JP2001054808A - ノズル穴の加工方法 - Google Patents
ノズル穴の加工方法Info
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- JP2001054808A JP2001054808A JP23369199A JP23369199A JP2001054808A JP 2001054808 A JP2001054808 A JP 2001054808A JP 23369199 A JP23369199 A JP 23369199A JP 23369199 A JP23369199 A JP 23369199A JP 2001054808 A JP2001054808 A JP 2001054808A
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- nozzle hole
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- mandrel
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 様々な形状のノズル穴加工に対応でき、且つ
多数個のノズル穴加工を実施したとしても高精度で均一
な加工が可能なノズル穴の加工方法を提供する。 【構成】 工具材料１ａを保持するマンドレル２を回転
させながら前記工具材料１ａの先端を頂点とする回転体
形状に放電加工して工具１ｂを形成した後、前記マンド
レル２を加工物８ａ表面上に相対移動させると共に加工
物８ａ表面を前記マンドレル２の回転軸に垂直となるよ
うに設置し、前記マンドレル２を回転させながら前記工
具１ｂの先端部分を加工物８ａに送り込むことにより、
工具劣化のほとんどない高精度な形状のノズル穴１５を
加工する。
多数個のノズル穴加工を実施したとしても高精度で均一
な加工が可能なノズル穴の加工方法を提供する。 【構成】 工具材料１ａを保持するマンドレル２を回転
させながら前記工具材料１ａの先端を頂点とする回転体
形状に放電加工して工具１ｂを形成した後、前記マンド
レル２を加工物８ａ表面上に相対移動させると共に加工
物８ａ表面を前記マンドレル２の回転軸に垂直となるよ
うに設置し、前記マンドレル２を回転させながら前記工
具１ｂの先端部分を加工物８ａに送り込むことにより、
工具劣化のほとんどない高精度な形状のノズル穴１５を
加工する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液体等の噴射に用
いられるノズル穴の加工方法に関するものである。
いられるノズル穴の加工方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】噴射ノズルは適用分野によって加工する
材料、板厚が大きく異なる。従って、加工方法もドリル
加工等の機械的加工からドライエッチングまでさまざま
である。そこで、インクジェットプリンタを例にノズル
穴加工方法について説明する。
材料、板厚が大きく異なる。従って、加工方法もドリル
加工等の機械的加工からドライエッチングまでさまざま
である。そこで、インクジェットプリンタを例にノズル
穴加工方法について説明する。
【０００３】インクジェットプリンタのノズルにはテー
パ穴が多く用いられる。加工方法には、レーザーアブレ
ーション、ドライエッチング、放電加工等がある。
パ穴が多く用いられる。加工方法には、レーザーアブレ
ーション、ドライエッチング、放電加工等がある。
【０００４】レーザーアブレーションは加工速度が速
く、マスク寸法精度と結像レンズの性能で加工寸法が決
まるため再現性よく高精度の加工が可能である。しかし
ながら、穴の真円度を確保するのが難しい、加工できる
材質が限定される、ランニングコストが高い、危険性の
高いガスを使用しなければならない等の課題がある。ま
た、レーザを集光するため自ずと加工穴はテーパ形状と
なるが、加工穴形状の自由度は少ない。
く、マスク寸法精度と結像レンズの性能で加工寸法が決
まるため再現性よく高精度の加工が可能である。しかし
ながら、穴の真円度を確保するのが難しい、加工できる
材質が限定される、ランニングコストが高い、危険性の
高いガスを使用しなければならない等の課題がある。ま
た、レーザを集光するため自ずと加工穴はテーパ形状と
なるが、加工穴形状の自由度は少ない。
【０００５】ドライエッチングはフォトリソグラフィ等
でマスクを形成して加工するため極めて高精度の加工が
可能である。しかしながら、適用できる材料が限定さ
