JP7327864B1 - 精密ノズルおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】超硬合金で効率良く精密ノズルを製造する。【解決手段】貫通孔を形成するための転写型を用いて原料粉末を圧縮成形し、注入口に相当する開口部を有し、かつ貫通していない穴部を有する成形体を得る圧粉成形工程、前記成形体を焼結し、注入口に相当する開口部を有し、かつ貫通していない穴部を有する焼結体を得る焼結工程、電極を用いて前記焼結体の穴部を放電加工する放電加工工程、放電加工した焼結体を、注入口となる開口部の反対側から研削し、吐出口を開口する研削工程を経て、精密ノズルを製造する。得られた精密ノズル１は、超硬合金で形成され、注入口２から吐出口４まで貫通する貫通孔３を有し、かつ前記貫通孔３が、前記吐出口４を起点として前記注入口２に向かって内径が増大する方向に延びるテーパ状孔部３ｂを少なくとも含む。【選択図】図１

Description

特許法第３０条第２項適用 １．令和４年１１月８日 ＪＩＭＴＯＦ２０２２（第３１回日本国際工作機械見本市）に発表

本発明は、電子部品の分野などで利用される微小孔径の精密ノズルおよびその製造方法に関する。

近年の技術革新による電子機器の小型化に伴って、スマートフォン、タブレット型パーソナルコンピュータ（ＰＣ）、ゲーム機器、マザーボード、デジタルカメラなどに搭載される電子部品の分野では、半導体デバイスにおいて、半導体素子や集積回路の微細化や高密度化が進行している。このような半導体デバイスの製造過程において、微小部品の組み立てや基板上での実装などに利用されるノズルとして、リフローノズル、吸着ノズル、ソルダージェッティングノズルなどが知られており、いずれのノズルも微小な吐出孔または吸着孔を有する精密ノズルである。例えば、リフローノズルとしては、直径４０μｍ程度の半田ボール（半田球）にレーザーを照射して溶融することにより、基板上に溶融した半田（半田クリーム）を供給するノズルも利用されている。そのため、このようなリフローノズルでは、半田ボールを吐出口に一時的に滞留させるために、吐出口の孔径も半田ボールの直径と同程度の微小孔径に調整する必要がある。さらに、リフローノズルなどの精密ノズルでは、正確に位置決めする必要があるため、流路形状にも精密さが要求される。そのため、リフローノズルなどの精密ノズルでは、高度な精密加工が必要となる。特に、リフローノズルでは耐久性も要求されるため、超硬合金で製造されているが、超硬合金は硬質であり、加工が困難であるため、精密加工の加工効率が低い。そのため、従来の技術では、リフローノズルなどの精密ノズルを効率良く製造するのは困難であった。

特開２０２２－８５９１４号公報（特許文献１）には、電子部品の実装に必要となる接着剤を吐出する電子部品接着用ノズルとして、超硬合金で形成され、かつ直径５０μｍ以下の吐出口を有する吐出用貫通孔が形成された先端部と、この先端部に接着剤を供給するための内部空間を有する本体部とからなるノズルが開示されている。

特開２０２２－８９３７１号公報（特許文献２）には、電子部品の実装に必要となる接着剤を吐出する電子部品接着用ノズルとして、超硬合金で形成され、かつ直径５０μｍ以下の吐出口を有する吐出用貫通孔と、この吐出用貫通孔に接着剤を供給するための内部空間とからなる本体部を備えたノズルが開示されている。

特許文献１および２には、接着剤を微細な量および吐出径で吐出され易くするために、吐出用貫通孔の吐出口の直径が注入口の直径よりも小さいノズルが記載されており、図面には、注入口から下流方向に向かって次第に内径が小さくなる流路と、この流路から吐出口に向かって同一の内径を有する流路（ストレート流路）との２段階の流路形状を有するノズルが記載されている。また、特許文献１および２には、吐出口の直径について、高密度実装に適した接着剤の吐出が可能である点などから、３０μｍ以下が好適であると記載されている。

また、特許文献１および２には、吐出用貫通孔には内径、吐出軸の高い精度が求められるため、吐出用貫通孔の形成方法としては、所定位置を穿孔して形成する方法、張り合わせで形成する方法、型加工で形成する方法が利用できることが記載されている。

さらに、特許文献１および２には、本体部や先端部を金属粉体の焼結体で形成する場合は、高い精度で吐出用貫通孔を形成する方法として、焼結体とする際に、吐出用貫通孔を設ける方法、焼結体となった後で、穿孔などにより吐出用貫通孔を形成する方法が記載されている。

一方、特開２０２２－２２４１９号公報（特許文献３）には、穿孔する穴径より大きい径の放電電極を用い、放電電極をプラス、工作物をマイナスとし、穿孔する穴径より大きい径の放電電極を回転させながら送り速度３０～２００μｍ／ｓで送り、放電電極が消耗しながら工作物に穴を形成することを特徴とする放電加工方法が開示されている。

特開２０２２－８５９１４号公報 特開２０２２－８９３７１号公報 特開２０２２－２２４１９号公報

しかし、特許文献１および２に記載されているノズルの製造方法では、超硬合金で精密ノズルを効率良く製造することは困難である。特に、超硬合金で吐出口の口径が４５μｍ未満（特に３０μｍ未満）である精密ノズルでは、製造すること自体が極めて困難であるが、特許文献１および２には、具体的な製造方法は記載されておらず、実際に製造されたノズルの吐出口の口径についても記載されていない。

なお、特許文献２のノズルでは、接着剤を噴射するためか、吐出口に連なる流路はストレート状に形成されているが、用途によってはテーパ状が要求される場合もある。例えば、半田ボールを利用するリフローノズルでは、半田クリームを円滑に吐出するために、吐出口に連なる流路はテーパ状に形成されることも要求される。

また、特許文献２では、微細な直径の吐出用貫通孔を形成するために機械加工で穿孔すると実現容易となることが記載されている。穴をあける場合の機械加工として一般的な加工方法はドリル加工であるが、超硬合金の加工では材料硬度が高く、一般的な工具では加工が困難であるため、放電加工を選択されることが大半である。比較的新しい加工方法として超硬合金のような高硬度材に特化した専用工具とその工具を高速回転させることができる特殊な加工機を用いた加工方法で微細な穴を加工することができる。しかし、この方法で直径が４０μｍ程度の微細な穴を加工する場合、用いられるドリルが刃の強度を保持するためには、刃長を短くせざるを得ない。微細な直径を有するドリル刃の刃長が長くなると、製造時または使用時にドリルの刃が折れるためである。市販品の中で超硬合金に対して前記のような特殊な微細加工が可能なドリルとしては、ファインセラミック用極小径ドリル（オーエスジー（株）製「ＵＶＭ－ＣＥＲＡ（特殊品）」）が挙げられる。しかし、この極小径ドリルでは、ドリル刃の直径に応じてドリル刃の長さが選択されており、ドリル刃の直径が４０μｍの場合、ドリル刃の長さは０．４ｍｍである。直径４０μｍ程度の微細径で長さが０．４ｍｍを超える細長形状では、ドリル刃としての強度を保持できないためである。従って、特許文献２に記載されている機械加工では、０．５ｍｍを超えるような厚みを有する超硬合金に対して孔径４０μｍ程度の微細な貫通孔を形成することはできない。

さらに、特許文献３の放電加工方法では、放電電極の制御が煩雑であり、生産性が低い上に、製造過程で電極の形状が変化するため、精密ノズルの製造には向いていない。さらに、この方法でも、吐出口の口径が４５μｍ未満である精密ノズルは製造できなかった。

従って、本発明の目的は、超硬合金で効率良く精密ノズルを製造することにある。

本発明の他の目的は、生産性が高く、吐出口の口径が４５μｍ未満であり、かつ薄肉でないテーパ状孔部を有する新規な超硬合金製精密ノズルおよびその製造方法を提供することにある。

