KR100478800B1 - 광실장 기판, 및 이 광실장 기판을 이용하는 광디바이스와 광모듈 - Google Patents

광실장 기판, 및 이 광실장 기판을 이용하는 광디바이스와 광모듈 Download PDF

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Abstract

프레스 성형(press formation)은 저가로 동일한 형상의 부품을 대량생산할 수 있는 공정임에도 불구하고, 마이크로그라인더(microgrinder)를 사용하는 종래의 금형 처리공정은 광섬유를 가이딩하기 위해 V 자형 홈만을 성형할 수 있었기 때문에 낮은 응용성을 가지고 있었다. 마이크로방전 가공은 마이크로그라인더를 사용하는 연마 공정을 얻기 어려운 금형을 얻는데 사용되고, 광실장 기판은 그러한 금형을 사용하여 프레스 성형에 의해 형성된다, 그 결과, 광섬유, 광도파로, 렌즈, 절연장치, 광필터 및 발광/수광 소자가 수동 정렬로 실장될 수 있고, 그에 의해 다기능을 갖는 광디바이스 및 광모듈이 저비용으로 대량생산될 수 있다.

Description

광실장 기판, 및 이 광실장 기판을 이용하는 광디바이스와 광모듈{OPTICAL PACKAGE SUBSTRATE, AND OPTICAL DEVICE AND MODULE USING THIS OPTICAL PACKAGE SUBSTRATE}
본 발명은 광실장 기판, 광디바이스, 광모듈 및 광실장 기판을 성형하는 방법에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 광부품 및/또는 광소자를 실장하기에 적합한 표면형상을 갖는 실장기판, 및 이와 같은 것을 성형하기 위한 방법에 관한 것이며 또한 실장기판을 사용하여 제작되는 광디바이스 및 광모듈에 관련한 것이다.
광섬유를 사용하는 광통신 시스템은 종래의 원거리 통신 시스템에서 가입자 통신 시스템으로 발전하고 있다. 가입자 형식의 광통신 시스템은 작고 저렴한 광디바이스 및 광모듈이 필요하다.
종래의 광디바이스 또는 광모듈에서, 광섬유, 렌즈 및 광도파로와 같은 부품, 또는 레이저 또는 광다이오드와 같은 광부품 및 광소자들은 확실히 동축 정렬되어야 한다. 일반적으로, 광섬유, 렌즈, 및 광도파로를 배치하는 데는 예를 들어 허용오차 ±1㎛의 높은 정확성이 요구된다. 따라서, 소위 "능동정렬(active alignment)" 방법이 조립 과정에서 널리 이용되고 있으며, 여기서 부품의 배치는 광소자가 레이저 광선을 발사하고 광섬유 및 광도파로를 통해 전파되는 광선의 양을 감시하는 동안 조정된다. 하지만, 이러한 기술은 복잡한 조정 업무가 필요하고, 많은 시간이 소요되어 상당한 비용문제를 초래한다.
반면에, 소위 상기 조정이 필요없이 부품을 배치하는 수동정렬(passive alignment)은 광디바이스 및 광모듈의 조립을 단순화하는 기술로서 관심을 끌어오고 있다. 하나의 전형적인 수동정렬 기술에서, 광모듈은 실리콘 기판을 사용하여 조립되고, 이 기판은 매우 정확하게 습식 에칭될 수 있다(예를 들어, 일본특허 공개번호 제 2001-21771). 이러한 기술은 도 26을 참고로 설명된다.
도 26에서, 실리콘으로 이루어진 광실장 기판(261)은 광섬유(264)가 실장되는 가이드 홈(소위 "V 홈")(262), 레이저(266)를 위치조정하기 위한 표식(267), 및 레이저 광선을 광섬유(264)에 초점을 맞추기 위한 렌즈(265)(도면에 도시된 평면 마이크로 렌즈)가 실장되는 가이드 홈(263)을 포함한다. 광실장 기판(261) 상에서, 광섬유(264) 및 렌즈(265)는 가이드 홈(262 및 263)에 각각 실장되고, 레이저(266)는 표식(267)과 정렬된 상태로 고정되어 상기 부품들은 서로에 대해 위치조정된다.
광섬유(264) 및 렌즈(265)의 실장이 간단해짐과 동시에, 이러한 종래의 형상으로 광결합 효율은 렌즈(265)를 사용함으로써 증가된다. 도 26에 도시되지는 않았지만, 절연장치를 유지하기 위한 홈은 가이드 홈(262)과 가이드 홈(263) 사이에 형성될 수 있고, 이로 인해 레이저(266)로 반사되어 되돌아가는 광선이 감소한다.
하지만, 도 26에 도시된 종래의 광실장 기판(261)은 하기의 문제점을 갖는다.
광섬유를 위치조정하는 가이드 홈(262)은 실리콘의 이방성 습식 에칭처리로 형성될 수 있다. 이러한 처리는 실리콘의 표면(111)이 KOH를 주성분으로 하는 부식액으로 선택적으로 에칭되는 현상에 기초하며, 정형화된 SiO2 마스크를 사용하여 정확한 각도로 가이드 홈(262)을 형성할 수 있다.
하지만, 렌즈(265)(또는 절연기)가 위치되는 가이드 홈(263)의 측벽이 수직으로는 연장하지만 V 홈과 같이 경사지지는 않기 때문에, 가이드 홈(263)은 습식 에칭 처리 대신 다이싱(dicing) 처리에 의해 형성된다. 특히, 렌즈(265) 및 광섬유(264)의 광축은 서로 정렬되어야 하기 때문에, 렌즈(265)가 위치되는 가이드 홈(263)은 그것의 깊이 및 위치에 대해 미크론 차수의 높은 정확성으로 형성될 필요가 있고 그에 의해 대량생산이 방지된다. 또한, 금형 처리에서, 광실장 기판(261)은 균일한 홈 깊이(도 26의 가이드 홈(263))를 얻기 위해 폭 전체에 걸쳐 처리되어야 한다. 따라서, 도 26에 도시된 광실장 기판(261)에서, 렌즈(265)의 위치를 광축에 수직한 방향 즉, 광실장 기판(261)의 폭 방향으로 능동적으로 조정할 필요가 있다. 또한, 기판에 실장될 수 있는 렌즈(265)는 평면 렌즈로 제한된다.
상기한 바와 같이, 실리콘으로 만들어진 광실장 기판에 다른 단면을 갖는 다수의 홈이 형성되는 경우에, 다른 형상의 홈에 대해 다른 형태의 처리과정을 실시해야한다.
본 발명의 기술분야에서 알려진 또 다른 방법은 실리콘 광실장 기판 대신에 유리 광실장 기판에 프레스 성형으로 광섬유를 고정하기 위한 가이드 홈을 형성하는 것이다(예를 들어, 일본특허 공개번호 제 2000-54222 호). 프레스 성형은 비구면 유리 렌즈를 제작하기 위한 방법으로 이미 사용되고 있는 본 발명의 분야에서 알려진 기술이다. 이러한 기술은 도 27을 참고로 설명될 것이다.
우선, 중앙에 테라스(272)(오목 부분)를 구비하는 유리 기판(271) 및 한 표면에 광섬유가 실장되는 홈(V 홈)을 형성하기 위한 V형상의 돌출부를 구비하는 금형(273)이 제공된다(도 27(a)). 그리고, 금형(273)은 고온 열처리로 연해진 유리 기판(271)에 프레스되어 광섬유를 위한 가이드 홈(274)이 유리 기판(271) 상에 형성된다(도 27(b)). 그리고, 광도파로(276)를 구비하는 광도파로 기판 (275)이 유리 기판(271)의 테라스(272)에 맞춰진다. 마지막으로, 광섬유(277)가 각 가이드내 홈(274)에 고정된다(도 27(c)). 상기 단계를 통해, 광도파로(276) 및 광섬유(277)가 서로 연결된다.
상기 프레스 성형은 초경합금 또는 이와 유사한 것으로 만들어진 금형이 필요하다. 전기주조 니켈과 같이 플라스틱 성형을 위한 금형에 사용되는 재료는 유리의 프레스 성형에 고열저항 및 고강도를 갖는 금형이 필요하기 때문에 사용될 수 없다. 도 28a 및 도 28b는 V홈을 성형하기 위해 사용되는 금형을 형성하는 전형적인 종래의 방법을 도시한다. 상기 금형은 마이크로그라인더를 사용하여 형성되고, 상기 그라인더는 끝이 V형상인 디스크 형상의 다이아몬드 연마석(281)을 포함한다. 도 28b에 도시된 금형(283)은 도 28a에 도시된 바와 같이, 연마석(281)의 한 쪽 끝으로 평평한 초경합금(282)을 연마하여 얻어진다. 그리고, 제작된 금형(283)은 열처리로 연해진 유리재료에 프레스되어, 유리재료 상에 금형의 반전된 패턴이 형성된다. 따라서, 이렇게 형성된 가이드 홈(V 홈)을 구비하는 기판은 낮은 비용으로 대량생산될 수 있다.
유리를 프레스하는 방법은 생산성 면에서 실리콘을 에칭하는 다른 방법보다 우수하다. 또한, 기판의 재료인 유리를 통해 자외선이 전달되기 때문에, 자외선 경화(UV-curing)가 실장기판 상에 광섬유를 실장(고정)하는 데 사용될 수 있다. 따라서, 광부품 또는 광소자를 실장하는 처리과정을 빠르게 그리고 단순화할 수 있다.
하지만, V홈을 형성하는 금형을 제작하는 데 있어 마이크로그라인더를 사용하는 것은 형성될 수 있는 금형의 형상의 다양성에 제약을 가하게 된다. 예를 들어, V형상의 돌출부가 디스크 형상의 연마석으로 형성될 수 있는 반면, 다른 복잡한 형상을 갖는 금형은 디스크 형상의 연마석으로 형성될 수 없다. 특히, 도 26에 도시된 바와 같은, 프레스 성형으로 가이드 홈 근처에 렌즈 가이드 홈(263)을 포함하는 광실장 기판(261)을 얻기 위해, 가이드 홈(262)을 성형하기 위한 V형상의 돌출부 및 상기 가이드 홈(263)을 성형하기 위한 벽형상의 돌출부를 포함하는 금형이 제공되어야 한다. 하지만, 마이크로그라인더로 V형상의 돌출부를 형성할 때, 마이크로그라인더는 벽형상의 돌출부를 방해하여, 금형 재료가 의도한 대로 처리되는 것을 방해한다. 예로 보인 바와 같이 마이크로그라인더로 복잡한 형상을 형성하는 것은 어렵고, 단순한 형상을 형성하기 위한 금형을 제작하는 것만이 가능하다(예를 들어, 평행한 V홈 배열을 갖는 기판).
따라서, 종래의 유리 프레스 성형으로 복잡한 형상을 갖는 금형을 제작하는 것은 불가능하다. 그러므로, 제한적 적용예를 갖는 광실장 기판을 성형하는 것만이 가능하다(예를 들어, 광도파로와 같은 다른 부품과의 연결을 제공하기 위해 위치되는 광섬유와 나란한 V홈을 갖는 기판). 이러한 제약으로 인해, 금형을 이용하는 프레스 성형은 광실장 기판 제작에 사용되고 있지 않다.
도 27에 도시된 바와 같이 광섬유(277)를 위한 가이드 홈(274)을 형성할 때, 수평방향 및 높이(수직)방향에 대해 광도파로(즉, 유리 기판(271))에 형성된 테라스(272))의 소정의 위치를 정확하게 해야한다. 특히, 금형(273)과 유리 기판(271) 사이의 수평방향 정렬에 대해 그리고 상기 금형(273)이 유리 기판(271)에 높이방향으로 프레스되는 이격거리에 대해서도 ±1㎛의 허용오차가 필요하고, 상기 공차는 성형과정이 실행될 때마다 요구된다.
하지만, 도 27에 도시된 종래의 방법으로는 마이크로그라인더로 형성될 수 있는 금형 형상의 다양성이 제한된다. 따라서, 광도파로가 위치되는 테라스(272)와 광섬유(277)를 위한 가이드 홈(274)이 분리되어 형성된다. 특히, 프레스 성형으로 도 27에 도시된 유리 기판(271)을 얻기 위해, 가이드 홈(274)을 성형하기 위한 V형상의 돌출부 및 테라스(272)를 성형하기 위한 또 다른 돌출부를 포함하는 금형이 제공되어야 한다. 하지만, 마이크로그라인더로 V형상의 돌출부를 형성할 때, 마이크로그라인더는 테라스를 위한 돌출부를 방해하여, 금형재료가 의도된 대로 처리되는 것을 방해한다.
그러므로, 종래의 방법으로 제작된 광실장 기판으로는 단일모드 광섬유 및 광도파로 사이의 연결을 하기 위해 요구되는 ±1㎛의 허용오차를 갖는 높은 위치 정확성을 보장할 수 없다. 따라서, 대량생산에서 높은 양품률을 기대할 수 없다.
그러므로, 본 발명의 목적은 특별한 방법 및 도구를 이용하여 복잡한 형상을 갖는 금형을 제작하고 상기 금형을 이용하여 낮은 비용으로 양질의 광실장 기판을 성형하는 것이며, 이것에 의해 높은 기능성, 높은 생산성 및 높은 경제적 효율을 모두 갖는 광실장 기판, 광디바이스, 광모듈 및 광실장 기판을 성형하는 방법을 제공한다.
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해 하기의 특징을 갖는다.
본 발명의 제 1 관점은 그 위에 광부품 및/또는 광소자를 실장하기 위한 광실장 기판 및 이와 동일한 것을 사용하는 광디바이스에 있다.
제 1 관점의 광실장 기판에 있어서,
광섬유 위치조정 제 1 가이드부 및 렌즈 위치조정 제 2 가이드부를 포함하고,
상기 광실장 기판상에 실장된 광섬유의 광축을 고정시키는 상기 광섬유 위치 조정 제 1 가이드부로서, 상기 제 1 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로서 형성되고;
상기 광실장 기판상에 실장된 렌즈의 광축을 고정시켜 상기 렌즈의 광축이 광섬유의 광축과 정렬되도록 하는 상기 렌즈 위치조정 제 2 가이드부로서, 상기 제 2 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에서 상기 소정의 측면에 대향하는 또다른 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
제 1 관점의 광실장 기판을 사용하는 광학장치에서, 상기 렌즈는 광실장 기판의 제 2 가이드부에 부착되고, 상기 광섬유는 상기 렌즈에 인접함과 동시에 상기 제 1 가이드부에 부착된다.
본 발명의 제 2 관점은 그 위에 광부품 및/또는 광소자를 실장하기 위한 광실장 기판 및 이와 동일한 것을 사용하는 광디바이스에 있다.
