KR920001649A - 폴리에치 잉여물의 제거방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
Claims (1)
- 반도체 제조공정중 폴리에치에 있어서, 폴리에치공정 이전에 옥사이드 데스컴공정을 행하여 잉여폴리를 완전히 제거할 수 있도록 함을 특징으로 하는 폴리에치 잉여물의 제거방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900008524A KR920001649A (ko) | 1990-06-11 | 1990-06-11 | 폴리에치 잉여물의 제거방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900008524A KR920001649A (ko) | 1990-06-11 | 1990-06-11 | 폴리에치 잉여물의 제거방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920001649A true KR920001649A (ko) | 1992-01-30 |
Family
ID=67482818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019900008524A KR920001649A (ko) | 1990-06-11 | 1990-06-11 | 폴리에치 잉여물의 제거방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR920001649A (ko) |
-
1990
- 1990-06-11 KR KR1019900008524A patent/KR920001649A/ko not_active Application Discontinuation
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