JPS5834415A - 光導波路と光フアイバの結合方法 - Google Patents
光導波路と光フアイバの結合方法Info
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- JPS5834415A JPS5834415A JP13159081A JP13159081A JPS5834415A JP S5834415 A JPS5834415 A JP S5834415A JP 13159081 A JP13159081 A JP 13159081A JP 13159081 A JP13159081 A JP 13159081A JP S5834415 A JPS5834415 A JP S5834415A
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- optical waveguide
- optical fiber
- optical
- groove
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
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- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
- G02B6/3684—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier
- G02B6/3688—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier using laser ablation
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
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- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
- G02B6/3632—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the cross-sectional shape of the mechanical coupling means
- G02B6/3636—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the cross-sectional shape of the mechanical coupling means the mechanical coupling means being grooves
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- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光導波路と光ファイバとの結合における低損失
で再現性に優れた方法に関する。
で再現性に優れた方法に関する。
従来、この種の方法は第１図に示すように、高屈折率の
材料からなるプリズム／θを基板／／−Ｌ＝の光導波路
／２」二に接して設け、光ファイバ／３からの光をプリ
ズム／θに入射し、プリズムの底面における表面波と光
導波路内モードと結合させて、光を光導波路内に入射す
る方法であるが、この方法は先導波路が空間に接してい
る必要があり、埋め込み形と呼ばれる光導波路には適合
できないばかりか、プリズムＩＯと光導波路／）の間隔
に厳しい条件が課せられるなどの欠点があった。
材料からなるプリズム／θを基板／／−Ｌ＝の光導波路
／２」二に接して設け、光ファイバ／３からの光をプリ
ズム／θに入射し、プリズムの底面における表面波と光
導波路内モードと結合させて、光を光導波路内に入射す
る方法であるが、この方法は先導波路が空間に接してい
る必要があり、埋め込み形と呼ばれる光導波路には適合
できないばかりか、プリズムＩＯと光導波路／）の間隔
に厳しい条件が課せられるなどの欠点があった。
また、埋め込み形光導波路に光を結合する方法として第
２図に示す方法が採用されていた。すなわち基板〃上に
形成された光導波路２ノは、他の屈折率が先導波路（バ
ツ゛７ア層）２ノよりも小さい層（クラッド層）ｎで覆
われた光導波路２／の端面に、光フアイバｎ全直接接触
させる、いわゆるつきあて方式による方法がある。この
方法は埋め込み形に適用できる反曲、光ファイバと光導
波路の位置合わせや、機械的安定性に欠けるなどの欠点
があった。
２図に示す方法が採用されていた。すなわち基板〃上に
形成された光導波路２ノは、他の屈折率が先導波路（バ
ツ゛７ア層）２ノよりも小さい層（クラッド層）ｎで覆
われた光導波路２／の端面に、光フアイバｎ全直接接触
させる、いわゆるつきあて方式による方法がある。この
方法は埋め込み形に適用できる反曲、光ファイバと光導
波路の位置合わせや、機械的安定性に欠けるなどの欠点
があった。
本発明は従来方法の前述の欠点を解決するため、低損失
で、安定な光ファイバと光導波路の結合を得るものであ
り、先導波路の所望部分に光学的な手段で溝をつけ、光
ノア・イバ全装着することζ・−より実現するものであ
る。以下図ＩＩ口こより本発明の詳細な説明する。
で、安定な光ファイバと光導波路の結合を得るものであ
り、先導波路の所望部分に光学的な手段で溝をつけ、光
ノア・イバ全装着することζ・−より実現するものであ
る。以下図ＩＩ口こより本発明の詳細な説明する。
第３図は本発明の一実施例を示し、３０は光導波路用基
板、３／は光導波路を低損失にするため設けたバッファ
層、３２は光導波路、３？はゲ６導波路の表面を保霞し
低損失化のため設けたクラッド層、３りは光導波路を加
工するためのレーザ光、３りはレーザ光を絞るためのレ
ンズ、３６は溝である。
板、３／は光導波路を低損失にするため設けたバッファ
層、３２は光導波路、３？はゲ６導波路の表面を保霞し
低損失化のため設けたクラッド層、３りは光導波路を加
工するためのレーザ光、３りはレーザ光を絞るためのレ
ンズ、３６は溝である。
次にこれを作用させるには、あらかじめＣＶＤ法、３グ
をレンズ３ｊで絞り、多孔質膜上に照り・１４−る。多
孔質膜はＧＯ，レーザ光を吸収し揮赦し、ｆ＋’／＋３
６が形成される。次いでガラス基板？θを約／グ００″
