KR930006859A - 도포장치 - Google Patents

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Abstract

피도포체를 유지하여 회전하는 회전유지수단과, 이 회전유지수단을 둘러싸도록 설치되고 상기 피도포체에 공급된 도포액(L2)의 흩날림을 방지하기 위한 용기를 가지는 도포장치에 있어서, 회전유지수단에 설치되고, 또 상기 용기에 부착한 도포액을 세정하기 위한 세정액이 공급되는 세정용 치구를 구비하며, 이 세정용 치구는 상기 세정액을 저유할 수 있는 저유부를 가짐과 동시에, 상기 회전유지수단의 회전에 의하여 상기 저유부에 저유한 세정액을 상기 용기를 향하여 토출하는 토출구멍(36)을 가지는 것을 특징으로 하는 도포장치에 관한 것이다. 이것에 의하여 소량의 세정액으로 균일하고 단시간에 효율좋게 용기의 내부에 부착한 도포액의 세정을 행할 수 있게 된다.

Description

도포장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 도포장치를 레지스트막 형성장치에 적용한 실시예를 나타내는 개략평면도,
제2도는 본 발명의 도포장치의 제1실시예를 나타내는 일부종단 단면도,
제3도는 제2도에 나타낸 도포장치에 이용되는 세정치구를 분해하여 나타내는 사시도,
제4도는 제2도에 나타낸 도포장치의 일부 확대 종단면도,
제5도는 제3도에 나타낸 세정치구의 다른 실시예를 나타내는 횡단 단면도,
제6도는 제3도에 나타낸 세정치구의 또 다른 실시예를 나타내는 종단 단면도,
제7도는 본 발명의 도포장치의 제2실시예를 나타내는 일부 종단면도,
제8도는 본 발명의 도포장치의 제3실시예를 나타내는 일부 종단 단면도,
제9도는 본 발명의 도포장치의 제4실시예를 나타내는 일부 종단 단면도,
제10도는 제9도에 나타낸 도포장치의 요부의 일부 단면 사시도,
제11도는 본 발명의 도포장치의 제5실시예를 나타내는 제12도의 XI-XI선을 따르는 종단 단면도,
제12도는 제11도에 나타낸 도면장치의 요부를 나타내는 사시도,
제13도는 본 발명의 도포장치의 제6실시예를 나타내는 종단 단면도,
제14도는 제13도에 나타낸 도포장치의 요부를 나타내는 단면도,
제15도는 본 발명의 도포장치의 제7실시예를 나타내는 종단 단면도,
제16도는 제13도에 나타낸 제6실시예의 도포장치의 스핀척의 회전수와 유지시간 및 레지스트 막 두께와의 관계를 나타내는 선도(線圖).

Claims (21)

