KR840001388A - 반도체 장치의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제17도는 본 발명의 방법으로서 얻은 반도체 웨이퍼의 실시예를 표시하는 일부단면도. 제18도는 제17도의 반도체 웨이퍼로서 얻어진 반도체 펠릿의 마운트 할 때의 일부확대 단면도.
Claims (2)
- 반도체 웨이퍼(2)의 펠릿(1) 사이에 형성한 메사 홈(12), (13)에 유리보호막(14)(15)을 피착하고, 그 유리 보호막의 표면(m1)(m2)을 에칭 등으로서 조면화하여 반도체 웨이퍼를 메사 홈에서 각 펠릿으로 분할하도록 한 것을 특징으로 하는 반도체장치의 제조방법.
- ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019820003476A KR840001388A (ko) | 1982-08-03 | 1982-08-03 | 반도체 장치의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR1019820003476A KR840001388A (ko) | 1982-08-03 | 1982-08-03 | 반도체 장치의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR840001388A true KR840001388A (ko) | 1984-04-30 |
Family
ID=55026043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019820003476A KR840001388A (ko) | 1982-08-03 | 1982-08-03 | 반도체 장치의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR840001388A (ko) |
-
1982
- 1982-08-03 KR KR1019820003476A patent/KR840001388A/ko unknown
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