KR920001654A - 트랜치필드 옥사이드 제조방법 - Google Patents
트랜치필드 옥사이드 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도(A)~(D)는 본 발명에 따른 트랜치 필드 옥사이드 제조방법을 설명을 위한 구조 단면도.
Claims (1)
- 엑티브를 형성하여 트랜치를 형성한 다음 블로킹 옥사이드와 폴리를 차례로 증착한후 폴리를 도핑하고 RIE로 식각하며, 폴리가 열산화될때까지 옥사이드를 형성한 다음 나이트라이드를 제거하는 것을 특징으로 하는 트랜치 필드옥사이드 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900008549A KR920001654A (ko) | 1990-06-11 | 1990-06-11 | 트랜치필드 옥사이드 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900008549A KR920001654A (ko) | 1990-06-11 | 1990-06-11 | 트랜치필드 옥사이드 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920001654A true KR920001654A (ko) | 1992-01-30 |
Family
ID=67482403
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019900008549A KR920001654A (ko) | 1990-06-11 | 1990-06-11 | 트랜치필드 옥사이드 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR920001654A (ko) |
-
1990
- 1990-06-11 KR KR1019900008549A patent/KR920001654A/ko not_active Application Discontinuation
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