本発明者等は、前記課題を達成するため鋭意検討した結果、吐出口を起点として注入口に向かって内径が増大する方向に延びるテーパ状孔路を含む超硬合金製精密ノズルの製造方法において、前記貫通孔を形成するための転写型を用いて、原料粉末を圧縮成形し、前記注入口に相当する開口部を有し、かつ貫通していない穴部を有する成形体を得る圧粉成形工程、得られた成形体を焼結し、前記注入口に相当する開口部を有し、かつ貫通していない穴部を有する焼結体を得る焼結工程、前記焼結体の穴部に電極を挿入して放電加工する放電加工工程、放電加工した焼結体を、注入口となる開口部の反対側から研削し、吐出口を開口する研削工程を経ることにより、超硬合金で効率良く精密ノズルを製造することができることを見出し、本発明を完成した。

すなわち、本発明の態様［１］としての精密ノズルの製造方法は、
超硬合金で形成され、注入口から吐出口まで貫通する貫通孔を有し、かつ前記貫通孔が、前記吐出口を起点として前記注入口に向かって内径が増大する方向に延びるテーパ状孔部を少なくとも含む精密ノズルの製造方法であって、
前記貫通孔を形成するための転写型を用いて、原料粉末を圧縮成形し、前記注入口に対応する開口部を有し、かつ貫通していない穴部を有する成形体を得る圧粉成形工程、
前記成形体を焼結し、前記成形体に対応する焼結体を得る焼結工程、
前記焼結体の穴部に電極を挿入して放電加工する放電加工工程、
放電加工した焼結体を、注入口となる開口部の反対側から研削し、吐出口を開口する研削工程を含む。

本発明の態様［２］は、前記態様［１］において、前記貫通孔の断面形状が円形状、楕円形状または多角形状である態様である。

本発明の態様［３］は、前記態様［２］において、前記貫通孔の断面形状が円形状である態様である。

本発明の態様［４］は、前記態様［１］～［３］のいずれかの圧粉成形工程において、前記転写型の形状が、前記貫通孔の形状に対応し、かつ前記テーパ状孔部に対応するテーパ部の形状が円錐状、楕円錐状または多角錐状である態様である。

本発明の態様［５］は、前記態様［４］において、前記テーパ状孔部に対応するテーパ部の形状が円錐状である態様である。

本発明の態様［６］は、前記態様［５］において、前記テーパ状孔部に対応する前記転写型の円錐状部の先端径が５μｍ以下である態様である。

本発明の態様［７］は、前記態様［１］～［６］のいずれかの態様の放電加工工程において、前記電極の形状が、前記転写型の形状に対応している態様である。

本発明の態様［８］は、前記態様［７］において、前記テーパ状孔部に対応する前記電極の形状が円錐状であり、かつ前記テーパ状孔部に対応する前記電極の円錐状部の先端径が５μｍ以下である態様である。

本発明の態様［９］は、前記態様［１］～［８］のいずれかの態様の研削工程において、カメラを用いて研削面を撮像した画像に基づいて、吐出口となる孔の発生の有無およびその口径を確認する態様である。

本発明の態様［１０］は、前記態様［１］～［９］のいずれかの態様において、前記貫通孔が、前記テーパ状孔部と、前記テーパ状孔部から前記注入口まで延びる円筒状孔部とからなる態様である。

本発明の態様［１１］は、前記態様［１］～［１０］のいずれかの態様において、前記吐出口の口径が３０μｍ未満である態様である。

本発明の態様［１２］は、前記態様［１］～［１１］のいずれかの態様において、前記精密ノズルが電子部品用ノズルである態様である。

本発明の態様［１３］は、前記態様［１］～［１２］のいずれかの態様において、前記精密ノズルが、半田ボールを溶融して吐出するためのリフローノズルである態様である。

本発明には、態様［１４］として、
超硬合金で形成され、
注入口から吐出口まで貫通する貫通孔を有し、
前記貫通孔が、前記吐出口から前記注入口に向かって内径が増大する方向に延びるテーパ状孔部を含み、
前記吐出口の口径が４５μｍ未満であり、かつ
前記テーパ状孔部のノズル軸心方向の長さが１ｍｍ以上である、精密ノズルも含まれる。

本発明の態様［１５］は、前記態様［１４］において、前記テーパ状孔部のノズル軸心方向の長さが、前記吐出口の口径に対して１０倍以上である態様である。

本発明の態様［１６］は、前記態様［１４］または［１５］において、前記吐出口の形状が円形状であり、かつ前記吐出口の真円度が５μｍ以下である態様である。

本発明の態様［１７］は、前記態様［１４］～［１６］のいずれかの態様において、前記吐出口における精密ノズルの外形状が等方形状であり、前記吐出口の形状が円形状であり、かつ前記外形状と前記吐出口との同心度が１０μｍ以下である態様である。

本発明の態様［１８］は、前記態様［１４］～［１７］のいずれかの態様において、前記テーパ状孔部の傾斜角が３～６０°である態様である。

本発明の態様［１９］は、前記態様［１４］～［１８］のいずれかの態様において、前記吐出口の口径が３０μｍ未満である態様である。

本発明の態様［２０］は、前記態様［１４］～［１９］のいずれかの態様において、
前記吐出口の口径が１μｍ以上３０μｍ未満であり、
前記テーパ状孔部のノズル軸心方向の長さが１～２０ｍｍであり、
前記テーパ状孔部のノズル軸心方向の長さが、前記吐出口の口径に対して１００倍以上であり、
前記吐出口の形状が円形状であり、かつ前記吐出口の真円度が５μｍ以下であり、
前記吐出口における精密ノズルの外形状が円形状であり、かつ前記外形状と前記吐出口との同心度が１０μｍ以下であり、かつ
前記テーパ状孔部の傾斜角が４～５０°である態様である。

本発明の態様［２１］は、前記態様［１４］～［２０］のいずれかの態様において、前記超硬合金が炭化タングステンを含む合金である態様である。

本発明では、特定の転写型を用いた圧粉成形工程と、焼結工程と、特定の電極を用いた型彫り放電加工工程と、特定形状に放電加工した焼結体を研削する研削工程とを組み合わせた製造方法によって、超硬合金で効率良く精密ノズルを製造できる。特に、吐出口の口径が４５μｍ未満であり、かつ薄肉でないテーパ状孔部を有する新規な超硬合金製精密ノズルを簡便に製造できる。

図１は、本発明の精密ノズルの一例を示す概略透視斜視図である。 図２は、図１のＩ－Ｉ線概略断面図である。 図３は、本発明の精密ノズルの他の例を示す概略断面図である。 図４は、本発明の精密ノズルのさらに他の例を示す概略断面図である。 図５は、本発明の精密ノズルの別の例を示す概略断面図である。 図６は、図４の精密ノズルにおける吐出口の口径およびテーパ状孔部の深さを説明するための図である。 図７は、図５の精密ノズルにおける吐出口の口径およびテーパ状孔部の深さを説明するための図である。 図８は、本発明の精密ノズルの製造方法における圧粉成形工程および放電加工工程を説明するための概略工程図である。 図９は、本発明の精密ノズルの製造方法における焼結工程および放電加工工程を説明するための概略工程図である。 図１０は、本発明の精密ノズルの製造方法における研削工程を説明するための概略工程図である。 図１１は、実施例で用いた転写型（プレスピン）の先端部の顕微鏡写真である。 図１２は、実施例で用いた電極の先端部の顕微鏡写真である。 図１３は、実施例１において貫通孔の吐出口が開口した直後に得られた精密ノズルの先端部の顕微鏡写真である。 図１４は、実施例１で得られた精密ノズルの先端部の断面の顕微鏡写真である。 図１５は、実施例２において貫通孔の吐出口が開口した精密ノズルの先端部の顕微鏡写真である。 図１６は、実施例３において貫通孔の吐出口が開口した精密ノズルの先端部の顕微鏡写真である。 図１７は、実施例４において貫通孔の吐出口が開口した精密ノズルの先端部の顕微鏡写真である。 図１８は、実施例５において貫通孔の吐出口が開口した精密ノズルの先端部の顕微鏡写真である。 図１９は、実施例６において貫通孔の吐出口が開口した精密ノズルの先端部の顕微鏡写真である。 図２０は、実施例８において貫通孔の吐出口が開口した精密ノズルの先端部の顕微鏡写真である。 図２１は、実施例９において貫通孔の吐出口が開口した精密ノズルの先端部の顕微鏡写真である。

