KR940001044B1 - 유리 집적 광학소자 및 제조방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음.
Description
제1도는 본 발명에 따른 집적 광학 코넥터(connector)의 모울딩의 개략도.
제2도는 정위치에 광 섬유를 연결시킨 코넥터의 개략도.
제3도 내지 8도는 본 발명에 따른 여러가지 집적 광학 소자들의 개략적인 상면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 하단 모울드 2 : 상단 모울드
3 : 쐐기 4 : 유리 본체
5 : V-홈 6 : 매설광회로
7 : 섬유 16 : 매설 Y광 회로
26 : 가이드 36 : 선형 가이드
40 : 제1매설 구배 굴절 렌즈 41 : 간섭 필터
42 : 제2구배 굴절 렌즈 46 : 단일 모우드 원형 가이드
50 : 매설 구배 굴절 렌즈 60 : 메인 가이드
61 : 지로 62 : 광 검출기
본 발명은 유리 집적 광학 소자 및 제조방법에 관한 것이다. 광학 도파 통신 기술의 개발은 그 기능이 광섬유를 떠나거나 들어가는 광 신호들을 처리하는 것인 새로운 광학 또는 광전자 소자들의 설계에 이르렀다. 수동 광학 소자들은 광전자나, 광자기 또는 광열 효과들에 의존하는 광전 변환을 포함하는 능동 소자들과 구별될 수 있다.
수동 소자들은(a) 최소 손실로 두개의 섬유를 연결하는 코넥터와, (b) 다른 섬유들 사이에 최소한 세개의 광 섬유들을 연결하고 출력을 분산시키는 커플러(결합기 라고도 함)와, (c) 여러 섬유들 사이의 출력을 분산하고 소정의 파장을 선택하는 커플러/멀티플렉서를 포함한다.
능동 소자들은 광 섬유에서 전파하는 출력의 소량을 연결하는 커플러/모니터와, 커플러/증폭기, 광전자 변환기 및 스위치 또는 변조기를 포함한다. 첫번째 세가지 형태들은 광전 변환을 확실하게 하도록 포토 다이오드와 같은 ″능동소자″를 적어도 하나 포함한다.
또한 소자들은 광로에서 단일 모오드(single mode) 전파가 일어나느냐 또는 다모우드(multimode)전파가 일어나느냐에 따라 특성이 달라진다.
수많은 과학 기술들이 이들 소자들을 만드는데 제안되어 왔었다. 이들 능동 또는 수동 소자들을 제작하기 위하여, 때때로 규모를 축소하여 종래의 광학 기술들이 적용되어 왔었다. 좋은 성능들이 얻어졌으나 이들 기술들은 상기의 여러 소자들이 미크론 보다도 양호한 허용 오차로 정렬되어야 하기 때문에 비용이 많이들고, 아울러 상기의 정렬을 획득하기는 아주 어려웠다.
수동 소자들에 있어서, 섬유들 사이의 결합을 하게 하는 섬유 융합 또는 섬유 래핑 기술은 사용이 가능하다. 그러나 이런 기술들은 실행하기에 세심한 주의를 요하기 때문에 널리 적용되지 않는다. 예를 들어, 수많은 포오트(port)를 가진 커플러를 생산하기가 어렵기 때문이다. 또한, 결합율을 제어 하기가 어렵고, 능동 소자들의 집적이 사실상 불가능하다.
