KR100221700B1 - 약액 토출노즐 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판(반도체웨이퍼, 액정디스플레이(LCD)의 베이스로 되는 유리기판, 포도 마스크용의 유리기판, 광디스크용의 기판 등)의 표면에 약액을 공급하기 위한 약액토출노즐에 관한 것이다. 약액토출노즐에 있어서, 기판에 근접하는 최하부의 형상은 점 또는 선에 의해 구성된다. 기판의 표면에서 튀어 되돌아와 부착된 약액 및/또는 약액토출구멍에서 누출된 약액은 각각의 자신의 중량에 의해 약액토출노즐의 외면을 타고 흘러 점 또는 선에 이해 구성된 최하부에 도달한다. 이런 약액은 최하부에 도달하면, 점 또는 선에 의해 구성되어 있는 최하부와 접촉면적이 작게 되어 당해 최하부에서 낙하한다.

Description

약액 토출노즐

제1도는 본 발명의 일실시예에 관한 현상액 토출노즐을 구비한 현상장치의 구성을 나타내는 블럭도,

제2도는 제1도에 나타난 현상액 토출노즐(4)의 제1구성예를 나타내는 도면,

제3도는 제1도에 나타난 현상액 토출노즐(4)의 제2구성예를 나타내는 도면,

제4도는 제1도에 나타난 현상액 토출노즐(4)의 제3구성예를 나타나는 도면,

제5도는 제1도에 나타난 현상액 토출노즐(4)의 제4구성예를 나타내는 도면.

제6도는 종래의 현상장치의 구성 및 현상액 공급시의 현상장치와 기판의 배치 관계를 설명하기 위한 도면이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 스핀척 2 : 모터

3 : 회전축 4 : 현상액 토출노즐

5 : 노즐암 6 : 현상액 도입관

7 : 현상액 온도조절부 41 : 유로

42, 44 : 현상액 토출구멍 43, 45 : 현상액 제거부

46 : 현상액 도출관

본 발명은, 약액 토출노즐에 관한 것이고, 보다 특정적으로는 기판(반도체 웨이퍼, 액정디스플레이(LCD)의 베이스로 되는 유리기판, 포토마스크용의 유리기판, 광디스크 용의 기판 등 )의 표면에 소정의 약액을 공급하는 약액 토출노즐에 관한 것이다.

종래, 상기 약액토출 노즐이 적용되는 장치의 일예로서 현상장치가 있다. 제6도는 종래의 현상장치가 갖는 각부의 구성 및 현상액 공급시의 현상장치의 기판의 배치관계를 설명하기 위한 도면이다. 제6도에 있어서, 현상장치는 기판(w)을 진공흡착 등에 의해 유지하는 스핀척(61)과, 구동력 발생부(도시생략)로부터의 구동력을 스핀척(61)으로 전달하는 회전축(62)과, 기판(w)의 상면에 현상액(Q)을 토출하는 현상액 토출노즐(63)을 구비한다. 현상액 토출노즐(63)은 외부에서 공급된 현상액(Q)을 내부의 소정위치로 인도하는 현상액유로(631)와, 현상액유로(631)에 의해 인도된 현상액(Q)을 외부로 토출하는 현상액 토출구멍(632)을 포함한다. 현상액 토출노즐(63)은 스핀척(61)에 유지된 기판(w)에 대하여 직립하도록 배치된 통체(筒體))(65)로 구성되어 있다. 통체(65)의 하단면(651)은 폐지되어 있고, 당해 통체(65)의 측벽(652)의 소정위치에 복수의 현상액 토출구멍(632)이 설치되어 있다. 한편, 현상장치는 그 다른 구성으로서 현상액을 외부로 비산시키지 않기 위한 현상액 비산방지부 등의 여러 가지 구성을 가지고 있지만 본 발명의 취지와는 관련성이 없으므로 그들의 설명을 생략한다.