［精密ノズルの材質］
本発明の精密ノズルの材質である超硬合金は、特に限定されない。代表的な超硬合金としては、周期表４～６族金属炭化物を含む合金が挙げられ、なかでも、炭化タングステンＷＣ（タングステンカーバイト）を含む合金（ＷＣ系合金）が汎用される。

ＷＣ系合金は、主成分であるＷＣと、焼結により液相を形成し、結合相を形成する結合成分とで形成されていてもよい。

結合成分としては、例えば、マンガンＭｎ、鉄Ｆｅ、コバルトＣｏ、ニッケルＮｉなど周期表８～１０族金属などが挙げられる。これらの結合成分は、単独でまたは二種以上組み合わせて使用できる。これらのうち、コバルトＣｏおよび／またはニッケルＮｉが好ましく、コバルトＣｏが特に好ましい。

結合成分（特に、Ｃｏ）の割合は、炭化タングステン１００質量部に対して３０質量部以下であってもよく、好ましくは０．５～２５質量部、さらに好ましくは１～２０質量部である。

ＷＣ系合金は、前記主成分以外の金属炭化物（他の金属炭化物）をさらに含んでいてもよい。他の金属炭化物としては、例えば、炭化チタンＴｉＣ、炭化ニオブＮｂＣ、炭化タンタルＴａＣ、炭化クロムＣｒ_３Ｃ_２などが挙げられる。これら他の金属炭化物は、単独でまたは二種以上組み合わせて使用できる。これらのうち、ＴｉＣ、ＴａＣ、Ｃｒ_３Ｃ_２が好ましい。

ＷＣ系合金は、前記結合成分以外の金属単体（他の金属単体）をさらに含んでいてもよい。他の金属単体としては、例えば、チタンＴｉ、ジルコニウムＺｒ、バナジウムＶ、ニオブＮｂ、タンタルＴａ、クロムＣｒ、モリブデンＭｏ、タングステンＷ、レニウムＲｅなどが挙げられる。これら他の金属単体は、単独でまたは二種以上組み合わせて使用できる。これらのうち、Ｖおよび／またはＣｒが好ましい。

他の金属単体の割合は、ＷＣ系合金全体１００質量部に対して５質量部以下であってもよく、好ましくは０．１～３質量部、さらに好ましくは０．２～２質量部である。

ＷＣ系合金は、炭素源Ｃ（カーボンブラックなど）をさらに含んでいてもよく、不可避的に混入する成分を含んでいてもよい。

ＷＣ系合金としては、例えば、ＷＣ－Ｃｏ系合金、ＷＣ－ＴｉＣ－Ｃｏ系合金、ＷＣ－ＴａＣ－Ｃｏ系合金、ＷＣ－ＴｉＣ－ＴａＣ－Ｃｏ系合金、ＷＣ－Ｎｉ系合金、ＷＣ－Ｎｉ－Ｃｒ系合金などが挙げられる。これらのうち、ＷＣ－Ｃｏ系合金が汎用される。

［精密ノズルの形状］
本発明の精密ノズルの形状は、注入口から吐出口まで貫通する貫通孔を有するとともに、前記貫通孔が、前記吐出口を起点として前記注入口に向かって内径が増大する方向に延びるテーパ状孔部を少なくとも含む形状であれば、特に限定されない。本発明のノズルの詳細な形状について、以下に図面を用いて説明する。

図１は、本発明の精密ノズルの一例の概略透視斜視図であり、図２のＩ－Ｉ線概略断面図である。

この精密ノズル１は、被吐出体を注入するための円形状の注入口２から、被吐出体を吐出するための円形状の吐出口４まで貫通する断面円形状の貫通孔３を有しており、この貫通孔３は、気体、液体や固体などの被吐出体を通過するための通路（または流路）として機能する。前記貫通孔３は、前記吐出口４を起点として前記注入口２に向かって内径が増大する方向に延びるテーパ状孔部３ｂと、このテーパ状孔部３ｂの上流端から前記注入口２まで略同じ内径で延びる円筒状孔部３ａとを備えている。さらに、テーパ状孔部３ｂに対応する外周は、吐出口４に向かって先細状に形成されている。具体的には、テーパ状孔部３ｂの傾斜角θ（ノズル軸心と傾斜壁との角度）は、ノズル軸心に対して１０°である。

図１に示す精密ノズル１では、前記テーパ状孔部３ｂの先端で開口している吐出口４の口径（直径）φは２０μｍ程度である。従来の精密ノズルでは、吐出口の口径φは最小でも薄肉のノズルにおいて４０μｍ程度であるが、特許文献２に記載されているような従来の製造方法では、吐出口の口径（または孔径）が３０μｍ未満である精密ノズルの製造方法が困難であったためである。なお、特許文献２には、従来の製造方法の詳細について記載されていないが、微細な吐出口を形成するために高い精度が要求される場合、従来の技術では、通常、ノズル内部に対応する穴部を形成した焼結体に対して、吐出口側からノズル内部に向けて（注入口の反対側から）放電加工することにより、微細な吐出口を形成する方法が考えられる。放電加工で微細な吐出口を形成するためには、加工の入り口では、電極の形状に対応した形状を形成し易いが、加工が進むにつれて、均一な形状を維持するのが困難であるためである。特に、微細な吐出口を形成するためには、髪の毛のように、細くて曲がりやすい電極を用いる必要があるため、尚更である。そのため、このような従来の方法で加工した貫通孔は、特許文献２の図面に記載されている形状を有する貫通孔、すなわち吐出口を起点として注入口に向かって延びる円筒状孔部を有する貫通孔となる。さらに、曲がり易い微細な電極を用いると、注入口側との位置合わせも極めて困難であり、高精度のノズルを製造することが困難である。

すなわち、貫通孔を形成するために最終的に吐出口側から加工する方法では、図１のような吐出口から注入口に向かって内径が増大する方向に延びる形状を有するテーパ状孔部を有する精密ノズルは製造できない。そのため、特許文献２のような従来の方法で得られる精密ノズルにおいても、吐出口の口径が４０μｍ程度の微細な吐出口が形成されているものの、吐出口から延びる孔部の形状は、吐出口から注入口に向かって内径が増大する方向に延びる形状ではなかった。特に、薄肉でないテーパ状孔部を有する精密ノズルでは、微細な吐出口を形成するのが困難であり、例えば４５μｍ未満の微細な口径の吐出口を有し、かつ吐出口から注入口に向かって内径が増大する方向に延びる形状を有するテーパ状孔部を有する精密ノズルは、従来の製造方法では製造できない。

図３は、本発明の精密ノズルの他の例である精密ノズルの概略断面図である。この精密ノズル１１も、円形状の注入口１２から円形状の吐出口１４まで貫通する貫通孔１３を有しているが、貫通孔１３の形状が、図１および２の貫通孔３の形状と異なっている。すなわち、この精密ノズル１１では、前記貫通孔１３が、前記吐出口１４から前記注入口１２まで内径が増大する方向に連続して延びるテーパ状孔部のみで形成されている。

