KR910001905A - 에멀젼마스크 등의 결함 수정방법 및 장치 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제8도는 본원 발명의 방법에 의한 백결함부의 수정작업의 준비를 도시한 플로챠트.
제9A도 내지 제9D 도는 제8도의 순서에 대응하는 에멀젼마스크의 모식 사시도.
제10도는 수정전의 에멀젼마스크의 모식 사시도.
Claims (31)
- 결함부(D)와 같은 형상으로 결함부에 자외광(2)을 조사하고, 조사된 결함부를 제거하는 스탭으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정방법.
- 제1항에 있어서, 개공형성부(5)의 개공(5x)을 통하여 자외광(2)을 통과시켜 결함부(D)의 단면형상으로 광을 형성시키는 스텝을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정방법.
- 제2항에 있어서, 자외광을 조사하기 전에 개공(5x)을 통해 참조광을 통과시켜 에멀젼층(14)에 참조광을 투영하여 에멀젼층의 개공의 상을 형성시키고, 개공의 상이 결함부(D)와 맞도록 개공(5xx)의형상을 조정하는 스텝을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결합 수정방법.
- 제3항에 있어서, 관찰렌즈(11,11′)와 하프미러(10,10′)로 이루어진 관찰광학계를 통해 개공(5x)의 상을 관찰하는 스텝을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정방법.
- 제2항에 있어서, 광이 개공(5x)을 통과하기 전에 빔익스팬터(3)로 자외광을 확대시키는 스텝을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결합 수정방법.
- 제2항에 있어서, 개공(5x)을 통과한 자외광(2)을 출소 투영 하는 스텝을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정방법.
- 제1항에 있어서, 상기 자외광은 엑시머레이저발진기(1)에서 발생된 레이저빔(2)인 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정방법.
- 제1항에 있어서, 상기 자외광은 YAG레이저에서 발생된 레이저빔(2)인 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크등의 에멀젼층의 결함 수정방법.
- 제1항에 있어서, 제거된 결함의 입자가 에멀젼층에 다시 부착되지 않도록 상기 에멀젼마스크(7)는 그 에멀젼층(14)이 하향으로 위치하고, 상기 자외광은 하면으로부터 상기 결함부(D)에 조사되는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정방법.
- 제1항에 있어서, 자외광을 조사하기 전에 인접영역을 결함부(C)에 약 점착성 수지의 보호막층(17)를 도포하여 결함부를 파괴하고, 결함부를 더퍼고 있는 약 점착성 수지의 부분과 함께 결함부를 제거하여, 제거부(18)를 형성하고, 제거부(18)내에 차광성 안료를 도포하고, 제거부내에 도포된 차광성 안료는 채워 두고 약 점착성 수지를 박리하는 스텝을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정방법.
- 제10항에 있어서, 상기 차광성 안료(19)는 점착성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정방법.
- 제1항에 있어서, 결함부에 에어를 분사하여, 분사중에 결함부(D)를 파괴시키고, 파괴된 결함 입자를 날려 보내는 스텝을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정방법.
- 제1항에 있어서, 결함부(D)가 있는 위치에서 에어를 흡인하여 파괴된 결함을 제거하는 스텝을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정방법.
- 제2항에 있어서, 개공(5x)으로부터 직접 개공의 형상을 검지하고, 검지한 개공(5x)의 형상에 대응하는 헤어라인화상을 형성하고, 결함부의 상을 에멀젼층에 인화하여, 상기 헤어라인 화상과 결함부의 화상을 모니터스크린(42)에 합성하는 스텝을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정방법.
- 제2항에 있어서, 상기 자외광은 레이저빔(2)이며, 에멀젼층(14)을 손상시키지 않고 개공을 통하여 에멀젼층에 저에너지의 출력으로 먼저 조사하고, 이에 따라 에멀젼층에서 개공의 형상을 볼 수 있도록 형광을 유도하고, 결함부가 개공의 형상과 위치가 맞도록 상기 에멀젼마스크(7)를 이동시킨 다음, 개공을 조정하여 자외광을 조사하여 결함부를 파괴하는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정방법.