현상액(Q)은 현상액 토출노즐(63)을 기판(W)에 근접시킨 상태로 현상액유로(631)에 공급된다. 현상액(Q)은 현상액 유로(631)에 의해 안내된 후, 하단면(651)에 충돌한다.

그 때문에 현상액(Q)은 그 유속이 감속한 후에 현상액 토출구멍(632)에서 기판(W)의 표면에 노출된다. 이때 기판(W)은 스핀척(61)과 회전축(62)에 의해 수평면내에서 회전하고 있으므로 현상액(Q)은 기판(W)의 표면 전역에 걸쳐 공급되어 진다. 한편, 이 현상액토출노즐의 상세한 것에 대해서는 『일본특허공고 평 05-68092』호 공보에 기재되어 있다.

종래의 현상액 토출노즐(63)의 하단면(651)은 제6도에 나타난 것처럼 평면적인 구조를 가지고 있다. 또, 하단면(651)과 측벽(652)의 접합부분은 대부분 노치(notch)가 되어 있다. 이와 같은 구성을 가지는 현상액 토출노즐(63)에서, 기판(W)의 표면전역에 현상액(Q)이 공급되어 종료하면, 현상액 토출노즐(63)로 현상액 공급이 일단 정지된다. 그때, 현상액토출노즐(63)의 내부에 잔류한 현상액(Q)이 현상액 토출구멍(632)에서 누출하여 하단면(651)로 전해져 현상액(Q)이 물방울 모양으로 되어 부착하는 경우가 있다. 또한, 현상액 토출중에는 현상액토출 노즐(63)과 기판(W)이 근접해 있으므로 일단 기판(W)으로 공급된 현상액(Q)이 튀어서 되돌아와 하단면(651)에 물방울로 되어 부착하는 경우도 있다.

이와 같은 상황하에서 일단 현상액(Q)의 토출을 정지한 현상액 토출노즐(63)을 다음 처리로 이행하기 위한 소정위치로 이동시키면 하단면(651)에 부착한 현상액의 물방울이 기판표면상에 낙하하는 경우가 많다. 이와 같이 현상액(Q)의 공급이 종료한후에 현상액(Q)의 물방울이 기판(W)에 낙하하면, 이 물방울이 낙하한 부분에 현상얼룩이 발생하고 고품질의 패턴 형성을 저해한다는 문제점이 있었다.

또한, 현상액의 종류에 따라서는 하단면(651)에 부착된 현상액의 물방울이 건조하여 분말모양으로 된 것이 있다. 하단면(651)에 분말이 부착된 현상액 노출노즐(63)을 사용하여 기판(W)에 현상액을 공급하면 현상액 토출구멍(632)에서 하단면(651)으로 타고 흐르는 현상액과 동시에 이 분말이 기판(W)상으로 낙하하게 된다. 이 분할은 티끌로 되므로 고품질의 패턴형성을 저해한다는 문제점이 있었다.

본 발명은 고품질의 패턴 형성을 실행할 수 있는 현상액 토출 노즐을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해 이하에 기술하는 바와 같이 구성 또는 특징을 가지고 있다.

본 발명의 제1국면은 기판의 상방에서 당해 기판의 표면을 향해 약액을 토출하기 위한 약액 토출 노즐에 대한 것으로, 외부에서 공급된 약액을 소정의 위치로 인도하는 약액 유로와, 약액유로에 의해 인도된 약액을 기판표면상에 토출하는 약액토출구멍과, 기판에 근접하는 하단부에 형성되고, 그 최하부의 형상이 점 또는 선으로 구성된 약액제거부를 구비한다.

상기와 같이, 약액토출노즐의 하단부에는 약액제거부가 설치된다. 약액제거부의 최하부의 형상은 점 또는 선으로 구성되어 있다. 그 때문에, 약액제거부의 최하부, 즉 점 또는 선의 부분에서는 약액과의 접촉면적이 작게 되어 약액은 자신의 중량에 의해 낙하한다. 따라서, 약액토출노즐의 외면상의 약액을 단시간에 제거하는 것이 가능하게 된다.