또하나 제안되었던 기술은 플레이너형(planar) 집적 광학이다. 이 기술은 빛을 전도시키기 위하여 유전재료 내부에 더 높은 굴절율 영역을 생성함으로써 공학 도파관을 생성시키는 기술이다. 광학 〃인쇄배선회로〃와 같은 것이 그와 같은 방식으로 만들어 질 수 있다. 유전 재료로서는 유리, Si, AsGa 또는 LiNbO3와 같은 것이 제시되었다. 단일 모우드나 다모우드 가이드들은 기판 표면에 형성될 수 있다. 그러한 가이드들은 기판의 굴절율을 증가시키는 이온들(예를들어 : 유리에서 K+,Ag+,T1+과, LiNbO3에서 Ti)을 이식 또는 확산시킴으로써, 또는 보다 큰 굴절율을 가진 층들(Si,AgGa)을 기판상에 형성함으로써 얻어질 수 있다. 유리는 값이 싸고 내부에 강한 분극률 이온들을 확산시키는 것이 용이한 장점을 구비함으로써, 표면 또는 매설도파로의 생성이 가능하다. 확산 공정은 화학 템퍼링(tempering)에서 공지된 용융염 베스(bath)기술을 사용한다(예를들어, 제이 고엘(J.Goell)등에 의해 쓰여진 벨 시스템 테크놀러지 저어널(Bell System Tech.J)지의 1969년판 제48권 페이지 3445∼3448과, 에이치.오스테르베르그(H.Osterberg)등에 의해 쓰여진 저어널 오브 옵틱스 소사이어티 오브 아메리카(J.of Opt.Soc.of America)의 1964년 판 제54권 페이지 1078∼1084 참조). 용융염 베스 확산 기술은 강한 분극률 이온 농도를 베스내에서 조절함으로써 가이드의 굴절율 조절이 가능하다는 장점을 제공한다. 가이드 손실은 유리 표면에 아래에 그것을 매설함으로써 감소될 수 있다. 이것은 전계중에 있는 유리에 초기에 존재하는 이온들(또는 더 낮은 분극률을 가진 이온들)을 내포하는 용융염 베스에서 제2이온 교환 단계를 실행함으로써 이루어질 수 있다. 표면 가이드는 기판내에서 이동할 것이다. 미합중국 특허 제3,880,630호는 그러한 기술을 기술하고 있다. 이 매설 가이드 기술은 실험실에서 좋은 성능을 갖는, 특히 커플러와 같은 집적 소자의 제작을 가능하게 된다. (예를들어, 닛뽕 쉬이트 글라스 테크니컬 리포트 1983년 1월호 페이지 3∼6 참조).
집적 광학에서 해결되어야 할 가장 어려운 문제중의 하나는 집적 소자상에 유, 소오스 또는 검출기를 1미크론 이하의 허용 오차로 기계적으로 위치시키는 것이다. 실험실에서, 그것은 에폭시 수지를 사용하여 섬유를 소자상에 접착시킬 수 있다. 그것은 산업적으로 확대시키기 어려운, 시간이 많이 들고, 세심한 주의를 요하는 단점을 갖고 있다.
광 섬유는 광경로의 단부에 인접한 기판에, 홈을 형성함으로써 광 집적 회로경로에 대하여 일렬로 나란히 정렬되었다. 그러한 장치들은 여러가지 단점들을 가졌다.
V-홈은, 미합중국 특허 제3,774,987호에 제시된 기술인 크리스탈로그래픽 에칭에 의해 실리콘에 정밀하게 형성될 수 있다. 그러나, 효율적이기 위해서는, 광 도파로는 광 도포로 보다 더 낮은 굴절율을 가진 기판 또는 기판층에 있어야 한다. 크리스탈로 그래픽 에칭을 할수 있는 실리콘 및 유사한 재료들이 고굴절율을 가지고 있기 때문에, 그것들은 도파로가 형성될 수 있는 저굴절율 재료의 층이 제공되어야 한다. 그러한 장치에 있어서, 기판 재료는 값이 비싸고, 또한 표면에 저굴절율 재료를 부가하는 공정 비용도 증가한다.
미합중국 특허 제 4,240,849호는 V-홈이 소위 말하는 초음파 절삭 방법에 의해 유리 기판에 형성되거나 모울딩에 의해 플라스틱 기판에 형성될 수 있다는 것을 제시하고 있다. 그리고 플라스틱 층이 홈에 결합된 광 섬유와 일련된 광로를 형성하기 위하여 기판상에 설치된다. 그러한 플라스틱 재료는 손실이 있는 광 도파관을 가져온다. 비록 유리 광로가 기판의 표면상에 용착될지라도, 적용되어야할 용착 기술은 비교적 손실이 있는 도파관을 가져오고, 그러한 기술은 용착될 수 있는 재료의 극소의 두께 때문에 단일 모우드 도파관 형성에 종종 국한된다. 홈이 모울딩에 의해 플라스틱 기판에 정확하게 위치될 수 있는 반면, 플라스틱의 여러가지 특성은 광 도파관 재료로서 사용하기에 바람직하지 못하다. 초음파 절삭에 의한 홈의 형성은 너무 비용이 많이 들어서 상업상 실행할 수 없는 프로세스가 되고, 그 기술에 의해 형성된 홈은 1미크론의 정밀도로 위치될 수 없다.