제 2 관점의 광실장 기판에 있어서,
광섬유 위치 조정 제 1 가이드부 및 렌즈 위치 조정 제 2 가이드부를 포함하고,
상기 광실장 기판상에 실장된 광섬유의 광축을 고정시키는 상기 광섬유 위치 조정 제 1 가이드부로서, 상기 제 1 가이드부는 광실장 기판의 표면에 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
상기 광실장 기판상에 실장된 렌즈의 광축을 고정시켜 상기 렌즈의 광축이 광섬유의 광축과 정렬되도록 하는 상기 렌즈 위치 조정 제 2 가이드로서, 상기 제 2 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에 함몰부(depression)로 형성되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
제 2 관점의 광실장 기판을 사용하는 광디바이스에서, 상기 렌즈는 상기 광실장 기판의 제 2 가이드부에 부착되고, 광섬유는 제 1 가이드부에 부착된다.
제 1 및 제 2 관점에 따라, 광섬유 및 렌즈는 수평 및 수직방향에서 고도의 정확성을 유지하며 서로 정렬될 수 있다. 따라서, 광섬유를 나가는 광선은 소정의 위치에 용이하게 조준 또는 집중될 수 있다. 또한, 광디바이스는 매우 간단한 처리과정을 통해 광실장 기판으로부터 제작될 수 있으며, 이로 인해 우수한 생산성 및 경제성이 제공된다.
본 발명의 제 3 관점은 광부품 및/또는 광소자를 실장하기 위한 광실장 기판 및 이와 동일한 것을 사용하는 광디바이스에 있다.
제 3 관점의 광실장 기판에 있어서,
광섬유 위치 조정 제 1 가이드부 및 광부품 위치조정 제 2 가이드부를 포함하고,
상기 광실장 기판상에 실장된 광섬유의 광축을 고정시키는 상기 광섬유 위치 조정 제 1 가이드부로서, 상기 제 1 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
상기 광실장 기판상에 실장된 광부품의 광축을 고정시켜 상기 광부품의 광축이 광섬유의 광축과 정렬되도록 하는 상기 광부품 위치 조정 제 2 가이드부로서, 상기 제 2 가이드부는 상기 광섬유의 광축에 직각방향으로 상기 광실장 기판의 표면상에서 연장된 함몰부로서 형성되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
제 3 관점의 광실장 기판을 사용하는 광디바이스에서, 상기 광섬유는 광실장 기판의 제 1 가이드부에 부착되고, 상기 광부품은 제 2 가이드부에 부착된다.
제 3 관점에 따라, 광섬유 및 광부품은 수평 및 수직방향에서 고도의 정확성을 유지하며 서로 정렬될 수 있다. 따라서, 광부품으로 필터, 절연기 또는 이와 유사한것을 위치, 깊이 및 폭이 일정한 제 2 가이드부(슬릿 홈)에 부착함으로써 제 1 가이드부(가이드 홈)에 부착된 광섬유를 통과하는 광선을 위한 도파로 분리작업 또는 이와 유사한 것의 실행이 가능하다.
본 발명의 제 4 관점은 광부품 및/또는 광소자를 실장하기 위한 광실장 기판 및 이와 동일한 것을 사용하는 광디바이스에 있다.
제 4 관점의 광실장 기판에 있어서,
광섬유 위치 조정 제 1 가이드부, 광부품 위치 조정 제 2 가이드부, 및 제 3 가이드부를 포함하고
상기 광실장 기판상에 실장된 광섬유의 광축을 고정시키는 상기 광섬유 위치 조정 제 1 가이드부로서, 상기 제 1 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
상기 광실장 기판상에 실장된 광부품의 광축을 고정시켜 상기 광부품의 광축이 광섬유의 광축과 정렬되도록 하는 상기 광부품 위치 조정 제 2 가이드부로서, 상기 제 2 가이드부는 상기 광섬유의 광축에 직각방향으로 상기 광실장 기판의 표면상에서 연장된 함몰부로서 형성되며,
상기 광실장 기판상에 실장된 렌즈의 광축을 고정시켜 상기 렌즈의 광축이 상기 광섬유와 상기 광부품의 광축과 정렬되도록 하는 렌즈 위치조정 제 3 가이드로서, 상기 제 3 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면상에서 연장된 홈으로 형성되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
제 4 관점의 광실장 기판을 사용하는 광디바이스에서, 광섬유는 광실장 기판의 제 1 가이드부에 부착되고, 광부품은 제 2 가이드부에 부착되며, 렌즈는 제 3 가이드부에 부착된다.
제 4 관점에 따라, 광섬유 및 광필터와 같은 광부품, 그리고 레이저 및 광다이오드와 같은 광소자는 상기 부품 및 소자를 광실장 기판에 능동적으로 배열함으로써 간단하게 높은 정확성을 가지고 위치 조정 및 고정시킬 수 있다. 따라서, 광부품 및 광소자가 실장된 광선 전송/수신 모듈은 낮은 비용으로 대량생산될 수 있다. 또한, 발광소자 및 광섬유 사이에 연결된 필터 및 절연기를 제공함으로써 발광소자로 반사되어 돌아오는 광선을 억제하고 전송되는 광선의 노이즈를 줄이는 것이 가능하다.
제 3 및 제 4 관점에 있어서,
수/발광 소자(light receiving/emitting element)를 위치 조정하기 위해 상기 광실장 기판의 표면상에 스테이지(stage)를 추가로 구비하여 상기 수/발광 소자의 광축이 상기 렌즈, 광섬유, 및 광부품의 광축과 정렬되도록 하는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
스테이지 상의 레이저와 같은 발광소자를 부착함으로써, 빛은 높은 광결합 효율(optical coupling efficiency)을 갖는 광섬유에 입력될 수 있다. 또는, 스테이지 상에 광다이오드와 같은 수광소자를 부착함으로써, 광섬유에서 나오는 광선은 광다이오드에 의해 효과적으로 수신될 수 있다.
본 발명의 제 5 관점은 광부품 및/또는 광소자를 실장하기 위한 광실장 기판 및 이와 동일한 것을 사용하는 광디바이스에 있다.
제 5 관점의 광실장 기판에 있어서,
광섬유 위치 조정 제 1 가이드부, 광섬유 위치 조정 제 2 가이드부, 광섬유 위치조정 제 3 가이드부 및 광부품 위치 조정 제 4 가이드부를 포함하고
상기 광실장 기판상에 실장된 광섬유의 광축을 고정시키는 상기 광섬유 위치 조정 제 1 가이드부로서, 상기 제 1 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로서 형성되고,
상기 광실장 기판상에 실장된 제 2 광섬유의 광축을 고정시켜 상기 제 2 광섬유의 광축을 상기 제 1 광섬유의 광축과 정렬시키는 상기 광섬유 위치 조정 제 2 가이드부로서, 상기 제 2 가이드부는 상기 광실장 표면에서 상기 소정의 측면에 대향하는 또다른 측면으로부터 상기 소정의 위치까지 연장된 홈으로서 형성되고,
상기 광실장 기판상에 실장된 상기 제 3 광섬유의 광축을 고정시키기 위한 상기 광섬유 위치 조정 제 3 가이드부로서, 상기 제 3 가이드부는 상기 제 1 및 제 2 가이드부에 평행한 상기 광실장 기판의 표면상에 연장된 홈으로 형성되고,
상기 광실장 기판상에 실장된 광부품의 광축을 고정시켜 상기 광부품의 광축이 상기 제 1 및 제 2 광섬유의 광축과 정렬되도록 하는 광부품 위치 조정 제 4 가이드부로서, 상기 제 4 가이드부는 상기 제 1 및 제 2 광섬유의 광축에 직각방향으로 상기 제 1 가이드부와 상기 제 2 가이드부 사이에서 광실장 기판의 표면상에 연장되는 함몰부로 형성되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
제 5 관점의 광실장 기판을 사용하는 광디바이스에서, 상기 광부품은 광실장 기판의 제 4 가이드부에 부착되고, 상기 제 1 광섬유는 광부품과 인접하여 제 1 가이드부에 부착되며, 상기 제 2 광섬유는 광부품과 인접하여 제 2 가이드부에 부착되고, 제 3 광섬유는 제 3 가이드부에 부착된다.
제 5 관점에 따라, 광섬유 및 광부품은 수평 및 수직방향에서 고도의 정확성을 가지며 서로 정렬될 수 있다. 따라서, 다수의 광섬유 또는 광도파로 코어패턴이 서로에 평행하게 정렬되는 경우에, 상기 광부품은 광섬유 및 광도파로 코어패턴 중 일부에 선택적으로 제 4 가이드부(슬릿 홈)를 제공하면서 부착될 수 있다.
본 발명의 제 6 관점은 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판 및 이와 동일한 것을 사용하는 광디바이스에 있다.
제 6 관점의 광실장 기판에 있어서,
도파로부 및 렌즈 위치 조정 가이드부를 포함하고,
소정의 광도파로 코어 패턴에 대응하는 상기 도파로부로서, 상기 도파로부는 상기 광실장 기판의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장한 홈으로서 형성되고,
상기 광실장 기판상에 실장된 렌즈의 광축을 고정시켜 상기 렌즈의 광축이 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 정렬되도록 하는 상기 렌즈 위치조정 가이드부로서, 상기 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에서 상기 소정의 측면에 대향하는 또다른 측면으로부터 상기 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
제 6 관점의 광실장 기판을 사용하는 광디바이스에서, 상기 렌즈는 광실장 기판의 가이드부에 부착되고, 도파로부는 광실장 기판보다 높은 굴절률을 갖는 코어재료로 채워지며, 그 후, 소정의 기판은 코어재료보다 낮은 굴절률을 갖는 접착제를 사용하여 도파로부를 덮기 위해 광실장 기판에 접착된다.
제 6 관점에 따라, 도파로부 및 렌즈는 수평 및 수직방향에서 높은 정확도를 가지며 서로 정렬될 수 있다. 따라서, 광도파로로서 코어재료 기능으로 채워진 도파로부(도파로 채널)를 쉽게 만드는 것이 가능하며, 상기 광도파로에서 나오는 광선이 소정의 위치로 조준 또는 초점맞춤이 될 수 있다. 또한, 광디바이스는 매우 간단한 처리과정을 거쳐 광실장 기판으로부터 제작될 수 있으며, 이로 인해 우수한 생산성 및 경제성이 제공된다.
본 발명의 제 7 관점은 광부품 및/또는 광소자를 실장하기 위한 광실장 기판 및 이와 동일한 것을 사용하는 광디바이스에 있다.
제 7 관점의 광실장 기판에 있어서,
도파로부 및 광부품 위치 조정 가이드부를 포함하고,
소정의 광도파로 코어 패턴에 대응하는 상기 도파로부로서, 상기 도파로부는 상기 광실장 기판의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장한 홈으로 형성되고,
상기 광실장 기판상에 실장된 광부품의 광축을 고정시켜 상기 광부품의 광축이 광섬유의 광축과 정렬되도록 하는 상기 광부품 위치 조정 가이드부로서, 상기 가이드부는 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축에 직각방향으로 상기 광실장 기판의 표면상에 연장된 함몰부로서 형성되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
제 7 관점의 광실장 기판을 사용하는 광디바이스에서, 상기 광부품은 광실장 기판의 가이드부에 부착되고, 상기 도파로부는 광실장 기판보다 높은 굴절률을 갖는 코어재료로 채워지며, 그 후, 소정의 기판은 코어재료보다 낮은 굴절률을 갖는 접착제를 사용하여 도파로를 덮기 위해 광실장 기판에 부착된다.
제 7 관점에 따라, 광섬유 및 광부품은 수평 및 수직방향에서 고도의 정확성을 가지며 서로 정렬된다. 따라서, 광도파로로서의 코어재료 기능으로 채워진 도파로부(도파로 채널)를 만들어 광도파로를 통해 전파된 광선을 위해 도파로 분리작업 또는 그와 유사한 것을 용이하게 실행 가능하며, 광부품으로 필터, 절연기 또는 이와 유사한 것을 가이드부(슬릿 홈)에 부착시킨다.
제 6 및 제 7 관점에 있어서,
수/발광 소자를 위치 조정하기 위해 상기 광실장 기판의 표면상에 스테이지를 추가로 구비하여 상기 광 수/발광 소자의 광축이 상기 도파로부와 상기 광부품에 형성된 광도파로부의 광축과 정렬되도록 하는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
스테이지 상의 레이저와 같은 발광소자를 부착함으로써, 광선은 높은 광결합 효율로 광섬유에 입력될 수 있다. 또는, 스테이지 상의 광다이오드와 같은 수광소자를 부착함으로써, 광섬유에서 나오는 광선은 광다이오드에 의해 효과적으로 수신될 수 있다.
본 발명의 제 8 관점은 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판 및 이와 동일한 것을 사용하는 광모듈에 있다.
제 8 관점의 광실장 기판에 있어서,
도파로부, 광부품 위치 조정 제 1 가이드부, 렌즈 위치 조정 제 2 가이드부, 제 1 스테이지 및 제 2 스테이지를 포함하고,
소정의 광도파로 코어 패턴에 대응하는 도파로부로서, 상기 도파로부는 상기 광실장 기판의 표면상에 연장한 홈으로서 형성되고,
상기 광실장 기판상에 실장된 광부품의 광축을 고정시켜 상기 광부품의 광축이 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 정렬되도록 하는 상기 광부품 위치 조정 제 1 가이드부로서, 상기 제 1 가이드부는 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 직각 방향으로 상기 광실장 기판의 표면상에 연장된 함몰부로서 형성되고,
상기 광실장 기판상에 실장된 렌즈의 광축을 고정시켜 상기 렌즈의 광축이 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 정렬되도록 하는 상기 렌즈 위치 조정 제 2 가이드부로서, 상기 제 2 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면상에 연장된 홈으로 형성되고,
발광 소자를 위치조정하는 상기 제 1 스테이지로서, 상기 제 1 스테이지는 상기 광실장 기판의 표면에 위치하여 상기 발광 소자의 광축이 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 정렬시키며,
수광 소자를 위치 조정하는 상기 제 2 스테이지로서, 상기 제 2 스테이지는 상기 광실장 기판의 표면에 위치하여 상기 수광 소자의 광축이 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 정렬시키는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
제 8 관점의 광실장 기판을 사용하는 광모듈에서, 절연기 또는 광필터는 상기 광실장 기판의 제 1 가이드부에 부착되고, 상기 렌즈는 제 2 가이드부에 부착되며, 상기 발광소자는 상기 제 1 스테이지에 부착되고, 상기 수광소자는 상기 제 2 스테이지에 부착되며, 상기 도파로부는 광실장 기판보다 높은 굴절률을 갖는 코어재료로 채워지고, 그 후, 소정의 기판은 코어재료보다 낮은 굴절률을 갖는 접착제를 사용하여 도파로부를 덮기 위해 상기 광실장 기판에 부착된다.
제 8 관점에 따라, 광필터와 같은 광부품과 레이저 및 광다이오드와 같은 광부품은 광도파로로서의 코어재료 기능으로 채워진 도파로부(도파로 채널)를 갖고 광실장 기판 상에 부품 및 소자를 수동적으로 배열하여 높은 정확성을 가지고 간단히 위치 조정 및 고정될 수 있다. 따라서, 이러한 광부품 및 광소자가 실장된 광 전송/수신 모듈은 낮은 비용으로 대량생산될 수 있다. 또한, 발광소자 및 거기에 결합된 광도파로 사이에 필터 또는 절연기를 제공하여, 발광소자로 반사되어 돌아오는 광선을 억제하고 전송되는 광선에서 노이즈를 줄일 수 있다.