여기서, 약액 제거부는 보다 구체적으로는 이하와 같이 구성된다. 약액제거부는 제1구성에서, 그 최하부의 형상이 원형이고, 당해 원형의 원주에서 중심을 향해 상향으로 경사진 경사면을 가지고 있다. 또한, 약액제거부는 제2구성에서, 그 최하부의 형상이 다각형이고, 당해 다각형의 각 변에서 중심을 향해 동일 경사각도로 경사진 경사면을 가지고 있다. 게다가, 약액제거부는 제3구성에서, 그 최하부의 형상이 점이고, 당해 점에서 주위를 향해 원호상으로 경사진 경사면을 가지고 있다.

상기와 같이 제1-제3의 구성에서는 약액제거부에 부착된 약액은 그 경사면을 자신의 중량에 의해 미끄러져 내려오며, 그 최하부에 있는 원형부분, 다각형부분 또는 점부분에 도달하면 접촉면적이 작아진다. 그 때문에 원형부분, 다각형부분 또는 점부분에 도달한 약액은 자신의 중량에 의해 낙하한다.

또한, 약액토출노즐에 있어서, 약액토출구멍의 최하단은 약액제거부의 가장 바깥둘레부와 근접해 있는 것이 바람직하다.

상기와 같이 약액토출구멍의 최하단이 약액제거부의 가장 바깥둘레부와 근접해 있으므로 약액토출구멍에서 누출된 약액은 외면상을 타고 흘러내리는 일없이 즉석에서 약액제거부에 의해 제거된다. 따라서, 약액토출구멍에서 누출된 약액을 보다 단시간에 제거할 수 있다. 또, 약액토출구멍에서 누출된 약액은 외면상에 부착하는 일이 없으므로, 이 부분에서 약액이 건조하여 분말모양(티끌)으로 되지 않는다.

또한, 약액토출노즐은 약액유로에 의해 인도된 약액을 약액토출구멍까지 인도하는 약액도출관을 더 구비한다. 그리고, 약액도출관은 약액유로를 구성하는 통체의 측면에서 바깥을 향해 돌출하여 있고, 약액토출구멍을 향해 하방향으로 경사지도록 구성되는 것이 바람직하다.

상기와 같이 약액토출구멍은 약액도출관내에 형성되어 있다. 이 약액도출관은 통체의 측면에서 바깥을 향해 돌출하여 있고, 또 약액토출구멍을 향해 하방향으로 경사져 있다. 그 때문에 약액토출구멍에서 누출된 약액은 외면상을 타고 흐르는 일 없이 즉석에서 낙하한다. 또, 약액도출관의 외면상에 부착된 약액은 하방향으로 경사져 있는 약액도출관에서 약액토출구멍(즉, 약액도출관의 최하단)에 도달한다. 그 때문에, 최하단에 도달된 약액은 자신의 중량에 의해 낙하한다.

본 발명의 제2국면은 외부에서 공급된 약액이 약액유로에 의해 소정의 위치로 인도되고, 소정의 위치에 인도된 약액이 약액토출구멍에서 기판의 표면을 향해 토출되도록 약액 토출노즐을 항하여 있고, 기판의 표면으로부터 튀어서 되돌아와 외면상에 약액이 부착했을 때 및/또는 약액토출구멍에서 외면상으로 약액이 누출되었을 때, 외면상의 약액은 당해 외면상을 타로 흘러 최하부에 도달하고, 최하부에 도달된 약액은 당해 최하부와의 접촉면적이 작아짐에 따라 기판의 표면상으로 이탈한다.