- 자외광(2)을 발생하는 자외광원(1)과, 개공의 형상에 맞추어 자외광을 통과시키는 개공(5x)을 갖는 개공 형성부(5)와, 자외광을 에멀젼층(14)에 투영하여 결함부(D)를 제거하기 위해 결함부에 개공의 상을 형성시키는 렌즈(6)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정방법.
- 제16항에 있어서, 상기 자외광원은 레이저발진기(1)인 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치.
- 제17항에 있어서, 상기 레이저발진기(1)는 엑시머레이지 발진기인 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치.
- 제17항에 있어서, 상기 레이저발진기(1)는 YAG레이저인 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치.
- 제17항에 있어서, 레이저빔이 개공부(5,5x)를 통과하기 전에 레이저빔(2)을 확대시키는 빔익스팬더(3)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치.
- 제16항에 있어서, 자외광을 투영하는 렌즈는 결상렌즈(6)인 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치.
- 제16항에 있어서, 결함부를 관찰하는 관찰렌즈(30)와, 모니터 스크린(42)의 관찰렌즈를 통과하는 결함부의 상을 표시하는 텔레비젼카메라(31)를 더 포함하며, 상기 관찰렌즈와 상기 카메라는 상기 렌즈(6)와 측상에서 에멀젼마스크(7)에 대해서 에멀젼층(14)과 반대편에 배설되어 에멀젼층에 자외광을 투영하는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치.
- 제16항에 있어서, 상기 개공형성부(5)는 상호간에 겹쳐서 배설되는 복수개의 블레이드(5a,5b,5c,5d)를 구비하며, 각 블레이드의 에지에 의해 개공(5x)를 형성하고, 상기 블레이드는 개공의 형상을 변화시키도록 위치조정이 가능한 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치.
- 제23항에 있어서, 상기 블레이드(5a,5b,5c,5d)는 전진 후진동작 및 회전동작이 가능하도록 지지되는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치.
- 제23항에 있어서, 상기 블레이드(5a,5b,5c,5d)의 에지는 직선형상인 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크등의 에멀젼층의 결함 수정장치.
- 제23항에 있어서, 블레이드의 에지의 일부(5a′,5b′)는 개공이 원호형 윤곽을 이루도록 상호 작용하는 반원형 절결(35)과 반원형 돌기(36)를 갖는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치.
- 제16항에 있어서, 상기 개공형성부는 회전가능한 개공테이블 (50)과, 이 테이블에 배설되어 투과광부(60,61)를 갖는 제1개공블레이드(51)와, 제1개공블레이드에 겹쳐서 배설되고, 차광부(63,64) 및 투과광부(62)를 갖는 제2개공블레이드(52)와, 각 개공블레이드가 상호 이동가능하도록 하는 위치조정기구(53-56)로 이루어진 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치.
- 제16항에 있어서, 에멀젼층(14)에 형성된 상을 관찰하는 광학계(10,11,10',11',30,31)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치.
- 제16항에 있어서, 결함부에 맞추어진 개공(5x)의 위치를 검지하는 위치검지기(43)와, 상기 위치검지기(43)에 대응하여 상기 개공 형상에 따라 헤어라인화상을 형성하는 헤어라인화상발생기(44)와, 에멀젼층(14)의 결함부(D)를 관찰하여 결함부의 영상신호를 발생하는 텔레비젼카메라(31)와, 상기 헤어라인화상과 상기 영상신호를 합성하여 모니터스크린(42)에 함께 표시하도록 하는 수퍼임포저(45)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치.
- 제16항에 있어서, 에어를 분사하여 파괴된 결함 입자를 날려 버리는 에어분사노즐(32)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치.
- 제16항에 있어서, 파괴된 결함 입자를 흡인하여 제거하는 에어흡인노즐(33)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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