JPS5988714A - 光導波路の製造方法 - Google Patents

光導波路の製造方法

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JPS5988714A
JPS5988714A JP20004182A JP20004182A JPS5988714A JP S5988714 A JPS5988714 A JP S5988714A JP 20004182 A JP20004182 A JP 20004182A JP 20004182 A JP20004182 A JP 20004182A JP S5988714 A JPS5988714 A JP S5988714A
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JP
Japan
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optical waveguide
optical fiber
optical
film
fixing groove
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JP20004182A
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English (en)
Inventor
Kazuo Mikami
和夫 三上
Taro Watanabe
太郎 渡辺
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Omron Corp
Original Assignee
Tateisi Electronics Co
Omron Tateisi Electronics Co
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/30Optical coupling means for use between fibre and thin-film device

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)発明の分野 この発明は、光ファイバを接続する先導波路の製造方法
に関する。
(ロ)従来技術とその問題点 従来、第1図及び第2図に示すように、先導波路aは紫
外線露光によって高分子フィルムbにたとえばY型に形
成され、このフィルムbの上下外側に固定板Cが取付け
られて光分岐器dが構成されている。そして、この光導
波路aの端面に光ファイバ0が接続されておシ、この接
続は光ファイバ0の端部に固定板fが取付けられ、この
固定板fの端部と光分岐器(]の固だ板Oの端部とが平
坦に形成されて両端部を接着剤gで面接IRして行なわ
れている。
この接着剤gl−11,光ファイバ0と光ノ4波路a間
の屈折率整合剤としての役目も兼用しており、 士、i
aiのように接続すると、常温、常温でかつ振動、 r
mr撃がない理想的な環境下においては、一度軸合せし
て光導波路aと光ファイバ0とを接続固定すれば接続損
失の変動もなく、比較的1氏損失の接続を実現すること
ができる。
しかしながら、−]二述の如く理想的環境条件は実際に
ありえず、温度変動や湿度変動、更に振動や衝撃等が加
わる場合がある。しかも、光導波路a。
光フアイバC1固定板a、f及び接着剤gの膨111a
 。
収縮、変形、ねじれ、ひずみ、たわみ等によ!1lIi
llllずれや位置ずれが生じる場合がある。そして9
両(固定板c、fを面接着しているのみで、これらのス
トッパや、光導波路aと光フアイバC間のガイドなどが
設けられていないため1両固定板(つ、「のg゛■−i
+位置関係が、第1図及び第2図に矢符で示すように、
上下、左右+ +jU後方向に移動し、あるい(は7i
”;曲することになる。
これでば9常温で屈折率整合剤として接続損失の低減に
役立っていた接着剤gの界面にクラックが発生し、整合
剤としての役目を果さなくなるばかりか、逆に透過率が
急激に低下し、また、軸ずれ等が加わって接続損失が大
幅に増加(例えば1−2 (] B )するという問題
があった。
(ハ)発明の目的 この発明は、かかる点に鑑み、光導波路のコア部に連続
して光フアイバコア部の固定溝を一体に形成することに
より、軸ずれなどの発生を防14二すると共に1種々の
環境条件下においても接続損失の変動が少なくなるよう
にしだ光導?11路の製造方法を提供するものである。
に)発明の構成と効果 この発明は、上記目的を達成するために、キャス1−容
諾内にマスクパターンを配設すると共に。
このマスクパターンの延長上にほぼU字形あるいは7字
形の直線状突起型をマスクパターンより突出させて配設
し、光照射によって屈折率が変化する光重合性キャスト
溶液を前記キャスト容器に注入し、このキャスト溶液に
前記マスクパターン側より光を照坏1し、シート状のフ
ィルムを形成した後3前記キヤス1−容器からこのフィ
ルムを取出し。