상기와 같이, 제2의 국면에 있어서, 약액은 약액토출구멍에서 기판의 표면에 토출된다. 이때, 약액은 기판의 표면에서 튀어 들어와 약액토출노즐의 외면상에 부착하거나, 약액토출구멍에서 약액토출구멍의 외면상에 누출되거나 한다. 이런 외면상의 약액은 약액토출노즐의 외면상을 타고 흘러 그 최하부에 도달한다. 약액토출노즐의 최하부에 도달된 약액은 당해 최하부와의 접촉면적이 작아지므로, 그 자신의 중량에 의해 기판표면상으로 낙하한다. 따라서, 본 발명의 제2국면은 약액토출노즐의 외면상의 약액을 단시간에 제거할 수 있다.

본 발명의 이들 및 다른 목적, 특징, 국면 및 장점은 첨부한 도면과 함께 다음의 본 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.

제1도는 본 발명의 일 실시예에 관한 약액토출노즐을 구비하는 현상장치의 구성을 나타나는 블럭도이다. 제1도에 있어서, 현상장치는 기판(W)을 진공흡착 등에 의해 유지하는 스핀척(1)과, 모터(2)가 발생한 구동력을 스핀척(1)으로 전달하고 기판(W)의 회전중심으로 되는 회전축(3)과, 기판(W)의 표면에 약액의 일예인 현상액을 토출하는 현상액토출노즐(4)과, 현상액토출노즐(4)을 회동가능하게 지지하는 노줄암(5)과, 현상액수용부(도시생략)에서 현상액을 현상액토출노즐(4)로 도입하는 현상액도입관(6)과, 현상액도입관(6) 안을 흐르는 현상액의 온도를 사용하기 적당한 온도로하는 현상액 온도 조절부(7)를 구비한다.

본 실시예에 있어서, 현상액도입관(6)은 노즐암(5)의 내부를 통하고 있다 (점선부 참조).

한편, 현상액 온도 조절부(7)의 상세한 구성에 대해서는 『일본실용신안공고 평05-20469』로 공보등에 기재되어 있으므로 그 설명을 생략한다.

제2도는 제1도에 나타난 현상액토출노즐(4)의 제1구성예를 나타내는 도면이다. 단, 제2도는 현상액토출노즐(4)의 일부를 종단면도로 하여, 설명의 명료화를 도모하고 있다(사선부 참조). 제2도에 있어서, 현상액토출노즐(4)은 PTFE(Polyterafluoroethylene)이나 PCTFE(Polychlorotrifluoroethlene)으로 되며, 현상액도입관(6)에서 도입된 현상액 (화살표 참조)이 흐르는 유로(41)와, 기판(W)으로 현상액을 토출하는 복수의 현상액토출구멍(42)과, 현상액토출구멍(42)의 하부에 형성되는 현상액제거부(43)를 포함한다. 현상액토출노즐(4)의 외형은 원통형상을 가지고 있고, 당해 현상액토출노즐(4)의 내부에 유로(41)가 형성되어 있다. 현상액토출구멍(42)은 현상액이 유로(41)에서 방사상으로 토출가능하도록 형성된다. 이와 같은 구성을 가지는 현상액토출노즐(4)은 그의 적어도 1개의 현상액 토출구멍(42)이 기판의 회전중심 근방에 위치하도록 노즐암(5)에 설치된다.

현상액제거부(43)는 오목모양의 원호면으로 된다. 여기서, 원호면이란 원호의 2개의 끝점을 포함하는 선분의 수직 2등분선을 중심축으로 하여 당해 원호를 360도 회전시켜서 생기는 곡면이다. 이 원호면은 원호의 2개의 끝점간 거리와 현상액토출노즐(4)의 하단면(원형)의 직경을 일치시키고, 또 원호면의 중심축과 현상액토출노즐(4)의 중심축을 일치시킨 상태에서 현상액토출노즐(4)의 최하부에 형성된다. 이와 같은 구성에 의해 현상액토출노즐(4)의 최하단부는 선모양으로 형성되어 진다.