그러므로 본 발명의 목적은 종래 기술의 전술된 단점들을 극복하하는 집적 광학소자를 제공하는 것이다. 다른 목적은 홈 또는 공동이 극히 고 정밀도로 위치되는 유리 집적 광학 소자를 제공하는 것이다. 또 다른 목적은 유리의 연화점이 충분히 낮아서 공동이 정밀하게 모울드 될수 있고, 광로가 이온 교환에 의해 유리 내부에 형성됨으로써, 모놀리식 구성이 가능하게 하는 조성을 가진 유리로 전술된 특성의 장치를 형성하는 것이다.
좀더 구체적으로 말하면, 본 발명은 최소한 하나의 광 회로를 포함하는 모놀리식 유리 본체를 구비하는 것으로서, 유리 본체가 그것의 적어도 한면이, 그 표면으로 모울드된 모방 절삭된 공동 및 광회로와 일련해 있음을 특징으로 하는 집적 광학 소자에 관한 것이다. 또한, 광 회로는 이온 교환에 의해 표면 내부에 형성됨으로써, 공동에 배치된 광 장치가 광 회로의 광로와 광학적으로 일련된다. 이와 같이 형성된 광 회로는 유리 본체와 같은 구성요소를 포함하고, 또한 그것의 굴절율을 유리 본체의 굴절율 보다 큰 값으로 증가시키는 이온들을 포함한다.
바람직한 실시예에서, 모방 절삭된 공동은 V-홈이다.
그러나, 적용 형태에 따라 집적 광학 소자는 필터, 검출기, 예를들어 포토다이오드 크리스탈 또는 레이저 크리스탈과 같은 광원과 같은 광학 부품들을 정확하게 위치시키도록 다른 형상의 공동들을 포함할 수 있다.
광 회로는 표면에 위치될 수 있으나, 유리 기판 내부에 매설되는 것이 바람직하다. 명백히, 그것은 소자의 기능에 따라 여러 형상을 가질 수 있다.
유리 본체에서의 공동은 여기에 참고로 인용된 유럽 특허출원 EP-A.0078658호 기재된 고정밀 모울딩 프로세스에 의해 형성될 수 있다. 미합중국 특허 제 4,447,550 및 4,433,062호와 영국 특허출원 GB A2,069,994호는 그러한 고정밀 모울딩에 특히 적합한 광학 유리 조성물을 기재하고 있다. 프레싱(pressing)이나 모울딩 후에, 모울드된 본체는 예를들어 앞에서 인용된 미합중국 특허 제3,880,630호에 기재된 프로세스에 의해 광회로 생성단계에 따르게 된다.
유럽 특허원 EP-A-0078658호에 기술된 것과 같은 고정밀 모울딩 프로세스만이 만족한 결과를 가져올 수 있다. V-홈과 같은 공동은 1미크론보다 더 좋은 허용오차로 위치되어야 한다. 반면에 공동 단부면, 예를 들어 V-홈의 3각 단부면은 30〃의 아아크 보다 더 좋은 정밀도로 공동축에 직각이고 평행해야 한다. 상기 면의 표면질은 어떠한 광손실도 확산이나 스캐터링(scattering)에 의해 일어나지 않게 되어야 한다. 0.05미크론 보다 더 좋은 표면 거칠음이 이들 면들 상에 이루어졌다.
유리는 충분히 수용가능한 소정의 판단기준을 양호하게 만족시키는 소자로 만들어진다.
- 유리의 굴절율은 양호하게 결합을 최적하게 하기 위하여 사용된 광 섬유의 피막의 굴절율에 가깝게 되어야 한다. 가장 고품질 섬유의 피막이 실리카로 형성되기 때문에, 유리의 굴절율은 실리카의 굴절율, 즉 약 1.46에 가까워야 한다.
- 양호한 매설 광 회로에 있어서, 유리는 매설 도파관을 생성하도록 이중 이온 교환 처리를 받도록 하기 위하여 Na+,K+,Li+등과 같은 알카리 이온들을 내포해야 한다.
- 유리는 광 전송을 감소시키는 극소량(수 10ppm 미만)의 금속이온, 예를들어 Fe3+또는 Cu2+, 또는 히드록실 이온 OH-을 내포해야 한다.
- 유리는 광 회로를 생성하기 위한 공정에서 사용된 용융염 베스의 존재하에 특히 양호한 내구성이 있어야 한다.
