KR920007121A - 열처리 장치 - Google Patents

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KR920007121A
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이노우에 아키라
도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤
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Abstract

내용 없음

Description

열처리 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는, 종형 CVD장치의 전체 개요를 나타내는 세로 단면 개요도,
제2도는, 종형 CVD장치의 웨이퍼 이송교환 섹션을 위에서 보아 나타내는 평면 개요도,
제3도 종형 CVD장치의 노내에 웨이퍼 보트를 로딩한 때를 나타내는 세로 단면도.

Claims (15)

  1. 보트(B)가, 한 장의 웨이퍼(W)를 각각 지지하는, 바깥면 테두리부의 일부가 상기 지지기둥(63)에 고정되는 웨이퍼 지지구(62)(79)(90)와, 이들의 웨이퍼 지지구(79)가 각 웨이퍼(W)사이의 소정의 간격으로 설치되는 내열성 재료의 여러 개의 지지기둥(63)과, 상기 웨이퍼(W)의 직경보다 내경이 큰 링 부재(70)(80)와, 상기 링 부재(70)(80)의 면보다 위로 튀어 나오게 설치되고, 상기 웨이퍼에 직접적으로 접촉하며, 이것을 지지하는 여러개의 내열성 재료의 지지편(71)(91)을 가지는 것을 포함하는 카셋트(4)와 보트(B)사이에서 반도체 웨이퍼(W)를 이송교환하고, 보트(B)에 수용된 상태의 여러개의 웨이퍼(W)를 열처리하는 열처리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 링 부재(70)(80)의 내경이 상기 웨이퍼(W)와 거의 같은, 또는 상기 웨이퍼의 직경보다 작은 웨이퍼 보트를 가지는 열처리장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 링부재(70)(80)의 안 쪽면의 형상은 웨이퍼 바깥면의 형상의 가깝고 웨이퍼의 오리엔테이션 플래트(O.F.)부에 대응하여 직선부(70a)(80a)가 형성되어 있는 웨이퍼 보트(W)를 가지는 열처리장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 링 부재(80)의 바깥면에도 직선부(70a)(80a)가 형성되어 있고, 이 바깥면이 직선부(80b)와 상기 안쪽면의 직선부(80a)(80b)가 평행인 웨이퍼(W)를 가지는 열처리 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 지지기둥(63)의 상호간격이, 웨이퍼의 삽입측의 다른 축보다 넓은 웨이퍼를 가지는 열처리장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 지지기둥(63)의 상호간격이 넓은 쪽에, 상기 링부재(70)(80)의 안쪽면의 직선부(70a)(80a)가 형성되어 있는 웨이퍼 보트를 가지는 열처리 장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 지지기둥(63)의 상호간격이 좁은 쪽에, 상기 지지기둥(63)을 보강하기 위한 보강리드(65)가 설치되어 있는 웨이퍼 보트를 가지는 열처리 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 돌기(64)가 지지기둥(63)의 각각에 소정의 간격으로 설치되고 이들 돌기(64)에 의해 상기 웨이퍼 지지구(62)(79)(90)가 지지되는 웨이퍼 보트를 가지는 열처리 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 지지편(71)이 상기 링 부재(70)(80)의 면상으로 돌출하는 기둥부재(71a)와 상기 기둥부재(71a)에서 보트(B)중심을 향하여 상기 링 부재(70)의 안쪽면 테두리보다 더 안쪽으로 연장되어 있는 판부재(71b)의 조합으로 되는 웨이퍼 보트를 가지는 열처리 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 지지편(91)이, 웨이퍼 재치부(91b)와, 이 웨이퍼 재치부(91b)를 지지하는 지지기둥부(91a)를 가지며, 이들 재치부(91b)와 지지기둥부(91a)가 일체로 형성되어 있는 웨이퍼 보트를 가지는 열처리 장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 지지편(91)이, 상기 링 부재(70)의 면상으로 등간격으로 배치되어 있는 웨이퍼 보트를 가지는 열처리 장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 지지편(91)이, 3개인 웨이퍼 보트를 가지는 열처리 장치.
  13. 제1항에 있어서, 상기 지지편(71)이, 3개 또는 4개인 웨이퍼 보트를 가지는 열처리 장치.
  14. 한장의 피지지체를 지지하는 적어도 3개의 지지구(62)(79)(90)와, 이들 지지구(62)(79)(90)가 각 피지지체 사이의 소정의 간격으로 설치되는 여러 개의 지지기둥(63)과, 상기 지지구(62)(79)(90)는 웨이퍼(W)의 직경보다 큰 외경을 가지는 상기 지지기둥(63)의 주변에 지지되는 링 부재(70)(80)와, 웨이퍼(W)에 직접 접속된 웨이퍼(W)를 지지하기 위하여 상기 링 부재(70)(80)에 제공되는 여러 개의 지지편(71)(91)을 포함하는 여러개의 웨이퍼(W) 를 장착하는 열저항 보트.
  15. 제14항에 있어서, 상기 링 부재(70)(80)의 내경이 상기 피지지체의 외형보다 작은 여러 개의 웨이퍼(W)를 장착하는 열저항 보트.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
KR1019910016828A 1990-09-26 1991-09-26 열처리 장치 KR0147356B1 (ko)

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