이하, 제1도 및 제2도를 참조하여, 현상장치에서의 현상액의 흐름에 대해서 설명한다. 기판(W)이 스핀척(1)에 유지된 상태에서, 현상액토출노즐(4)은 노즐암(5)에 의해 기판(W)의 소정위치의 바로 위에 배치된다. 게다가, 현상액토출노즐(4)은 기판(W)에서 소정 거리를 두고 근접해 있다. 현상액 온도 조절부(7)에 의해 사용하기 적당한 온도로 된 현상액은 현상액도입관(6)를 통해서 현상액토출노즐(4)에 도입된다. 현상액토출노즐(4)에 도입된 현상액은 유로(41)안을 흐르는 현상액토출구멍(42)에서 토출된다. 이때. 적어도 1개의 현상액토출구멍(42)에서 토출된 현상액은 기판(W)의 회전중심근방에 낙하한다. 또, 스핀척(1)은 모터(2)에 의해 수평면내에서 회전하므로 현상액은 원심력에 의해 기판(W)의 회전중심에서 방사상으로 퍼져가고, 기판(W)의 표면전역에 걸쳐 공급하게 된다. 한편, 제2도에서 제2점쇄선은 현상액의 유로를 나타내고 있다.

여기서, 일단 기판(W)으로 공급된 현상액이 튀어 되돌아와서 현상액토출노즐(4)에 부착된 물방울의 움직임에 대해서 설명한다. 튀어 되돌아오는 현상액중에서 현상액토출노즐(4)에 부착한 것의 대부분은 현상액제거부(43)의 원호면에 부착된다. 원호면에 부착된 현상액은 자신의 중량에 의해 원호면을 타고 흘러 현상액거부(43)의 최하단에 도달한다. 현상액제거부(43)의 최하단은 상술한 바와 같이 선모양으로 구성되어 있으므로 원호면과 현상액의 접촉면적이 작아지고, 현상액은 기판(W)에 낙하한다. 이때, 기판(W)은 수평면내에서 회전하고 있으므로, 현상액거부(43)에서 낙하된 현상액의 물방울은 현상액토출구멍(42)에서 토출된 현상액과 함께 기판(W)의 표면전역에 걸쳐서 균일하게 공급된다. 그 때문에, 현상액 물방울의 낙하는 현상얼룩의 원인으로 되지 않는다.

또한, 현상액의 공급을 정지하면, 현상액토출구멍(42)에서 토출되지 않고 내부에 잔류한 현상액은 현상액토출 구멍(42)에서 누출되어 현상액토출노즐(4)의 외면상을 타고 흐르는 현상액제거부(43)의 최하단에 도달한다. 현상액제거부(43)의 최하단은 상술한 바와 같이 선모양으로 구성되어 있으므로 원호면과 현상액의 접촉면적이 작아지게 되어 현상액은 기판(W)에 낙하한다. 여기서, 현상액토출노즐(4)내에 잔류한 현상액이 기판에 낙하할 때까지의 시간은 현상액공급정지로부터 아주 단시간이기 때문에 현상얼룩이 원인으로는 되지 않는다.

상기에서 밝혀진 것처럼, 현상액은 현상액제거부(43)에 장시간 부착하여 있지 않기 때문에, 현상액의 건조에 의한 티끌도 발생하지 않는다. 그 때문에 본 실시예에 관한 현상액토출노즐(4)은 고품질의 패턴을 형성하는데 기여한다.

