JP3034901B2 - ウエハボート - Google Patents
ウエハボートInfo
- Publication number
- JP3034901B2 JP3034901B2 JP2096566A JP9656690A JP3034901B2 JP 3034901 B2 JP3034901 B2 JP 3034901B2 JP 2096566 A JP2096566 A JP 2096566A JP 9656690 A JP9656690 A JP 9656690A JP 3034901 B2 JP3034901 B2 JP 3034901B2
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- Japan
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- wafer
- boat
- upper plate
- lower plate
- falling
- Prior art date
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、縦型拡散炉に用いるウエハボートに関す
るものである。
るものである。
従来の技術 縦型拡散炉が高集積ICの生産に広く用いられるように
なった。縦型拡散炉の設置スペースが横型拡散炉のそれ
に比べて小さいこと、チューブやボート等の容積も小さ
くて済み各種部材の軽量化及び低コスト化が図れるこ
と、又、例えば酸化工程に於いて酸化膜を均一に形成で
きること等がその理由である。
なった。縦型拡散炉の設置スペースが横型拡散炉のそれ
に比べて小さいこと、チューブやボート等の容積も小さ
くて済み各種部材の軽量化及び低コスト化が図れるこ
と、又、例えば酸化工程に於いて酸化膜を均一に形成で
きること等がその理由である。
従来の縦型拡散炉では、石英ガラス製のボートが主流
であった。しかし、石英ガラスは酸化・拡散工程におけ
る高温での耐熱性に問題があるため、最近はSi含浸SiC
製のものが多く使用されるようになってきた。
であった。しかし、石英ガラスは酸化・拡散工程におけ
る高温での耐熱性に問題があるため、最近はSi含浸SiC
製のものが多く使用されるようになってきた。
ウエハボートは一般に、上下２枚のプレートを、両端
をプレートに固定した数本の溝付き棒で構成される。溝
付き棒は、円形のウエハを横方向から挿入及び取出しが
できるように、半円状に配置される。ボートを横向きに
した状態でウエハを挿入することもある。
をプレートに固定した数本の溝付き棒で構成される。溝
付き棒は、円形のウエハを横方向から挿入及び取出しが
できるように、半円状に配置される。ボートを横向きに
した状態でウエハを挿入することもある。
ウエハをセットしたボートは、拡散炉の中に挿入され
るが、拡散炉の形式によって、上側から吊るして挿入す
る場合と、台にのせて下側から挿入する場合がある。酸
化膜を均一に生成するために、ボートを積載した台を回
転させる形式の拡散炉も用いられている。
るが、拡散炉の形式によって、上側から吊るして挿入す
る場合と、台にのせて下側から挿入する場合がある。酸
化膜を均一に生成するために、ボートを積載した台を回
転させる形式の拡散炉も用いられている。
縦型ボートは、特に６″以上の比較的大口径のウエハ
に使用する場合が多い。溝付き棒の溝の幅は、実際のウ
エハの厚さの２〜３倍に設定する場合が多い。これは、
大口径のウエハをセッティングする時に、衝撃でウエハ
の縁が掛けたり、無理な力が掛かってウエハが破損する
のを防止するためである。
に使用する場合が多い。溝付き棒の溝の幅は、実際のウ
エハの厚さの２〜３倍に設定する場合が多い。これは、
大口径のウエハをセッティングする時に、衝撃でウエハ
の縁が掛けたり、無理な力が掛かってウエハが破損する
のを防止するためである。
発明が解決しようとする課題 溝付き棒はウエハ円周の片側半分（180゜に相当す
る）に等間隔で配置されており、ウエハを確実に支持す
ることができない。特に回転処理を行う場合に、ウエハ
がズレ落ちて損傷する危険があった。
る）に等間隔で配置されており、ウエハを確実に支持す
ることができない。特に回転処理を行う場合に、ウエハ
がズレ落ちて損傷する危険があった。
最近はボートのウエハ収容能力が25枚から50枚、125
枚へと増加していることから、この種のズレによるウエ
ハの損傷は大きな問題であった。しかし、従来のウエハ
ボートでは、ウエハセッティング時に確実にウエハを保
持することは不可能であった。
