KR920010983A - 전기 광학 감지기 어레이 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

전기 광학 감지기 어레이
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 대한 인듐 안티몬 화합물 감지기 실시예의 측면도.

Claims (12)

  1. 유전체성의 기계적인지지 이면재와, 상기 이면재상에 반도체 다이오드 어레이와, 그 위에 투과하는 광학에너지에 의해 만들어진 전기적인 성질을 가지고 제1 및 제2의 다르게 도프된 영역을 분리하는 접합을 표함하는 상기 다이오드로 구성되는 전기 광학 감지기에 있어서, 이면재상에 놓여진 상기 제1 및 제2영역과 함께 감지된 광학에너지에 투명하고 감지된 광학에너지가 제2영역에 투과되기 전에 제1영역상에 투과되는 이면제를 통해서 전달하도록 배열되는 이면제와 인접한 다이오드 중 하나가 서로 떨어져서 상기 영역의 양면을 가지므로써 이면재상의 섬으로 구성되는 상기 다이오드를 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 감지기.
  2. 유전체성의 기계적인지지 이면재와, 상기 이면재상에 반도체 다이오드 어레이와, 그 위에 투과하는 광학에너지에 의해 만들어진 전기적인 성질을 가지고 제1 및 제2의 다르게 도프된 영역을 분리하는 접합을 포함하는 상기 다이오드로 이루어지는 전기 광학 감지기에 있어서, 이면재 상에 놓여진 상기 제1 및 제영역과 함께, 감지된 광학 에너지에 투명하고 감지된 광학에너지가 제2영역에 투과되기 전에 제1영역상에 투과되는 이면재를 통해서 전달하도록 배열되는 이면재를 구비하고, 제2영역은 박막 내부재료로 형성되고, 제1영역을 내부재료의 충돌로 구성되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 감지기.
  3. 유전체성의 기계적인 지지 이면재와, 상기 이면재 상에 InSb반도체 다이오드의 2차원 어레이와 P도프 및 N도프된 영역을 분히하는 접합을 포함하는 상기 다이오드로 이루어진 전기 광학 감지기에 있어서, 이면재 상에 놓여진 상기 제1 및 제2영역과 함께 감지된 광학에너지에 투명하고 N도프 영역에 투과되기 전에 P도프 영역상에 투과되는 이면재를 통해서 전달하도록 배열되는 이면재인 것을 특징으로 하는 전기 광학 감지기.
  4. 청구범위 제1항 내지 제3항의 어느 하나의 항에 있어서, 제1영역상에 투과된 광학에너지를 실제적으로 간섭하지 않도록 제1영역을 함께 전기적으로 접속하는 이면재를 마주보고 접해있는 금속전극을 더 구비하는 전기 광학 감지기.
  5. 청구범위 제4항에 있어서, 로 및 컬럼으로 배열되는 다이오드와 상호 수직방향으로 연장 교차하는 스트립의 그리드 혹은 감지된 광학 에너지가 제1영역상에서 투과 되도록 하기 우이한 창을 가지는 박막으로써 배열되는 금속전극으로 이루어진 전기 광학 감지기.
  6. 청구범위 1항 내지 5항의 어느 한항에 있어서, 제1영역은 다른 전하 캐리어의 실질적인 재결합없이 접합에 확산되는 제1영역에 흡수되는 광학 에너지에 의해 전하 캐리어가 생성되게 되는 두께를 가지는 재료로 만들어지는 것을 특징으로 하는 전기 광학 감지기.
  7. 청구범위 1항 혹은 3항 내지 6항에 있어서, 제2영역은 박막 내부재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 감지기.
  8. 청구범위 1항 내지 7항에 있어서, 제1영역은 가스 확산 내부재료 혹은 이온주입층으로서 형성되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 감지기.
  9. 청구범위 1항, 2항 혹은 제4항 내지 제8항에 있어서, 상기 다이오드는 InSb로 형성되고, 제1영역은 P형이고, 제2영역은 N형 내부재료인 것을 특징으로 하는 전기 광학 감지기.
  10. 청구범위 제1항 내지 제9항에 있어서, 이면재에 평행하게 연장되는 멀티 플렉서 집적 회로기판과 다이오드의 전기적인 성질의 선택적인 판독 용의 소자 어레이와 대응하는 하나의 소자와 다이오드가 접학하도록 거의 동일한 지형학적인 배열을 가지는 소자와 다이오드와 대응하는 정합된 소자와 다이오드를 접속하는 금속범프 어레이를 더 포함하는 전기 광학 감지기.
  11. 청구범위 제2항 내지 제10항에 있어서, 상기 다이오드는 이면재상의 섬으로 구성되어서 다이오드의 인접한 하나가 서로 간격진 양영역을 가지는 것을 특징으로 하는 전기 광학 감지기.
  12. 청구범위 제4항 내지 제10항에 종속된 11항 혹은 청구범위 제1항에 종속된 제4항에 있어서, 내부 반도체의 표면에 인접한 제2전도성형의 내부 반도체상에 P-N접합으로 형성되는 반도체 광학 다이오드 어레이와, 제1전도성형의 반도체 영역과 제2전도성형의 내부 반도체 사이에 있는 각 접합과, 제1전도성형의 반도체 영역부를 금속화 함으로써 형성되는 전극과, 광로가 이면재를 통해서 제1전도성형의 반도체 영역의 적어도 한 분절에 존재하도록 이면재에 제1전도성형의 반도체 영역을 부착하므로써 부착하으로써 이면재에 접합되는 어레이와, 반도체 영역이 이면재에 부착되는 동안에 내부기판의 두께를 감소하고 각 섬이 내부 반도체의 대응하는 영역과 접합과 제1전도성형 반도체 영역을 포함하도록 감소된 두께의 내부 기판을 에칭함으로써 형성되는 섬을 특징으로 하는 전기 광학 감지기.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
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