Ｃに加熱すると、多孔質ガラス膜は透明１）Ｃされて光
導波膜となるが、第３図に示す溝３乙の部分ＩＩ： 、
第１図に示す僅として残留する。
をレンズ３ｊで絞り、多孔質膜上に照り・１４−る。多
孔質膜はＧＯ，レーザ光を吸収し揮赦し、ｆ＋’／＋３
６が形成される。次いでガラス基板？θを約／グ００″
Ｃに加熱すると、多孔質ガラス膜は透明１）Ｃされて光
導波膜となるが、第３図に示す溝３乙の部分ＩＩ： 、
第１図に示す僅として残留する。
他の実施例として第Ｓ図に示すように、基板５０上に透
明なガラス膜３／ 、 ！ｉ、２ 、 、ｔ３を順次形
成した後、ｔＷのＣＯｌ、レーザ光３グをｌ／ンズ５５
で絞り、所望の位１〆Ｉにｌ／−ザ光を照射する。照射
された部分はガラスが揮散して、、ｆＨ１！ｉｓｔが形
成される。
明なガラス膜３／ 、 ！ｉ、２ 、 、ｔ３を順次形
成した後、ｔＷのＣＯｌ、レーザ光３グをｌ／ンズ５５
で絞り、所望の位１〆Ｉにｌ／−ザ光を照射する。照射
された部分はガラスが揮散して、、ｆＨ１！ｉｓｔが形
成される。
実７ｉ１ｉｉ例で述べた方法で形成された光導波路内の
溝の部分に、第６図に示すように光ファイバ乙０を設置
ｉ″ｔする。光ファイバと光導波路を固定するため、装
置部分を高分子等で固定してもよい。
溝の部分に、第６図に示すように光ファイバ乙０を設置
ｉ″ｔする。光ファイバと光導波路を固定するため、装
置部分を高分子等で固定してもよい。
ｆｌ！’の実ＩＨＩｉ例として、第７図に示すように光
導波路上にＣＯ，レーザ光７／全レンズ７０で絞り、照
射する。照射パワーを冊ｍ１１１シて、斜方向に溝７．
２が）１ニ成される。またこれに元ファイバを結合する
には、第に図に示すように、形成された溝７０に光ファ
イバｇｏを装着する。光導波路がガラスで形［１りされ
ている場合は、００２レーザ（波長７０諾μｍ）を光７
１１；Ｌとして用いれば効率が＾６い。
導波路上にＣＯ，レーザ光７／全レンズ７０で絞り、照
射する。照射パワーを冊ｍ１１１シて、斜方向に溝７．
２が）１ニ成される。またこれに元ファイバを結合する
には、第に図に示すように、形成された溝７０に光ファ
イバｇｏを装着する。光導波路がガラスで形［１りされ
ている場合は、００２レーザ（波長７０諾μｍ）を光７
１１；Ｌとして用いれば効率が＾６い。
以上説明したように、本発明の光導波路と光ファイバの
結合方法によれば、ガラスを主体としだ光導波路を、（
］０２レーザにより所望部分を一部神敗させるので、１
４１敗後形成されたτＩ″青の而は凹凸がなく滑らかに
なり、光ファイバとの適合性が高い。
結合方法によれば、ガラスを主体としだ光導波路を、（
］０２レーザにより所望部分を一部神敗させるので、１
４１敗後形成されたτＩ″青の而は凹凸がなく滑らかに
なり、光ファイバとの適合性が高い。
また、光ファイバを光導波路σ）一部に装置’ｔするの
で、安定性が良く軸ずれを少なくできるなど０）利点が
ある。
で、安定性が良く軸ずれを少なくできるなど０）利点が
ある。
また、本発明はレーザ光の照射位置、レーザ光パワーを
任意に制御すれば、任意の形に１ｔｈを形成できる他の
利点もある。
任意に制御すれば、任意の形に１ｔｈを形成できる他の
利点もある。
なお光導波路の端面からレーザ光を照射すれば、より一
層効率的である。
層効率的である。
第１図は従来の先導波路と光ファイバの結合方法を示す
図、第２図は従来の光導波路と光ファイバの他の結合方
法を示す図、第３図は本発明の一実施例図、第ｖ図は第
３図において形成された光導波路を透明化した後の先導
波路の斜視図、第５図は本発明の他の実施例図、４６図
は光ノア・イバと光導波路を結合した状態を示す図、第
７１図は本発明の応用例の斜視図、第ｒ図は光ファイバ
と光導波路との結合方法全示す図である。 １０・・・プリズム、／／・・・基板、７ノ・・・ソＣ
コ導波路、／３・・・光ファイバ、ノθ・・・基板、２
ノ・・・バッファ層、２ノ・・・クラッド層、ノア・・
・光ファイバ、３θ・・・ガラス基板、３／・・・多孔
ノＣＩＪ状郭のバッファ層、３２・・・多孔質状ｊＪｌ
の先導波路、３３・・・多孔質状態のクラッド層、３グ
・・・レーザ光、３Ｓ・・・レンズ、３に・・・ｔ１４
、％・・・透明化後の光導波路に形成された１：’７
％ Ｊθ・・・基板、Ｓ／・・・バッファ層１、タユ・
・・光導波路、雰・・・クラッド層、３グ・・・レーザ
光、５り・・・レンズ、気・・・溝、にＯ・・・光ファ
イバ、７ｏ・・・斜め構造のｔＩＩ″ｇ、７１・・・レ
ーザ光、７２・・・レンズ、ＫＯ・・・光ファイバ。 特許出願人 日本′ｒｌｔ信屯話公社 第１図 第２図 第８図 第４図 第５図 第６図 第７図 第８図
図、第２図は従来の光導波路と光ファイバの他の結合方
法を示す図、第３図は本発明の一実施例図、第ｖ図は第
３図において形成された光導波路を透明化した後の先導
波路の斜視図、第５図は本発明の他の実施例図、４６図
は光ノア・イバと光導波路を結合した状態を示す図、第
７１図は本発明の応用例の斜視図、第ｒ図は光ファイバ
と光導波路との結合方法全示す図である。 １０・・・プリズム、／／・・・基板、７ノ・・・ソＣ
コ導波路、／３・・・光ファイバ、ノθ・・・基板、２
ノ・・・バッファ層、２ノ・・・クラッド層、ノア・・
・光ファイバ、３θ・・・ガラス基板、３／・・・多孔
ノＣＩＪ状郭のバッファ層、３２・・・多孔質状ｊＪｌ
の先導波路、３３・・・多孔質状態のクラッド層、３グ
・・・レーザ光、３Ｓ・・・レンズ、３に・・・ｔ１４
、％・・・透明化後の光導波路に形成された１：’７
％ Ｊθ・・・基板、Ｓ／・・・バッファ層１、タユ・
・・光導波路、雰・・・クラッド層、３グ・・・レーザ
光、５り・・・レンズ、気・・・溝、にＯ・・・光ファ
イバ、７ｏ・・・斜め構造のｔＩＩ″ｇ、７１・・・レ
ーザ光、７２・・・レンズ、ＫＯ・・・光ファイバ。 特許出願人 日本′ｒｌｔ信屯話公社 第１図 第２図 第８図 第４図 第５図 第６図 第７図 第８図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 基板上に多孔質ガラス膜を単層または複層堆積し
た後、所望部分にレーザ光を照則し、部分的に多孔質ガ
ラス膜を除去（７、残りの多孔質ガラス膜を透明化した
後、レーザ光で除去した部分に光ファイバを装着するこ
とを特徴とする光導波路と光ファイバの結合方法。 ２ 基板上に単層または複層からなる光導波膜を形成し