제3도는 제1도에 나타난 현상액토출노즐(4)의 제2의 구성예를 나타내는 도면이다. 제3도도 역시 현상액토출노즐(4)의 일부를 종단면도로 하여 설명의 명료화를 도모하고 있다(사선부 참조). 또한, 제3도에 나타난 현상액토출노즐은 이하의 점을 제외하고 제2도에 나타난 현상액토출노즐과 동일한 구성을 가지며, 상당하는 부분에는 동일한 참조번호를 부여하고 그 설명을 생략하는 것으로 한다. 제3도에 나타난 현상액토출노즐(4)은 유로(41)에서 유입된 현상액을 기판(W)으로 토출하는 복수의 현상액토출구멍(44)의 형성위치가 제2도에 나타난 현상액토출노즐(4)에 비해 다르다. 즉, 현상액토출구멍(44)은 유로(41)에 대하여 방사상으로 형성되어 있고, 또 그 최하단이 현상액토출노즐(4)의 최하단(즉, 현상액 제거부(43)의 최하단)에 접하도록 형성되어 있다.

상기와 같은 구성에 있어서, 노즐에 대한 현상액의 공급정지후에 현상액토출노즐(4)내에 잔류하는 현상액은 현상액토출노즐(4)의 측면을 타고 흐르는 일이 없고, 현상액토출구멍(44)에서 현상액제거부(43)의 최하단에 즉석으로 도달한다. 따라서, 제2도에 나타난 현상액토츨노즐에 비해 현상액의 공급정지에서 현상액이 낙하할 때까지의 시간이 단축화할 수 있고, 보다 한층 현상얼룩이 발생하기 어렵게 된다. 또, 제3도에 나타난 현상토출노즐(4)의 측면에 현상액이 부착하는 일이 없으므로, 현상액이 현상액토출구멍(44) 근방에서 건조하여 티끌로 되는 일이 없다. 한편, 제3도에 나타난 현상액토출노즐(4)에서의 그 외의 동작은 제2도에 나타난 현상액토출노즐(4)과 마찬가지이므로 그 설명을 생략한다.

상술한 제1 및 제2의 구성예에 관한 현상액토출노즐(4)의 현상액제거부(43)는 오목모양의 원호면으로 구성되어 있었지만, 원통형상의 현상액토출노즐(4)의 하단면을 저면으로 하는 오목모양의 원추형상이라도 된다. 또한, 현상액토출노즐(4)의 형상은 원통형상이었지만, 삼가기둥 등의 다각기둥이라도 된다. 이때, 현상액제거부(43)는 오목모양의 다각주 형상으로 한다.

제4도는 제1도에 도시와 현상액토출노즐(4)의 제3구성예를 나타낸 모양이다. 제4도도 역시, 현상액토출노즐(4)의 일부를 종단면도로 하여 설명의 명료화를 도모하고 있다. (사선부 참조). 또, 제4도에 나타난 현상액토출노즐은 이하의 점을 제외하고 제3도에 나타난 제2구성예에 관한 현상액토출노즐과 동일한 구성을 가지고 있으므로, 상당하는 부분에는 동일한 참조번호를 부여하고 그 설명을 생략하는 것으로 한다. 제4도에 나타난 현상액토출노즐(4)은 현상액토출구멍(44)의 하부에 형성되는 현상액제거부(45)의 형상이 제3도에 나타난 제2구성예와 비교하여 다르다. 즉, 현상액제거부(45)는 볼록모양의 원호면으로 된다. 여기서 원호면은 상술한 것과 같다. 이와 같은 구성에 의해 현상토출노즐(4)의 최하단부는 점모양으로 형성된다. 유로(41)에 대해 방사상으로 형성된 현상액토출 구멍(44)의 최하단은 원호면의 가장 바깥둘레부에 형성되는 원형의 원주에 접하도록 형성된다.

상기와 같은 구성에 있어서, 기판(W)에서 튀어 돌아온 현상액은 현상액제거부(45)에 부착한다. 이 현상액은 자신의 중량에 의해 원호면을 타고 흘러 현상액제거부(45)의 최하단에 도달한다. 현상액제거부(45)의 최하단은 상술한 바와 같이 점모양으로 구성되어 있으므로, 원호면과 현상액의 접촉면적이 작아지게 되어 현상액은 기판(W)에 낙하한다.