このフィルムに光導波路のコア部を形成すると共に、こ
のコア部に連続して光フアイバコア部の固定溝を形成す
るように構成されている。
しだがって、固定溝をガイドとして光ファイバを光28
波路に接続することができるので、軸ずれを11■[実
に防1にすることができ、且つ接続を容易に行うことが
できる。
また、先導坂路と光フアイバ間に粘度の高い屈折率整合
剤を充填すると、変形に対する弾性を増大させることが
できるので、クラック等の発生全防止することができる
から、温度変動などが生じた各種の環境条件下において
も、接続損失の反動を著しく低減することができる。
(ホ)実施例の説明 以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
〈実施例1〉 第3図乃至第6図に示すように、1は光導波路2を備え
た光分岐器であって、光導波路2の端部に光ファイバ3
が接続されている。
この光導波路2は、Y型に分岐形成されており。
1つの入力端よシ伝搬してきた光がその途中にて2つに
分岐され、それぞれ2つの出力端よシ出力するようにな
っている。
前記光分岐器1は、高分子フィルム4に光導波路2のコ
ア部2aが形成され、このフィルム4の上下面に水性ニ
スなどの屈折率の低い樹脂がコートされてクラッド層2
1〕が形成され、このクラッド層2hf<介して上下に
保護用プラスチック板5が固着されて構成されている。
更に、フィルム4には、コア部2aの端面よシ連続して
光ファイバろのコア部3ai固定保持するほぼU字形の
固定溝6が形成されると共に、この固定溝乙に連続して
光ファイバ3の被株部31)を固定保持する固定溝7が
形成されている。この被覆部固定71′’77は。
光分岐Aii 1のシ1狛niに開口し、コア部固定、
17.W 6より人きく−1:、下のプラスチック板5
に亘って形成され。
下プラスチック板5に形成された円弧凹部5 aとでは
lYU字形になLl二方に上プラスチック板5に形成さ
れた円弧四部51〕が位置するようになっている。
そして、光ファイバろの端部被覆部3b’(i7除去し
た光フアイバコア部3aがコア部固定711′、6に先
導波路コア部2aと微少間隔をあけて両端面を突合わぜ
て設けられ、この微少間隔に粘度の筒い屈折率整合剤8
(例え(弓:、シリコングリース)が充填さItている
。また、光フアイバコア部3a及び被覆部31)と各固
定渦”6.7の間には尚温に1m、(える接着剤(例え
ば、エボテツク302−3 )が充填され、光ファイバ
ろと光導波路2とが一体化されている。
従って、との光導波路2と光ファイバ3の1Mワ’eに
おいては、温度変動や湿度変動、更に振1助、1町撃等
に対して左右、」ユニ方向の軸ずれがほぼ皆無となり、
第5図及び第6図の矢符に示すように。
光軸77向の変動については固化しない71σ(折率整
合剤8のi蹟粘度の弾性効果によシ吸収され、接続損失
の変動が生じることはない。
次に、光導波路2の製造方法について第7図乃至第10
図に基づいて説明する。
先ず、成形治具9について第7図及び第8図に基づき説
明すると、成形治具9はマスク板10にマスクパターン
11と突起型12とが接着されて構成されている。この
マスク板10はガラス基板(例えば、BK−7)で形成
されており、その表面にマスクパターン11が定着され
ている。このマスクパターン11は、フィルム4に照射
する紫外光16?遮断するものであって、光導波路2に
対応してY型に分岐形成されている。
前記突起型12は光ファイバろの小片で形成されており
、端部被覆部31)を除去したコア部611で小径部1
2aが、被覆部31)で大径部121〕が形成されてい
る。そして、大径部i 21) (被覆部31))の下
部が平坦に除去されてフラット面が形成されている。尚
、第8図の一点鎖線は除去された大径部12b’(H示
している。この突11zjJ7Q 12がフラット面等
でマスク板10に接着剤14によpマスクパターン11
の延長トに固着され、マスクパターン11よシ突出して
いる。この接着剤14はシアノアクリレートなどであっ
て、小径部12a及び大径部121)の側方隅部に肉盛
られて固化しており、小径部12a及び大径部121)
と共に。
突起型が断面はぼU字形に形成されている。
この成形治it 9を用いて光導波路2の製造方法全第
9図及び第10図に基づき説明する。
先ず、キャスト容器15を塩化メチレン(CH2C,e
2)などの溶媒で予備洗浄すると共に、成形治具9も同
様に予備洗浄した後、この成形治具9をキャスト容器1
5内の底部にマスクパターン11を」二にして配設する
続いて、このキャスト容器13に光重合性キャスト溶液
16を膜厚80 It mになるように注入し。
上面が小径部12aの頂点とほぼ而−となるようにする
。このキャスト溶液16は、紫外光13の(9)   
          tc照照射より屈折率が低下する
ものであり、伍利としてビヌフェノール系ポリカーボネ
−1(PCZ)70g、モノマ(MA) A 2 yr
t乙溶媒として塩化メチレン(CH2C12)10[]