- 유리는 가능한 최저 온도에서 모울드 되도록 하기 위하여 가능한 낮은 변형 온도를 가져야 한다. 이들 낮은 온도는 허용 수명에서 값비싼 고정밀 모울들을 하게 할 뿐만아니라 필요한 높은 재현성을 달성하는데 결정적이다. 일반적으로 말해서, 이들 유리들은 약 500℃ 아래의, 바람직하게는 450℃ 아래의 연화점을 나타내야 한다. 그런 유리들의 예로서 플루오로포스페이트 또는 플루오로보로실리케이트와 같은 플루오린을 함유하는 유리들이다. 후자들은 그들의 보다나은 지속성 때문에 바람직하다.
본 발명의 유리 모놀리식(monolithic) 소자들은 대체로 폴리머 또는 폴리머/유리 합성 소자들을 가능한 잇점들을 가진다. 특히, 이들 소자들은 부가적 손실들을 생성시키는 층간분리 또는 에이징, 온도 또는 습도 변화에 대한 치수 변화를 받지 않는다.
이하 첨부 도면을 참고로 하여 바람직한 실시예와 함께 본 발명을 상세히 설명하고자 한다.
제1도는 각각의 대향 면상에 V-홈을 포함하는 코넥터와 제조를 위하여 평행육면체 유리 본체의 정밀 모울딩을 도시하고 있다. 도면을 명백하게 하기 위하여, V-홈(5)의 치수와 V홈의 각도가 매우 크게 확대되었다.
유럽 특허원 제78658호의 제1도에 도시된 모울딩 장치가 적용될 수 있다. 유럽 특허원 제78658호의 제1도의 모울드(1 및 2)에 대응하는, 제1도의 하단 모울드(1) 및 상단 모울드(2)는 각각 평판과 소형이 일련된 쐐기(3)을 가진 평판을 나타내고 있다. 모울딩 프로세스는 그것의 하나의 표면의 단부에 V-홈(5)을 가진 유리 본체(4)를 형성한다.
그후 모울드된 유리 본체는 그 말단부가 V-홈(5)의 단부면에 수직인 매설 광 회로를 생성하는 공정에 놓인다. 광학 소자를 코넥터로 사용하기 위하여, 그것은 섬유를 V-홈(5)에 연결되도록 그리고 적당한 수단, 예를 들어 아교칠을 함에 의해 고정되도록 위치시켜야 한다.
V-홈에 대해 정확한 치수를 선택하고 정확한 위치에 광회로를 생성시킴으로서, 광회로 말단부와 일치하여 섬유를 위치시키는 것이 용이하다. 섬유는 V-홈상에 그들 자신이 위치될 것이다. 제2도는 그러한 동작의 코넥터를 도시하고 있다. 이 도면에서, 섬유(7)는 매설 광 회로(6)의 단부에 위치된다.
유리 본체(4)의 제조에 사용한 유리는 예를 들어 다음 중량%의 조성을 가진 유리이다 : SiO2: 48%, Al2O3: 14.2%, B2O3: 17.4%, Na2O : 2.4%, K2O : 12.6% 및 F : 5.4%. 이 유리는 d 소듐 광선의 파장에서 1.465의 굴절율을 나타낸다. 이 유리를 출발물질로 하여, 직경 40mm 및 두께 3mm의 디스크가 제조되고, 다음 온도, 압력 사이클을 사용한 유럽 특허원 제A.78658호에 기재된 고정밀 모울딩 프로세스가 준비되어 이루어진다.
-압력을 가하지 않고 10℃/분의 속도로 470℃까지 주위로 부터 가열함.
- 압력을 가하지 않고 17분 동안 470℃에서 시간을 유지함.
- 상단 모울드(2)상에 가해진 110바아(bar)의 압력으로 5분 동안 470℃에서 유지함.
- 어떠한 압력도 가해지지 않을 때까지 압력을 천천히 해제하는 동안 2.5℃/분의 속도로 380℃까지 냉각시킴.
-5℃/분의 속도로 280℃까지 냉각시킴.
- 20℃/분의 속도로 주위 온도까지 냉각시킴.
매설 광 회로의 제조는 다음 예에 따라 이루어진다. 진공 증착을 사용하여, 3000Å 두께의 Ti 코우팅이 V-홈(5)을 가진 유리본체(4)의 상단에 부착된다. 종래의 마이크로-포토리소그래픽(micro-photolitho-graphic) 기법을 사용하여, 폭 20미크론의 채널이 Ti 코우팅에 생성된다. 이 채널은 V-홈 축과 정확하게 일련된다. 유리 본체의 Ti-코우팅면 면은 채널 표면상에, 유리에 존재하는 알칼리 이온을 Ag+이온으로 이온 교환에 의해 치환하기 위하여, 동질량의 조성 AgNO3및 AgCl을 가진 375℃에서 용융염 베스와 3시간동안 접촉된다. 이것은 유리 굴절율을 국소적 및 피상적으로 변화시킨다. 그리고 나서, 유리 본체는 용융염 베스로부터 제거되고, 마스크는 예를들어 암모늄 바이-플루오라이드와 함께 화학적 에칭에 의해 조심스럽게 제거된다. 유리 본체의 후면은 도전성 금 코우팅으로 코우팅되고, 활성측은 83%몰의 KNO3및 17%몰의 NaNO3를 함유한 용융염 베스에 365℃에서 4시간 15분동안 접촉된다. 동시에, 33V/mm의 전계가 베스의 백금 전극과 금으로 코우팅된 본체의 후면 사이에 적용된다.
베스는 금 코우팅에 대해 양극으로 편극된다. 이 프로세스 목적은 광 회로를 〃매설〃하기 위한 것이며, 유리 표면 밀 25미크론에 위치된 직경 50미크론의 유사한 원형 다모우드 가이드들을 얻기 위한 것이다. 그러한 가이드는 0.1의 개구수(N.A.)를 가지며, 약 0.06dB/cm의 손실을 나타낸다.
가이드의 치수, 즉 그것의 N.A. 및 그것의 매설 깊이등이 소망하는 결과를 얻도록 조정될 수 있는 매개변수의 함수라는 것은 아주 명백하다. 가장 중요한 변수들은 다음과 같다 :
- 제1이온 교환 베스의 특성 및 조성으로 Ag+대신에, (더 높은 굴절율을 가져오는) T1+또는 (더 낮은 굴절율을 가져오는) K+을 사용할 수 있다. 대략, 가이드의 굴절율 경도는 제1베스의 활성 이온(Ag+, Ti+, K+등) 농도에 비례한다.
-마스크에서 이루어진 최초 채널들의 폭.
- 제1이온 교환중 전계의 존재 또는 부재로서, 전계가 사용되면, 더 높은 굴절율의 가이드가 얻어진다.
- 제2이온 교환 단계를 한정하는 매개 변수들(온도, 시간, 조성, 전계).
또한, 구배 굴절율의 렌즈들이 상기 기법에 의해 생성될 수 있다는 것을 알아야 한다.
고정밀 모울딩에 사용된 모울드는 텅스텐 카아바이드로 형성될 수 있다. 상단 모울드는 유리 본체에 V-홈을 생성하기 위하여, 3각 단면의 쐐기(3)를 제공한다. 직경 125미크론의 광 섬유를 연결하기 위하여, 본 실시예에서의 각 쐐기는 257미크론의 폭과 129미크론의 높이를 갖는다. 각 쐐기는 길이가 8mm이다. 그러한 모울드는 초정밀 CNC 연삭기 상에서의 기계 가공에 의해 형성될 수 있다. 유럽 특허원 제A.78658호의 제1도에 기재된 장치를 사용하여, 1미크론보다 더 양호한 위치의 허용오차(표준편차)를 가진 유리 본체에 쐐기의 정확한 음각 모형을 달성할 수 있다. 명백하게, V-홈 또는 공동의 치수는 여러 직경들을 가진 섬유를 위해 변형될 수 있다.
또한 모울드는 필터, 검출기와 같은 다른 구성 요소를 위치시키도록 유리 본체에 다른 형태나 공동을 생성하도록 변형될 수 있다.
제3 내지 8도는 여러 소자들이 본 발명에 따라 형성될 수 있는 방법을 예시하고 있다.
제3도는 유리 본체(4)와, 매설 Y광 회로(16)와, 광회로의 각 단부상의 V-홈(5)을 포함하는 커플러-디바이더를 도시하고 있다. Y-지로의 각도 θ는 약 1°이다(이 각도는 도면을 명백히 하기 위해 확대 되었음).
제4도는 단일 모우드 근접 커플러를 도시하고 있다. 단일 모우드 전파의 경우에, 가이드들이 매우 근접하면 에너지의 결합은 극히 미소한 파들을 통해 일어날 수 있다. 커플러는 유리 본체(4)와, 62미크론에서 매설되고, 8미크론의 직경(N.A.=0.1)을 가진 두개의 가이드(26)를 포함하며, 상기 두개의 가이드는 1.3미크론 파장에서 에너지의 50%를 결합시키기 위하여 그들의 6mm 긴 중앙 부분에서의 24미크론 만큼 떨어져 있다. V-홈(5)은 섬유들을 위치시키도록 각각의 가이드 단부에 포함된다.