노즐에 대한 현상액의 공급정지후에 현상액토출노즐(4)내에 잔류하는 현상액은 현상액토출구멍(44)에서 현상액제거부(45)의 원호면을 타고 흐르는 최하단에 낙하한다. 한편, 제4도에 나타난 현상액토출노즐(4)의 현상액공급시의 동작은 제3도에 나타낸 현상액토출노즐(4)과 마찬가지이므로 그 설명을 생략한다.

또, 제4도에 나타낸 현상액토출노즐(4)의 현상액제거부(45)의 형상은 블록모양의 원추형상이어도 삼각기둥 등의 다각기둥이라도 된다.

제5도는 제1도에 나타난 현상액토출노즐(4)의 제4구성예를 나타내는 도면이다. 제5도도 역시 현상액토출노즐(4)의 일부를 종단면도로 하여 설명의 명료화를 도모하고 있다(사선부 참조). 또, 제5도에 나타난 현상액 토출노즐은 이하의 점을 제외하고 제2도에 나타난 제1구성예에 관한 현상액토출노즐과 동일한 구성을 가지므로 상당한 부분에는 동일한 참조번호를 부여하고 그 설명을 생략하는 것으로 한다. 제5도에 나타난 현상액토출노즐(4)은 유로(41)를 구성하는 통체의 측면에서 바깥을 향해 돌출하고, 유로(41)에서 유입된 현상액을 선단에 설치된 현상액토출구멍(42)까지 인도하는 현상액도출관(46)을 가지고 있다. 이 현상액도출관(46)의 외벽은 하방향으로 경사져 형성되어 있다. 또한, 제5도에는 오목상의 원호면을 가진 현상액제거부(43)가 설치되어 있지만, 이것에 한정되지 않고 제4도에 나타나 있는 것처럼 볼록모양의 원호면을 가지는 현상액제거부(45)를 설치해도 된다.

상기와 같은 구성에 의해, 기판(W)에서 튀어 되돌아온 현상액은 현상액도출관(46)의 외면에 부착하는 일이 있다. 이런 외면에 부착된 현상액은 자신의 중량에 의해 외면을 타고 흐르며, 현상액도출관(46)의 최하단에 도달한다. 최하단에서는 현상액과의 접촉면적이 작아지게 되어 현상액은 기판(W)으로 낙하한다.

또한, 노즐에 대한 현상액의 공급정지후에 현상액토출노즐(4)에 잔류하는 현상액은 자신의 중량에 의해 현상액도출관(46)의 내부를 타고 흐르고, 현상액도출관(46)의 최하단에 도달하여 낙하한다. 또, 제5도에 나타난 현상액토출노즐(4)에서의 그외의 동작은 제2도에 나타난 현상액토출노즐(4)과 같으므로, 그 설명을 생략한다.

상술에서는 약액토출노즐의 실시예로서, 현상액을 토출하는 것에 대해 설명했지만, 레지스트액 등을 토출하는 노즐에 대해서도 본 약액토출노즐을 적용할 수 있다.

이상, 본 발명에 대하여 첨부도면을 참조하여 예를 들어 상세히 설명하였지만, 당업계에서 통상의 지식을 지난 자라면 다양한 변경과 수정을 가할 수 있음은 명백하다. 따라서, 그러한 변경과 수정이 본 발명의 사상으로 벗어나지 아니하는 한, 그러한 변경과 수정은 본 발명의 범위에 속하는 것이다.

