KR920015430A - P/r을 이용한 차별 식각방법 - Google Patents
P/r을 이용한 차별 식각방법 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도의 (a)~(j)는 본 발명에 P/R을 이용한 차별 식각방법 공정도.
Claims (1)
- P/R을 이용한 식각방법에 있어서, P/R두께를 이용하여 P/R코팅을 하고, 소프트 베이크를 실행한 후 스테퍼의 포우즈를 맨위층(B)에 포우징하여 익스포즈시키고 노말 콘디션의 포스트 익스포즈 베이크를 한 후 두께가 1.7~1.9㎛내외가 되도록 디베로프를 실시하고, 노말 콘디션의 하디베이크를 하고, 산화막을 식각하기 위해 습식공정을 실시하고, epi를 식각하기 위해 RIE로 측면을 식각하여, P/R을 스트립하여 상부 0.9㎛만 식각되고, 그 이외의 부분은 원상태대로 남도록 식각하는 방법을 특징으로 하는 을 이용한 차별 식각방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910000467A KR920015430A (ko) | 1991-01-14 | 1991-01-14 | P/r을 이용한 차별 식각방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910000467A KR920015430A (ko) | 1991-01-14 | 1991-01-14 | P/r을 이용한 차별 식각방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920015430A true KR920015430A (ko) | 1992-08-26 |
Family
ID=67396473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019910000467A KR920015430A (ko) | 1991-01-14 | 1991-01-14 | P/r을 이용한 차별 식각방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR920015430A (ko) |
-
1991
- 1991-01-14 KR KR1019910000467A patent/KR920015430A/ko not_active Application Discontinuation
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