KR910005389A - 삽입층 유전체 필름 및 오토-도핑 소오스 필름으로 bpsg/psg 필름을 이용한 제조방법 - Google Patents
삽입층 유전체 필름 및 오토-도핑 소오스 필름으로 bpsg/psg 필름을 이용한 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 유전체 필름 및 오토 도핑 소오스 필름으로 PSG와 BPSG 필름을 사용한 반도체의 단면도.
제2도는 본 발명에 따른 그래프.
Claims (1)
- PSG+BPSG디포지션 단계로 온도를 상승시킨 상태에서 PSG 디포지션→BPSG 디포지션→BPSG 디포지션 완료→백필을 실시하고 PSG+BPSG플로우 단계로 온도를 930℃상승시켜 어닐과 백필을 행한 후 통상의 공정을 실시함을 특징으로 하는 삽입층 유전체 필름 및 오토-도핑 소오스 필름으로 BPSG/PSG필름을 이용한 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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KR910005389A true KR910005389A (ko) | 1991-03-30 |
KR920007334B1 KR920007334B1 (ko) | 1992-08-31 |
Family
ID=19289497
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KR1019890012568A KR920007334B1 (ko) | 1989-08-31 | 1989-08-31 | 삽입층 유전체 필름 및 오토-도핑 소오스 필름으로 bpsg/psg 필름을 이용한 제조방법 |
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KR (1) | KR920007334B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100399885B1 (ko) * | 1998-06-30 | 2003-12-24 | 주식회사 하이닉스반도체 | 플래시메모리소자제조방법 |
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1989
- 1989-08-31 KR KR1019890012568A patent/KR920007334B1/ko not_active IP Right Cessation
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR100399885B1 (ko) * | 1998-06-30 | 2003-12-24 | 주식회사 하이닉스반도체 | 플래시메모리소자제조방법 |
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Publication number | Publication date |
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KR920007334B1 (ko) | 1992-08-31 |
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