Claims (13)

1. 기판의 상방에서 당해 기판의 표면을 향해 약액을 토출하기 위한 약액토출노즐에 있어서, 외부에서 공급된 약액을 소정의 위치로 인도하는 약액유로와, 상기 약액유로에 의해 인도된 약액을 상기 기판표면상에 토출하는 약액토출구멍과, 상기 기판에 근접하는 하단부에 형성되고, 그의 최하부의 형상이 점 또는 선에 의해 구성된 약액제거수단을 구비하는 약액토출노즐.
2. 제1항에 있어서, 상기 약액제거수단은 그의 최하부의 형상이 원형이고, 당해 원형의 원주에서 중심을 향해 상향으로 경사진 경사면을 가지고 있는 것은 특징으로 하는 약액토출노즐.
3. 제1항에 있어서, 상기 약액제거수단은 그의 최하부의 형상이 다각형이고, 당해 다각형의 각변에서 중심을 향해 동일하게 경사각도를 가지고 경사면을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 약액토출노즐.
4. 제1항에 있어서, 상기 약액제거수단은 그의 최하부의 형상이 점이고, 당해 점에서 주의를 향해 원호상으로 경사진 경사면을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 약액토출노즐.
5. 제1항에 있어서, 상기 약액토출구멍의 최하단은 상기 약액제거수단의 가장 바깥둘레부와 접하고 있는 것을 특징으로 하는 약액토출노즐.
6. 제1항에 있어서, 상기 약액유료에 의해 인도된 약액을 상기 약액토출구멍까지 인도하는 약액도출관을 더 구비하고, 상기 약액도출관은 상기 약액유로를 구성하는 통체의 측면에서 바깥을 향해 돌출하여 있고, 상기 약액토출구멍을 향해서 하방향으로 경사져있는 것을 특징으로 하는 약액토출노즐.
7. 제2항에 있어서, 상기 약액토출구멍의 최하단은 상기 약액제거수단의 가장 바깥둘레와 접하고 있는 것을 특징으로 하는 약액토출노즐.
8. 제2항에 있어서, 상기 약액유로에 의해 인도된 약액을 상기 약액토출 구멍까지 인도하는 약액도출관을 더 구비하고, 상기 약액도출관은 상기 약액유로를 구성하는 통체의 측면에서 바깥을 향해 돌출하여 있고, 상기 약액토출구멍을 향해서 하방향으로 경사진 것은 특징으로 하는 약액토출노즐.
9. 제3항에 있어서, 상기 약액토출구멍의 최하단은 상기 약액제거수단의 가장 바깥둘레부와 접하고 있는 것을 특징으로 하는 약액토출노즐.
10. 제3항에 있어서, 상기 약액유로에 의해 인도된 약액을 상기 약액토출구멍까지 인도하는 약액도출관을 더 구비하고, 상기 약액도출관은 상기 약액유로를 구성하는 통체의 측면에서 바깥을 향해 돌출하여 있고, 상기 약액토출구멍을 향해서 하방향으로 경사져있는 것을 특징으로 하는 약액토출노즐.
11. 제4항에 있어서, 상기 약액토출구멍의 최하단은 상기 약액제거수단의 가장 바깥둘레부와 접하고 있는 것을 특징으로 하는 약액토출노즐.
12. 제4항에 있어서, 상기 악액유로에 의해 인도된 약액을 상기 약액토출구멍까지 인도하는 약액도출관을 더 구비하고, 상기 약액도출관은 상기 약액유로를 구성하는 통체의 측면에서 바깥을 향해 돌출하여 있고, 상기 약액토출구멍을 향해서 하방향으로 경사져있는 것으로 특징으로 하는 약액토출노즐.
13. 외부에서 공급된 약액이 약액유로에 의해 소정의 위치로 인도되고, 상기 소정의 위치로 인도된 약액이 약액토출구멍에서 기판의 표면을 향해 토출되도록 한 약액토출노즐에 있어서, 상기 기판의 표면에서 튀어 되돌아와 외면상에 약액이 부착되었을 때 및/또는, 상기 약액토출구멍에서 외면상에 약액이 누출되었을 때, 상기 외면상의 약액은 당해 외면상을 타고 흘러 최하부에 도달하고, 상기 최하부에 도달된 약액은 당해 최하부와의 접촉면적이 작아짐으로써, 상기 기판의 표면상으로 이탈하는 약액토출노즐.