광도파로 코어패턴이 분기하는 도파로인 경우, 분기하는 도파로 중 하나의 광축에 수직한 방향으로 확장하기 위해 분기하는 도판관 중 하나에 대해 제 1 가이드부가 제공된다.
본 발명의 제 9 관점은 광부품 및/또는 광소자가 실장되는 광실장 기판 및 이와 동일한 것을 사용하는 광디바이스에 있다.
제 9 관점의 광실장 기판에 있어서,
하나 이상의 광섬유 위치 조정 가이드부 및 기판 위치 조정 테라스를 포함하고,
상기 광실장 기판상에 실장된 하나 이상의 광섬유의 광축을 고정하기 위한 하나 이상의 광섬유 위치 조정 가이드부로서, 상기 하나 이상의 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
상기 광실장 기판상에 실장된 광도파로 기판을 고정시켜 상기 광도파로 기판에서 광도파로의 광축을 상기 하나 이상의 광섬유의 광축과 정렬시키도록 하는 상기 기판 위치 조정 테라스로서, 상기 기판 위치 조정 테라스는 상기 광실장 기판의 표면상의 소정의 위치에 하나 이상의 가이드부에 인접해있는 함몰부로서 형성되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
제 9 관점의 광실장 기판을 사용하는 광디바이스에서, 하나 이상의 광섬유는 광실장 기판의 상기 하나 이상의 가이드부에 부착되고, 상기 광도파로 기판은 테라스에 부착된다.
제 9 관점에 따라, 상기 광섬유를 배치하기 위한 가이드부(가이드 홈) 및 상기 광도파로 기판을 배치하기 위한 테라스는 실장되는 광섬유의 광축이 광도파로의 광축과 정렬되도록 단일 처리과정에서 함께 성형된다. 따라서, 광섬유 및 광도파로 기판이 수평 및 수직방향에서 고도의 정확성을 가지고 서로 정렬되는 상기 광실장 기판을 사용하여, 용이한 연결을 구현할 수 있고 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 광디바이스는 매우 간단한 처리과정을 통해 광실장 기판으로부터 제작될 수 있고, 이로 인해 우수한 생산성 및 경제성이 제공된다.
제 9 관점에서, 광실장 기판의 광도파로는 광실장 기판에서 성형되는 광도파로 코어패턴에 대응하는 도파로부를 광도파로 기판 및 광실장 기판보다 높은 굴절률을 갖는 코어재료를 통해 광실장 기판의 테라스에 부착하여 형성된다.
따라서, 상기 광도파로 및 광섬유는 상기 광실장 기판 및 상기 광도파로 기판을 높은 굴절률을 갖는 코어재료를 거쳐 서로에 부착하여 간단히 서로 연결될 수 있다.
본 발명의 제 10 관점은 광부품 및/또는 광소자가 실장되는 광실장 기판 및 이와 동일한 것을 사용하는 광디바이스에 있다.
하나 이상의 광섬유 위치 조정 가이드부, 테라스 및 도파로부를 포함하고,
상기 광실장 기판상에 실장된 하나 이상의 광섬유의 광축을 고정하기 위한 하나 이상의 상기 광섬유 위치 조정 가이드부로서, 상기 하나 이상의 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
상기 테라스는 상기 광실장 기판의 표면상의 소정의 위치에 하나 이상의 가이드부에 인접하는 함몰부로 형성되고,
광도파로 코어 패턴에 대응하는 상기 하나 이상의 도파로부로서, 상기 하나 이상의 도파로부는 상기 테라스의 표면상에 형성되어 상기 하나 이상의 광섬유의 광축과 정렬되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
제 10 관점의 광실장 기판을 사용하는 광디바이스에서, 적어도 하나의 광섬유는 상기 광실장 기판의 적어도 하나의 가이드부에 실장되고, 적어도 하나의 도파로부는 상기 광실장 기판보다 높은 굴절률을 갖는 코어재료로 채워지고, 그 후, 적어도 하나의 가이드부에 실장된 적어도 하나의 광섬유는 테라스에 채워진 코어재료보다 낮은 굴절률을 갖는 접착제를 사용하여 광섬유 고정기판에 부착된다.
제 10 관점에 따라, 광도파로 코어패턴에 대응하는 광섬유 및 도파로부(도파로 채널)를 배치하기 위한 가이드부(가이드 홈)가 단일 처리과정에서 함께 성형되는 광실장 기판을 얻을 수 있다. 따라서, 광섬유 및 광도파로 기판이 수평 및 수직방향에서 고도의 위치 정확성을 갖고 서로 정렬되는 상기 광실장 기판을 사용하여, 용이한 연결을 구현할 수 있고 생산성을 향상시킬 수 있다. 광실장 기판에서, 테라스 형상의 도파로부는 광도파로로서의 도파로부기능을 만들기 위해 높은 굴절률을 갖는 코어재료로 채워진다. 따라서, 상기 광도파로 및 상기 광섬유는 광섬유를 상기 가이드부에 부착하여 간단하게 능동적 조정 없이 서로 정렬될 수 있다. 따라서, 상기 광디바이스는 매우 간단한 처리과정을 통해 상기 광실장 기판으로부터 제작될 수 있고, 이로 인해 우수한 생산성 및 경제성이 제공된다.
본 발명의 제 11 관점은 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판에 있다.
제 11 관점의 광실장 기판에 있어서,
하나 이상의 도파로부 및 기판 위치 조정 테라스를 포함하고,
소정의 광도파로 코어 패턴에 대응하는 상기 하나 이상의 도파로부로서, 상기 하나 이상의 도파로부는 상기 광실장 기판의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
상기 광실장 기판상에 실장된 광도파로에서의 광도파로의 광축을 고정시켜 상기 광도파로의 광축이 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 일치 되도록 하는 상기 기판 위치 조정 테라스로서, 상기 테라스는 상기 광실장 기판의 표면상의 소정의 위치에서 도파로부에 인접한 함몰부로 형성되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
제 11 관점에 따라, 광도파로 기판을 배치하기 위한 광도파로 코어패턴 및 테라스에 대응하는 도파로부(도파로 채널)가 단일 처리과정에서 함께 성형되는 광실장 기판을 얻을 수 있다. 따라서, 광도파로 및 광도파로 기판이 수평 및 수직방향에서 고도의 위치 정확성을 갖고 서로 정렬되는 상기 광실장 기판을 사용하여, 용이한 연결을 구현할 수 있고 생산성을 향상시킬 수 있다.
바람직하게, 상기 광실장 기판은 기판재료에 금형의 반전된 패턴을 전사하기 위해 고온 열처리로 연해진 기판재료에 금형을 프레스하여 형성된다. 상기 금형은 일반적인 연마도구와 함께 마이크로방전 가공으로 제작된 소정 형상을 갖는 미세 연마도구를 사용하여 제작될 수 있다. 이러한 방식에서 마이크로방전 가공을 사용하여, 마이크로그라인더 및 이와 유사한 것을 사용하는 종래의 연마처리로는 얻기 어려웠던 복잡한 형상을 갖는 금형을 생산할 수 있다.
또한, 이러한 광실장 기판은 유리로 제작되는 것이 바람직하다. 유리를 사용할 경우, 금형을 사용하여 표면 상에 정확한 형상을 형성할 수 있고, 다양한 환경에서의 우수한 안정성이 제공된다. 유리는 자외선을 투과시키기 때문에, 광섬유의 고정 등은 시간이 오래 걸리는 열경화성 접착제 대신에 자외선경화 접착제를 사용하여 실시된다.
본 발명의 이러한 그리고 다른 목적, 특징, 관점 및 이점은 첨부되는 도면과 함께 하기 본 발명의 상세한 설명으로 보다 명백해질 것이다.
본 발명의 바람직한 실시예는 하기에서 도면을 참고로 설명한다.
(프레스 성형을 위한 금형을 제작하는 방법)
우선, 본 발명의 다양한 광실장 기판 실시예를 제작하는 데 필요한 금형을 얻는 가공처리 방법을 설명한다. 이 가공처리를 위해 마이크로방전 가공이 사용된다. 마이크로방전 가공에 대한 자세한 것은, 일본 정밀공학회의 학회간행물, 제 61권, 제 10 호, 1370쪽(1995), 또는 광학협회, 1995.3, 28쪽에 있다. 이제 마이크로방전 가공을 설명한다.
도 1은 방전 가공의 일반적 원리를 도시한다. 도 1에서, 맨드릴(mandrel)(11)의 끝에 부착되어 회전축을 형성하는 공구전극 및 처리되는 대상물인 피가공물(13)(전극 기능을 한다.)은 절연액체에 담궈진다. 이러한 상용 방전 가공에서, 두 개의 전극은 방전 발생부(15)에 의해 공구전극(12)과 피가공물(13) 사이에 소정의 전압을 인가할 때 서로 가까이 있게 되고, 이로 인해 전기 방전이 발생하여 피가공물(13)이 용융된다. 피가공물(13)의 용융으로 보다 넓은 간격이 생성되어, 상기 공구전극(12)은 이에 상응하는 거리만큼 더 전진한다. 이러한 가공처리과정은 피가공물(13)을 원하는 형상으로 가공처리하기 위해 반복된다.
유사한 가공처리 원리에 바탕을 둔 마이크로방전 가공기술은 보통 사용되는 것의 약 1/100 정도의 방전 에너지를 제공하기 위해 특별한 방전회로를 이용하여, 미크론 차수의 거친 처리 및 미크론 이하 차수의 미세한 처리를 얻게된다. 이러한 마이크로방전 가공기술은 다음과 같은 주요 특징을 갖는다.
(1) 이 기술은 비접촉 가공처리에 기초하기 때문에 곡면을 가공처리 할 수 있다;
(2) 기계적 경도에 관계없이, 어떠한 전기 전도체라도 가공처리 할 수 있다;
(3) 마이크로가공처리(0.1㎛ 차수)가 가능하다;
(4) 수 미크론의 직경을 갖는 공구가 사용될 수 있으므로 마이크로형상을 가공처리 할 수 있다.
본 발명의 특징은 마이크로방전 가공기술의 미세한 가공처리 능력을 이용하여 피가공물 뿐만 아니라 공구전극 자체의 형상도 가공처리 하기 위해 마이크로방전 가공을 이용한다는 것이다. 결국, 어떠한 형상의 공구전극(예를 들어, 원통형은 물론, 삼각 또는 사각 프리즘)도 수 밀리미터 또는 그 이상의 단위로 구현될 수 있다. 예를 들어, 소결 다이아몬드 또는 이와 유사한 것으로 구성된 공구전극의 끝은 원통형 또는 원뿔형으로 미세 가공처리 될 수 있고, 상기 공구전극은 금형을 미세연마하는데 사용될 수 있다.
이제, 공구전극을 미세 가공처리하는 방법을 도 2를 참고로 설명한다. 공구전극의 미세 가공처리에 사용될 수 있는 가공처리 방법은 본래 일본 특허 공개번호 제 2001-54808호에 공개되어 있다.
도 2에서, 가공처리될 축형상의 공구재료(22)는 맨드릴(21)의 끝에 부착된다. 공구재료(22)의 위치는 모터(26)가 실장된 Z스테이지(27)에 의해 회전축 방향을 따라 상하운동을 할 수 있다. X-Y 스테이지(28) 상에 놓인 가공처리 욕(bath)(29) 내에 방전 가공을 위한 전극판(23)이 고정된다. 도 2의 실시예에서, 방전 가공을 위한 전극판(23)은 Y 축에 평행하고 X-Y 평면에 대해 45°각도를 갖도록 고정된다. 가공처리 욕(29)의 내부는 절연액체(24)로 채워진다. 미세한 에너지 레벨의 방전펄스를 발생할 수 있는 RC 회로로 구성된 방전 발생부(25)는 방전 가공을 위한 공구재료(22) 및 전극판(23) 사이에 연결된다. 따라서, 공구재료에 대한 ㎛ 차수의 마이크로방전 가공이 가능하다.
상기 시스템 형상에 따라, 공구재료(22)의 끝은 회전(또는 왕복운동)하는 공구재료(22)를 방전가공을 위한 전극판(23)으로 Z 스테이지에 의해 보내 마이크로방전 가공을 통해 원하는 형상으로 가공처리될 수 있다. 도 2는 공구재료(22)가 회전하는 동안 원뿔형 끝을 가지도록 가공처리되는 실시예를 나타낸다. 금속이 접합제(binder)로 사용되는 소결 다이아몬드는 도전체이기 때문에 공구재료(22)로 사용될 수 있다.
금형제작에서 효율을 얻기 위해, 하기의 작업이 공구재료(22)의 가공처리에 이어 계속된다.
X-Y 스테이지(28) 및 Z 스테이지(27)를 사용하여, 가공처리된 공구재료(22), 즉 공구전극은 가공처리 욕(29)에 미리 고정된 피가공물(30)을 향해 이동하여 배치된다. 이러한 배치는 공구전극 및 피가공물(30) 사이의 도전성을 감지하여 얻을 수 있고, 이 둘은 점차 가까워진다. 다음에, 정밀한 마무리(즉, 도 2의 실시예에서 V형상 돌출부의 경사)가 요구되는 피가공물(30)의 표면상에 미리 가공처리된 부분에 프레스되기 위해, 공구전극은 회전하면서 원하는 방향으로 이동한다. 결과적으로, 정밀한 형상 및 원하는 부분의 수평 정밀도(즉, 상기 실시예에서 V 형상 돌출부의 경사)가 향상된다.
따라서, 미세 가공처리 공구전극을 사용하는 방법으로, 종래에는 불가능하였지만, Ra 20nm 이하 차수의 표면조도로 대칭마무리(mirror-finished)되는, 미크론 이하 레벨의 형상 정밀도를 갖는 초경합금을 얻을 수 있다. 금형 표면의 수평 정밀도가 향상됨에 따라, 광섬유 또는 다른 부품의 배치 정밀도(예를 들어, 가이드 홈의 수평 정밀도)가 향상되고, 이에 따라 광결합 효율의 성능이 향상될 수 있다. 또한, 상기 금형 표면의 향상된 수평 정밀도는 성형과 관련되는 릴리즈 프로세스(release process)를 이용하고, 상기 금형은 보다 적은 압력(stress)에 노출되며, 이로 인해 상기 금형의 내구성은 보다 높은 생산성 및 경제성에 대해 향상된다.
종래의 마이크로그라인더에 기초한 연마 가공처리는 상기 수치의 수 배에 해당하는 표면조도를 야기할 것이다. 이것은 마이크로그라인더를 사용하는 연마 가공처리는 자연히 최종 평면의 낮은 평면 정밀도를 발생시키며 지속적이고 상당한 깊이로의 고속 가공처리가 필요하기 때문에 추측이 가능하다.
