KR930005252A - 박막 트랜지스터의 제조방법 - Google Patents
박막 트랜지스터의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2(A)∼(E)도는 이 발명에 따른 박막 트랜지스터의 제조공정도이다.
Claims (7)
- 박막 트랜지스터의 제조방법에 있어서, 소정기판상에 게이트전극 게이트절연막, 비정질 실리콘층, 확산층, 금속층을 순차적으로 형성하는 공정과, 상기 금속층의 상부에 감광막 패턴을 형성한후 상기 금속층의 노출된 부분을 식각하는 제1식각공정과, 상기 금속층과 확산층의 접합면에 생성된 금속 실리사이드층의 노출된 부분을 식각하는 제2식각공정과, 상기 확산층의 노출된 부분을 식각하는 제3식각과정과, 상기 식각되고 남은 잔유물 및 유기물을 제거한후 산화규소막을 형성하는 공정과, 상기 감광막 패턴을 제거하는 공정을 포함하는 박막 트랜지스터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 확산층을 n+형 실리콘을 형성하는 박막 트랜지스터의 제조방법.
- 제1항에 있어 서, 상기 제1, 제2 및 제3식각공정을 습식 또는 건식 식각 방법에 의해 행하는 박막 트랜지스터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1, 제2 및 제3식각공정을 각기 다른 식각방법으로 행하는 박막 트랜지스터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제2식각공정을 반응성 이온식각 방법으로 행하는 박막 트랜지스터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제3식각공정을 반응성 이온식각 방법으로 행하는 박막 트랜지스터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 식각되고 남은 잔유물 및 유기물 제거와 산화규소막 형성 공정을 산소 프라스마를 이용하여 행하는 박막 트랜지스터의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910014616A KR930005252A (ko) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 박막 트랜지스터의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910014616A KR930005252A (ko) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 박막 트랜지스터의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR930005252A true KR930005252A (ko) | 1993-03-23 |
Family
ID=67310115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019910014616A KR930005252A (ko) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 박막 트랜지스터의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR930005252A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100720433B1 (ko) * | 2000-08-30 | 2007-05-22 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 제조방법 |
-
1991
- 1991-08-23 KR KR1019910014616A patent/KR930005252A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100720433B1 (ko) * | 2000-08-30 | 2007-05-22 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 제조방법 |
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