図４は、本発明の精密ノズルの他の例である精密ノズルの概略断面図である。この精密ノズル２１は、円形状の注入口２２から円形状の吐出口２４まで貫通する貫通孔２３の形状は図１の精密ノズルと同一であり、ノズル２１の外周形状が円筒形状である点で異なる例である。図１の精密ノズルは、通常、図４の精密ノズルを研削加工する方法によって成形される。

図５は、本発明の精密ノズルの別の例である精密ノズルの概略断面図である。この精密ノズル３１は、円形状の注入口３２から円形状の吐出口３４まで貫通する貫通孔３３を有しており、この貫通孔３３は、前記吐出口３４を起点として前記注入口３２に向かって内径が増大する方向に延びる第１のテーパ状孔部３３ｂと、この第１のテーパ状孔部３３ｂの上流端から前記注入口３２に向かって内径が増大する方向に延びる第２のテーパ状孔部３３ａとからなる。この例では、第２のテーパ状孔部３３ａの傾斜角は、第１のテーパ状孔部３３ｂの傾斜角よりも大きく形成されている。

貫通孔（特に、テーパ状孔部）の断面形状（長さ方向または軸心方向に垂直な断面形状）は、特に限定されず、例えば、円形状、楕円形状、多角形状などが挙げられる。これらの断面形状のうち、楕円形状、長方形状などの異方形状であってもよいが、円形状、正方形状、正六角形などの等方形状が好ましく、円形状が特に好ましい。吐出口の形状も同様である。

吐出口の形状（孔形状）が円形状である場合、本発明の方法では、特定の圧粉成形工程と放電加工工程と研削工程とを組み合わせているため、吐出口の円形状を真円度の小さい円形状に形成できる。吐出口の真円度は５μｍ以下（例えば０．１～５μｍ程度）であってもよく、好ましくは４μｍ以下（例えば０．３～４μｍ）、さらに好ましくは３μｍ以下、より好ましくは１μｍ以下、最も好ましくは０．５μｍ以下である。真円度が大きすぎると、精密ノズルの機能が低下する虞がある。

吐出口の形状が円形状である場合、吐出口の真円度は、吐出口の口径に対して０．３倍以下、好ましくは０．２倍以下、さらに好ましくは０．１倍以下であってもよく、例えば０．００１～０．３倍、好ましくは０．００５～０．２５倍、さらに好ましくは０．０１～０．２倍、より好ましくは０．０３～０．１５倍、最も好ましくは０．０５～０．１倍である。口径に対する真円度の比率が大きすぎると、精密ノズルの機能が低下する虞がある。

なお、本明細書および特許請求の範囲において、吐出口の真円度は、ＪＩＳ Ｂ ０６２１－１９８４に準拠して測定でき、具体的には、光学式画像測定器（ＯＧＰ社製「スマートスコープＺＩＰ-３００」）を用いて測定できる。

吐出口における精密ノズルの外形状が等方形状（特に、円形状）であり、かつ吐出口の形状が円形状である場合、前記外形状と前記吐出口との同心度は１０μｍ以下、好ましくは８μｍ以下、さらに好ましくは７μｍ以下、より好ましくは５μｍ以下であってもよく、例えば０．１～１０μｍ、好ましくは０．３～８μｍ、さらに好ましくは０．５～７μｍ、より好ましくは１～６μｍ、最も好ましくは１．５～５μｍである。同心度が大きすぎると、精密ノズルの機能が低下する虞がある。

なお、本明細書および特許請求の範囲において、前記同心度は、ＪＩＳ Ｂ ００２１－１９９８で定義され、具体的には、光学式画像測定器（ＯＧＰ社製「スマートスコープＺＩＰ-３００」）を用いて測定できる。また、本明細書および特許請求の範囲において、前記同心度は、前記外形状の円形状の中心と、吐出口の円形状の中心とのズレ（外周円の中心と内周円の中心間の距離）を意味する。

本発明の精密ノズルは、吐出口の口径（テーパ状孔部の下流側の出口における孔径）φが４５μｍ未満であってもよく、好ましくは４０μｍ未満、さらに好ましくは３５μｍ未満、より好ましくは３０μｍ未満である。また、吐出口の口径φは１μｍ以上であってもよい。特に、精密ノズルにおいて、吐出口の口径は２５μｍ以下（特に２０μｍ以下）であってもよく、例えば１～２５μｍ、好ましくは２～２０μｍ、さらに好ましくは３～１０μｍ、より好ましくは４～７μｍである。

なお、本明細書および特許請求の範囲において、吐出口の口径φは、光学式画像測定器（ＯＧＰ社製「スマートスコープＺＩＰ-３００」）などを用いて測定できる。吐出口の口径は最大径を意味し、円形状では直径であり、多角形状や異方形状では、長径などを意味する。図６および図７には、図４および図５の精密ノズルにおける吐出口の口径φが示されている。

テーパ状孔部のノズル軸心方向の長さ（テーパ状孔部の深さ）Ｌは１ｍｍ以上であってもよく、３０ｍｍ以下であってもよい。すなわち、テーパ状孔部の深さは、１～３０ｍ程度の範囲から選択でき、例えば１～２０ｍｍ、好ましくは２～１０ｍｍ、さらに好ましくは２．５～８ｍｍ、より好ましくは３～５ｍｍ、最も好ましくは３．５～４．５ｍｍである。テーパ状孔部の深さが短すぎると、微小な吐出口を製造するのが困難となる虞がある。

なお、本明細書および特許請求の範囲において、テーパ状孔部のノズル軸心方向の長さは、テーパ状孔部の上流側の開口部と吐出口の中心との最短距離を意味する。図６および図７には、図４および図５の精密ノズルにおけるテーパ状孔部の深さＬが示されている。

本発明の精密ノズルは、吐出口の口径に対してテーパ状孔部の長さが大きく、薄肉ではない精密ノズルであることを特徴とする。テーパ状孔部が薄肉でない精密ノズルを超硬合金で形成することは困難であり、特に、超硬合金で吐出口の口径が４５μｍ未満のテーパ状孔部を従来の機械加工で製造することはできないが、本発明の製造方法で精密ノズルを製造すると、微細な吐出口を有するテーパ状孔部を形成することができる。

本発明の精密ノズルにおいて、吐出口の口径φに対するテーパ状孔部の深さＬは比較的大きく、テーパ状孔部は薄肉ではない。テーパ状孔部の深さＬは、吐出口の口径φに対して１０倍以上であってもよく、例えば３０倍以上、好ましくは５０倍以上、さらに好ましくは８０倍以上、より好ましくは１００倍以上、最も好ましくは２００倍以上であり、例えば５０～１００００倍（特に１００～１０００倍）であってもよい。

テーパ状孔部の傾斜角θ（ノズル軸心と傾斜壁との角度）は、ノズル軸心に対して、例えば３～６０°、好ましくは４～５０°、さらに好ましくは５～３０°、より好ましくは７～２０°、最も好ましくは８～１５°である。傾斜角θが小さすぎると、半田ボールを利用したリフローノズルなどの精密ノズルとしての機能が低下する虞があり、逆に大きすぎると、微細な吐出口を形成するのが困難となる虞がある。

テーパ状孔部の内壁は平滑性に優れている。テーパ状孔部の内壁面の算術平均粗さＲａは、例えば５～１０００μｍ、好ましくは１０～８００μｍ、さらに好ましくは３０～５００μｍ、より好ましくは５０～３００μｍ、最も好ましくは１００～２００μｍである。図６には、図４の精密ノズルにおける内壁２１ｂが示され、図７には、図５の精密ノズルにおける内壁３１ｂ，３１ｃが示されている。