れ、高アスペクト比、任意形状の加工が困難である。ま
た、エッチングマスクの作成まで含めたシステムが高額
であり、ランニングコストが高い、危険性の高いガスを
使用しなければならない等の課題もある。
でマスクを形成して加工するため極めて高精度の加工が
可能である。しかしながら、適用できる材料が限定さ
れ、高アスペクト比、任意形状の加工が困難である。ま
た、エッチングマスクの作成まで含めたシステムが高額
であり、ランニングコストが高い、危険性の高いガスを
使用しなければならない等の課題もある。
【０００６】放電加工では、材料をあまり限定せず、加
工形状も自由度の高い加工が可能である。しかしなが
ら、電極消耗の問題があるため、インクジェットプリン
タ用途のノズルに必要とされる数は１０〜１００個のア
レイ加工を同一の電極で実施した場合、形状誤差が生じ
ることになる。図４はその加工例を加工物３２の深さ方
向の断面図で模式的に示したものであるが、工具電極３
１先端の初期形状が円錐であったとしても、多数個の加
工を実施した後には消耗により工具電極３１の先端が丸
みを帯び、加工物３２には目的形状３２ａと異なる３２
ｂのような形状に加工されることとなり、結果として生
じるテーパ形状や穴径の誤差、場合によっては未貫通と
いった状態となり、ノズル穴アレイ全体での均一なイン
ク吐出を実現することが困難となる。
工形状も自由度の高い加工が可能である。しかしなが
ら、電極消耗の問題があるため、インクジェットプリン
タ用途のノズルに必要とされる数は１０〜１００個のア
レイ加工を同一の電極で実施した場合、形状誤差が生じ
ることになる。図４はその加工例を加工物３２の深さ方
向の断面図で模式的に示したものであるが、工具電極３
１先端の初期形状が円錐であったとしても、多数個の加
工を実施した後には消耗により工具電極３１の先端が丸
みを帯び、加工物３２には目的形状３２ａと異なる３２
ｂのような形状に加工されることとなり、結果として生
じるテーパ形状や穴径の誤差、場合によっては未貫通と
いった状態となり、ノズル穴アレイ全体での均一なイン
ク吐出を実現することが困難となる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このように従来工法
は、加工精度が低い、加工形状の自由度が低い、あるい
は多数穴加工時の不均一性といった課題があり、インク
ジェットプリンタ用途のテーパ形状ノズル穴を加工する
方法としては問題が多い。本発明は、上記従来の問題点
に鑑み、様々なテーパ角度のテーパ形状や変形テーパ形
状に対応でき、且つ多数個の加工を実施したとしても高
精度で均一な加工が可能なノズル穴の加工方法を提供す
ることを目的としている。
は、加工精度が低い、加工形状の自由度が低い、あるい
は多数穴加工時の不均一性といった課題があり、インク
ジェットプリンタ用途のテーパ形状ノズル穴を加工する
方法としては問題が多い。本発明は、上記従来の問題点
に鑑み、様々なテーパ角度のテーパ形状や変形テーパ形
状に対応でき、且つ多数個の加工を実施したとしても高
精度で均一な加工が可能なノズル穴の加工方法を提供す
ることを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のノズル穴加工方法は、工具材料を保持する
マンドレルを回転させながら前記工具材料の先端を頂点
とする回転体形状に放電加工して工具を形成した後、前
記マンドレルを加工物表面上に相対移動させると共に加
工物表面を前記マンドレルの回転軸に垂直となるように
設置し、前記マンドレルを回転させながら前記工具の先
端部分を加工物に送り込むことによりノズル穴を加工す
ることを特徴とする。
に、本発明のノズル穴加工方法は、工具材料を保持する
マンドレルを回転させながら前記工具材料の先端を頂点
とする回転体形状に放電加工して工具を形成した後、前
記マンドレルを加工物表面上に相対移動させると共に加
工物表面を前記マンドレルの回転軸に垂直となるように
設置し、前記マンドレルを回転させながら前記工具の先
端部分を加工物に送り込むことによりノズル穴を加工す
ることを特徴とする。
【０００９】上記方法によれば、マンドレルの回転軸と
ノズル穴加工に用いる工具の中心軸とが完全に一致する
ので、前記工具の回転体部分の軸ぶれを防止でき、加工
サイズがマイクロオーダーの極めて微小なものであった
としても、高精度なテーパ形状等の形状のノズル穴の加
工を実現できる。
ノズル穴加工に用いる工具の中心軸とが完全に一致する
ので、前記工具の回転体部分の軸ぶれを防止でき、加工
サイズがマイクロオーダーの極めて微小なものであった
