KR920007240A - 포토디텍터 제조방법 - Google Patents
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- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도(a)(b)는 본 발명에 따른 포토디텍터 제조 공정도
제3도(a)(b)는 포텐셜 상태도
Claims (1)
- P+/N/P 구조의 포토 디텍터를 갖는 CCD이 제조공정에 있어서, 도핑된 폴리를 디포지션한후 패터닝하고, 어넬링하여 P웰과 포토디텍터 표면상에 디퓨젼시켜 얕은 P+영역을 형성하는 것을 특징으로 하는 포토 디텍터 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900014508A KR940000260B1 (ko) | 1990-09-13 | 1990-09-13 | 포토디텍터 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900014508A KR940000260B1 (ko) | 1990-09-13 | 1990-09-13 | 포토디텍터 제조방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920007240A true KR920007240A (ko) | 1992-04-28 |
| KR940000260B1 KR940000260B1 (ko) | 1994-01-12 |
Family
ID=19303585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019900014508A KR940000260B1 (ko) | 1990-09-13 | 1990-09-13 | 포토디텍터 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR940000260B1 (ko) |
-
1990
- 1990-09-13 KR KR1019900014508A patent/KR940000260B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR940000260B1 (ko) | 1994-01-12 |
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