D 9 、光増感剤としてペンゾインエチyv:r−−
テ/l/ (BZEE )2.1 fl r 禁止剤と
してハイドロキノン(HQ ) 0.071fフレンド
したものである。
このキャスト溶W116を注入した後、水準器等によシ
液面の水平度を保ちつつキャヌト容器15内を半密閉状
態にしてチッソガヌ100m?/分で150分、続いて
、モノマ蒸気を30分間流し。
前記溶媒及びモノマの一部を蒸発させ、シート状の透明
な半固形状フィルム4を形成する。
引き続いて、キャスト容器15の下方から紫外光13を
15分間照則すると、フィルム4の全体のウチマヌクパ
ターン11でマスクされた部分は紫外光13が照射され
ないので光重合が起らず。
前記ビスフェノール系ポリカーボネートとモノマとは分
離状態となる一方、マヌクされない部分は光重合が起こ
シポリマ化される。そして、この光(10) 重合部はビヌフエノー/1/糸ボリカーホ不−1−とモ
ノマの重量パーセン1〜で決まる屈折率捷で低下するこ
とになる。
この紫外光13の露光後、30分以」−放置し。
フィルム4をキャスト容器15から取110し、真空乾
燥器に移し、90°Cで約10時間乾燥させる。
この乾燥によってマスク部分の未光重合モノマが除去さ
れ、このマスク部分はビスフェノ−)V糸ポリカーボネ
ート単体の屈折率となシ、マスクされない光重合部の屈
折率より大きくなって光導波路2のコア部2aとなり、
光重合部かクラッド部となる。
そして、このフィルム4には、突起型12によってキャ
スト溶液16が排除された部分にコア部固定溝6と被覆
部固定溝7が光導波路コア部211の延長−1−に軸心
か一致して連続成形される。
続いて、フィルム4の上面及び下面に水性ニスなどの抵
屈折ギのコーテング剤を1学さ10 p mバーコーI
−シ、熱風乾燥機によう90°Cて5時間1’、Vi燥
させて、フィルム4の上下面にクラッド層21)を形成
す/)。これによって固定溝一体プ賃高分子光祷、波路
2が製造される。
最後に、各固定渦6,7をガイドとして光ファイバ3を
光4波路2((連続して設け1両コア部211゜3 a
 1ilj VC/11折率整合剤8を、光ファイバ6
と固定溝6.7間に接着剤全充填すると共に、上下にプ
ラスチック板5を固着し、光ファイバ3を光導波路2に
Jチ続固定する。
従って、光ファイバろは固定溝6,7をガイドとするの
で、軸合せの調整を行うことなく自動的に接続作業が行
なわれる。
尚、プラスチック板5の円弧四部5aは予め形成されて
いる。
〈実ツノ1!i例2〉 この実施例は、第11図乃至第16図に示し。
成形治具17がキャヌI・容器15内でフィルム4の」
二面にP!i[!if’tされるようになっている。
この成形治具17は、マスク板18に実施例1と同様に
マスクパターン11が定着されると共に。
このマスクパターン11の延長上に突起型19が接着剤
14によって固着されている。そして、マスク板18に
は支持脚18aが突設され、キA・ス1−谷器15内に
この支持脚18ai介して成形冶具17が設置されるよ
うになっている。
削記突卯型19は光ファイバ3の小片で形成され、コア
部3aで小径部19aが、被覆部31)で大径部191
)が形成されている。この大径部191〕は被覆部3b
の」ユニ部全平坦に除去してフラット面が形成されてお
9(第11図一点鎖線参照)。
下方のフラット面でマスク板18に固着されている。こ
の上方のフラット面を形成したのは、支持脚18aがフ
ィルム4の厚さに形成されており。
このフィルム4の厚さに対応してキャスト容器15の底
面に当らないようにしたものである。
従って、この成形治具17をキャスト容器15内にマス
クパターン11及び突起121!!19を下方に向けて
設置し、キャスト溶液16を注入する(第12図参照)
その後、実施例1と同(支)にしてフィルム4を形成す
る。その際、紫外光13はキャスト容器15の上方よシ
照射する。そして、キャスト容器15より取出したフィ
ルム4に(は、光導波路コア部2a。
固定溝6,7の他、支持脚18aの空所4aが形成され
ている。
その曲の構成並びに作用は実施例1と同様である。
〈実施例3〉 この実施例は、第14図及び第15図に示し。
突起型20がキャスト容器15の内部直面に形成された
ものである。
この突起型20は台形状に形成され、マスクパターン1
1の延長上に位置するように設けられておシ、光ファイ
バろのコア部3aのみ固定する固定溝21を成形するよ
うになっている。
一方、マスクパターン11はマスク板22に定着されて
成形治具23が形成されている。
従って、キャスト容器15にキャスト溶液16を注入す
ると、固定溝21に相当する部分は突起型20で排除さ
れる。
このキャスト溶gf、16の溶媒及びモノマの一部を蒸
発させた後、マスクパターン1]の延長上に9ニ11醸
;IJlj2Qが位置するようi/C成形冶具2ろをフ
ィルム4」ユに載置し、キャツI・容器15の上方より
紫外光13を11((則する。その後、実施例1と同様
に処即してフィルム4を取出すと、光導/ll絡路のコ
ア部2aと光ファイバ6のコア部3+1の固定l、1.