としても、高精度なテーパ形状等の形状のノズル穴の加
工を実現できる。
【００１０】工具材料として、焼結ダイヤモンドあるい
は超硬合金を用いることで、工具表面に露出する前者の
ダイヤモンド粒子や後者のタングステンカーバイト粒子
による極めて微小な単位の切削が加工物との接触面全体
で進行するため、工具を加工物深さ方向に送り込むこと
により迅速にテーパ形状等のノズル穴を加工することが
でき、またそれら工具材料の高耐摩擦性の特徴により多
数個を加工したとしても工具劣化がほとんどなく均一加
工が可能である。
は超硬合金を用いることで、工具表面に露出する前者の
ダイヤモンド粒子や後者のタングステンカーバイト粒子
による極めて微小な単位の切削が加工物との接触面全体
で進行するため、工具を加工物深さ方向に送り込むこと
により迅速にテーパ形状等のノズル穴を加工することが
でき、またそれら工具材料の高耐摩擦性の特徴により多
数個を加工したとしても工具劣化がほとんどなく均一加
工が可能である。
【００１１】またノズル穴の形状が円錐形状である場合
は、放電加工として、目的とする円錐の母線方向に傾斜
させた平板を放電加工電極として、回転させた工具材料
を前記平板に向け送り込むことにより、前記回転軸を中
心軸とする凸型の円錐形状を工具端部に迅速に形成する
ことが可能となり、この工具を用いて高精度なテーパ形
状ノズル穴加工を実施することができる。
は、放電加工として、目的とする円錐の母線方向に傾斜
させた平板を放電加工電極として、回転させた工具材料
を前記平板に向け送り込むことにより、前記回転軸を中
心軸とする凸型の円錐形状を工具端部に迅速に形成する
ことが可能となり、この工具を用いて高精度なテーパ形
状ノズル穴加工を実施することができる。
【００１２】あるいは放電加工として、回転させた工具
材料を放電加工電極であるワイヤに対してその横断面を
含む平面内の所定方向に相対移動して成形することによ
り、必要とされるノズル穴の形状が単純な円錐形状では
なくて母線に曲線を含むような回転面であったとして
も、その母線に沿った相対移動によって工具を前記回転
面を有する凸型の回転体に成形できるので、この工具を
用いて前記のような複雑な形状のノズル穴も高精度に加
工することができる。
材料を放電加工電極であるワイヤに対してその横断面を
含む平面内の所定方向に相対移動して成形することによ
り、必要とされるノズル穴の形状が単純な円錐形状では
なくて母線に曲線を含むような回転面であったとして
も、その母線に沿った相対移動によって工具を前記回転
面を有する凸型の回転体に成形できるので、この工具を
用いて前記のような複雑な形状のノズル穴も高精度に加
工することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に係る
ノズル穴の加工方法を、これを実施するためのノズル穴
の加工装置とともに説明する。
ノズル穴の加工方法を、これを実施するためのノズル穴
の加工装置とともに説明する。
【００１４】（実施の形態１）図１はノズル穴の加工方
法を、加工物の厚さ方向の断面図で模式的に示すもので
ある。図１において、シャフト状の工具材料１ａはモー
タ３によって回転されるマンドレル２に固定されてお
り、これにより回転することができる。また工具材料１
ａはモータ３が設置されたＺステージ４を用いて回転軸
方向（上下方向）に位置決めすることができる。一方、
Ｘ−Ｙステージ５上に設置された加工槽１２内にはＹ軸
に平行且つＸ−Ｙ面（水平面）に対して４５°に傾斜さ
れた放電加工用電極板６が固定され、同じ加工槽１２内
に設置された支持台７上にノズル穴の加工物８ａが固定
されている。加工槽１２内には放電加工油９が満たさ
れ、また工具材料１ａと放電加工用電極板６間には、微
小エネルギーの放電パルスの発生が可能なＲＣ回路で構
成される放電発生回路１０がスイッチ１１を介して電気
的に接続されており、放電加工用電極板６を用いて工具
材料１ａに対してμｍオーダの放電加工を実施できる構
成になっている。
法を、加工物の厚さ方向の断面図で模式的に示すもので
ある。図１において、シャフト状の工具材料１ａはモー
タ３によって回転されるマンドレル２に固定されてお
り、これにより回転することができる。また工具材料１
ａはモータ３が設置されたＺステージ４を用いて回転軸
方向（上下方向）に位置決めすることができる。一方、
Ｘ−Ｙステージ５上に設置された加工槽１２内にはＹ軸
に平行且つＸ−Ｙ面（水平面）に対して４５°に傾斜さ
れた放電加工用電極板６が固定され、同じ加工槽１２内
に設置された支持台７上にノズル穴の加工物８ａが固定
されている。加工槽１２内には放電加工油９が満たさ