상기한 바와 같이, 공구전극을 가공처리하기 위해 마이크로방전 가공을 사용함으로써, 다양한 형상의 정밀한 공구전극을 제작하는 것이 가능하고, 또한 상기 공구전극을 사용하여 복잡한 형상의 금형을 제작하는 것도 가능하다.
상기 상세한 설명에서 초경합금이 금형재료로 예시되었지만, 예를 들어 SUS와 같이 충분한 열저항 및 기계적 강도를 갖는 도전 물질이 사용될 수 있다. 대안으로, 초경합금 또는 이와 유사한 것이 금형의 모재로 사용될 수 있고; 고가의 금속합금 필름과 같은 도전성 필름이 그것의 표면에 형성될 수 있으며; 이 필름은 원하는 형상으로 가공처리될 수 있다.
(성형되는 광실장 기판의 실시예)
다음에, 상기 가공처리로 제작된 금형을 이용하여 성형되는 광실장 기판의 특정 실시예를 설명한다.
하기에 설명될 본 발명의 각각의 광실장 기판은 유리재로 이루어지고 금형의 형상을 유리재의 표면에 찍기 위해(프레스 성형) 고온 열처리로 연해진 유리재에 금형을 프레스하여 성형된다. 열적, 기계적, 화학적 안정 상태의 유리재는 광실장 기판의 재료로 바람직하고, 프레스 성형이 가능한 다른 어떤 재료도 사용 가능하다. 본 발명자는 고가의 금속합금으로 이루어진 보호막이 형성된 초경합금 금형을 질소가스 분위기에서 580℃로 가열된 광유리기판에 프레스하여 프레스 성형이 성공적으로 실시될 수 있다는 것을 실험을 통하여 확인하였다.
(제 1 실시예)
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 광실장 기판(31)의 형상을 도시한 사시도이다. 도 3에서, 광섬유(34)가 배치되는 제 1 가이드 홈(32) 및 렌즈(35)가 배치되는 제 2 가이드 홈(33)은 광실장 기판(31)의 표면에 형성된다. 제 1 가이드 홈(32) 및 제 2 가이드 홈(33)은 홈 방향에 수직하게 연장하는 결합부(36)에서 서로 접한다. 제 1 가이드 및 제 2 가이드의 위치 및 깊이는 광섬유(34)가 렌즈(35)와 접하고 렌즈(35)는 제 2 가이드 홈(33)의 결합부(36)에 접할 때 상기 광섬유(34)의 광축이 렌즈(35)의 광축과 정렬되도록 한다.
광실장 기판(31)을 성형하는 데 사용되는 금형은 도 4에 도시된 바와 같이, 제 1 가이드 홈(32)을 성형하기 위한 돌출부(41) 및 제 2 가이드 홈을 성형하기 위한 또 다른 돌출부(42)를 포함한다.
삼각 프리즘 형상의 돌출부(41 및 42)는 다음과 같이 금형에 형성될 수 있다. 첫째, 도 5A와 같이, 삼각 프리즘 형상을 갖는 공구전극(51) 및 스칼펠(scal pel) 형상을 갖는 또 다른 공구전극(52)이 제작된다. 그리고, 피가공물(53)의 표면(도5B의 우측)에 삼각 프리즘 형상을 갖는 돌출부를 거친 가공처리하기 위해 세로(도 5B의 좌측)로 세워진 피가공물(53)에 공구전극(51)을 사용하여 마이크로방전 가공을 실시한다. 서로 다른 크기의 돌출부를 형성할 경우, 광실장 기판(31)에서 다른 단면을 갖는 복수의 삼각 프리즘 형상의 공구전극을 사용할 수 있고, 또는 X-Y 스테이지에 의한 피가공물(53)의 이동량은 다양할 것이다. 그리고, 연마 가공처리는 피가공물 (53)에 형성된 돌출부의 표면(도 5C의 우측)을 미세 가공처리 하기 위해 눕혀진 피가공물(53)(도 5C의 좌측)에 공구전극을 사용하여 실시된다.
상기한 바와 같이 형성된 제 2 가이드 홈은 예를 들어 자기수렴 로드렌즈 (self-converging rod lens)와 같은 원통형상의 로드렌즈를 위치시키기에 특히 적합하다. 예를 들어, 피치 0.25의 자력수렴 로드렌즈는 제 2 가이드 홈(33)에 위치되고, 광섬유(34)로부터의 광선은 자력수렴 로드렌즈를 통해 시준된 광선으로 전환된다. 다른 피치를 갖는 또 다른 자력수렴 로드렌즈를 사용하여, 광섬유(34)로부터의 광선은 광축을 따라 소정의 위치에 수렴한다. 드럼렌즈, 비구면렌즈, 및 이와 유사한 렌즈가 제 2 가이드 홈(33)에 고정될 수 있다.
광실장 기판(31)에 광섬유(34) 및 렌즈(35)를 실장하여 얻은 광디바이스는 섬유 시준기(fiber collimator) 또는 이와 유사한 것으로 사용할 수 있다.
(제 2 실시예)
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 광실장 기판(61)의 형상을 도시한 사시도이다. 도 6에서, 광섬유(64)가 배치되는 제 1 가이드 홈(62) 및 볼렌즈(65)가 배치되는 제 2 가이드 홈(63)은 광실장 기판(61)의 표면에 형성된다. 제 1 가이드 홈이 형성된 평판은 제 2 가이드 홈(63)이 형성된 평판과 다른 높이를 갖는다. 제 1 가이드 홈(62)은 광섬유(64)가 광실장 기판(61)의 표면상의 광섬유(64)의 코어부분이 볼렌즈(65)와 더 근접한 제 1 가이드 홈의 한 끝에 그 위에 인접하여 위치될 수 있도록 형성된다. 제 2 가이드 홈(63)의 위치 및 깊이는 볼렌즈(65)가 그 위에 위치될 때, 상기 광섬유(64)의 코어부분과 볼렌즈(65)가 소정의 위치관계를 갖도록 형성된다. 이러한 구성으로, 부품이 실장될 때 광섬유(64)의 끝과 볼렌즈(65) 사이의 거리는 소정 값으로 고정될 수 있다.
광섬유(64) 및 볼렌즈(65)를 광실장 기판(61)에 실장하여 얻은 광디바이스는 광섬유(64)로부터의 광선이 시준된 광선으로 전환되고 또는 볼렌즈(65)를 통해 수렴광선이 되도록 기능한다.
광섬유(64) 및 볼렌즈(65)를 상기 광실장 기판(61)에 실장하여 얻은 광디바이스는 섬유 시준기 등으로 사용할 수 있다.
비구면렌즈 또는 이와 유사한 렌즈를 볼렌즈(65) 대신 사용할 수 있다. 이러한 경우, 제 2 가이드 홈(63)은 비구면렌즈 또는 이와 유사한 렌즈의 형상에 따라 형성된다.
(제 3 실시예)
도 7은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 광실장 기판(71)의 형상을 도시한 사시도이다. 도 7에서, 광섬유(74)가 배치되는 제 1 가이드 홈, 평면 마이크로렌즈 (75)가 배치되는 제 2 가이드 홈(73), 및 레이저(76)를 배치하기 위한 스테이지 (77)는 광실장 기판의 표면(71)에 형성된다. 제 1 가이드 홈(72)은 광섬유(74)가 광실장 기판(71) 표면 상의 광섬유(74)의 코어부분이 평면 마이크로렌즈(75)와 더 근접한 제 1 가이드 홈의 한 끝에 인접하여 그 위에 배치되도록 형성된다. 제 2 가이드 홈(73)의 길이 및 폭은 평면 마이크로렌즈(75)를 제 2 가이드 홈(73)에 고정시켜 미크론 차수의 정확도를 갖고 배치될 수 있도록 평면 마이크로렌즈(75)의 형상에 따라 결정된다. 상기 가이드 홈(72 및 73) 및 스테이지(77)는 평면 마이크로렌즈(75)의 광축, 광섬유(74) 및 레이저가 상기 광실장 기판(71) 상에 실장될 때 함께 정렬되도록 소정의 깊이로 소정의 위치에 형성된다. 상기 레이저(76)는 그것의 위치를 능동적으로 조정하지 않고 표식(도시되지 않음)을 사용하여 스테이지(77)에 배치된다. 또는, 상기 레이저(76)는 스테이지(77)를 형성하지 않고 표식만을 사용하여 배치될 수 있다.
광섬유(74), 평면 마이크로렌즈(75) 및 광실장 기판(71)상에 레이저(76)를 실장시키는 것에 의해 얻어진 광디바이스는 레이저(76)에서 방출되는 빛이 제 1 가이드 홈(72)에 부착되는 광섬유(74)와 결합되도록 평면 마이크로렌즈(75)를 통해 수렴시키는 기능을 한다. 구동회로가 레이저(76)와 연결되면, 광디바이스는 광전송 모듈로 사용할 수 있다. 구동회로는 광실장 기판(71) 또는 다른 기판상에 제공될 수 있다.
대안적으로, 수광소자인 광다이오드가 발광소자인 레이저(76) 대신으로 사용될 수 있다. 이러한 경우에, 광디바이스는 광섬유(74)에서 방출되는 빛이 광다이오드에 의해 검출되도록 평면 마이크로렌즈(75)를 통해 수렴시키는 기능을 한다. 애벌증폭기(preamplifier)가 광다이오드와 결합되면, 광디바이스는 광수신 모듈로 사용할 수 있다.
(제 4 실시예)
도 8은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 광실장 기판(81)의 형상을 도시하는 사시도이다. 도 8을 참조하면, 광섬유(84)를 배치시키는 제 1 가이드 홈(82), 제 1 렌즈(85a)를 배치시키는 제 2 가이드 홈(83a), 평면 절연체(88)를 배치시키는 슬릿 홈(89), 제 2 렌즈(85b)를 배치시키는 제 3 가이드 홈(83b) 및 레이저(86)를 배치시키는 스테이지(87)가 광실장 기판(81)의 표면에서 형성된다. 제 1 가이드 홈(82), 제 2 가이드 홈(83a) 및 슬릿 홈(89)은 홈 방향과 수직하게 연장하는 접합기(83c)와 함께 인접한다. 제 1 가이드 홈(82) 및 제 2 가이드 홈(83a)의 위치와 깊이는 제 1 렌즈(85a)가 제 2 가이드 홈(83a)의 접합(83c)과 인접하고, 광섬유(84)가 제 1 렌즈(85a)와 인접할 때, 광섬유(84) 및 제 1 렌즈(85a)의 광축이 함께 정렬되도록 한다.
제 1 실시예처럼, 제 2 가이드 홈(83a)은 자기수렴 로드렌즈를 위치시키는데 적합하다. 이 경우 피치가 0.25인 자기수렴 로드렌즈가 제 2 가이드 홈(83a)상에 놓여지면, 광섬유(84)로부터의 빛은 자기수렴 로드렌즈를 통해 시준된 광으로 전환된다. 슬릿 홈(89)의 길이와 폭은 평면 절연체(88)의 형상에 따라 결정되고 평면 절연체(88)는 슬릿 홈(89)에서 평면 절연체(88)를 간단하게 끼우는 것에 의해 마이크론 차수 정밀도를 가지고 배치될 수 있다. 제 3 가이드 홈(83b)은 슬릿 홈(89)과 인접하고 제 2 렌즈(85b)가 제 3 가이드 홈(83b)상에 부착되도록 형성되며, 상기 제 2 렌즈(85b)의 광축은 다른 부픔의 광축과 정렬된다. 상기 레이저(86)는 그 위치를 능동적으로 조절하지 않고 표식(도시되지 않음)을 사용하는 것에 의해 스테이지(87)상에 위치된다. 대안으로, 상기 레이저(86)는 스테이지(87)의 형성 없이 단독으로 표식을 사용하여 배치될 수 있다.
광실장 기판(81)상에 광섬유(84), 제 1 렌즈(85a), 제 2 렌즈(85b), 평면절연체(88), 및 레이저(86)를 실장하는 것에 의해 얻어지는 광디바이스는 레이저(86)에서 방출되는 빛이 제 2 렌즈(85b)를 통해 시준된 빛으로 전환되고 평면 절연체(88)를 통과하며 그 후에 광섬유(84)와 결합되도록 제 1 렌즈(85a)를 통해 광이 수렴되는 기능을 가진다. 비록 레이저(86)를 향해 광섬유(84)로부터 나온 반사되어 되돌아오는 빛처럼 빛이 약간 탈선되더라도, 이러한 탈선된 광은 평면 절연체(88)에 의해 차단되고 레이저(86)에 도달하지 못해, 신호 노이즈가 발생되는 것을 방지한다.
구동 회로가 레이저(86)에 연결되면, 광디바이스는 광전송 모듈로 사용될 수 있다. 구동 회로는 광실장 기판(81) 또는 다른 기판상에 제공될 수 있다.
대안으로, 또는 수광소자와 같은 광다이오드가 발광소자인 레이저(86) 대신 사용될 수 있다. 이러한 경우에, 광디바이스는 광섬유(84)에서 방출되는 빛이 광다이오드에 의해 검출되도록 제 1 및 제 2 렌즈(85a 및 85b)를 통해 수렴되게 하는 기능을 가진다. 애벌증폭기가 광다이오드에 연결되면, 광디바이스는 광수신 모듈로 사용될 수 있다.
두 렌즈, 예를 들어, 제 1 및 제 2 렌즈(85a 및 85b)가 본 실시예에서 사용되면, 제 1 렌즈(85a)는 평면 절연체(88)에 입력되는 광이 시준된 광으로 될 필요가 없기 때문에 생략될 수 있다. 이 경우, 상기 부품은 레이저(86)에서 방출되는 광이 광섬유(84)에 결합하기 위해서 제 2 렌즈(85b)를 통해 수렴되도록 배열될 수 있다.
광필터, 웨이브 플레이트, 또는 박막 ND 필터(중성 밀도 필터)등이 평면 절연체(88) 대신에 사용될 수 있다.
(제 5 실시예)
도 9는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 광실장 기판(91)의 형태를 도시하는 사시도이다. 도 9를 참조하면, 제 1 광섬유(94)를 배치시키는 제 1 가이드 홈(92), 제 2 광섬유(95)를 위치시키는 제 2 가이드 홈(93), 제 3 광섬유(97)를 배치시키는 제 3 가이드 홈(96) 및 ND 필터(98)를 배치시키는 슬릿 홈(99)등이 광실장 기판(91)상에 형성된다. 제 1 가이드 홈(92), 슬릿 홈(99) 및 제 2 가이드 홈(93)은 서로 인접되게 순서대로 배열된다. 제 1 및 제 2 가이드 홈(92 및 93)의 위치 및 깊이는 제 1 광섬유(94)가 제 1 가이드 홈(92)상에 놓여지고 제 2 광섬유(95)가 제 2 가이드 홈(93)상에 놓여질 때, 광섬유의 광축이 서로 정렬되도록 한다. 상기 슬릿 홈(99)은 제 3 가이드 홈(96)과 교차하여 절단되지 않는다.
광실장 기판(91)을 성형하도록 사용되는 금형은 기판상에 제 1 내지 제 3 가이드 홈(92, 93 및 96)을 성형하는 돌출부(101)와 도 10에서 도시되는 바와 같이 슬릿 홈(99)을 성형하는 또 다른 돌출부(102)를 포함한다.
