KR910019298A - 매립형 이종구조(buried heterostructure) 레이저 다이오드 제조방법 - Google Patents
매립형 이종구조(buried heterostructure) 레이저 다이오드 제조방법 Download PDFInfo
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- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 매립형 이종구조 레이저 다이오드의 구조도, 제 2 도는 이종구조 레이저 다이오드의 구조도, 제 3 도는 CVD 방법으로 형성한 SiO2의 형성 온도 변화에 따른 0.2% 브롬-메탄을 에칭후의 단면도.
Claims (1)
- 기판상에 활성층(3), 클래드층(4), 캡층(5)을 역메사(reverse mesa)형으로 형성하고 그 측면에 전류차단층(9)을 형성한 구조로 된 매립형 이종구조 레이저 다이오드의 제조방법에 있어서, 기판상에 활성층(3), 클래드층(4), 캡층(5), 및 InP층(6)으로 성장시킨 웨이퍼의 InP층(6)상에 역메사 에칭 마스크로 사용되는 SiO2층(8)을 350℃이하의 온도에서 형성하는 SiO2층 형성공정과, 상기 SiO2층(8)을 마스크로하여 상기 활성층(3), 클래드층(4), 캡층(5) 및 InP(6)을 역메사형으로 에칭시 기판의 온도를 350℃이하로 하여 일정한 언더컷트(undercut)가 형성되도록 하는 에칭 공정에 의해 재현성있는 역메사 구조를 형성하는 것을 특징으로 하는 매립형 이종구조 레이저 다이오드 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900005909A KR920008891B1 (ko) | 1990-04-26 | 1990-04-26 | 매립형 이종구조(buried heterostructure)레이저 다이오드 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900005909A KR920008891B1 (ko) | 1990-04-26 | 1990-04-26 | 매립형 이종구조(buried heterostructure)레이저 다이오드 제조방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR910019298A true KR910019298A (ko) | 1991-11-30 |
| KR920008891B1 KR920008891B1 (ko) | 1992-10-10 |
Family
ID=19298411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019900005909A KR920008891B1 (ko) | 1990-04-26 | 1990-04-26 | 매립형 이종구조(buried heterostructure)레이저 다이오드 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR920008891B1 (ko) |
-
1990
- 1990-04-26 KR KR1019900005909A patent/KR920008891B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR920008891B1 (ko) | 1992-10-10 |
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