 SONY EV-S900을 사용하여 7㎒의 단일 신호를 기록하고 기준 테이프의 RF출력과 비교할 RF출력을 측정하기 위해 재생되었다.
평가 기준은 하기와 같다.
◎ :(RF 출력)≥2.0dB
○ : 0 dB≤(RF 출력)〈2.0dB
△ : -1.0dB≤(RF 출력)〈0dB
× :(RF 출력)〈-1.0dB
측정시에 자기헤드의 상대적 이동방향은 상층의 주상입자의 성장방향을 PET필름 표면에 투영한 방향으로 하였다.
(4)Bm
60℃, 90% RH에서 1주간 보존전후 최대 자화 Bm을 측정하고 초기의 Bm에 대해 증가분Bm을 구하였다.
(5) 드롭아웃(dropout) 경시변화
50℃, 80% RH에서 1주간 보존전후 드롭아웃을 측정하고 초기의 드롭아웃에 대한 증가분DO를 측정하였다.
출력감소 16dB 이상이 15μsec이상 계속된 것을 드롭아웃으로 판정하였다.
(6)주행마찰 경시변화
50℃, 80% RH에서 1주간 보존전후 동마찰계수 μ를 측정하고 초기의 μ에 대한 증가분 △μ를 측정하였다.
[표 1]
샘플 No.101, 102 및 105는 상층과 하층이 동일한 조건에서 형성된 비교용 샘플이고 샘플 No.1내지 3은 본 발명의 범위에 속한다.
본 발명의 이점은 표1의 데이타로부터 명백하다.
하층 θmax보다 작게 설정된 샘플 No.1은 하층 θmax을 제외하고는 샘플 No.1과 동일한 입사각을 가진 샘플 No.101과 비교했을때 내부식성이 현저히 향상되고 상층 θmax을 제외하고는 샘플 No.1과 동일한 입사각을 가진 샘플 No.105와 비교했을때 전자기적 특성이 현저히 개선되었다.
상층 θmin이 하층 θmin보다 크게 설정된 샘플 No.2는 상층 θmin을 제외하고는 샘플 No. 1과 동일한 입사각을 가진 샘플 No.101과 비교했을때 현저히 개선된 전자기 특성을 나타내었고 하층 θmin을 제외하고는 샘플 No.1과 동일한 입사각을 가진 샘플 No. 102와 비교했을때 현저히 개선된 내부식성을 나타내었다.
샘플 No.1과 2의 조건을 둘다 만족시키는 샘플 No.3은 내부식성과 전자기특성 둘다 우수하였다.
[실시예 2]
자성층이 표2에 나타낸 것처럼 세층의 강자성 금속박막으로 이루어지는 것을 제외하고는 실시예1의 방법에 따라 자기기록매체샘플을 제조하였다. 하층, 중간층 및 상층은 각각 두께가 700Å이었다.
표2에서 주상 입자의 성장 방향에 해당하는 각층의 퇴적방향은 테이프 표면에 투영된 상기 방향이 테이프에 대해 자기헤드의 상대적인 이동방향과 일치하거나 또는 반대일때 각각 + 또는 -로 표시한다.
샘플을 실시예 1에서와 동일한 시험으로 조사하고 그 결과를 표 2에 나타내었다. 추가된 시험은 하기와 같다.
(4) 전자기 특성(0.75㎒에서)
Hi-8규격 VTR 데크 SONY EV-S900을 사용하여 0.75㎒의 단일 신호를 기록하고 기준 테이프의 RF출력과 비교할 RF출력을 측정하기 위해 재생하였다.
평가 기준은 하기와 같다.
◎ :(RF 출력)≥2.0dB
○ : 0dB≤(RF 출력)〈2.0dB
△ : -1.0dB≤(RF 출력)〈0dB
× :(RF 출력)〈-1.0dB
[표 2]
본 발명의 이점은 표 2의 데이타로부터 명백하다.
3층 구조의 자성층은 본 발명의 교시에 따라 각층을 증착함으로써 내부식성이 개선된다.
전자기적 특성은 실질적으로 저역과 고역 모두에서 개선된다.
내식성이 현저한 자기기록매체를 기술하였다.
이 자기기록매체를 전자기적 특성의 경시적 변화가 거의 없고 커핑이 거의 없어 매체와 자기헤드사이의 간격의 경시변화가 거의 없다.
또한 드롭아웃과 테이프 형태에서의 동적 전달의 경시변화가 최소화된다.
따라서 매체는 내구성과 신뢰성이 있다.
또한 매체는 저역으로부터 고역신호까지 필요 주파수 범위에 걸쳐 바람직한 전자기 특성을 나타낸다.
몇몇 바람직한 구체예를 기술하였지만 상기 교시를 고려하여 많은 수정과 변경이 가능하다. 따라서 첨부한 청구범위내에서 본 발명은 구체적으로 기재한 것과 달리 실행할 수 있음을 이해할 것이다.
Claims (12)
- 비자성 기체의 한 주표면상에 복합자성층을 가지며 이 복합자성층은 최대치 θmax과 최소치 θmin사이에서 변하는 입사각으로 경사증착하여 형성된 적어도 2층의 코발트를 주성분으로 하는 강자성 금속박막을 필수성분으로 하여 이루어지고, 기판에 인접하여 증착된 층과 기판으로부터 떨어져 증착된 층을 각각 최하층과 최상층으로 지정한 자기기록매체에 있어서, 강자성 금속박막의 최하층이 강자성 금속박막의 최상층보다 더 작은 θmax값으로 증착되고, 강자성 금속박막의 최상층이 강자성 금속박막의 최하층보다 더 큰 θmin값으로 증착되고, 최상층에 대한 강자성 금속의 증착과 관련된 θmax와 θmin의 합계는 최하층의 θmax와 θmin의 합계보다 크고, 그리고 최상층과 최하층의 증착시의 최소입사각 θmin은 각각 20 내지 60°와 10 내지 50°이고 최상층과 최하층의 증착시 최대입사각 θmax는 각각 80 내지 90°와 31 내지 89°인 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
- 제 1 항에 있어서, 상기한 적어도 두층은 강자성 금속의 입사방향이 기체표면의 법선의 반대쪽에서 서로 교차하도록 증착되는 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
- 제 1 항에 있어서, 최상층 증착시의 최대입사각 θmax는 85 내지 90°인 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
- 제 1 항에 있어서, 최하층 증착시의 최대입사각 θmax는 60 내지 84°인 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
- 제 1 항에 있어서, 최상층 증착시의 최소입사각 θmin은 31 내지 60°인 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
- 제 1 항에 있어서, 최상층 증착시의 최소입사각 θmin은 10 내지 30°인 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
- 제 1 항에 있어서, 최상층과 최하층의 증착시의 최소입사각 θmin은 각각 31 내지 60°와 10 내지 30°이고 최상층과 최하층의 증착시 최대입사각 θmax은 85 내지 90°와 60 내지 84°인 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
- 제 1 항에 있어서, 최상층과 관련된 θmax와 θmin의 합계는 100 내지 150°이고 최하층과 관련된 θmax와 θmin의 합계는 41 내지 139°인 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
- 제 1 항에 있어서, 최상층과 관련된 θmax와 θmin의 합계는 116 내지 150°이고 최하층과 관련된 θmax와 θmin의 합계는 70내지 114°인 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
- 제 1 항에 있어서, 상기한 적어도 2층의 각각은 400내지 1200Å의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
- 제 10 항에 있어서, 강자성 금속박막의 최하층은 강자성 금속박막의 최상층보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
- 제 1 항에 있어서, 상기 복합자성층은 적어도 200Å의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
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