삼각 프리즘 형상의 돌출부(101)는 하기와 같이 금형상에 형성될 수 있다. 삼각 프리즘 형상을 가지는 공구전극(51)과 스칼펠과 같은 형상을 가지는 공구전극(52)은 상술한 제 1 실시예와 같이 사용된다. 마이크로방전 가공은 피가공물의 표면상에 삼각 프리즘 형상을 가지는 돌출부를 직립으로 거칠게 처리하면서 공구전극(51)을 이용하여 실행된다(도 5B 참조). 대향된 단부면에서 시작되는 피가공물 처리에 의해, 상기 피가공물은 슬릿 홈(99)을 성형하는 돌출부(102)가 형성되는 부분에서 방치하는 동시에 거칠게 처리할 수 있다. 그때, 피가공물은 피가공물상에 형성된 돌출부의 표면을 미세하게 처리하도록 놓여져 공구전극(52)을 이용하여 연마 공정을 실시한다.
이러한 형상을 가지는 광실장 기판은 예를 들어 일반적인 V 홈 어레이 기판에서처럼, 규칙적인 간격으로 서로 평행하게 복수의 광섬유를 배열하는 것에 의해 광도파로와 연결되도록 사용될 수 있다. 본 실시예의 광실장 기판(91)은 소정의 광섬유 경로(제 1 및 제 2 광섬유(94 및 95)의 경로)를 따라 형성된 슬릿 홈(99)을 포함하고, 소정 광섬유를 통해 가이드되는 빛의 강도(intensity)는 ND 필터(98)에 의해 선택적으로 감소될 수 있다. 제 1 광섬유(94) 및 제 2 광섬유(95)는 서로 정렬된 광축을 가지고, 전달 손실은 각 광섬유의 단부면을 수직으로 절단하는 것에 의해 감소시킬 수 있다. 이러한 형상을 가지면, 동일 광실장 기판상에 배열된 다른 광섬유를 통해 가이드되는 광선의 강도를 서로 실질적으로 동일하게 만들 수 있다. 예를 들면, 광선이 다른 광섬유를 통해 가이드되는 경우는, 각 광선에 대해 하나의 광다이오드를 이용하여, 빛의 강도의 레벨이 실질적으로 서로 동일하다면 전기 수렴 회로 시스템을 단순화시킬 수 있다. 그래서, 이러한 형상은 이점을 가진다.
ND 필터(98) 대신에 도파로 필터를 이용하는 것에 의해, 특정 파장의 빛은 특정 광섬유를 만을 통과할 수 있다.
상기에서 기술된 바와 같이, 제 1 내지 제 5 실시예에 따른 광실장 기판의 형상을 가지면, 광섬유 및 광 렌즈와 같은 광부품, 레이저와 광다이오드와 같은 광 소자는 부품과 소자를 수동적으로 배열시키는 것에 의해 높은 정밀도를 가지면서 위치시키거나 고정시킬 수 있다. 따라서, 이러한 광부품과 소자가 부착된 광디바이스는 저가로 대량 생산할 수 있다.
광섬유, 렌즈 등은 자외선 경화 접착제를 이용하여 쉽게 고정될 수 있다. 특히, 광섬유, 렌즈 등을 광실장 기판 상에 고정시키고 유리등으로 만들어진 기판을 그 상부 부분에서 압축하는 것에 의해 보다 긴 시간동안 성능이 더욱 안정되게 유지될 수 있다.
가이드 홈은 광섬유, 렌즈 등과 같은 것들을 안정되게 유지시키기 위해 충분한 깊이를 가지는 것이 바람직하다. 가이드 홈의 단면 형상은 V형상이 될 필요 없이, 대안적으로 직사각형 형상, 반원형 형상 또는 그와 유사한 형상으로 할 수 있다. 가이드 홈은 광축 정렬이 확실하게 되는 한 다른 레벨을 가지는 다른 평면에서 형성될 수 있다.
광섬유와 렌즈사이에서 발생되는 반사를 감소시키기 위해, 반사 차단 필름이 각각의 광섬유 및 렌즈 상에 제공될 수 있고, 또는 광이 들어가는 렌즈의 면이 경사진 방향으로 차단될 수 있다.
유사한 형상은 광섬유 대신에 광도파로를 이용하는 것에 의해 구현할 수 있다. 이러한 경우에, 광도파로 코어 패턴과 대응되는 도파로 채널은 광섬유에 대한 가이드 홈을 성형하는 대신에 광실장 기판에 성형할 수 있고, 코어 부분은 하기에서 기술되는 방법을 이용하여 도파로 채널에 따라 형성될 수 있다.
(제 6 실시예)
상기 제 1 내지 제 5 실시예에서, 광섬유를 고정시키는 가이드 홈을 포함하는 광실장 기판이 설명되었다.
이 실시예 및 다른 실시예에서, 광섬유에서처럼, 제한된 방법으로 코어 부분을 통해 광을 전파시키는 광도파로의 베이스인 코어 패턴 채널을 포함하는 광실장 기판과 동일하게 이용되는 광전송/수신 모듈을 하기에서 설명한다.
도 12는 본 발명의 제 6 실시예에 따른 광실장 기판(121)을 이용하는 광 전송/수신 모듈(120)의 형상을 도시한다. 도 12는 광 전송/수신 모듈(120)의 평면도 및 측면도이다. 광도파로 코어 패턴과 대응되는 도파로 채널(123), 광섬유(124)를 배치시키는 가이드 홈, 제 1 렌즈(125) 및 제 2 렌즈(130), 평면 절연체(128)를 배치시키는 슬릿 홈, 레이저(126)를 배치시키는 스테이지 및 광다이오드(129)를 위치시키는 또 다른 스테이지는 광실장 기판(121)상에 형성되고, 이 광실장 기판은 광 전송/수신 모듈(120)의 베이스 플레이트이다. 광도파로의 형상을 제외한 광실장 기판(121)의 표면 형상은 상기 제 1 내지 제 5 실시예에서 이미 기술되었기 때문에 하기에서 기술하지 않는다. 그 위에 부착되는 광실장 기판(121)의 표면은 광부품과 소자를 홈과 스테이지 상에 상기 부품과 상기 소자를 부착시키는 것에 의해 간단히 위치시킬 수 있다.
도파로 채널(123)에서 광도파로를 형성하는 방법은 도 13을 참조하여 설명한다. 도 13은 광실장 기판(121)에서 형성되는 광도파로를 도시하는 단면도이다.
첫째로, 형성된 도파로 채널(123)과 광실장 기판(121)의 굴절률과 동일한 굴절률을 갖는 투명한 베이스 물질(132)이 제공되고, 광실장 기판(121)과 투명한 베이스 물질(132)의 굴절률보다 높은 굴절률을 가지는 자외선 경화 접착제(133)의 얇은 층이 투명한 베이스 물질(132)상에 적용된다(도 13의 왼쪽 측면). 그때, 광실장 기판(121)과 투명한 베이스 물질(132)이 도파로 채널(123)과 마주보는 자외선 경화 접착제(133)의 측면과 함께 부착된다(도 13의 오른쪽 측면). 마지막으로, 상기 구조물은 광실장 기판(121)과 투명한 베이스 물질(132)이 서로 부착되고 고정되도록 자외선 빛을 조사한다. 이러한 방법으로, 만일 도파로 채널(123) 부분 이외에서, 부착 처리 후에 광실장 기판(121)과 투명한 베이스 물질(132)사이에 남겨져 있는 접착 층이 충분히 얇으면, 도파로 채널(123)을 채우는 자외선 경화 접착제(133)의 부분은 광도파로로서 기능한다.
도 12에서 도시되는 광 전송/수신 모듈(120)에서, 투명하고 부드러운 유리인 투명한 베이스 물질(132)이 도파로 채널(123)을 커버하는 광실장 기판에 부착되고, 이것에 의해 광도파로를 형성한다. 광도파로는 전송된 광과 수신된 광을 단일 광섬유(124)에 의해 처리할 수 있도록 두 브랜치로 분기된다. 상기 평면 절연체(128)는 상술한 실시예에서 사용되고, 이것에 의해 신호가 단일 파장의 빛으로 전송 및 수신된다. 이 경우 신호는 각각 한 파장의 광이나 다른 파장의 빛의 형태로 전송 및 수신되고, (어떠한 파장을 가지는)전송된 빛이나 (다른 파장을 가지는)수신된 빛을 반사하고 다른 광을 통과시키는 광필터가 평면 절연체(128) 대신에 제공될 수 있다.
종래 기술에서, 도 12에서 설명되는 광 전송/수신 모듈의 기능을 가지는 광 전송/수신 모듈은 베이스가 되는 실리콘 기판에서 광도파로를 형성하는 것에 의해 얻어진다. 그러나, 이러한 광도파로의 형성은 복수의 박막 침착(deposition) 단계 및 코어 패턴 단계를 필요로 하고, 이것에 의해 제품의 품질이 저하되고, 동시에 다양한 부품을 부착시키는 반복된 다이싱(dicing) 단계가 필요하다. 더구나, 사용되어지는 렌즈는 평면 렌즈로 제한된다. 대조적으로, 본 실시예의 광 전송/수신 모듈에서는 광도파로를 형성하는 것이 쉽고, 동시에 광부품 및 소자는 능동적인 조정없이 부착될 수 있다. 따라서, 매우 저가이면서 품질이 좋은 제품을 제조할 수 있는 광 전송/수신 모듈을 구현할 수 있다.
(제 7 실시예)
도 14는 본 발명의 제 7 실시예에 따른 광실장 기판(141)을 이용하여 광 전송/수신 모듈(140)을 형성하는 것을 도시하는 사시도이다. 광도파로 코어 패턴과 대응되는 도파로 채널(142) 및 광필터(146)를 배치시키는 슬릿 홈(143)은 광실장 기판(141)상에 형성되고, 이 기판은 광 전송/수신 모듈(140)의 베이스 판이다. 그 위에 자외선 경화 접착제가 각각 사용되는 제 1 연한 유리 기판(144) 및 제 2 연한 유리 기판(145)은 도파로 채널(142)을 커버하는 광실장 기판(141)에 부착되고 자외선 빛을 조사하는 구조로 광실장 기판(141)상에 부착된다. 따라서, 두개로 분기된 광도파로가 형성된다. 광필터는 슬릿 홈(143)안에 삽입된다.
도 15는 그 위에 실장된 다양한 부품과 광실장 기판(141)에 광섬유를 연결하는 것에 의해 얻어진 광디바이스의 구조를 도시한다.
두 파장 λ1 및 λ2의 빛은 제 1 광섬유(147)를 통해 전파된다. 상기 빛은 도파로 채널(142)의 두 브랜치중 하나와 결합되고 상기 광필터(146)에 도달한다. 파장 λ1의 빛은 광필터(146)를 통해 전송되고 제 2 광섬유로 출력된다. 반면에, 파장 λ2의 빛은 광필터(146)에 의해 반사되고 도파로 채널(142)의 또 다른 브랜치를 통해 제 3 광섬유(149)로 출력된다. 따라서, 도 15에 도시된 구조에서는 파장 분리 기능을 가지는 광디바이스를 구현할 수 있다.
홈안에 삽입된 광필터를 가지면서 홈이 다이싱에 의해 광도파로 기판에서 절단되는 광디바이스가 종래기술에서 제안되고 있다. 그러나, 다이싱 처리에서 위치 정밀도는 매우 엄격해서 소정 제품을 실현할 수 없다. 대조적으로, 본 실시예의 광디바이스는 슬릿 홈(143)이 광도파로 코어 패턴과 대응되는 도파로 채널(142)의 형성을 동시에 가압하는 것에 의해 형성할 수 있고, 이것에 의해 동일 위치 관계를 언제나 확실히 할 수 있다. 따라서, 안정적인 특징을 가지는 광디바이스를 저비용으로 대량 생산할 수 있다.
(제 8 실시예)
도 16은 본 발명의 제 8 실시예에 따른 광실장 기판(161)을 이용하는 광 전송/수신 모듈(160)의 형상을 도시한다. 광도파로 코어 패턴과 대응되는 도파로 채널(162)과 제 1 내지 제 4 광필터(163a 내지 163d)를 배치시키는 제 1 내지 제 4 슬릿 홈(도시되지 않음)은 각각 광 전송/수신 모듈(160)의 베이스 판인 광실장 기판(161) 상에서 형성된다. 상기에서 기술된 제 7 실시예에서처럼, 자외선 경화 접착제가 사용되는 부드러운 유리 기판은 도파로 채널(162)을 커버하는 광실장 기판(161)상에 부착되고, 구조물이 UV 광에 조사되는 것처럼 광실장 기판(161)상에 접착된다. 따라서, 네개의 브랜치 광도파로가 형성된다. 도파로 브랜치의 단부에서는 네개의 광다이오드(164a 내지 164d)가 각각 광필터(163a 내지 163d)를 통해 배열된다.
네 파장의 λ1, λ2, λ3 및 λ4의 빛이 도면의 왼쪽 측면에 도파로 채널(162)로 입력된다. 상기 빛은 광도파로에 의해 네개로 분할되고, 상기 광다이오드(164a)는 제 1 광필터(163a)를 통해 파장 λ1의 빛 만을 수신하고, 상기 광다이오드(164b)는 제 2 광필터(163b)를 통해 파장 λ2의 빛 만을 수신하고, 상기 광다이오드(164c)는 제 3 광필터(163c)를 통해 파장 λ3의 빛 만을 수신하고, 상기 광다이오드(164d)는 제 4 광필터(163d)를 통해 파장 λ4의 빛 만을 수신한다. 따라서, 도 16에 도시되는 구조에서는 다중-파장 통신 기능을 가지는 광수신 모듈이 구현된다.
홈안에 삽입된 광필터를 가지면서, 다이싱에 의해 홈이 광도파로 기판에서 절단되는 광디바이스는 종래기술에서 제안되고 있다. 그러나, 홈이 다이싱에 의해 형성될 때, 만일 홈이 상기 기판의 전체 폭을 따라 절단되지 않으면 일정한 홈 깊이를 얻을 수 없다. 따라서, 본 실시예의 광필터 배열을 실시하는 것이 어렵다. 대조적으로, 본 실시예의 광모듈에서는 제 1 내지 제 4 광필터(163a 내지 163d)에 대한 슬릿 홈이 광도파로 코어 패턴과 대응되는 도파로 채널(162)과 동시에 프레스 성형에 의해 형성할 수 있고, 이것에 의해 동일한 위치 관계를 언제나 확실히 할 수 있다. 따라서, 안정적인 특징을 가지는 광모듈을 저비용으로 대량 생산 할 수 있다.
상기 기술된 바와 같이, 제 6 내지 제 8 실시예에 따른 광실장 기판의 형상을 가지면서, 광도파로, 광섬유 및 광필터와 같은 광부품과 레이저 및 광다이오드와 같은 광소자는 부품 및 소자를 수동적으로 배열하는 것에 의해 높은 정밀도를 가지면서 배치시키거나 고정시킬 수 있다. 따라서, 그 위에 실장되는 이러한 광부품 및 소자를 가지는 광수신 모듈은 저비용으로 대량 생산할 수 있다.