れ、また工具材料１ａと放電加工用電極板６間には、微
小エネルギーの放電パルスの発生が可能なＲＣ回路で構
成される放電発生回路１０がスイッチ１１を介して電気
的に接続されており、放電加工用電極板６を用いて工具
材料１ａに対してμｍオーダの放電加工を実施できる構
成になっている。
【００１５】以上の装置構成において、スイッチ１１を
接続し、回転させた工具材料１ａを放電加工用電極板６
に対してＺステージ４を用いて送り込みながら放電加工
することにより、工具材料１ａの先端部に円錐形状を形
成することができる。通常、工具材料１ａをマンドレル
２に固定する場合、工具材料１ａの中心軸とマンドレル
回転軸間に少なくとも数１０μｍオーダのずれが生じる
が、上記方法によれば、放電加工された円錐形状の中心
軸と回転軸が一致するため回転時の偏心誤差が生じず、
極めて鋭利な先端を有する高精度なノズル加工用工具１
ｂが得られる。工具材料１ａとして焼結ダイヤモンドを
用い、コンデンサ１０ｐＦ、電圧８０Ｖの条件で放電加
工した場合、頂角が９０°で先端丸み半径が１μｍ以下
の高精度な直円錐形状が得られた。
接続し、回転させた工具材料１ａを放電加工用電極板６
に対してＺステージ４を用いて送り込みながら放電加工
することにより、工具材料１ａの先端部に円錐形状を形
成することができる。通常、工具材料１ａをマンドレル
２に固定する場合、工具材料１ａの中心軸とマンドレル
回転軸間に少なくとも数１０μｍオーダのずれが生じる
が、上記方法によれば、放電加工された円錐形状の中心
軸と回転軸が一致するため回転時の偏心誤差が生じず、
極めて鋭利な先端を有する高精度なノズル加工用工具１
ｂが得られる。工具材料１ａとして焼結ダイヤモンドを
用い、コンデンサ１０ｐＦ、電圧８０Ｖの条件で放電加
工した場合、頂角が９０°で先端丸み半径が１μｍ以下
の高精度な直円錐形状が得られた。
【００１６】以上の工具成形後、スイッチ１１を切断し
てノズル加工用工具１ｂを放電発生回路１０から独立さ
せ、Ｘ−Ｙステージ５及びＺステージ４を用いてノズル
加工用工具１ｂを移動させ、加工物８ａに対して位置決
めする。ここでのＺ軸方向の位置決めは、ノズル加工用
工具１ｂを加工物８ａに対して接近させながら両者間の
導通検出により実施することができる。ここで加工面の
酸化状態によって安定した導通検出が不安定となる場合
には、加工物８ａと同じ厚みの材料に対して適当な深さ
に加工した時の穴径とＺ座標から、ノズル加工用工具１
ｂと加工物８ａ間のＺ軸方向の相対位置を算出すること
によって高精度に前記位置決めを実施することが可能で
ある。
てノズル加工用工具１ｂを放電発生回路１０から独立さ
せ、Ｘ−Ｙステージ５及びＺステージ４を用いてノズル
加工用工具１ｂを移動させ、加工物８ａに対して位置決
めする。ここでのＺ軸方向の位置決めは、ノズル加工用
工具１ｂを加工物８ａに対して接近させながら両者間の
導通検出により実施することができる。ここで加工面の
酸化状態によって安定した導通検出が不安定となる場合
には、加工物８ａと同じ厚みの材料に対して適当な深さ
に加工した時の穴径とＺ座標から、ノズル加工用工具１
ｂと加工物８ａ間のＺ軸方向の相対位置を算出すること
によって高精度に前記位置決めを実施することが可能で
ある。
【００１７】以上の工程により位置決めされたノズル加
工用工具１ｂを加工物８ａに対してその厚み以上の距離
を送り込むことにより、加工物８ａに対して直円錐（テ
ーパ）形状のノズル穴１５を加工することができ、その
結果、図２に示されるようなシャープなテーパ形状のノ
ズル穴１５を有する加工品８ｂが得られる。例えば、厚
み３０μｍのステンレス板材料表面に対して放電加工で
成形した焼結ダイヤモンド工具先端を位置決めした後、
工具を２５００ｒｐｍで回転させながら１μｍ／ｓｅｃ
の速度で深さ方向に３５μｍ送り込むことにより、工具
の入口側の穴径７０μｍで出口側の穴径１０μｍの４５
°テーパ形状ノズル穴１５が得られる。
工用工具１ｂを加工物８ａに対してその厚み以上の距離
を送り込むことにより、加工物８ａに対して直円錐（テ
ーパ）形状のノズル穴１５を加工することができ、その
結果、図２に示されるようなシャープなテーパ形状のノ
ズル穴１５を有する加工品８ｂが得られる。例えば、厚
み３０μｍのステンレス板材料表面に対して放電加工で
成形した焼結ダイヤモンド工具先端を位置決めした後、
工具を２５００ｒｐｍで回転させながら１μｍ／ｓｅｃ
の速度で深さ方向に３５μｍ送り込むことにより、工具
の入口側の穴径７０μｍで出口側の穴径１０μｍの４５
°テーパ形状ノズル穴１５が得られる。
