KR920008970A - Bgccd제조 방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도(A)∼(E)는 본 발명에 따른 BGCCD 제조 공정도.
Claims (1)
- CCD 제조방법에 있어서, 게이트 형성위치에 LOCOS 산화막을 형성한 후 제거하고, 제거된 LOCOS 산화막 위치에 게이트, 1,2와 폴리옥사이드 (3) 및 LTO/BPSG (5)를 형성한 다음 광차단층을 형성하여 수광부(1)와 전송부의 단차가 작아지도록한 BGCCD 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900016263A KR920008970A (ko) | 1990-10-13 | 1990-10-13 | Bgccd제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900016263A KR920008970A (ko) | 1990-10-13 | 1990-10-13 | Bgccd제조 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920008970A true KR920008970A (ko) | 1992-05-28 |
Family
ID=67739214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019900016263A KR920008970A (ko) | 1990-10-13 | 1990-10-13 | Bgccd제조 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR920008970A (ko) |
-
1990
- 1990-10-13 KR KR1019900016263A patent/KR920008970A/ko not_active Application Discontinuation
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