枚へと増加していることから、この種のズレによるウエ
ハの損傷は大きな問題であった。しかし、従来のウエハ
ボートでは、ウエハセッティング時に確実にウエハを保
持することは不可能であった。
前述した従来技術の問題点に鑑み、本発明は回転処理
や運搬の際にもウエハがズレ落ちることがないウエハボ
ートを提供することを目的としている。
や運搬の際にもウエハがズレ落ちることがないウエハボ
ートを提供することを目的としている。
課題を解決するための手段 本発明は、縦型拡散炉に用いるウエハボートにおい
て、上方プレートと、下方プレートと、これらの上方プ
レート及び下方プレートに両端が固定されていて、ウエ
ハを支持するための多数の溝が形成された複数のウエハ
支持部材と、上方プレートと下方プレートの双方に形成
された穴、又は、上方プレートに形成された穴と下方プ
レートに形成された凹所を介して上方プレートと下方プ
レートに着脱可能に設けられた棒状又はパイプ状のウエ
ハ脱落防止部材から成り、上方プレート、下方プレー
ト、ウエハ支持部材及びウエハ脱落防止部材がいずれも
Si含浸SiCで形成されており、脱落防止部材にウエハ支
持溝が設けられていないことを特徴とするウエハボート
を要旨としている。
て、上方プレートと、下方プレートと、これらの上方プ
レート及び下方プレートに両端が固定されていて、ウエ
ハを支持するための多数の溝が形成された複数のウエハ
支持部材と、上方プレートと下方プレートの双方に形成
された穴、又は、上方プレートに形成された穴と下方プ
レートに形成された凹所を介して上方プレートと下方プ
レートに着脱可能に設けられた棒状又はパイプ状のウエ
ハ脱落防止部材から成り、上方プレート、下方プレー
ト、ウエハ支持部材及びウエハ脱落防止部材がいずれも
Si含浸SiCで形成されており、脱落防止部材にウエハ支
持溝が設けられていないことを特徴とするウエハボート
を要旨としている。
発明の実施の形態 本発明の縦型拡散用のウエハボートの主な特徴は、ウ
エハボート本体にウエハ脱落防止部材を着脱可能に設け
たことである。
エハボート本体にウエハ脱落防止部材を着脱可能に設け
たことである。
ウエハボート本体は、ウエハ挿入溝を有する棒状のウ
エハ支持部材と、その両端に配置した２枚のプレート
（すなわち上方プレートと下方プレート）から構成され
る。ウエハボート本体はSi含浸SiCで構成するのが望ま
しい。
エハ支持部材と、その両端に配置した２枚のプレート
（すなわち上方プレートと下方プレート）から構成され
る。ウエハボート本体はSi含浸SiCで構成するのが望ま
しい。
ウエハ脱落防止部材は、ウエハの挿入及び取出し時に
はウエハボート本体から取外し、ボートを移動したり拡
散炉で処理する時には本体に取付けてウエハの脱落を防
止する構成にする。
はウエハボート本体から取外し、ボートを移動したり拡
散炉で処理する時には本体に取付けてウエハの脱落を防
止する構成にする。
ウエハ脱落防止部材は、棒状又はパイプ状に構成する
ことが望ましい。その材質は、Si含浸SiCを用いる。
ことが望ましい。その材質は、Si含浸SiCを用いる。
ウエハ脱落防止部材は、半円状に等間隔で配置された
ウエハ支持部材に対向する位置に配置するのが好まし
い。
ウエハ支持部材に対向する位置に配置するのが好まし
い。
ウエハ脱落防止部材によって、運搬時や拡散処理時に
ウエハがボートから脱落することを完全に防止すること
ができる。
ウエハがボートから脱落することを完全に防止すること
ができる。
実 施 例 以下、図面を参照して、本発明の実施例を説明する。
第１図に示した縦型拡散用のウエハボート10はウエハ
ボート本体11と、着脱可能なウエハ脱落防止部材12から
構成されている。
ボート本体11と、着脱可能なウエハ脱落防止部材12から
構成されている。
ウエハボート本体11は上方プレート13、下方プレート
14、及び４本のウエハ支持部材15から構成される。本体
11及びプレート13、14はいずれもSi含浸SiC質で構成さ
れている。プレート13,14と支持部材15は固定してもよ
いし、上方プレート13のみ着脱可能にしてもよい。ウエ
ハ支持部材15の側面には多数の溝15aが形成してある。
この溝15aでウエハを支持する。溝15aの幅はウエハの厚
さより大きめに設定してある。ウエハ支持部材15は第１
図に示すように、ウエハ９の周辺で半円状に等間隔で配
置してある。従って、ウエハ脱落防止部材12を取外せ
ば、ウエハは横方向から挿入及び取出し可能となる。
14、及び４本のウエハ支持部材15から構成される。本体
11及びプレート13、14はいずれもSi含浸SiC質で構成さ