ji21がフィルム4に形成される。
この実施例においては光ファイバ3の被援部31+の固
定溝7は形成されない。その化の41&成1作用は火砲
イ列1と同(筆である。
〈実施例4〉 この実施例は、第16図及び第17図に示し。
マスクパターン11と突、起型20がキャスト谷dg1
5の内部J氏而に配設されたものである。
とのマスクパターン11の延長−」二に突起]l’jl
 24が設けられ、このキャツ1−容器15内にギA1
ス1〜溶液16を注入して実施例1と同様に処1ノ11
する。
この−合も紫外光13はキャツI・容器15の下刃より
照射する。
このキャスト容器15よシ取呂したフィル1.4は実施
例ろと同様に光導波路2のコア部2a及び光フアイバコ
ア部3aの固定溝21が形成されることになる。その他
の構成並びに作用は実施例1と同様である。
尚、各実施例において突起型12,19.20はU字形
あるいは台形に形成したが、■字形に形成し、各固定溝
6,7.21iV字形にしてもよい。
寸だ、光重合性ギャヌト溶液16は光照射により屈11
〒率が増加するものでもよく、光は紫外光13の他、赤
外光や可視光などであってもよい。
また、各実施例は光分岐器1における光導波路2の製造
方法について説明したが、この発明は光導波路を有し、
且つ光ファイバ會接続する各種の装置に1箇用すること
ができる。従って、マスクパターン11の形状やフィル
ム4の厚さなどは実施例に眠られるものではない。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は従来例全示し、第1図は光分岐器の
平面図、第2図は同側面図、第3図乃至第17図はこの
発明の実施例を示しl pry 3図乃゛1′。 第10図は実施例1を示しており、第6図は一部省略し
た光分岐器の斜視図、第4図は同要部の断面図、第5図
は一部省略した同平面図、第6図りゴ:一部省略した同
側面図、第7図は成形治具の平面図、第8図は同側面図
、第9図は光導波路の製造工程における紫外光照射時の
キャツ1−容器内の断面図、第10図はフィルムの断面
図、第11図乃至第13図は実施例2を示しておシ、第
11図は成形治具の側面図、第12図は紫外光照射時の
キャスト容器の断面図、第13図はフィルムの断面図、
第14図及び第15図は実施例3を示しておておシ、第
16図は紫外光照射時のキャスト容器内の断面図、第1
7図はフィルムの断面図である。 1:光分岐器、 2:光導波路、  2a:コア部、 
2b:クラツド層、 3:光ファイバ。 3a:コア部、31):被援部、  4:フイルム、 
 4a:空所、 5ニブラスチツク板。 6・7・21;固定溝、 8:屈折率整合剤。 9・17・2ろ:成形冶具、   10・18・22:
マスク板、  11:マスクパターン。 12・19・20:突起型、  12a・19a:小径
部+   121)・l 91) :大径部。 16:紫外光、 14:接着剤、  15:キャスト容
器、 16;キャツ)・溶液。 特許出願人     立石電機株式会社代理人  弁理
士  中 村 茂 (阿第1図 第2図 第3図 !        5 第4図 り 第5図 第7図 n M8図 昂11図 17 第14図 第16図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 〔1〕  キャスト容器内にマスクパターンを配設する
    と共に、このマスクパターンの延張」二にホホU字形あ
    るいは■字形の面線状突起型をマスクパターンより突出
    させて配設し、光照削によって屈折率が変化する光重合
    性ギャス1−溶液を前記キャスト容器に注入し、このキ
    ャヌト溶’IUF@記マヌクパターン側より′yf:に
    照則し、シート状のフィルムを形成した後、削記キャ7
    1〜容器からこのフィルムを取出し、前記マヌクパター
    ンのマスク部に光導波路のコア部を、このコア部の端面
    よジ連続して前記突起型の配置部に光フアイバコア部の
    固定溝をそれぞれ前記フィルムに形成したことを特徴と
    する光導波路の製造方法。 (2)  前記マスクパターン及び突起型は、マスク板
    に一体に取付けられていることを特徴とする特許i請求
    の範囲第1項記載の光導波路の製造方法。 (3)  前4dマスクパターンはマスク板に、前記突
    起型はキャスト容器内の底面にそれぞれ設けられている
    ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記威の光導波路
    の製造方法。 (4)前記マヌクパターン及び突起型は、キャスト容器
    内の底面に設けられていることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項記載の先導波路の製造方法。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61145511A (ja) * 1984-12-18 1986-07-03 コーニング グラス ワークス 集積光部品およびその製造方法
JPH0488909U (ja) * 1990-04-03 1992-08-03
US5308555A (en) * 1992-07-31 1994-05-03 At&T Bell Laboratories Molding of optical components using optical fibers to form a mold
JP2007072007A (ja) * 2005-09-05 2007-03-22 Sony Corp 光導波路モジュール
DE102007017745A1 (de) * 2007-04-12 2008-10-23 Siemens Ag Bauteil mit einem eine Schnittstelle aufweisenden eingebetteten Wellenleiter und Verfahren zu dessen Herstellung

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