(제 9 실시예)
도 17은 본 발명의 제 9 실시예에 따른 광실장 기판(171)의 형상을 도시하는 사시도이다. 도 17을 참조하면, 각각 제 1 내지 제 4 광섬유(176 내지 179)를 배치시키는 제 1 내지 제 4 가이드 홈(172 내지 175)과 광도파로 기판(181)을 위치시키는 테라스(180)는 광실장 기판(171)의 표면상에 형성된다. 가이드 홈(172 내지 175) 및 테라스(180)는 함께 인접한다.
도 18에 도시되는 바와 같이 광실장 기판(171)을 성형하는데 사용되는 금형은 제 1 내지 제 4 가이드 홈(172 내지 175)을 성형하는 돌출부(182 내지 185)와 테라스(180)를 성형하는 돌출부(186)를 포함한다.
삼각 프리즘 형상의 돌출부(182 내지 185)는 도 5A 내지 도 5C를 참조하여 제 1 실시예에서 기술한 미세 처리 방법을 이용하여 금형상에 형성될 수 있다(도 19).
다음으로, 석영을 기초로한 광도파로 기판을 제조하는 공통 방법이 도 20을 참조하여 기술된다. 첫째로, 실리콘 기판(201)이 제공되고, 하부 클래드 층(202)은 CVD 방법 또는 플레임 가수분해 침착 방법(도 20에서 (a) 및 (b))에 의해 실리콘 기판(201)상에 침착된다. 그때, 상기 코어층(203)은 하부 클래드 층(202)(도 20(c))상에 침전된다. 그때, 상기 코어층(203)은 포토리소그래피 및 건조 에칭(도 20에서 (d))을 이용하여 소정 패턴으로 패턴된다. 마지막으로, 상부 클래드 층(204)은 코어층(203)을 커버하기 위해(도 20에서 (e)) 하부 클래드 층상에 침착된다. 그때, 광도파로 기판은 상기 칩에서 절단될 수 있다. 상기 커팅 처리는 다이싱에 의해 실행된다. 허용오차 ±0.5㎛를 가지는 외부 형상 커팅 정밀도는 제어된 브레이드 형상과 커팅 처리동안 ±0.5℃내의 온도 제어를 가지면 실현될 수 있다.
단일 모드 광섬유와 결합에 적합한 코어 층(203)의 두께는 약 8㎛이고, 빛은 약 20미이크론의 거리로 코어 둘레의 클래드 부분으로 침투한다. 그래서, 빛은 만일 하부 크래드 층(202)의 두께 및 상부 크래드 층(204)의 두께가 각각 20㎛이상이면 손실 없이 전파될 수 있다. CVD 방법 또는 프레임 가수분해 침착 방법에서는 상기 클래드층의 두께가 ±0.2㎛의 허용오차로 제어될 수 있다.
코어층(203)은 광도파로 기판(181)이 광실장 기판(171)에 고정될때 광섬유(176 내지 179)의 광 축과 정렬되는 위치 및 깊이로 형성된다.
도 21은 그 위에 다양한 부품을 실장하여 도 17에 도시된 광실장 기판(171)을 사용하는 광디바이스의 구조를 도시한다. 도 20을 참조하여 상술한 광도파로 기판(181)은 아래로 마주보는 상부 클래드 층(204)과 위로 마주보는 실리콘 기판(201)을 가지면서 광실장 기판(171)의 테라스(180)상에 실장된다. 제 1 내지 제 4 광섬유(176 내지 179)는 각각 제 1 내지 제 4 가이드 홈에 고정되고 광도파로 기판(181)과 인접된다.
상부 클래드 층(204)은 CVD 방법 또는 프레임 가수분해 침착 방법과 같은 미크론 이하의 차수 정밀도를 가지는 두께를 제어할 수 있는 방법을 이용하여 형성된다. 그래서, 만일 테라스(180)가 미크론 이하의 차수 정밀도를 가지면서 레벨 차이를 제어하는 동시에 광실장 기판(171)에서 형성되고, 광도파로 기판(181)이 아래로 마주보는 상부 클래드 층(204)을 가지는 테라스(180)안에 형성되면, 허용오차 ±1㎛를 가지는 광섬유의 코어의 높이와 광도파로의 코어의 높이를 확실하게 정렬할 수 있다. 수평 코어 정렬은 테라스(180) 및 그와 동일 크기를 가지는 광도파로 기판(181)을 형성하는 것에 의해 확실히 할 수 있고, 이것에 의해 광도파로 코어 및 광섬유 코어는 능동적인 조정없이 서로 이동하지 않고 위치 조정될 수 있다.
상기 광섬유(176 내지 179), 광도파로 기판(181) 등은 광섬유의 굴절률과 같은 동일한 굴절률을 갖는 자외선 경화 접착제를 이용하여 쉽게 고정될 수 있다. 특히, 광도파로 기판의 고정에서는 접착제의 두께를 고려하여 결정된 레벨 차이를 갖는 테라스(180)를 형성할 필요가 있다.
광섬유 가이드 홈(172 내지 175)은 광섬유를 안정하게 유지시키기 위해 충분한 깊이를 가지는 것이 바람직하다. 단일 모드 광섬유를 안정하게 유지하기 위해서, 가이드 홈은 광섬유의 반지름보다 크거나 같은, 예를 들어 65 미크론의 깊이를 가지는 것이 바람직하다. 테라스(180)는 20 내지 60 미크론의 두께가 상부 클래드층(204)에 대해 충분하기 때문에 가이드 홈(172 내지 175)보다 더 좁은 것이 바람직하다.
상기 광도파로가 상술한 실시예에서 석영을 기초로 하는 광도파로 기판을 이용하여 형성되면, 상기 광도파로는 대안적으로 예를 들어 폴리아미드 물질로 만들어진 수지를 기초로하는 광도파로 기판을 이용하여 형성할 수 있다. 이 경우, 상기 두께는 스핀 코팅 방법 또는 그와 같은 방법을 이용하여 상부 클래드 층을 형성하는 것에 의해 미크론 이하의 차수 정밀도를 가지면서 제어할 수 있다. 따라서, 이러한 대안은 본 실시예의 광실장 기판에 이용될 수 있다.
(제 10 실시예)
도 22는 본 발명의 제 10 실시예에 따른 광실장 기판(221)의 형상을 도시하는 사시도이다. 도 22를 참조하면, 제 1 내지 제 3 광섬유(225 내지 227)를 배치시키는 각각의 제 1 내지 제 3 가이드 홈(222 내지 224)과 광도파로 기판(229)을 배치시키는 테라스(228)는 광실장 기판(221)의 표면상에 형성된다. 상기 가이드 홈(222 내지 224)과 상기 테라스(228)는 서로 인접한다. 상기 광도파로 기판(229)은 테라스(228)의 형상과 대응되는 스텝(230)을 가지고, 광도파로 코어 패턴과 대응되는 도파로 채널(231)은 광도파로 기판(229)의 표면상에 형성된다. 상기 도파로 채널(231)은 광도파로 기판(229)이 광실장 기판(221)상에 고정될때 광섬유(225 내지 227)의 광 축과 정렬되는 깊이 및 위치로 형성된다.
상술한 제 9 실시예에서는 CVD 방법 또는 프레임 가수분해 침착 방법을 이용하여 광도파로 기판(181)안에서 광도파로를 형성하는 것이 기술되어진다. 대안으로, 광도파로는 도 13에 도시되는 바와 같이, 광도파로 기판(229)에서 광도파로 코어 패턴과 대응되는 도파로 채널(231)을 성형하는 것에 의해 형성될 수 있다.
광디바이스는 광실장 기판(221), 광도파로 기판(229) 및 제 1 내지 제 3 광섬유(225 내지 227)를 이용하여 아래와 같이 제조될 수 있다(도 23).
우선, 제 1 내지 제 3 광섬유(225 내지 227)는 각각 제 1 내지 제 3 가이드 홈(222 내지 224)에 놓여질 수 있다. 그때, 상기 광도파로 기판(229)은 도파로 채널(231) 측면이 테라스(228)안에 끼워지도록 자외선 경화 접착제를 이용하여 광실장 기판(231)에 부착된다. 이것은 광섬유(225 내지 227)를 각각의 가이드 홈(222 내지 224)에 고정한다. 따라서, 광도파로의 코어 및 광섬유의 코어는 능동적인 조정없이 서로 연결된다.
(제 11 실시예)
도 24는 본 발명의 제 7 실시예에 따른 광실장 기판(241)의 형상을 도시한 사시도이다. 도 24를 참조하면, 제 1 내지 제 4 광섬유(246-249) 각각을 위치조정하는 제 1 내지 제 4 가이드 홈(242-245), 및 소정 레벨의 차이를 갖는 테라스(250)가 상기 광실장 기판(241)의 표면상에 형성된다. 광도파로 코어 패턴에 대응하는 제 1 및 제 2 도파로채널(251, 252)은 상기 테라스(250)의 표면상에 형성된다. 상기 가이드 홈(242-245)과 상기 테라스(250)는 서로 인접한다. 상기 도파로채널(251-252)은 각각의 위치와 깊이에 상기 테라스(250)를 완전히 교차하여 연장하도록 상기 테라스(250)를 절단하여 형성되어 상기 광섬유(246-249)의 광축과 정렬 되도록 한다.
광디바이스는 상기 광실장 기판과 제 1 내지 제 4 광섬유(246-249)를 사용하여 다음과 같이 생성될 수 있다(도 25A, 도 25B).
우선, 상기 도파로채널(251-252)은 상기 광실장 기판(241)의 굴절률보다 높은 굴절률을 갖는 코어재료(253)로 채워진다(도 25A). 예를 들면, 상기 도파로채널(251, 252)은 스핀 코팅방법(spin coating method) 등을 사용한 수지 기반(resin-based)의 물질을 사용하여 채워진다. 또다른 경우, 상기 도파로 채널(251, 252)에 채워넣지 않은 여분의 코어재료는 박막층에 잔재하는 특성을 고려하는 것이 바람직하다. 그리고 나서, 상기 테라스(250)는 광실장 기판(241)의 굴절률과 실질적으로 동일한 굴절률을 갖는 자외선 경화 접착제(254)(또는 열경화성 접착제)로 채워진다. 그런 다음, 상기 광섬유(246-249)는 상기 가이드 홈(242-245)에 각각 위치하고, 상기 광실장 기판(241)의 굴절률과 실질적으로 동일한 굴절률을 갖는 평판유리 기판(255)에 의해 압력이 가해진다. 그 후, 상기 자외선 경화 접착제(254)가 경화되고, 그것에 의해 상기 광실장 기판(241) 및 평판 유리 기판(255)은 서로서로 접착되고 고정된다. 그 결과, 상기 광도파로의 코어 및 상기 광섬유의 코어가 활성 조절장치(active adjustment) 없이 서로서로 연결된다.
전술한 바와 같이, 제 7 내지 제 9 실시예에 따른 광실장 기판의 형상을 갖는 상기 광섬유 및 광도파로 기판은 상기 부품을 단순히 수동적으로 배치함으로써 높은 정확도를 가지고 위치조정되고 채워질 수 있다. 그 결과, 그 위에 실장된 이러한 부품을 갖는 광디바이스가 낮은 비용으로 대량 생산될 수 있다.
가이드 홈의 단면형상은 V자 형상일 필요가 없으며, 대신 직사각형 형상 및 반원형상 등이 있을 수 있다.
광도파로 코어 패턴에 대응하는 도파로 채널은 광섬유 가이드 홈 대신에 형성될 수 있다. 그 결과, 광실장 기판 상의 광도파로 및 광도파로 기판 상의 광도파로가 서로 연결될 수 있다.
본 발명이 상세히 설명되었지만, 또다른 설명이 모든 측면에서 설명될 수 있고 제한되어 있지 아니하다. 본 발명의 영역을 벗어나지 아니하고서도 다양한 변형과 변조가 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
본 발명은 특별한 방법 및 도구를 이용하여 복잡한 형상을 갖는 금형을 제작하고 상기 금형을 이용하여 낮은 비용으로 양질의 광실장 기판을 성형하며, 이것에 의해 높은 기능성, 높은 생산성 및 높은 경제적 효율을 모두 갖는 광실장 기판, 광디바이스, 광모듈 및 광실장 기판을 성형하는 방법을 제공한다.