【００１８】この加工による工具消耗はほとんど無く、
図１においてＹ軸方向にノズル穴加工を繰り返すことで
アレイ状にノズル穴を形成したとしても、工具劣化によ
る形状ばらつきが発生することはなく、結果として得ら
れるテーパ形状ノズル穴アレイをインクジェットプリン
タ用のインク吐出ノズルとして用いる場合においても均
一な吐出が可能となる。なお、工具材料１ａは本例で示
した焼結ダイヤモンドに限定されるものではなく、超硬
合金やその他の高硬度材料によっても実施可能である。
もちろん、本例で示したテーパ角度４５°以外にも、必
要とされるノズル穴のテーパ角度にあわせて放電加工用
電極板６の角度を設定することで所望のテーパ形状ノズ
ル穴を加工することができる。また、工具材料１ａを貫
通しない状態で加工をストップし、得られる円錐形状の
底付き穴の頂点を中心として放電加工等で出口側をスト
レート形状に貫通するといった、深さ方向の一部がテー
パ形状となるノズル穴の加工にも、本発明の加工方法は
加工精度あるいは加工速度の点で有利な手段として用い
ることができる。
図１においてＹ軸方向にノズル穴加工を繰り返すことで
アレイ状にノズル穴を形成したとしても、工具劣化によ
る形状ばらつきが発生することはなく、結果として得ら
れるテーパ形状ノズル穴アレイをインクジェットプリン
タ用のインク吐出ノズルとして用いる場合においても均
一な吐出が可能となる。なお、工具材料１ａは本例で示
した焼結ダイヤモンドに限定されるものではなく、超硬
合金やその他の高硬度材料によっても実施可能である。
もちろん、本例で示したテーパ角度４５°以外にも、必
要とされるノズル穴のテーパ角度にあわせて放電加工用
電極板６の角度を設定することで所望のテーパ形状ノズ
ル穴を加工することができる。また、工具材料１ａを貫
通しない状態で加工をストップし、得られる円錐形状の
底付き穴の頂点を中心として放電加工等で出口側をスト
レート形状に貫通するといった、深さ方向の一部がテー
パ形状となるノズル穴の加工にも、本発明の加工方法は
加工精度あるいは加工速度の点で有利な手段として用い
ることができる。
【００１９】（実施の形態２）図３はノズル穴の加工方
法を、加工物の厚さ方向の断面図で模式的に示すもので
ある。本装置においては図示されている部分以外の装置
構成は図１と同様である。図３において、工具材料１ａ
とワイヤ電極２１間にはスイッチ１１を介して放電発生
回路１０が接続されている。回転させた前記工具材料１
ａを、工具材料１ａに対して直交する方向に配置された
ワイヤ電極２１に対して軌跡２２に沿って相対移動させ
ながら放電加工することにより、工具材料１ａ先端に前
記軌跡２２を母線とし前記回転軸上に頂点を有する回転
体が形成される。この軌跡２２は任意の直線や曲線ある
いはそれらの組み合わせで構成することができ、従って
得られる工具形状を曲面で構成することが可能であるた
め、これを用いて加工されるノズル穴はより自由度の高
い形状のものとすることができる。
法を、加工物の厚さ方向の断面図で模式的に示すもので
ある。本装置においては図示されている部分以外の装置
構成は図１と同様である。図３において、工具材料１ａ
とワイヤ電極２１間にはスイッチ１１を介して放電発生
回路１０が接続されている。回転させた前記工具材料１
ａを、工具材料１ａに対して直交する方向に配置された
ワイヤ電極２１に対して軌跡２２に沿って相対移動させ
ながら放電加工することにより、工具材料１ａ先端に前
記軌跡２２を母線とし前記回転軸上に頂点を有する回転
体が形成される。この軌跡２２は任意の直線や曲線ある
いはそれらの組み合わせで構成することができ、従って
得られる工具形状を曲面で構成することが可能であるた
め、これを用いて加工されるノズル穴はより自由度の高
い形状のものとすることができる。
【００２０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば回転による
軸ぶれのない円錐体形状等の回転体に成形された工具を
用いて、高精度且つ迅速なノズル穴の加工を行うことが
できると共に、種々の形状のノズル穴の加工を容易に行
うことができる。
軸ぶれのない円錐体形状等の回転体に成形された工具を
用いて、高精度且つ迅速なノズル穴の加工を行うことが
できると共に、種々の形状のノズル穴の加工を容易に行
うことができる。
【図１】本発明の実施の形態１におけるノズル穴加工方
法を示す断面図。
法を示す断面図。
【図２】本発明の実施の形態１におけるノズル穴加工例
を示す断面図。
を示す断面図。
【図３】本発明の実施の形態２におけるノズル穴加工方
法を示す断面図。