本発明の精密ノズルの吐出口の先端面（下流側の先端面）も、後述するように、研削工程を経て得られるため、平滑性に優れている。吐出口の先端面（研削面）の算術平均粗さＲａは、例えば１～１００μｍ、好ましくは５～５０μｍ、さらに好ましくは８～４０μｍ、より好ましくは１０～３０μｍ、最も好ましくは１５～２５μｍである。図６には、図４の精密ノズルにおける吐出口の先端面２１ａが示され、図７には、図５の精密ノズルにおける吐出口の先端面３１ａが示されている。

なお、本明細書および特許請求の範囲において、テーパ状孔部の内壁面および吐出口先端面の算術平均粗さＲａは、ＪＩＳ Ｂ ０６０１－２００１に準拠した方法で測定でき、具体的には、輪郭・形状測定機（（株）東京精密製「サーフコム２６００Ｇ-１３」）を用いて測定できる。

本発明の精密ノズルの貫通孔の形状は、前記テーパ状孔部を含む形状であれば特に限定されず、前記テーパ状孔部の上流側の孔形状は限定されず、適宜用途や被吐出体の種類などに応じて選択できる。そのため、前記貫通孔の形状は、図１または図２に示す形状の他、例えば、前記テーパ状孔部と他のテーパ状孔部とを組み合わせた形状、前記テーパ状孔部と複数の他のテーパ状孔部とを組み合わせた形状、前記テーパ状孔部と非テーパ状孔部（特に、円筒状孔部）と他のテーパ状孔部とを組み合わせた形状などであってもよい。

非テーパ状孔部は、テーパ状孔部に対応した形状であれば、特に限定されず、円筒状孔部の他、内部形状が楕円柱状や多角柱状である非テーパ状孔部などが挙げられる。

テーパ状孔部と非テーパ状孔部（特に、円筒状孔部）とを組み合わせた形状の場合、非テーパ状孔部の流路（特に、円筒状流路）の内径は、例えば０．５～１０ｍｍ、好ましくは０．８～５ｍｍ、さらに好ましくは１～３ｍｍ、より好ましくは１．２～２ｍｍである。

［圧粉成形工程］
本発明の精密ノズルの製造方法は、ノズルの貫通孔を形成するための転写型を用いて、原料粉末を圧縮成形し、前記注入口に相当する開口部を有し、かつ貫通していない穴部を有する成形体を得る圧粉成形工程を含む。

（原料粉末）
原料粉末は、超硬合金の種類に応じて適宜選択でき、通常、超硬合金の構成成分が、それぞれ粒子の形態で使用される。ＷＣ系合金では、原料粉末として、結合成分粒子に加えて、必要に応じて他の金属炭化物粒子、他の金属粒子が使用される。

ＷＣ粒子の平均粒子径は、例えば０．１～１５μｍ、好ましくは０．１２～１２μｍ、さらに好ましくは０．２～１０μｍである。

結合成分粒子（特に、Ｃｏ粒子）の平均粒子径は、溶融して結合相を形成するため、特に限定されないが、例えば０．１～５μｍ、好ましくは０．５～３μｍ、さらに好ましくは１～２．５μｍである。

他の金属炭化物粒子および他の金属粒子の平均粒子径は、それぞれ、例えば０．１～５μｍ、好ましくは０．５～３μｍ、さらに好ましくは１～２．５μｍである。

これらのＷＣ系合金の原料粉末の使用量は、前述の超硬合金中における構成成分の割合と同一である。

圧粉成形（圧縮成形）においては、これらの原料粉末に加えて、バインダーを配合してもよい。バインダーとしては、予備焼結や焼結の過程で加熱によって除去可能なバインダーが好ましい。このようなバインダーとしては、例えば、パラフィン、ワックスまたはロウなどの直鎖状または分岐鎖状脂肪族炭化水素類、ポリエチレングリコールなどが挙げられる。これらのバインダーは、粒子状の形態であってもよい。さらに、これらのバインダーは、エタノールなどのアルコール類および／またはベンジン類と共に配合してもよい。

バインダーの割合は、原料粉末１００質量部に対して２０質量部以下であってもよく、好ましくは０．１～１０質量部、さらに好ましくは０．２～７質量部である。

（圧縮成形）
原料粉末の圧縮成形では、ノズルの貫通孔を形成するための転写型を用いることにより、前記注入口に相当する開口部を有し、かつ貫通していない穴部（いわゆる「下穴」に相当）を有する成形体（粉末成形体）を得ることができる。

圧粉成形工程の一例について、図８を用いて説明する。図８に示されるように、圧粉成形工程では、まず、ダイ４２と下パンチ４３とで形成された円筒状などの筒状型内に、超硬合金を形成するための原料粉末４１を充填する［図８（ａ）］。次に、転写型であるプレスピン４５を装着した上パンチ４４を前記筒状型内に挿入して原料粉末４１を加圧することにより、プレスピン４５が原料粉末４１の充填物の内部に侵入するため、原料粉末４１の成形体（または粉末成形体）に前記プレスピン４５の形状が転写される［図８（ｂ）］。最後に、原料粉末４１の粉末成形体が前記筒状型から取り出され、前記穴部を有する粉末成形体４６が得られる［図８（ｃ）］。

転写型であるプレスピン４５は、円柱の先端を円錐にした形状である。圧粉成形工程では、金型内に充填した原料粉末４１に対して、前記形状を有するプレスピン４５を、加圧しながら円錐の先端部から差し込むことにより、原料粉末４１を押し固めることができるとともに、転写型であるプレスピン４５の形状を前記穴部の形状として原料粉末４１の粉末成形体に転写できる。このようにして形成された穴部は、目的のノズルの貫通孔とは異なり、粉末成形体を貫通しない穴部として形成することにより、後述する型彫り放電加工工程および研削工程と組み合わせた工程によって前記穴部底の先端で微小な吐出口を形成できる。

転写型の形状は、前記注入口に対応する開口部を有し、かつ貫通していない穴部を有する粉末成形体を転写できる形状であれば、特に限定されない。粉末成形体に貫通していない穴部を形成することにより、後述する研削工程によって、開口部の反対側から研削して微小な吐出口を形成できるためである。特に、穴部の先端形状（底形状）を先細の微小形状とすることにより、微小な口径を有する吐出口を容易に形成できる。

このような転写型の形状は、貫通孔の形状に対応していればよく、微小な吐出口を形成し易い点から、前記貫通孔の形状に対応し、かつ前記テーパ状孔部に対応するテーパ部の形状が円錐状であるのが好ましい。すなわち、転写型の形状において、前記貫通孔の形状に対応する形状のうち、前記テーパ状孔部に対応する部分の形状のみ、前記貫通孔の形状に略対応しているが、完全には対応していない形状（前記テーパ状孔部の形状において、吐出口から先端部が延出した形状である円錐状）であってもよい。転写型の円錐状部も、前述の精密ノズルのテーパ状孔部と同様のテーパ角に形成することにより、微小な吐出口を形成することが容易になる。また、粉末成形体は、後述する焼結工程で２０～３０％程度収縮するため、転写型の形状は、貫通孔の形状よりも収縮率に応じて若干大きい形状で形成してもよい。

転写型の円錐状部は、精密ノズルの微小な吐出口を形成し易い点から、円錐状部の先端径を小さくするのが好ましい。前記先端径は、吐出口の目的の口径に応じて選択できるが、例えば１０μｍ以下（例えば１～１０μｍ）であってもよく、好ましくは７μｍ以下（例えば、２～７μｍ）、さらに好ましくは５μｍ以下（例えば３～５μｍ）である。先端径が大きすぎると、微小な吐出口径を有する精密ノズルを容易に製造するのが困難となる虞がある。

圧縮成形の成形圧は、例えば５０～３００ＭＰａ、好ましくは１００～２５０ＭＰａ、さらに好ましくは１５０～２００ＭＰａである。

［焼結工程］
本発明の精密ノズルの製造方法は、前記圧粉成形工程で得られた粉末成形体を焼結し、前記注入口に対応する開口部を有し、かつ貫通していない穴部を有する焼結体を得る焼結工程をさらに含む。