れている。プレート13,14と支持部材15は固定してもよ
いし、上方プレート13のみ着脱可能にしてもよい。ウエ
ハ支持部材15の側面には多数の溝15aが形成してある。
この溝15aでウエハを支持する。溝15aの幅はウエハの厚
さより大きめに設定してある。ウエハ支持部材15は第１
図に示すように、ウエハ９の周辺で半円状に等間隔で配
置してある。従って、ウエハ脱落防止部材12を取外せ
ば、ウエハは横方向から挿入及び取出し可能となる。
プレート13,14には、脱落防止部材12を収容するため
の貫通穴17,16が形成してある。
の貫通穴17,16が形成してある。
脱落防止部材12は、第１図の仮想線で示したように上
方向に取出し可能である。脱落防止部材12は、大径の頭
部12aを有する長細円柱形状をしている。この例ではウ
エハ支持溝は設けず、円柱側面がウエハに当接して脱落
を防止する構成になっている。材質はウエハボート本体
11と同じくSi含浸SiC質である。脱落防止部材12は、半
円状に等間隔で配置された支持部材15の対向位置に設け
るようにする。
方向に取出し可能である。脱落防止部材12は、大径の頭
部12aを有する長細円柱形状をしている。この例ではウ
エハ支持溝は設けず、円柱側面がウエハに当接して脱落
を防止する構成になっている。材質はウエハボート本体
11と同じくSi含浸SiC質である。脱落防止部材12は、半
円状に等間隔で配置された支持部材15の対向位置に設け
るようにする。
参考例 次に、第２図を参照して、本発明の範囲に入らない参
考例を簡単に説明する。
考例を簡単に説明する。
第２図に示したウエハ脱落防止部材22は全体的に楕円
形状をしていて、側面には多数のウエハ支持溝22cが設
けてある。上端と下端には円柱部22a,22bが設けてあ
る。
形状をしていて、側面には多数のウエハ支持溝22cが設
けてある。上端と下端には円柱部22a,22bが設けてあ
る。
上方プレート23には、脱落防止部材22を通すための楕
円状の貫通穴27が形成してある。下方プレート24には凹
所26が設けてあり、そこで脱落防止部材22を支える構成
になっている。
円状の貫通穴27が形成してある。下方プレート24には凹
所26が設けてあり、そこで脱落防止部材22を支える構成
になっている。
脱落防止部材22は、上方プレート23の上方から貫通穴
27内に挿入し、下方（矢印Ａ方向）に移動させる。下端
部22bが下方プレートの凹所26に達したら矢印Ｂ方向に
脱落防止部材22を回転させて、ウエハ円周部を溝22c内
に収容する。
27内に挿入し、下方（矢印Ａ方向）に移動させる。下端
部22bが下方プレートの凹所26に達したら矢印Ｂ方向に
脱落防止部材22を回転させて、ウエハ円周部を溝22c内
に収容する。
次に、第３図を参照して、本発明の範囲に入らない別
の参考例を簡単に説明する。
の参考例を簡単に説明する。
第３図に示したウエハ脱落防止部材32は角柱状であっ
て、側面にウエハ支持溝32aが設けてある。上方プレー
トには、くの字形の切欠き37が形成してある。下方プレ
ートには同じようにくの字形の凹所36が形成してある。
脱落防止部材32は、横方向からウエハボート本体に挿入
し、切欠き37と凹所36に沿ってくの字形に平行に移動さ
せる構成になっている。なお、必要に応じて脱落防止部
材32を固定するための治具（図示せず）を切欠き37や凹
所36に設置する。
て、側面にウエハ支持溝32aが設けてある。上方プレー
トには、くの字形の切欠き37が形成してある。下方プレ
ートには同じようにくの字形の凹所36が形成してある。
脱落防止部材32は、横方向からウエハボート本体に挿入
し、切欠き37と凹所36に沿ってくの字形に平行に移動さ
せる構成になっている。なお、必要に応じて脱落防止部
材32を固定するための治具（図示せず）を切欠き37や凹
所36に設置する。
比較実験 第１図に示したタイプの本発明によるウエハボート
と、従来のウエハボート（脱落防止部材なし）を使用し
て、比較実験を行い、その結果を第１表に示した。比較
実験では、６″ウエハ125枚をそれぞれのウエハボート
にセットしてボートを炉内に移動し、炉内で回転処理を
行うサイクルを５回繰り返し行って、ウエハに機械的欠
陥が発生した割合を調べた。第１表より、本発明のウエ
ハボートを使用すれば脱落による機械的欠陥を減らすこ
とができることが明らかになった。
と、従来のウエハボート（脱落防止部材なし）を使用し
て、比較実験を行い、その結果を第１表に示した。比較
実験では、６″ウエハ125枚をそれぞれのウエハボート
にセットしてボートを炉内に移動し、炉内で回転処理を