  1. 피도포체를 유지하여 회전하는 회전유지수단과, 이 회전유지수단을 둘러싸도록 설치되고 상기 피도포체에 공급된 도포액(L2)의 흩날림을 방지하기 위한 용기와,상기 회전유지수단에 설치되고, 또 상기 용기에 부착한 도포액(L2)을 세정하기 위한 세정액(L)이 공급되는 세정용 치구를 구비하며, 이 세정용 치구는 상기 세정액(L)을 저유할 수 있는 저유부(35)를 가짐과 동시에 상기 회전유지수단의 회전에 의하여 상기 저유부(35)에 저유한 세정액(L)을 상기 용기를 향하여 토출하는 토출구멍(36)을 가지는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 회전유지수단이, 이동기구에 의하여 상하운동이 자유로운 것을 특징으로 하는 도포장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 토출구멍(36)이, 세정용 치구의 외구부에 알맞는 수평으로부터 각도를 변하여 여러개 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 세정용 치구의 받이부(31)의 중심에는 원추형상의 돌기(34)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 토출구멍(36)이 1개만 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 저유부(35)가 세정용 치구의 둘레 테두리부의 하면측에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 회전유지수단이 회전척(20)인 것을 특징으로 하는 도포장치.
  8. 피도포체를 유지하여 회전하는 회전유지수단과, 이 회전유지수단을 둘러싸도록 설치되고 상기 피도포체에 공급된 도포액(L2)의 흩날림을 방지하기 위한 용기와,상기 회전유지수단에 세정액 유도부(240a)를 구비하며, 상기 세정액 유도부(240a)를 향하여 상기 용기에 부착한 도포액(L2)을 세정하기 위한 세정액 공급노즐(40)을 맞닿게 설치하고, 이 공급노즐(40)로부터 분사되는 세정액(L)을 상기 회전 유지수단의 세정액 유도부(240a)를 통하여 상기 용기내에 산포(散布)시키도록 한 것을 특징으로 하는 도포장치.
  9. 피도포체를 유지하여 회전하는 회전유지수단과, 이 회전유지수단을 둘러싸도록 설치되고 상기 피도포체에 공급된 도포액(L2)의 흩날림을 방지하기 위한 용기를 구비하며, 상기 회전유지수단이 상기 용기내에 부착한 도포액(L2)을 세정하기 위한 세정액을 저유할 수 있는 저유부를 가짐과 동시에 상기 회전유지수단의 회전에 의하여 저유부의 세정액(L)을 상기 용기내를 향하여 토출하는 토출구멍을 가지는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서, 회전유지수단을 회전축선방향으로 왕복이동이 가능하게 형성하여 되는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  11. 제8항에 있어서, 상기 세정액 유도부(240a)가 상기 회전유지수단의 하부측에 그 외주부의 일단으로부터 타단을 향하여 구배를 이루어 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  12. 제9항에 있어서, 상기 저유부가, 회전유지수단이 이면측에 형성한 여러개의 세정액 받이부(31)임과 동시에, 이 세정액 받이부(31)에 1개의 세정액 공급노즐이 이동이 자유롭게 대응하며, 또 토출구멍이 상기 세정액 받이부(31)에 각각 연결되어 통하고 있는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  13. 제9항에 있어서, 상기 회전유지수단의 이면측의 둘레 테두리부에 상기 토출구멍과 연결되어 통하는 고리형상 통형의 저유부를 설치함과 동시에 세정액 공급노즐을 이 저유부에 대향시킨 것을 특징으로 하는 도포장치.
  14. 제9항에 있어서, 상기 회전유지수단을 속이 빈 원반형상으로 하여 저유부를 형성함과 동시에 그 상면 중심부에 세정액 도입구(430)를 설치한 것을 특징으로 하는 도포장치.
  15. 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 회전유지수단이, 회전척인 것을 특징으로 하는 도포장치.
  16. 피도포체를 유지하여 회전하는 회전유지수단과, 이 회전유지수단을 둘러싸도록 설치되어 상기 피도포체에 공급된 도포액(L2)의 흩날림을 방지하기 위한 용기와,상기 회전유지수단에 유지된 상기 피처리체의 이면을 향하여 세정액을 방출하는 세정액 방출노즐(720a)(720b)과, 상기 피처리체의 이면을 세정할 때에 상기 회전유지수단의 회전속도를 변화시키기 위한 제어수단(780)을 설치하므로서 상기 피처리체의 이면에 닿은 상기 세정액의 상기 용기의 벽면을 향하여 흩날리도록 구성한 것을 특징으로 하는 도포장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 세정액 방출노즐(720a)(720b)이, 상기 회전유지수단의 회전축(230)에 대하여 소정의 경사각을 가지고 여러 개가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  18. 피도포체를 유지하여 회전하는 회전유지수단과, 상기 회전유지수단을 둘러싸도록 설치되어 상기 피도포체에 공급된 도포액(L2)의 흩날림을 방지하기 위한 제1용기와, 제2용기를 구비하며, 상기 피처리체를 향하여 방출된 세정액(L2)이 상기 제1용기에 도달하도록 설정된 제1세정액 방출노즐과, 상기 피처리체를 향하여 방출된 세정액(L2)이 상기 제2용기에 도달 하도록 설정된 제2세정액 방출노즐을 구비하도록 구성한 것을 특징으로 하는 도포장치.
  19. 제17항에 있어서, 여러개가 설치된 상기 세정액 방출노즐(720a)(720b)의 경사각이, 각각 같은 것을 특징으로 하는 도포장치.
  20. 제17항에 있어서, 여러개가 설치된 상기 세정액 방출노즐(720a)(720b)의 경사각이, 각각 같은 것을 특징으로 하는 도포장치.
  21. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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