제5도는 단일 모우드 커플러/멀티플렉서를 예시한다. 이 커플러는 유리본체(4)와, 두개의 선형가이드(36)와, 상기 가이드(36)사이에 공진 루우프를 형성하는 단일 모우드 선형 가이드(46)를 포함한다. 상기 커플링은 선택적인 높은 파장이다. V-홈(5)은 섬유 위치 설정을 하게 하도록 각 단부에 포함된다.
제6도는 다모우드 커플러-멀티플렉서를 도시하고 있다. 그것은 유리 본체(4)와, 이중 교환 기술에 의해 얻어진 제1매설 구배 굴절율 렌즈(40)와, 유리 본체(4)의 모울딩중 얻어진 홈에 위치한 얇은 평판상에 부착된 간섭 필터(41)와, 제2구배 굴절율 렌즈(42)를 포함하고 있다. 상기 렌즈(40 및 42)는 길이 2.1mm, 직경 500미크론이며, 0.025의 포물선의 굴절율 경도를 보인다. 또한 V-홈(5)은 섬유 위치 설정을 위해 포함된다.
제7도는 단일 모우드 광 섬유를 콜리메이팅 렌즈와 일련시키기 위한 집적 광학 소자를 도시하고 있다. 이것은 〃콜리메이티드 비임〃 또는 〃익스팬디드 비임〃 단일 모우드 코넥터에 유용하고 또는 반도체 레이저로부터 단일 모우드 섬유에 광을 연결시키는데 유용하다. 이 소자는 매설 구배 굴절율 렌즈(50)가 이중 이온 교환 기술에 의해 생성된 유리 본체(4)를 포함한다. V-홈(5)은 렌즈(50)의 광축상에 섬유를 정확하게 위치시키게 한다.
제8도는 다모우드 모니터를 도시하고 있다. 그것은 각각의 단부에 V-홈(5)을 가진 주요 가이드(60)를 포함한다. 지로(61)는 가이드(60)에서 통과하는 출력의 약 10%를 분기되게 한다. 상기 지로(61)는 확대되고, 포토검출기(62)가 위치하며, 유리 본체(4)의 모울딩중에 형성된 공동에 이른다.
Claims (6)
- 모놀리식 유리 본체(4)와, 유리 본체의 표면 내부로 모울드된 최소한 하나의 V-홈(5) 및, 유리 본체(4)와 같은 구성요소를 포함하고, 유리 본체의 굴절율 보다 더 큰 값으로 굴절율을 증가시키는 이온들을 추가로 포함하고, 도파로가 V-홈에서 끝나고, 상기 V-홈과 도파로는 상기 V-홈(5)에 위치된 광섬유(7)의 광축이 상기 도파로의 광축에 일련되도록 서로 배치되는, 이온 교환에 의해 상기 표면 내부에 형성된 광 도파로(6)로 구비됨을 특징으로 하는 집적 광학 소자.
- 제1항에 있어서, 상기 유리 본체(4)가 플루오린을 포함함을 특징으로 하는 집적 광학 소자.
- 제1항에 있어서, 상기 유리가 플루오로보로실리케이트 유리임을 특징으로 하는 집적 광학 소자.
- 제1항에 있어서, 상기 V-홈(5)이 상기 광 도파로(6)에 인접한 광특성 단부면을 가지며, 상기 단부면이 단부면에서 상기 경로의 축에 실질적으로 수직임을 특징으로 하는 집적 광학 소자.
- 제1항 내지 제4항중 어느 한항에 있어서, 상기 유리 본체(4)가 500℃미만인 연화점 온도를 가진 유리로 형성됨을 특징으로 하는 집적 광학 소자.
- 본체의 표면에 최소한 하나의 V-홈(5)을 가진 모놀리식 유리본체(4)를 고정밀도로 모울딩하는 단계와, 광도파로의 한 단부가 상기 V-홈(5)에 일련되고, 상기 V-홈에 위치된 광섬유(7)의 광축이 상기 도파로의 광축에 대해 광학적으로 일련되도록, 이온 교환기술로 상기 V홈과 일련된 광도파로(6)를 상기 표면 내부에 형성하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 집적 광학 소자의 제조방법.
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