法を示す断面図。
【図４】従来方法によるノズル穴の加工例を示す断面
図。
図。
１ａ 工具材料 １ｂ ノズル加工用工具 ２ マンドレル ６ 放電加工用電極板 ８ａ 加工物 ８ｂ 加工品 ２１ ワイヤ電極
Claims (5)
- 【請求項１】 工具材料を保持するマンドレルを回転さ
せながら前記工具材料の先端を頂点とする回転体形状に
放電加工して工具を形成した後、前記マンドレルを加工
物表面上に相対移動させると共に加工物表面を前記マン
ドレルの回転軸に垂直となるように設置し、前記マンド
レルを回転させながら前記工具の先端部分を加工物内に
送り込むことによりノズル穴を加工することを特徴とす
るノズル穴の加工方法。 - 【請求項２】 工具材料は、焼結ダイヤモンド又は超硬
合金であることを特徴とする請求項１記載のノズル穴の
加工方法。 - 【請求項３】 回転体は、円錐体であることを特徴とす
る請求項１または２記載のノズル穴の加工方法。 - 【請求項４】 放電加工は、目的とする円錐の母線方向
に傾斜させた平面を放電加工電極として、回転させた工
具材料を前記平面に向け送り込むことにより実施される
ことを特徴とする請求項３記載のノズル穴の加工方法。 - 【請求項５】 放電加工は、回転させた工具材料を放電
加工電極であるワイヤに対してそのワイヤの横断面を含
む平面内の所定方向に相対移動することにより実施され
ることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のノ
ズル穴の加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23369199A JP2001054808A (ja) | 1999-08-20 | 1999-08-20 | ノズル穴の加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23369199A JP2001054808A (ja) | 1999-08-20 | 1999-08-20 | ノズル穴の加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001054808A true JP2001054808A (ja) | 2001-02-27 |
Family
ID=16959042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23369199A Pending JP2001054808A (ja) | 1999-08-20 | 1999-08-20 | ノズル穴の加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001054808A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6904190B2 (en) | 2001-12-04 | 2005-06-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical package substrate, optical device, optical module, and method for molding optical package substrate |
| US6947645B2 (en) | 2001-12-04 | 2005-09-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical package substrate and optical device |
| KR100971491B1 (ko) | 2009-06-02 | 2010-07-21 | 대한정밀(주) | 금속노즐 제조방법 |
| CN105935820A (zh) * | 2016-06-23 | 2016-09-14 | 无锡德斯凯动力科技有限公司 | 一种双头线切割机床 |
| CN107984047A (zh) * | 2018-01-22 | 2018-05-04 | 宿迁学院 | 一种高效率的线切割机床 |
| KR20180126385A (ko) * | 2017-05-17 | 2018-11-27 | 화낙 코퍼레이션 | 경면 가공 방법 및 경면 가공용 공구의 제조 방법 |
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1999
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