焼結工程では、結合成分粒子を溶融させて液相を形成することにより、前記粉末成形体を緻密化および一体化した焼結体を得ることができるが、必要に応じて、結合成分粒子を溶融する本焼結の前工程として、前記粉末成形体を本焼結よりも低温で加熱して予備焼結（仮焼結）してもよい。粉末成形体がバインダーを含む場合、予備焼結により、バインダーを除去してもよい。

予備焼結の温度は、例えば１００～１０００℃、好ましくは３００～９００℃、さらに好ましくは５００～８００℃である。予備焼結の圧力は、常圧下または減圧下のいずれであってもよいが、減圧下が好ましい。予備焼結時間は、例えば２～４８時間、好ましくは４～１２時間、さらに好ましくは６～１０時間である。

本焼結の温度は、例えば１２００～１６００℃、好ましくは１２５０～１５５０℃、さらに好ましくは１３００～１５００℃である。本焼結の圧力は、常圧下または減圧下（または真空下）であってもよく、常圧下または加圧下であってもよい。本焼結時間は、例えば１～４８時間、好ましくは２～２４時間、さらに好ましくは３～２０時間である。

［放電加工工程］
本発明の精密ノズルの製造方法は、前記焼結体の穴部に電極を挿入して放電加工する放電加工工程（型彫り放電加工工程）をさらに含む。

圧粉成形工程で得られた粉末成形体を焼結により緻密化した焼結体は、転写型と収縮比を利用することにより、目的の精密ノズルに近い状態（ニアネットシェイプ）まで仕上げられているが、本発明では精密な被吐出体の通路形状および微細な吐出口を要求される精密ノズルを製造するために、さらに型彫り放電加工によって目的の精密ノズルの貫通孔に近い形状に仕上げることにより、微小な吐出口を有する精密ノズルを製造できる。特に、本発明では、型彫り放電加工工程において、特定の電極を用いることにより、後述する研削工程を経て３０μｍ未満の口径を有する吐出口を精度良く製造でき、従来の製造方法では製造できなかった２０μｍ以下の口径を有する吐出口も製造できる。この時、転写型でニアネットシェイプしている効果として、型彫り放電加工の電極消耗が少なく、精密加工精度を向上したり、コストを抑えることができる。

焼結工程から型彫り放電工程に至る一連の流れについて、図９を用いて説明する。図９に示されるように、圧粉成形工程で得られた粉末成形体４６［図９（ａ）］は、焼結工程において緻密および一体化され、ニアネットシェイプされた穴部４７ａを有する焼結体４７として得られる［図９（ｂ）］。この穴部４７ａに対して、精密ノズルの貫通孔に対応する形状の電極４８を用いて放電加工し、穴部４７ａの内壁を仕上げ加工することにより、電極４８の形状を焼結体４７の穴部４７ａに精密に転写する［図９（ｃ）］。

電極４８も、前記圧粉成形工程のプレスピン４５に対応した形状であり、円柱の先端を円錐にした形状である。型彫り放電加工工程では、このような円錐形状を有する電極４８を用いて、電極の形状を転写することにより、焼結体４７の穴部４７ａを、目的の精密ノズルの貫通孔の形状に、より近付けるとともに、後述する研削工程で微小な吐出口を形成し易くなる。

電極の形状は、容易に目的の貫通孔の形状を形成できる点から、前記貫通孔に対応する形状が好ましく、後述する研削工程で容易に微小な吐出口を開口できる点から、前記貫通孔の形状に対応し、かつ前記テーパ状孔部に対応するテーパ部の形状が円錐状である形状であるのが好ましい。すなわち、電極の形状において、前記貫通孔の形状に対応する形状のうち、前記テーパ状孔部に対応する部分の形状のみ、前記貫通孔の形状に略対応しているが、完全には対応していない形状（前記テーパ状孔部の形状において、吐出口から先端部が延出した形状である円錐状）であってもよい。そのため、電極の円錐状部のテーパ角は、前述の精密ノズルのテーパ状孔部のテーパ角と同一にするのが好ましい。

電極の円錐状部は、精密ノズルの微小な吐出口を形成し易い点から、円錐状部の先端径を小さくするのが好ましい。前記先端径は、吐出口の目的の口径に応じて選択できるが、例えば１０μｍ以下（例えば１～１０μｍ）であってもよく、好ましくは７μｍ以下（例えば、２～７μｍ）、さらに好ましくは５μｍ以下（例えば３～５μｍ）である。先端径が大きすぎると、微小な吐出口径を有する精密ノズルを容易に製造するのが困難となる虞がある。

電極の材質としては、タングステンＷを含むのが好ましく、タングステン単体、タングステンと他の金属との合金（例えば、タングステンと銅との合金）がさらに好ましく、タングステン単体がより好ましい。

放電加工において、電極と穴部との隙間（放電代）は、例えば１０～３０μｍ、好ましくは１０～２０μｍ、さらに好ましくは５～１０μｍである。

放電加工の条件としては、例えば、生産性と精度維持を考慮すると、５～８本の電極を用いて加工することが好ましい。

［研削工程］
本発明の精密ノズルの製造方法は、前記型彫り放電加工で放電加工した焼結体を、注入口となる開口部の反対側から研削し、吐出口を開口する研削工程を含む。前記型彫り放電工程で得られた焼結体の内部には、精密ノズルの貫通孔に対応した形状の穴部が形成されているが、穴部の底に相当する円錐の先端部は、焼結体を貫通していない。そこで、研削工程では、穴部としての円錐の先端部まで焼結体を研削して吐出口を開口させる。

研削方法としては、慣用の研削方法を利用でき、例えば、円盤状砥石を備えた研削機（平面研削盤など）などを利用してもよい。

前記研削工程において、吐出口となる孔の発生の有無および口径の確認方法は、特に限定されず、気体や液体を流通させることにより確認する方法、カメラを用いて画像で確認する方法などが挙げられる。これらのうち、簡便性などの点から、カメラを用いて画像で確認する方法が好ましい。

カメラを用いて研削面を撮像した画像で確認する方法を採用した研削工程について図１０を用いて説明する。研削工程では、型彫り放電加工工程で得られた焼結体４７については、円盤状砥石を備えた研削機４９を用いて、円盤状砥石を回転させながら移動させて前記焼結体４７の表面を研削することにより［図１０（ａ）］、注入口となる開口部の反対側（裏面）から前記表面を所定時間研削した後、カメラ５０で研削面の画像を確認する［図１０（ｂ）］。画像確認の結果、研削面に孔が確認できなかった場合には、孔が確認できるまで所定時間および／または所定距離の研削を繰り返す。そして、孔が確認できると、測定機で口径を測定し、目的の吐出口径に達していない場合には、目的の口径が確認できるまで所定時間および／または所定距離の研削を繰り返すことにより、目的の吐出口を有する精密ノズル５１を製造できる。

円盤状砥石を備えた研削機を用いた研削方法において、円盤状砥石の周速度は、例えば１５～３５ｍ／ｓ、好ましくは２０～３０ｍ／ｓ、さらに好ましくは２４～２８ｍ／ｓ程度である。また、円盤状砥石を回転するための回転軸の回転速度は、例えば１４００～２６００ｒｐｍ、好ましくは１６００～２４００ｒｐｍ、さらに好ましくは１８００～２２００ｒｐｍである。速度が小さすぎると、生産性が低下する虞があり、逆に大きすぎると、吐出口の口径の調整が困難となる虞がある。

