KR920005369A - 리세트 게이트 제조방법 - Google Patents
리세트 게이트 제조방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR920005369A KR920005369A KR1019900012440A KR900012440A KR920005369A KR 920005369 A KR920005369 A KR 920005369A KR 1019900012440 A KR1019900012440 A KR 1019900012440A KR 900012440 A KR900012440 A KR 900012440A KR 920005369 A KR920005369 A KR 920005369A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- reset gate
- gate
- gate manufacturing
- oxide
- manufacturing
- Prior art date
Links
Landscapes
- Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도 (a)~(h)는 본 발명에 따른 리세트 게이트 제조 공정도.
Claims (1)
- 리세트 게이트 제조에 있어서, 게이트 부분에 유전체 물질(옥사이드/나이트 라이드/옥사이드)의 두께를 변화시켜 구성하여 계단형으로 층이지게 게이트 밑의 전위장벽을 형성하는 것을 특징으로 하는 리세트 게이트 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019900012440A KR920005369A (ko) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | 리세트 게이트 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019900012440A KR920005369A (ko) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | 리세트 게이트 제조방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR920005369A true KR920005369A (ko) | 1992-03-28 |
Family
ID=67542848
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019900012440A KR920005369A (ko) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | 리세트 게이트 제조방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR920005369A (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100358753B1 (ko) * | 1999-12-21 | 2002-11-09 | 대한민국 | 육제품의 산화방지용 방아풀 분말의 제조 방법 및 그에 의해 제조된 방아풀 분말 및 그 사용 방법 |
-
1990
- 1990-08-13 KR KR1019900012440A patent/KR920005369A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100358753B1 (ko) * | 1999-12-21 | 2002-11-09 | 대한민국 | 육제품의 산화방지용 방아풀 분말의 제조 방법 및 그에 의해 제조된 방아풀 분말 및 그 사용 방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR910001971A (ko) | 반도체 장치의 제조방법 | |
KR920007254A (ko) | 반도체장치 | |
KR900013605A (ko) | 반도체 기판상의 가용성 링크 제작방법 | |
KR910007159A (ko) | Mos형 반도체장치 | |
KR890007400A (ko) | 트렌치 에칭법 | |
KR920005369A (ko) | 리세트 게이트 제조방법 | |
KR910013463A (ko) | 반도체 소자의 개구형성방법 | |
KR910008853A (ko) | 반도체장치와 그 제조방법 | |
KR920001727A (ko) | 반도체 소자의 캐패시턴스 증가방법 | |
KR920001678A (ko) | 금속 배선의 알루미늄 산화막 형성 제조방법 | |
KR910010667A (ko) | 접속형성방법 | |
KR910010738A (ko) | 비정질실리콘 박막 트랜지스터 및 제조방법 | |
KR910010663A (ko) | 콘택 제조방법 | |
KR920001637A (ko) | Ldd 스페이서 제조방법 | |
KR930015084A (ko) | 박막 트랜지스터의 구조와 그 제조방법 | |
KR920007075A (ko) | 폴리 부하저항 제조방법 및 구조 | |
KR960019576A (ko) | 롬(rom)의 게이트절연막 형성방법 | |
KR910005473A (ko) | 바이폴라 리니어 ic의 제조방법 | |
KR910005389A (ko) | 삽입층 유전체 필름 및 오토-도핑 소오스 필름으로 bpsg/psg 필름을 이용한 제조방법 | |
KR900019196A (ko) | 2중포울리 플레이트를 이용한 스텍트 커패시터 제조방법 | |
KR920001649A (ko) | 폴리에치 잉여물의 제거방법 | |
KR920005346A (ko) | 베리드 콘택의 셀프 얼라인 제조방법 | |
KR910008040A (ko) | 장식용 폴리에스텔 필름의 제조방법 | |
KR920001758A (ko) | 이온주입을 이용한 커패시터 제조방법 | |
KR970024300A (ko) | 섀도우 마스크를 이용한 박막 트랜지스터 제조공정 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |