KR940004842A - 포토리소그래피 공정을 줄인 박막트랜지스터의 제조 방법 - Google Patents
포토리소그래피 공정을 줄인 박막트랜지스터의 제조 방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 박막 트랜지스터의 제조 방법에 관한 것으로서, 특히 포토리소그래피 공정을 줄여서 제조 생산성 효율을 도모한 것이다.
본 발명의 특징은 박막 트랜지스터 제조시에, 소오스/드레인 포토레지스트 패턴으로, 저항 접촉층 및 금속층을 각각 건식 및 습식 식각하고, 활성층의 포토레지스트 패턴을 이용하여 게이트 금속층을 습식식각, 활성층 및 게이트 절연층을 건식 식각함으로서 포토리소그래피 공정을 줄인 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도의 본 발명에 따른 박막 트랜지스터의 제조 공정도.
Claims (1)
- 글래스 기판(1)상에 소오스/드레인 금속층(6)과 저항 접촉층(4)을 형성한 후, 소오스/드레인 포토레지스트 패턴을 이용하여 상기 저항 접촉층(4)을 건식 식각한 후, 소오스/드레인 금속층(6)을 습식식각하는 단계와, 상기 저항 접속층(4)상에 활성층(3), 게이트 절연층(5) 및 게이트 금속층(2)을 증착한 후에, 상기 활성층(3)의 포토레지스트 패턴을 이용하여 게이트 금속층(2)을 습식식각한 후에, 활성층(3)과 게이트 절연층(5)을 건식 식각하는 단계를 포함하는 박막 트랜지스터의 제조 방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920015067A KR940004842A (ko) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | 포토리소그래피 공정을 줄인 박막트랜지스터의 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920015067A KR940004842A (ko) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | 포토리소그래피 공정을 줄인 박막트랜지스터의 제조 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR940004842A true KR940004842A (ko) | 1994-03-16 |
Family
ID=67147647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019920015067A KR940004842A (ko) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | 포토리소그래피 공정을 줄인 박막트랜지스터의 제조 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR940004842A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200002480A (ko) | 2018-06-29 | 2020-01-08 | 충청북도 (관리부서:충청북도 농업기술원) | 쌀눈을 포함하는 양갱의 제조방법 |
-
1992
- 1992-08-21 KR KR1019920015067A patent/KR940004842A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200002480A (ko) | 2018-06-29 | 2020-01-08 | 충청북도 (관리부서:충청북도 농업기술원) | 쌀눈을 포함하는 양갱의 제조방법 |
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