砥石としては、慣用の砥石を利用でき、例えば、ダイヤ・レジン（ＳＤＣ）質系砥石、ダイヤ・レジン（ＳＤ）質系砥石などが挙げられる。砥粒（砥石の番手）の大きさは、例えば＃１７０～＃２０００、好ましくは＃２００～＃１８００、さらに好ましくは＃３２５～＃１５００である。粒度が小さすぎると、生産性が低下する虞があり、逆に大きすぎると、吐出口の口径の調整が困難となる虞がある。

カメラとしては、ＣＣＤカメラやＣＭＯＳカメラ、レーザカメラ、熱画像カメラ、ステレオビジョンカメラなどのデジタルカメラを用いることができる。これらのうち、画像処理の精度が高い点などから、ＣＣＤカメラが好ましい。

研削面での孔およびその口径を確認する方法としては、特に限定されず、モニターの画像を目視で観察する方法であってもよく、画像処理して読み取られたデータを情報分析装置（パーソナルコンピュータなど）で解析し、研削速度と関連付けて、所定の口径に制御してもよい。

研削工程を経て得られた精密ノズルは、種々の流体、例えば加熱または非加熱流体を吐出するためのノズルであってもよい。さらに、加熱した流体は、加熱溶融した流体（例えば、注入口から半田ボールを注入し、レーザー照射などの加熱手段によって半田ボールを孔内で溶融した半田クリーム）などであってもよい。

以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。

実施例１
［プレスピンの作製］
光学式倣い研削盤を用いて、超硬合金をプロファイル研削（ＰＧ）加工することにより、先端に限りなくストレートランドが無いシャープエッジが形成されたピンを作製した。得られたプレスピン（転写型）の先端部の顕微鏡写真を図１１に示す。プレスピンの先端径は５μｍであった。

［電極の作製］
光学式倣い研削盤を用いて、タングステンＷ丸棒をＰＧ加工することにより、先端に限りなくストレートランドが無いシャープエッジを成形されたピンを作製した。得られた電極の先端部およびその拡大部分の顕微鏡写真を図１２に示す。電極の先端径は４μｍであった。

［圧粉成形工程］
粉末状炭化タングステンＷＣ（平均粒径２．５μｍ程度）９２ｇと、粉末状コバルトＣｏ ８ｇと、パラフィン０．８ｇとを混ぜて作製した混合末を、図８に示すダイと下パンチとで形成された型内に必要量充填し、前記プレスピンを装着した上パンチを用いて１５０ＭＰａで加圧し、粉末成形体を得た。

［焼結工程］
得られた粉末成形体を、真空下、１４００℃で５時間焼結し、焼結体を得た。

［放電加工工程］
型彫り放電加工機（（株）ソディック製ＡＱ３５Ｌ）および限りなくシャープエッジに成形された電極を用いて、荒加工・中仕上げ加工・仕上げ加工に分割して前記焼結体を複数回型彫り放電加工した。

［研削工程］
円盤状砥石を備えた研削機（アマダマシナリー（株）製「ＴＥＣＳＴＡＲ ５２」）を用いて、研削工程において、ＣＣＤカメラを用いて研削面を画像で確認しながら、放電加工した焼結体に対して加工を行った。画像確認の結果、研削面に孔が確認できなかった場合には、孔が確認できるまで研削および研削面の画像の確認を繰り返した。孔が貫通し最初に吐出口が観察できた精密ノズルの先端部の顕微鏡写真を図１３に示す。吐出口の口径はφ５μｍであった。写真中央に確認できる微小な白色の円形状開口部が口径５μｍの吐出口である。得られた精密ノズルのテーパ状孔部の深さＬは４２４０μｍであり、吐出口の口径φに対するテーパ状孔部の深さ（アスペクト比Ｌ／φ）は８４８であった。前記テーパ状孔部の傾斜角θは１０°であった。

さらに研削を繰り返すことにより、目的の吐出口を有する精密ノズルを製造した。得られた精密ノズルの先端部の断面の顕微鏡写真を図１４に示す。吐出口にむけてテーパ状になっており、吐出口の口径はφ２０μｍであった。テーパ状内壁面の算術平均粗さＲａは１２８μｍであり、先端面の算術平均粗さＲａは２０μｍであった。

実施例２
実施例１と同様にして放電加工した焼結体を製造し、研削工程において、研削面の画像を確認する時期および頻度を変更し、最終的に、吐出口の口径φが３９．１μｍである精密ノズルを製造した。各確認時期における口径およびテーパ状孔部の深さを測定し、アスペクト比を算出し、吐出口の真円度を測定した結果を表１に示す。なお、最初および最後に確認した研削面については、精密ノズル先端部の同心度（吐出口における精密ノズルの外形状と吐出口との同心度）も評価した。

表１の結果から明らかなように、実施例２では、アスペクト比の大きいテーパ状孔部を有する精密ノズルにおいて、吐出口の口径を微細で、かつ小さい真円度に形成することができた。２回目の確認で得られた精密ノズルの先端部の断面の顕微鏡写真を図１５に示す。写真中央に円形状の吐出口が形成されているのが確認できる。

実施例３
実施例１と同様にして放電加工した焼結体を製造し、研削工程において、研削面の画像を確認する時期および頻度を変更し、最終的に、吐出口の口径φが３９．５μｍである精密ノズルを製造した。各確認時期における口径およびテーパ状孔部の深さを測定してアスペクト比を算出し、吐出口の真円度を測定した結果を表２に示す。

表２の結果から明らかなように、実施例３では、アスペクト比の大きいテーパ状孔部を有する精密ノズルにおいて、吐出口の口径を微細で、かつ小さい真円度に形成することができた。２回目の確認で得られた精密ノズルの先端部の断面の顕微鏡写真を図１６に示す。写真中央に円形状の吐出口が形成されているのが確認できる。

実施例４
実施例１と同様にして放電加工した焼結体を製造し、研削工程において、研削面の画像を確認する時期および頻度を変更し、最終的に、吐出口の口径φが３９．３μｍである精密ノズルを製造した。各確認時期における口径およびテーパ状孔部の深さを測定してアスペクト比を算出し、吐出口の真円度を測定した結果を表３に示す。なお、最後に確認した研削面については、精密ノズル先端部の同心度も評価した。

表３の結果から明らかなように、実施例４では、アスペクト比の大きいテーパ状孔部を有する精密ノズルにおいて、吐出口の口径を微細で、かつ小さい真円度に形成することができた。最後の確認で得られた精密ノズルの先端部の断面の顕微鏡写真を図１７に示す。写真中央に円形状の吐出口が形成されているのが確認できる。

実施例５
実施例１と同様にして放電加工した焼結体を製造し、研削工程において、研削面の画像を確認する時期および頻度を変更し、最終的に、吐出口の口径φが３９．２μｍである精密ノズルを製造した。各確認時期における口径およびテーパ状孔部の深さを測定してアスペクト比を算出し、吐出口の真円度を測定した結果を表４に示す。なお、最後に確認した研削面については、精密ノズル先端部の同心度も評価した。

表４の結果から明らかなように、実施例５では、アスペクト比の大きいテーパ状孔部を有する精密ノズルにおいて、吐出口の口径を微細で、かつ小さい真円度に形成することができた。最後の確認で得られた精密ノズルの先端部の断面の顕微鏡写真を図１８に示す。写真中央に円形状の吐出口が形成されているのが確認できる。

実施例６
放電加工時の仕上げ加工を複数回追加した以外は実施例１と同様にして放電加工した焼結体を製造した。円盤状砥石を備えた研削機を用いて、研削工程において、ＣＣＤカメラを用いて研削面を画像で確認しながら、放電加工した焼結体に対して加工を行った。各確認時期における口径およびテーパ状孔部の深さを測定してアスペクト比を算出し、吐出口の真円度を測定した結果を表５に示す。なお、最初および最後に確認した研削面については、精密ノズル先端部の同心度も評価した。

