CN100415387C - 一种增大粉尘过滤功能的涂胶机 - Google Patents
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Abstract
本发明有关一种增大粉尘过滤功能的涂胶机，包括上、下两个杯盘及过滤网，上下两个杯盘上均有两个排气口，所述过滤网呈圆台形，且其设置于下杯盘开口之上。由于过滤网设置于上下杯盘之间，所以其面积可设置地较大，从而可以提高过滤网的过滤性能，使得过滤网的风速在规格值以上可以维持在24小时以上。
Description
技术领域
本发明属于芯片制造领域，具体是有关一种通过提高过滤网的面积来增大粉尘过滤功能的涂胶机。
背景技术
在芯片制造过程中，为了刻蚀的需要，经常会在硅片上根据刻蚀的形状涂抹光刻胶，所以涂胶机是一种经常使用的设备。然而，在使用过程中，光刻胶会产生大量的光刻胶粉尘，需要用过滤网将其过滤。由于涂胶机的产能较高，随之而产生的光刻胶粉尘就比较多。在过滤网上的粉尘过多时，其会自过滤网上脱落，如果落在硅片上，会极大影响硅片的品质。刚开始的涂胶机采用的是循环用气系统，进气经过过滤网后用于硅片的涂胶上，后通过涂胶机的底盘输出，经过空压机后重新输入进气管道中。因半导体产品的尺寸缩小带来的颗粒沾污要求变高，上述循环用气系统已经不能满足这个需要了。故改进后的涂胶机采用进气和排气相分离的系统，其进气为正常的洁净气体(也设置过滤网过滤)，而经过涂胶机后的气体排到废气管道处理。
现有的粉尘过滤网形状如图1所示，用于涂胶机的排气系统中，其为涂胶机具有上杯盘11、内杯盘12及下杯盘13，在下杯盘13的下方具有两个排气口131，一过滤网14罩在上述排气口131上。由于排气口131的直径较小，导致过滤网14本身就只能做的更小。随着过滤网14上粉尘的累积，过滤网14的排气功能会降低，从而各杯盘内的排气压力就会上升，杯盘内的风速就会减小，此时粉尘就会掉落在制品硅片上，影响制品的成品率。所以，为了保证制品不受影响，必须在12小时内更换一次粉尘过滤网14，增加了操作工的作业强度，降低了设备的使用效率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种增大粉尘过滤功能的涂胶机，其可以通过增加过滤网的面积来增大涂胶机过滤粉尘的功能。
本发明采用如下的技术方案：一种增大粉尘过滤功能的涂胶机，包括上、下两个杯盘及过滤网，所述下杯盘上有开口，其中所述过滤网设置于上下杯盘之间，所述过滤网一体设置呈圆台形，覆盖于下杯盘的开口上。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：由于过滤网设置于上下杯盘之间，所以其面积大幅增加，从而过滤网的过滤功能也大幅增加，因此涂胶机具有较强的过滤功能。
附图说明
图1为现有技术的一种涂胶机的结构示意图。
图2是本发明一种增大粉尘过滤功能的的涂胶机的结构示意图。
图3是本发明一种增大粉尘过滤功能的涂胶机的过滤网的结构正视图。
图4是本发明一种增大粉尘过滤功能的涂胶机的杯盘内涂胶机的粉尘与风速的关系图，其中横轴表示风速，单位为m/s，而纵轴表示粉尘数。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步描述。
请参阅图2及图3所示，本发明的增大粉尘过滤功能的涂胶机具有两个涂抹光刻胶的上杯盘21、下杯盘22，且在其之间还具有内杯盘23，一过滤网24设置于内杯盘23与下杯盘22之间，上述过滤网24呈圆台形构造。下杯盘22的下方左右两端具有排气口221，且于其顶部中间位置具有开口222。所述过滤网24罩于上述开口222上，且其上具有两个手把241，可以方便抓握，且在其侧部具有面积较大的过滤面242。
在TEL公司的2台MARK-8涂胶装置上，分别采用旧型号的粉尘过滤网及新型号的粉尘过滤网。随着时间的推移，其各自的风速发生了不同程度的变化。旧的粉尘过滤网在经过12小时的使用之后，其风速已接近于规格值5.6m/s，而新的粉尘过滤网在经过24小时的使用之后，其风速仍可达到6.0m/s以上。规格值5.6m/s被认为是粉尘会对制品有影响的警戒值，如图4所示，由于在24小时内可以维持在5.6m/s以上的风速，所以可以认为本发明的采用新型号的粉尘过滤网涂胶机可以满足我们对制品的要求，并可以有效延长使用寿命，提高设备的使用效率。
综上所述，本发明完成了发明人的发明目的，由于过滤网的有效工作面积大幅度增加，所以可以有效降低粉尘过滤网的交换频度，其交换频度从原来的2次/日降低到1次/日，提高了设备的持续使用效率。
Claims (5)
1. 一种增大粉尘过滤功能的涂胶机，包括上、下两个杯盘及过滤网，所述下杯盘上有开口，其特征在于：所述过滤网设置于上下杯盘之间，所述过滤网一体设置呈圆台形，覆盖于下杯盘的开口上。
2. 如权利要求1所述的增大粉尘过滤功能的涂胶机，其特征在于：所述下杯盘上有两个排气口。
3. 如权利要求1所述的增大粉尘过滤功能的涂胶机，其特征在于：所述上下杯盘之间还有一个内杯盘。
4. 如权利要求1所述的增大粉尘过滤功能的涂胶机，其特征在于：所述过滤网上具有过滤面。
5. 如权利要求1所述的增大粉尘过滤功能的涂胶机，其特征在于：所述过滤网上具有手把。
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Citations (4)
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|---|---|---|---|---|
| US5312487A (en) * | 1991-09-20 | 1994-05-17 | Tokyo Electron Kabushiki Kaisha | Coating apparatus |
| US20030003760A1 (en) * | 2001-06-27 | 2003-01-02 | Kim Sung-Il | Photoresist coating method and apparatus |
| US20030079679A1 (en) * | 2001-10-30 | 2003-05-01 | Toru Ikeda | Spin coater |
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Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5312487A (en) * | 1991-09-20 | 1994-05-17 | Tokyo Electron Kabushiki Kaisha | Coating apparatus |
| US20030003760A1 (en) * | 2001-06-27 | 2003-01-02 | Kim Sung-Il | Photoresist coating method and apparatus |
| US20030079679A1 (en) * | 2001-10-30 | 2003-05-01 | Toru Ikeda | Spin coater |
| CN1452233A (zh) * | 2002-04-15 | 2003-10-29 | 住友电气工业株式会社 | 用于半导体制造设备的工件保持架 |
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