た後、所望部分にレーザ光を照射し、部分的にガラス膜
を除去した後、レーザ光で除去した部分に光ファイバを
装着することを特徴とする光導波路と光ファイバの結合
方法、
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13159081A JPS5834415A (ja) | 1981-08-24 | 1981-08-24 | 光導波路と光フアイバの結合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13159081A JPS5834415A (ja) | 1981-08-24 | 1981-08-24 | 光導波路と光フアイバの結合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5834415A true JPS5834415A (ja) | 1983-02-28 |
| JPH0140324B2 JPH0140324B2 (ja) | 1989-08-28 |
Family
ID=15061602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13159081A Granted JPS5834415A (ja) | 1981-08-24 | 1981-08-24 | 光導波路と光フアイバの結合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5834415A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59202407A (ja) * | 1983-05-02 | 1984-11-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光導波路の製造方法 |
| JPS61145511A (ja) * | 1984-12-18 | 1986-07-03 | コーニング グラス ワークス | 集積光部品およびその製造方法 |
| JPS61221629A (ja) * | 1985-03-15 | 1986-10-02 | Sharp Corp | 感圧素子の製造方法 |
| JPS6423208A (en) * | 1987-07-17 | 1989-01-25 | Fujitsu Ltd | Formation of end part of optical waveguide |
| JPS6431586A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Brother Ind Ltd | Grooving method for optical integrated circuit |
| EP0402797A2 (de) * | 1989-06-13 | 1990-12-19 | Hoechst Aktiengesellschaft | Planarer optischer Koppler |
| JPH039309A (ja) * | 1989-06-06 | 1991-01-17 | Brother Ind Ltd | レーザによる溝加工方法 |
| US5465312A (en) * | 1990-11-05 | 1995-11-07 | British Telecommunications, Plc | Integrated optical fibre and substrate supported optical waveguide having directly connected optical cores |
| WO2023105717A1 (ja) * | 2021-12-09 | 2023-06-15 | 日本電信電話株式会社 | 光導波路基板、光デバイス及び光デバイスの製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5642204A (en) * | 1979-09-14 | 1981-04-20 | Fujitsu Ltd | Production of photocircuit |
-
1981
- 1981-08-24 JP JP13159081A patent/JPS5834415A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5642204A (en) * | 1979-09-14 | 1981-04-20 | Fujitsu Ltd | Production of photocircuit |
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| JPH0554617B2 (ja) * | 1985-03-15 | 1993-08-13 | Sharp Kk | |
| JPS6423208A (en) * | 1987-07-17 | 1989-01-25 | Fujitsu Ltd | Formation of end part of optical waveguide |
| JPS6431586A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Brother Ind Ltd | Grooving method for optical integrated circuit |
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| EP0402797A2 (de) * | 1989-06-13 | 1990-12-19 | Hoechst Aktiengesellschaft | Planarer optischer Koppler |
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| WO2023105717A1 (ja) * | 2021-12-09 | 2023-06-15 | 日本電信電話株式会社 | 光導波路基板、光デバイス及び光デバイスの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0140324B2 (ja) | 1989-08-28 |
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