表５の結果から明らかなように、実施例６では、アスペクト比の大きいテーパ状孔部を有する精密ノズルにおいて、吐出口の口径を微細で、かつ小さい真円度に形成することができた。最後の確認で得られた精密ノズルの先端部の断面の顕微鏡写真を図１９に示す。写真中央に円形状の吐出口が形成されているのが確認できる。

実施例７
実施例６と同様にして放電加工した焼結体を製造し、この焼結体を用いて、研削工程において、研削面の画像を確認する時期を変更し、吐出口の口径φが４２．５μｍである精密ノズルを製造した。得られた精密ノズルのテーパ状孔部の深さＬは４１３３μｍであり、吐出口の口径φに対するテーパ状孔部の深さ（アスペクト比Ｌ／φ）は９７であった。吐出口の真円度は０．８μｍであり、精密ノズル先端部の同心度は３μｍであった。

実施例８
実施例６と同様にして放電加工した焼結体を製造し、研削工程において、研削面の画像を確認する時期および頻度を変更し、最終的に、吐出口の口径φが３９．９μｍである精密ノズルを製造した。各確認時期における口径およびテーパ状孔部の深さを測定してアスペクト比を算出し、吐出口の真円度および精密ノズル先端部の同心度を測定した結果を表６に示す。

表６の結果から明らかなように、実施例８では、アスペクト比の大きいテーパ状孔部を有する精密ノズルにおいて、吐出口の口径を微細で、かつ小さい真円度に形成することができた。最後の確認で得られた精密ノズルの先端部の断面の顕微鏡写真を図２０に示す。写真中央に円形状の吐出口が形成されているのが確認できる。

実施例９
圧粉成形工程において、粉末状炭化タングステンＷＣとして、より細かい粉末状炭化タングステンＷＣ（平均粒径０．８μｍ程度）を用いる以外は実施例１と同様にして放電加工した焼結体を製造した。円盤状砥石を備えた研削機を用いて、研削工程において、ＣＣＤカメラを用いて研削面を画像で確認しながら、放電加工した焼結体に対して加工を行った。各確認時期における口径φおよびテーパ状孔部の深さＬを測定してアスペクト比を算出した結果を表７に示す。なお、最初に確認した研削面については、精密ノズル先端部の同心度も評価し、５回目に確認した研削面については、吐出口の真円度も評価し、最初および最後に確認した研削面については、吐出口の真円度および精密ノズル先端部の同心度も評価した。

表７の結果から明らかなように、実施例９では、アスペクト比の大きいテーパ状孔部を有する精密ノズルにおいて、吐出口の口径を微細で、かつ小さい真円度に形成することができた。最後の確認で得られた精密ノズルの先端部の断面の顕微鏡写真を図２１に示す。写真中央に円形状の吐出口が形成されているのが確認できる。

実施例１０
放電加工時の仕上げ加工を複数回追加した以外は実施例１と同様にして、吐出口の口径φが５μｍ（真円度０．４μｍ）である精密ノズルを得た。

本発明の精密ノズルは、吐出口が微細な各種の精密ノズルとして利用でき、例えば、導体デバイスの製造過程において、微小部品の組み立てや基板上での実装などに利用される電子部品用ノズルとして、リフローノズル、吸着ノズル、ソルダージェッティングノズルなどに好適に利用でき、なかでも、半田ボールを溶融して吐出するためのリフローノズルとして特に好適である。

１…ノズル
２…注入口
３…貫通孔
３ａ…円筒状孔部
３ｂ…テーパ状孔部
４…吐出口

Claims (21)

1. 超硬合金で形成され、注入口から吐出口まで貫通する貫通孔を有し、かつ前記貫通孔が、前記吐出口を起点として前記注入口に向かって内径が増大する方向に延びるテーパ状孔部を少なくとも含む精密ノズルの製造方法であって、
   前記貫通孔を形成するための転写型を用いて、原料粉末を圧縮成形し、前記注入口に対応する開口部を有し、かつ貫通していない穴部を有する成形体を得る圧粉成形工程、
   前記成形体を焼結することにより、前記成形体に対応する焼結体を得る焼結工程、
   前記焼結体の穴部に電極を挿入して放電加工する放電加工工程、
   放電加工した焼結体を、注入口となる開口部の反対側から研削し、吐出口を開口する研削工程を含む、精密ノズルの製造方法。
2. 前記貫通孔の断面形状が円形状、楕円形状または多角形状である請求項１記載の製造方法。
3. 前記貫通孔の断面形状が円形状である請求項２記載の製造方法。
4. 前記圧粉成形工程において、前記転写型の形状が、前記貫通孔の形状に対応し、かつ前記テーパ状孔部に対応するテーパ部の形状が円錐状、楕円錐状または多角錐状である請求項１または２記載の製造方法。
5. 前記テーパ状孔部に対応するテーパ部の形状が円錐状である請求項４記載の製造方法。
6. 前記テーパ状孔部に対応する前記転写型の円錐状部の先端径が５μｍ以下である請求項５記載の製造方法。
7. 前記放電加工工程において、前記電極の形状が、前記転写型の形状に対応している請求項１または２記載の製造方法。
8. 前記テーパ状孔部に対応する前記電極の形状が円錐状であり、かつ前記テーパ状孔部に対応する前記電極の円錐状部の先端径が５μｍ以下である請求項７記載の製造方法。
9. 前記研削工程において、カメラを用いて研削面を撮像した画像に基づいて、吐出口となる孔の発生の有無およびその口径を確認する請求項１または２記載の製造方法。
10. 前記貫通孔が、前記テーパ状孔部と、前記テーパ状孔部から前記注入口まで延びる円筒状孔部とからなる請求項１または２記載の製造方法。
11. 前記吐出口の口径が３０μｍ未満である請求項１または２記載の製造方法。
12. 前記精密ノズルが電子部品用ノズルである請求項１または２記載の製造方法。
13. 前記精密ノズルが、半田ボールを溶融して吐出するためのリフローノズルである請求項１または２記載の製造方法。
14. 超硬合金で形成され、
    注入口から吐出口まで貫通する貫通孔を有し、
    前記貫通孔が、前記吐出口から前記注入口に向かって内径が増大する方向に延びるテーパ状孔部を含み、
    前記吐出口の口径が４５μｍ未満であり、かつ
    前記テーパ状孔部のノズル軸心方向の長さが１ｍｍ以上である、精密ノズル。
15. 前記テーパ状孔部のノズル軸心方向の長さが、前記吐出口の口径に対して１０倍以上である請求項１４記載の精密ノズル。
16. 前記吐出口の形状が円形状であり、かつ前記吐出口の真円度が５μｍ以下である請求項１４または１５記載の精密ノズル。
17. 前記吐出口における精密ノズルの外形状が等方形状であり、前記吐出口の形状が円形状であり、かつ前記外形状と前記吐出口との同心度が１０μｍ以下である請求項１４または１５記載の精密ノズル。
18. 前記テーパ状孔部の傾斜角が３～６０°である請求項１４または１５記載の精密ノズル。
19. 前記吐出口の口径が３０μｍ未満である請求項１４または１５記載の精密ノズル。
20. 前記吐出口の口径が１μｍ以上３０μｍ未満であり、
    前記テーパ状孔部のノズル軸心方向の長さが１～２０ｍｍであり、
    前記テーパ状孔部のノズル軸心方向の長さが、前記吐出口の口径に対して１００倍以上であり、
    前記吐出口の形状が円形状であり、かつ前記吐出口の真円度が５μｍ以下であり、
    前記吐出口における精密ノズルの外形状が円形状であり、かつ前記外形状と前記吐出口との同心度が１０μｍ以下であり、かつ
    前記テーパ状孔部の傾斜角が４～５０°である請求項１４または１５記載の精密ノズル。
21. 前記超硬合金が炭化タングステンを含む合金である請求項１４または１５記載の精密ノズル。

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