도 1은 일반적인 방전 원리를 도시한 도면,
도 2는 마이크로방전 가공(microdischarge machining)으로 공구전극(tool electrode)을 처리하는 방법을 도시,
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 광실장 기판의 형상을 도시한 사시도,
도 4는 제 1 실시예에 따른 광실장 기판을 성형하는 데 사용되는 금형을 나타내는 사시도,
도 5a 내지 도 5c는 마이크로방전 가공으로 미세 처리된 공구전극으로 금형을 만드는 방법을 도시,
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 광실장 기판의 형상을 나타낸 사시도,
도 7은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 광실장 기판의 형상을 나타낸 사시도,
도 8은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 광실장 기판의 형상을 나타낸 사시도,
도 9는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 광실장 기판의 형상을 나타낸 사시도,
도 10은 제 5 실시예에 따른 광실장 기판을 성형하는 데 사용되는 금형의 사시도,
도 11은 미세 연마처리로 도 10의 금형의 평면 정확도가 향상된 정도를 도시,
도 12는 본 발명의 제 6 실시예에 따른 광실장 기판을 사용하는 광전송/수신 모듈의 구성을 도시,
도 13은 광실장 기판 상의 도파로 채널을 이용하여 광도파로를 형성하는 방법을 도시,
도 14는 본 발명의 제 7 실시예에 따른 광실장 기판을 사용하는 광전송/수신 모듈의 구성을 나타낸 사시도,
도 15는 광섬유가 연결된 도 14의 광전송/수신 모듈을 도시,
도 16은 본 발명의 제 8 실시예에 따른 광실장 기판을 사용하는 광전송/수신 모듈의 구성을 도시,
도 17은 본 발명의 제 9 실시예에 따른 광실장 기판의 형상을 나타낸 사시도,
도 18은 제 9 실시예에 따른 광실장 기판을 성형하기 위해 사용되는 금형의 사시도,
도 19는 마이크로방전 가공으로 미세 처리된 공구 전극을 사용하여 금형이 제작되는 방법을 도시,
도 20은 석영기반 광실장 기판을 제작하기 위한 일반적 방법을 도시,
도 21은 본 발명의 제 9 실시예에 따른 광실장 기판을 사용하는 광디바이스의 구성을 도시,
도 22는 본 발명의 제 10 실시예에 따른 광실장 기판의 형상을 나타낸 사시도,
도 23은 본 발명의 제 10 실시예에 따른 광실장 기판을 사용하는 광디바이스의 구성을 도시,
도 24는 본 발명의 제 11 실시예에 따른 광실장 기판의 형상을 나타낸 사시도,
도 25a 및 도 25b는 본 발명의 제 11 실시예에 따른 광실장 기판을 사용하는 광디바이스의 구성을 나타낸 사시도,
도 26은 베이스로 실리콘기판을 사용한 종래의 광실장 기판의 형상을 나타낸 사시도,
도 27은 종래의 수동 정렬방법을 사용하여 광디바이스를 제작하는 방법을 도시,
도 28a 및 도 28b는 V홈을 성형하기 위해 일반적인 종래의 금형을 형성하는 방법을 도시한다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
12 : 공구전극
28 : X-Y 스테이지
27 : Z 스테이지
31, 61, 71, 81, 91, 121, 141, 161, 171, 221, 231, 241 : 광실장 기판
32, 62, 72, 82, 92 : 제 1 가이드 홈
33, 63, 73, 83a, 93 : 제 2 가이드 홈
83b, 96, 224 : 제 3 가이드 홈
175 : 제 4 가이드 홈
276 : 광도파로
181, 229, 275 : 광도파로 기판
76, 86, 126, 266 : 레이저

Claims (60)

  1. 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판에 있어서,
    광섬유 위치조정 제 1 가이드부 및 렌즈 위치조정 제 2 가이드부를 포함하고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광섬유의 광축을 고정시키는 상기 광섬유 위치 조정 제 1 가이드부로서, 상기 제 1 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로서 형성되고;
    상기 광실장 기판 상에 실장된 렌즈의 광축을 고정시켜 상기 렌즈의 광축이 광섬유의 광축과 정렬되도록 하는 상기 렌즈 위치조정 제 2 가이드부로서, 상기 제 2 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에서 상기 소정의 측면에 대향하는 또다른 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 기판재료 상으로 금형의 반전된 패턴을 전사하기 위해 고온으로 가열함으로써 연화된 상기 기판재료에 대해 상기 금형을 가압함으로서 성형하고,
    상기 금형은 통상 연마 도구 및 임의 정밀 연마도구를 사용함으로써 성형되고 얻어지며,
    상기 금형 및 정밀 연마 도구 중의 적어도 하나는 마이크로방전 가공을 통해 얻어지는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  5. 그 위에 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판에 있어서,
    광섬유 위치 조정 제 1 가이드부 및 렌즈 위치 조정 제 2 가이드부를 포함하고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광섬유의 광축을 고정시키는 상기 광섬유 위치 조정 제 1 가이드부로서, 상기 제 1 가이드부는 광실장 기판의 표면에 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 렌즈의 광축을 고정시켜 상기 렌즈의 광축이 광섬유의 광축과 정렬되도록 하는 상기 렌즈 위치 조정 제 2 가이드로서, 상기 제 2 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에 함몰부(depression)로 형성되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 기판재료 상으로 금형의 반전된 패턴을 전사하기 위해 고온으로 가열함으로써 연화된 상기 기판 재료에 대해 상기 금형을 가압함으로서 성형하고,
    상기 금형은 통상 연마 도구 및 임의 정밀 연마도구를 사용함으로써 성형되고 얻어지며,
    상기 금형 및 정밀 연마 도구 중의 적어도 하나는 마이크로방전 가공을 통해 얻어지는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  9. 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판에 있어서,
    광섬유 위치 조정 제 1 가이드부 및 광부품 위치조정 제 2 가이드부를 포함하고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광섬유의 광축을 고정시키는 상기 광섬유 위치 조정 제 1 가이드부로서, 상기 제 1 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광부품의 광축을 고정시켜 상기 광부품의 광축이 광섬유의 광축과 정렬되도록 하는 상기 광부품 위치 조정 제 2 가이드부로서, 상기 제 2 가이드부는 상기 광섬유의 광축에 직각방향으로 상기 광실장 기판의 표면상에서 연장된 함몰부로서 형성되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  10. 제 9 항에 있어서,
    수/발광 소자(light receiving/emitting element)를 위치 조정하기 위해 상기 광실장 기판의 표면상에 스테이지(stage)를 추가로 구비하여 상기 수/발광 소자의 광축이 상기 광섬유와 상기 광부품의 광축과 정렬되도록 하는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 상기 기판재료 상으로 상기 금형의 반전된 패턴을 전사하기 위해 고온으로 가열함으로써 연화된 상기 기판 재료에 대해 상기 금형을 가압함으로서 성형하고,
    상기 금형은 통상 연마 도구 및 임의 정밀 연마도구를 사용함으로써 성형되고 얻어지며,
    상기 금형 및 정밀 연마 도구 중의 적어도 하나는 마이크로방전 가공을 통해 얻어지는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  14. 광부품 및 광소자를 실장하는 광실장 기판에 있어서,
    광섬유 위치 조정 제 1 가이드부, 광부품 위치 조정 제 2 가이드부, 및 제 3 가이드부를 포함하고
    상기 광실장 기판상에 실장된 광섬유의 광축을 고정시키는 상기 광섬유 위치 조정 제 1 가이드부로서, 상기 제 1 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광부품의 광축을 고정시켜 상기 광부품의 광축이 광섬유의 광축과 정렬되도록 하는 상기 광부품 위치 조정 제 2 가이드부로서, 상기 제 2 가이드부는 상기 광섬유의 광축에 직각방향으로 상기 광실장 기판의 표면상에서 연장된 함몰부로서 형성되며,
    상기 광실장 기판상에 실장된 렌즈의 광축을 고정시켜 상기 렌즈의 광축이 상기 광섬유와 상기 광부품의 광축과 정렬되도록 하는 렌즈 위치 조정 제 3 가이드로서, 상기 제 3 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면상에서 연장된 홈으로 형성되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  15. 제 14 항에 있어서,
    수/발광 소자(light receiving/emitting element)를 위치 조정하기 위해 상기 광실장 기판의 표면상에 스테이지(stage)를 추가로 구비하여 상기 수/발광 소자의 광축이 상기 렌즈, 광섬유, 및 광부품의 광축과 정렬되도록 하는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  16. 제 14 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 기판재료 상으로 금형의 반전된 패턴을 전사하기 위해 고온으로 가열함으로써 연화된 상기 기판재료에 대해 상기 금형을 가압함으로서 성형하고,
    상기 금형은 통상 연마 도구 및 임의 정밀 연마도구를 사용함으로써 성형되고 얻어지며,
    상기 금형 및 정밀 연마 도구 중의 적어도 하나는 마이크로방전 가공을 통해 얻어지는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  17. 제 14 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  19. 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판에 있어서,
    광섬유 위치 조정 제 1 가이드부, 광섬유 위치 조정 제 2 가이드부, 광섬유 위치조정 제 3 가이드부 및 광부품 위치 조정 제 4 가이드부를 포함하고
    상기 광실장 기판상에 실장된 광섬유의 광축을 고정시키는 상기 광섬유 위치 조정 제 1 가이드부로서, 상기 제 1 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로서 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 제 2 광섬유의 광축을 고정시켜 상기 제 2 광섬유의 광축을 상기 제 1 광섬유의 광축과 정렬시키는 상기 광섬유 위치 조정 제 2 가이드부로서, 상기 제 2 가이드부는 상기 광실장 표면에서 상기 소정의 측면에 대향하는 또다른 측면으로부터 상기 소정의 위치까지 연장된 홈으로서 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 상기 제 3 광섬유의 광축을 고정시키기 위한 상기 광섬유 위치 조정 제 3 가이드부로서, 상기 제 3 가이드부는 상기 제 1 및 제 2 가이드부에 평행한 상기 광실장 기판의 표면상에 연장된 홈으로 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광부품의 광축을 고정시켜 상기 광부품의 광축이 상기 제 1 및 제 2 광섬유의 광축과 정렬되도록 하는 광부품 위치 조정 제 4 가이드부로서, 상기 제 4 가이드부는 상기 제 1 및 제 2 광섬유의 광축에 직각방향으로 상기 제 1 가이드부와 상기 제 2 가이드부 사이에서 광실장 기판의 표면상에 연장되는 함몰부로 형성되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 기판재료 상으로 금형의 반전된 패턴을 전사하기 위해 고온으로 가열함으로써 연화된 상기 기판재료에 대해 상기 금형을 가압함으로서 성형하고,
    상기 금형은 통상 연마 도구 및 임의 정밀 연마도구를 사용함으로써 성형되고 얻어지며,
    상기 금형 및 정밀 연마 도구 중의 적어도 하나는 마이크로방전 가공을 통해 얻어지는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  21. 제 19 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  22. 제 20 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  23. 광부품 및 광소자를 실장하는 광실장 기판에 있어서,
    도파로부 및 렌즈 위치 조정 가이드부를 포함하고,
    소정의 광도파로 코어 패턴에 대응하는 상기 도파로부로서, 상기 도파로부는 상기 광실장 기판의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장한 홈으로서 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 렌즈의 광축을 고정시켜 상기 렌즈의 광축이 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 정렬되도록 하는 상기 렌즈 위치조정 가이드부로서, 상기 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에서 상기 소정의 측면에 대향하는 또다른 측면으로부터 상기 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 기판재료 상으로 금형의 반전된 패턴을 전사하기 위해 고온으로 가열함으로써 연화된 상기 기판재료에 대해 상기 금형을 가압함으로서 성형하고,
    상기 금형은 통상 연마 도구 및 임의 정밀 연마도구를 사용함으로써 성형되고 얻어지며,
    상기 금형 및 정밀 연마 도구 중의 적어도 하나는 마이크로방전 가공을 통해 얻어지는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  25. 제 23 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  26. 제 24 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  27. 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판에 있어서,
    도파로부 및 광부품 위치 조정 가이드부를 포함하고,
    소정의 광도파로 코어 패턴에 대응하는 상기 도파로부로서, 상기 도파로부는 상기 광실장 기판의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장한 홈으로 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광부품의 광축을 고정시켜 상기 광부품의 광축이 광섬유의 광축과 정렬되도록 하는 상기 광부품 위치 조정 가이드부로서, 상기 가이드부는 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축에 직각방향으로 상기 광실장 기판의 표면상에 연장된 함몰부로서 형성되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  28. 제 27 항에 있어서,
    수/발광 소자를 위치 조정하기 위해 상기 광실장 기판의 표면상에 스테이지를 추가로 구비하여 상기 광 수/발광 소자의 광축이 상기 도파로부와 상기 광부품에 형성된 광도파로부의 광축과 정렬되도록 하는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  29. 제 27 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 기판재료 상으로 금형의 반전된 패턴을 전사하기 위해 고온으로 가열함으로써 연화된 상기 기판재료에 대해 상기 금형을 가압함으로서 성형하고,
    상기 금형은 통상 연마 도구 및 임의 정밀 연마도구를 사용함으로써 성형되고 얻어지며,
    상기 금형 및 정밀 연마 도구 중의 적어도 하나는 마이크로방전 가공을 통해 얻어지는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  30. 제 27 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  31. 제 29 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  32. 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판에 있어서,
    도파로부, 광부품 위치 조정 제 1 가이드부, 렌즈 위치 조정 제 2 가이드부, 제 1 스테이지 및 제 2 스테이지를 포함하고,
    소정의 광도파로 코어 패턴에 대응하는 도파로부로서, 상기 도파로부는 상기 광실장 기판의 표면상에 연장한 홈으로서 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광부품의 광축을 고정시켜 상기 광부품의 광축이 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 정렬되도록 하는 상기 광부품 위치 조정 제 1 가이드부로서, 상기 제 1 가이드부는 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 직각 방향으로 상기 광실장 기판의 표면상에 연장된 함몰부로서 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 렌즈의 광축을 고정시켜 상기 렌즈의 광축이 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 정렬되도록 하는 상기 렌즈 위치 조정 제 2 가이드부로서, 상기 제 2 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면상에 연장된 홈으로 형성되고,
    발광 소자를 위치 조정하는 상기 제 1 스테이지로서, 상기 제 1 스테이지는 상기 광실장 기판의 표면에 위치하여 상기 발광 소자의 광축이 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 정렬시키며,
    수광 소자를 위치 조정하는 상기 제 2 스테이지로서, 상기 제 2 스테이지는 상기 광실장 기판의 표면에 위치하여 상기 수광 소자의 광축이 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 정렬시키는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  33. 제 32 항에 있어서,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광섬유의 광축을 고정시키기 위해 상기 광실장 기판의 표면상에 연장한 홈으로서 형성된 광섬유 위치조정 제 3 가이드부를 추가로 구비하여 상기 광섬유의 광축이 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 정렬되도록하는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  34. 제 32 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 기판재료 상으로 금형의 반전된 패턴을 전사하기 위해 고온으로 가열함으로써 연화된 상기 기판재료에 대해 상기 금형을 가압함으로서 성형하고,
    상기 금형은 통상 연마 도구 및 임의 정밀 연마도구를 사용함으로써 성형되고 얻어지며,
    상기 금형 및 정밀 연마 도구 중의 적어도 하나는 마이크로방전 가공을 통해 얻어지는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  35. 제 32 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  36. 제 34 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  37. 광부품 및 광소자를 실장하는 광실장 기판에 있어서,
    하나 이상의 광섬유 위치 조정 가이드부 및 기판 위치 조정 테라스를 포함하고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 하나 이상의 광섬유의 광축을 고정하기 위한 하나 이상의 광섬유 위치 조정 가이드부로서, 상기 하나 이상의 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광도파로 기판을 고정시켜 상기 광도파로 기판에서 광도파로의 광축을 상기 하나 이상의 광섬유의 광축과 정렬시키도록 하는 상기 기판 위치 조정 테라스로서, 상기 기판 위치 조정 테라스는 상기 광실장 기판의 표면상의 소정의 위치에 하나 이상의 가이드부에 인접해있는 함몰부로서 형성되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  38. 제 37 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 기판재료 상으로 금형의 반전된 패턴을 전사하기 위해 고온으로 가열함으로써 연화된 상기 기판재료에 대해 상기 금형을 가압함으로서 성형하고,
    상기 금형은 통상 연마 도구 및 임의 정밀 연마도구를 사용함으로써 성형되고 얻어지며,
    상기 금형 및 정밀 연마 도구 중의 적어도 하나는 마이크로방전 가공을 통해 얻어지는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  39. 제 37 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 광실장 기판
  40. 제 38 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 광실장 기판
  41. 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판에 있어서,
    하나 이상의 광섬유 위치 조정 가이드부, 테라스 및 도파로부를 포함하고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 하나 이상의 광섬유의 광축을 고정하기 위한 하나 이상의 상기 광섬유 위치 조정 가이드부로서, 상기 하나 이상의 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
    상기 테라스는 상기 광실장 기판의 표면상의 소정의 위치에 하나 이상의 가이드부에 인접하는 함몰부로 형성되고,
    광도파로 코어 패턴에 대응하는 상기 도파로부로서, 상기 도파로부는 상기 테라스의 표면상에 형성되어 상기 하나 이상의 광섬유의 광축과 정렬되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  42. 제 41 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 기판재료 상으로 금형의 반전된 패턴을 전사하기 위해 고온으로 가열함으로써 연화된 상기 기판재료에 대해 상기 금형을 가압함으로서 성형하고,
    상기 금형은 통상 연마 도구 및 임의 정밀 연마도구를 사용함으로써 성형되고 얻어지며,
    상기 금형 및 정밀 연마 도구 중의 적어도 하나는 마이크로방전 가공을 통해 얻어지는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  43. 제 41 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  44. 제 42 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  45. 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판에 있어서,
    하나 이상의 도파로부 및 기판 위치 조정 테라스를 포함하고,
    소정의 광도파로 코어 패턴에 대응하는 상기 하나 이상의 도파로부로서, 상기 하나 이상의 도파로부는 상기 광실장 기판의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광도파로에서의 광도파로의 광축을 고정시켜 상기 광도파로의 광축이 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 일치 되도록 하는 상기 기판 위치 조정 테라스로서, 상기 테라스는 상기 광실장 기판의 표면상의 소정의 위치에서 도파로부에 인접한 함몰부로 형성되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  46. 제 45 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 기판재료 상으로 금형의 반전된 패턴을 전사하기 위해 고온으로 가열함으로써 연화된 상기 기판재료에 대해 상기 금형을 가압함으로서 성형하고,
    상기 금형은 통상 연마 도구 및 임의 정밀 연마도구를 사용함으로써 성형되고 얻어지며,
    상기 금형 및 정밀 연마 도구 중의 적어도 하나는 마이크로방전 가공을 통해 얻어지는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  47. 제 45 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  48. 제 46 항에 있어서,
    상기 광실장 기판은 유리로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광실장 기판.
  49. 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판을 구비하는 광디바이스에 있어서;
    상기 광실장 기판은,
    광섬유 위치 조정 제 1 가이드부 및 렌즈 위치 조정 제 2 가이드부를 포함하고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광섬유의 광축을 고정시키는 상기 광섬유 위치 조정 제 1 가이드부로서, 상기 제 1 가이드부는 상기 광실장 기판상의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 렌즈의 광축을 고정시켜 상기 렌즈의 광축이 상기 광섬유의 광축과 정렬되도록하는 상기 렌즈 위치 조정 제 2 가이드부로서, 상기 제 2 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에서 상기 소정의 측면에 대향하는 또다른 측면으로부터 상기 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되며,
    상기 렌즈는 상기 광실장 기판의 상기 제 2 가이드부에 고정되고,
    상기 광섬유는 상기 렌즈에 인접되어 있는 동안 상기 제 1 가이드부에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 광디바이스.
  50. 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판을 구비하는 광디바이스에 있어서;
    상기 광실장 기판은,
    광섬유 위치 조정 제 1 가이드부 및 렌즈 위치 조정 제 2 가이드부를 포함하고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광섬유의 광축을 고정시키는 상기 광섬유 위치조정 제 1 가이드부로서, 상기 제 1 가이드부는 상기 광실장 기판상의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 렌즈의 광축을 고정시켜 상기 렌즈의 광축이 상기 광섬유의 광축과 정렬되도록하는 상기 렌즈 위치 조정 제 2 가이드부로서, 상기 제 2 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면상에 함몰부로서 형성되며,
    상기 렌즈는 상기 광실장 기판의 상기 제 2 가이드부에 고정되고,
    상기 광섬유는 상기 제 1 가이드부에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 광디바이스.
  51. 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판을 구비하는 광디바이스에 있어서;
    상기 광실장 기판은,
    광섬유 위치 조정 제 1 가이드부 및 광부품 위치 조정 제 2 가이드부를 포함하고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광섬유의 광축을 고정시키는 상기 광섬유 위치조정 제 1 가이드부로서, 상기 제 1 가이드부는 상기 광실장 기판상의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광부품의 광축을 고정시켜 상기 광부품의 광축이 광섬유의 광축과 정렬되도록 하는 상기 광부품 위치 조정 제 2 가이드부로서, 상기 제 2 가이드부는 상기 광섬유의 광축에 직각방향으로 상기 광실장 기판의 표면상에 연장한 함몰부로서 형성되며,
    상기 광섬유는 상기 광실장 기판의 상기 제 1 가이드부에 고정되고,
    상기 광부품은 상기 제 2 가이드부에 고정되는 것을 특징으로 하는 광디바이스.
  52. 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판을 구비하는 광디바이스에 있어서;
    상기 광실장 기판은,
    광섬유 위치 조정 제 가이드부, 광부품 위치 조정 제 2 가이드부, 및 렌즈 위치 조정 제 3 가이드부를 포함하고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광섬유의 광축을 고정시키는 광섬유 위치조정 제 1 가이드부로서, 상기 제 1 가이드부는 상기 광실장 기판상의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광부품의 광축을 고정시켜 상기 광부품의 광축이 광섬유의 광축과 정렬되도록 하는 상기 광부품 위치 조정 제 2 가이드부로서, 상기 제 2 가이드부는 상기 광섬유의 광축에 직각방향으로 상기 광실장 기판의 표면상에 연장한 함몰부로서 형성되며,
    상기 광실장 기판상에 실장된 렌즈의 광축을 고정시켜 상기 렌즈의 광축과 상기 광섬유 및 상기 광부품의 광축을 정렬시키는 상기 렌즈 위치 조정 제 3 가이드부로서, 상기 제 3 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면상에 연장한 홈으로서 형성되며,
    상기 광섬유는 상기 광실장 기판의 상기 제 1 가이드부에 고정되고,
    상기 광부품은 상기 제 2 가이드부에 고정되며,
    상기 렌즈는 상기 제 3 가이드부에 고정되는 것을 특징으로 하는 광디바이스.
  53. 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판을 구비하는 광디바이스에 있어서;
    상기 광실장 기판은,
    광섬유 위치조정 제 1 가이드부, 광섬유 위치조정 제 2 가이드부, 광섬유 위치조정 제 3 가이드부, 및 광부품 위치조정 제 4 가이드부를 포함하고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 제 1 광섬유의 광축을 고정시키는 광섬유 위치조정 제 1 가이드부로서, 상기 제 1 가이드부는 상기 광실장 기판상의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 제 2 광섬유의 광축을 고정시켜 상기 제 2 광섬유의 광축이 상기 제 1 광섬유의 광축과 정렬되도록 하는 광섬유 위치조정 제 2 가이드부로서, 상기 제 2 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에서 상기 소정의 측면에 대향하는 또다른 측면으로부터 상기 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되며,
    상기 광실장 기판상에 실장된 제 3 광섬유의 광축을 고정시키는 광섬유 위치조정 제 3 가이드부로서, 상기 제 3 가이드부는 상기 제 1 및 제 2 가이드부에 병렬로 상기 광실장 기판의 표면상에 연장한 홈으로서 형성되며,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광부품의 광축을 고정시켜 상기 광부품의 광축이 상기 제 1 및 제 2 광섬유의 광축과 정렬되도록 하는 광부품 위치조정 제 4 가이드부로서, 상기 제 4 가이드부는 상기 제 1 및 제 2 광섬유의 광축에 직각방향으로 상기 제 1 가이드부와 상기 제 2 가이드부 사이의 상기 광실장 기판의 표면상에 연장한 함몰부로서 형성되며,
    상기 광부품은 상기 광실장 기판의 제 4 가이드부에 고정되고,
    상기 제 1 광섬유는 상기 광부품에 인접하는 동안 상기 제 1 가이드부에 고정되고,
    상기 제 2 광섬유는 상기 광부품에 인접하는 동안 상기 제 2 가이드부에 고정되고,
    상기 제 3 광섬유는 상기 제 3 가이드부에 고정되는 것을 특징으로 하는 광실장 기판을 구비하는 광디바이스.
  54. 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판을 구비하는 광디바이스에 있어서;
    상기 광실장 기판은,
    도파로부 및 렌즈 위치 조정 가이드부를 포함하고,
    소정의 광도파로 코어패턴에 대응하는 도파로부로서, 상기 도파로부는 상기 광실장 기판상의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 렌즈의 광축을 고정시켜 상기 렌즈의 광축이 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 정렬되도록 하는 렌즈 위치조정 가이드부로서, 상기 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면에서 상기 소정의 측면에 대향하는 또다른 측면으로부터 상기 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되며,
    상기 렌즈는 상기 광실장 기판의 상기 가이드부에 고정되고,
    상기 도파로부는 상기 광실장 기판의 굴절률보다 더 높은 굴절률을 갖는 코어재료로 채워지고,
    그 후에 상기 코어재료보다 낮은 굴절률을 갖는 접착제를 사용하여 상기 도파로부를 덮을 수 있도록 소정의 기판이 상기 광실장 기판에 부착되는 것을 특징으로 하는 광디바이스.
  55. 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판을 구비하는 광디바이스에 있어서;
    상기 광실장 기판은,
    도파로부 및 광부품 위치조정 가이드부를 포함하고,
    소정의 광도파로 코어패턴에 대응하는 도파로부로서, 상기 도파로부는 상기 광실장 기판상의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광부품의 광축을 고정시켜 상기 광부품의 광축이 상기 광섬유의 광축과 정렬되도록 하는 광부품 위치조정 가이드부로서, 상기 가이드부는 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축에 직각방향으로 상기 광실장 기판의 표면상에 연장한 함몰부로서 형성되며,
    상기 광부품은 상기 광실장 기판의 상기 가이드부에 고정되고,
    상기 도파로부는 상기 광실장 기판의 굴절률보다 더 높은 굴절률을 갖는 코어재료로 채워지고,
    그 후에 상기 코어재료보다 낮은 굴절률을 갖는 접착제를 사용하여 상기 도파로부를 덮을 수 있도록 소정의 기판이 상기 광실장 기판에 부착되는 것을 특징으로 하는 광디바이스.
  56. 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판을 구비하는 광모듈에 있어서;
    상기 광실장 기판은,
    도파로부, 광부품 위치조정 제 1 가이드부, 렌즈 위치조정 제 2 가이드부, 제 1 스테이지, 제 2 스테이지를 포함하고,
    소정의 광도파로 코어패턴에 대응하는 도파로부로서, 상기 도파로부는 상기 광실장 기판의 표면상에 연장한 홈으로서 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광부품의 광축을 고정시켜 상기 광부품의 광축이 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 정렬되도록 하는 광부품 위치조정 제 1 가이드부로서, 상기 제 1 가이드부는 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축에 직각방향으로 상기 광실장 기판의 표면상에 연장한 함몰부로서 형성되며,
    상기 광실장 기판상에 실장된 렌즈의 광축을 고정시켜 상기 렌즈의 광축이 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 정렬되도록 하는 상기 렌즈 위치 조정 제 2 가이드부로서, 상기 제 2 가이드부는 상기 광실장 기판의 표면상에 연장한 홈으로서 형성되며,
    발광 소자를 위치조정하는 제 1 스테이지로서, 상기 제 1 스테이지는 상기 광실장 기판의 표면에 위치하여 상기 발광 소자의 광축이 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 정렬되도록 하며,
    수광소자를 위치조정하는 제 2 스테이지로서, 상기 제 2 스테이지는 상기 광실장 기판의 표면에 위치하여 상기 수광소자의 광축이 상기 도파로부에 형성된 광도파로의 광축과 정렬되도록 하며,
    아이솔레이터(isolator) 또는 광필터가 상기 광실장 기판의 제 1 가이드부에 고정되고,
    상기 렌즈는 상기 제 2 가이드부에 고정되고,
    상기 발광 소자는 상기 제 1 스테이지에 고정되고,
    상기 수광소자는 상기 제 2 스테이지에 고정되고,
    상기 도파로부는 상기 광실장 기판의 굴절률보다 더 높은 굴절률을 갖는 코어재료로 채워지고,
    그 후에 상기 코어재료보다 낮은 굴절률을 갖는 접착제를 사용하여 상기 도파로부를 덮을 수 있도록 하기 위하여 소정의 기판이 상기 광실장 기판에 부착되는 것을 특징으로 하는 광모듈
  57. 제 56 항에 있어서,
    상기 광도파로 코어 패턴은 브랜치로 분기(diverge)되는 도파로이고,
    상기 브랜치 중 하나의 광축에 직각방향으로 연장하도록 상기 제 1 가이드부가 상기 브랜치 중 하나에 제공되는 것을 특징으로 하는 광모듈.
  58. 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판을 구비하는 광디바이스에 있어서;
    상기 광실장 기판은,
    광섬유 위치조정 가이드부 및 기판 위치조정 테라스를 포함하고,
    상기 광실장 기판에 실장된 하나 이상의 광섬유를 고정시키기 위한 하나 이상의 광섬유 위치 조정 가이드부로서, 상기 하나 이상의 가이드부는 상기 광실장 기판상의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 광도파로를 고정시켜 상기 광도파로 기판에 광도파로의 광축이 상기 하나 이상의 광섬유의 광축과 정렬되도록 하는 기판 위치 조정 테라스로서, 상기 기판 위치 조정 테라스는 상기 광실장 기판의 표면상의 소정의 위치에서 하나 이상의 가이드부에 인접하는 함몰부로서 형성되며,
    상기 하나 이상의 광섬유는 상기 광실장 기판의 하나 이상의 가이드부에 고정되고,
    상기 광도파로 기판은 상기 테라스에 고정되는 것을 특징으로 하는 광디바이스.
  59. 제 58 항에 있어서,
    상기 광도파로 기판에서의 광도파로는 상기 광도파로 기판에서 성형된 광도파로 코어패턴에 대응하는 도파로부를 상기 도파로 기판 및 상기 광실장 기판의 굴절률보다 높은 굴절률을 갖는 코어재료를 통해 상기 광실장 기판의 테라스에 부착시킴으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 광디바이스.
  60. 광부품 및/또는 광소자를 실장하는 광실장 기판을 구비하는 광디바이스에 있어서;
    상기 광실장 기판은,
    광섬유 위치조정 가이드부, 테라스 및 도파로부를 포함하고,
    상기 광실장 기판상에 실장된 하나 이상의 광섬유의 광축을 고정시키기 위한 하나 이상의 광섬유 위치조정 가이드부로서, 상기 하나 이상의 가이드부는 상기 광실장 기판상의 표면에서 소정의 측면으로부터 소정의 위치까지 연장된 홈으로 형성되고,
    상기 광실장 기판의 표면상의 소정의 위치에 하나 이상의 가이드부를 인접시키는 함몰부로서 형성되며,
    광도파로 코어패턴에 대응하는 하나 이상의 도파로부로서, 상기 도파로부는 상기 적어도 하나의 광섬유의 광축과 정렬시키기 위해 상기 테라스의 표면상에 형성되며,
    상기 하나 이상의 광섬유는 상기 광실장 기판의 상기 하나 이상의 가이드부상에 실장되며,
    상기 하나 이상의 도파로부는 상기 광실장 기판의 굴절률보다 더 높은 굴절률을 갖는 코어재료로 채워지고,
    그 후에 상기 테라스에 채워진 코어재료의 굴절률보다 낮은 굴절률을 갖는 접착제를 사용하여 상기 하나 이상의 가이드부에 실장된 상기 하나 이상의 광섬유가 광섬유 고정 기판에 부착되는 것을 특징으로 하는 광디바이스.
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