行うサイクルを５回繰り返し行って、ウエハに機械的欠
陥が発生した割合を調べた。第１表より、本発明のウエ
ハボートを使用すれば脱落による機械的欠陥を減らすこ
とができることが明らかになった。
なお、本発明は前述の実施例に限定されない。例え
ば、ウエハ脱落防止部材はパイプ状であってもよい。
ば、ウエハ脱落防止部材はパイプ状であってもよい。
発明の効果 本発明のウエハボートに、例えばSiウエハをセットし
て縦型拡散炉で処理を行えば、回転及び振動によるウエ
ハの脱落を完全に防止でき、歩留を向上できる。
て縦型拡散炉で処理を行えば、回転及び振動によるウエ
ハの脱落を完全に防止でき、歩留を向上できる。
第１図は本発明による縦型拡散炉用のウエハボートの実
施例を示す斜視図、第２図は本発明の範囲に入らない参
考例の一部を示す概略斜視図、第３図はさらに本発明の
範囲に入らない参考例の一部を示す概略斜視図である。 ９……ウエハ 10……ウエハボート 11……ウエハボート本体 12,22,32……ウエハ脱落防止部材
施例を示す斜視図、第２図は本発明の範囲に入らない参
考例の一部を示す概略斜視図、第３図はさらに本発明の
範囲に入らない参考例の一部を示す概略斜視図である。 ９……ウエハ 10……ウエハボート 11……ウエハボート本体 12,22,32……ウエハ脱落防止部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−228125（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−229932（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−178519（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/22 H01L 21/68
Claims (1)
- 【請求項１】縦型拡散炉に用いるウエハボートにおい
て、上方プレートと、下方プレートと、これらの上方プ
レート及び下方プレートに両端が固定されていて、ウエ
ハを支持するための多数の溝が形成された複数のウエハ
支持部材と、上方プレートと下方プレートの双方に形成
された穴、又は、上方プレートに形成された穴と下方プ
レートに形成された凹所を介して上方プレートと下方プ
レートに着脱可能に設けられた棒状又はパイプ状のウエ
ハ脱落防止部材から成り、上方プレート、下方プレー
ト、ウエハ支持部材及びウエハ脱落防止部材がいずれも
Si含浸SiCで形成されており、脱落防止部材にウエハ支
持溝が設けられていないことを特徴とするウエハボー
ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2096566A JP3034901B2 (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | ウエハボート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2096566A JP3034901B2 (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | ウエハボート |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03295227A JPH03295227A (ja) | 1991-12-26 |
| JP3034901B2 true JP3034901B2 (ja) | 2000-04-17 |
Family
ID=14168575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2096566A Expired - Fee Related JP3034901B2 (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | ウエハボート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3034901B2 (ja) |
-
1990
- 1990-04-13 JP JP2096566A patent/JP3034901B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03295227A (ja) | 1991-12-26 |
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