KR900013316A - 기판 검사 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

기판 검사 장치 및 방법.
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따라 제1모드에서 시스템의 동작을 표시하는 회로 기판 검사 시스템의 개략적인 도시도,
제2도는 제1도의 회로 기판상에서 수동 및 능동 표면 장착된 소자의 확대된 측면도,
제3도는 제2모드로 시스템의 동작을 표시하는 제1도의 회로 기판 검사 시스탬의 개략적인 도시도.

Claims (7)

  1. 전기적 전도 부재 갖는 제1형태(12)의 소자중 최소한 하나와 제2형태(14)의 소자중 최소한 하나를 기판상에 배치하여, 상기 각각의 전도부재(18, 20)가 상기 기판상의 대용 금속 영역과 일치시키는 단계와, 상기 제1 및 제2형태의 소자를 기판에 부착시키는 단계와, 상기 소자의 전도부재를 기판에 납땜시키는 단계를 구비하는 기판제조 방법에 있어서, 납땜 단계 이전에, 제1 및 제2형태의 소자가 누락 또는 잘못 배열되었는지를 검출하기 위하여 기판을 검사하는 방법은: (a) 광이 기판의 표면에 거의 수직으로 기판을 조사하여 제1형태 소자의 전도부재의 영상을 향상시키기 위하여 기판(10)표면에 광을 향하도록 하여 기판을 상부 광으로 비추는 단계와, (b) 선주사 카메라를 사용하여 기판의 표면을 진행하는 얇은 스트립 영역의 영상을 포착하는 단계와(C)카메라가 기판을 가로지르는 표면 영역의 연속적인 스트립 영상을 포착하도록 기판과 선주사 카메라 사이에 상대이동을 전달하는 단계와 (d) 제1형태의 소자가 누락 또는 잘못 배열되었는지를 결정하는 연속 처리를 위하여 포착된 영상을 기억시키는 단계와 (e) 제2형태의 소자에서 전도 부재의 영상을 향상시키기 위해 표면에 대하여 비스듬한 각도로 광이 기판을 향하도록 측면 광으로 기판을 비추는 단계와 (f) 카메라가 기판을 진행하는 표면 영역의 연속적인 스트립 영상을 포착하도록 기판과 선주사 카메라 사이에 상대 이동을 전달하는 단계와(g)제2형태의 소자가 누락 또는 잘못 배열되었는지를 결정하는 연속 처리를 위하여 포착된 영상을 기억시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법.
  2. 제1항에 있어서, 기억된 영상은, 처음에 각 소자에서 전도 부재의 실제 위치를 결정하고, 전도 부재의 예정된 위치와 실제 위치를 비교함으로써 처리되는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법.
  3. 제1 및 제2형태의 소자가 누락 또는 잘못 배열되었는지를 검출하기 위하여, 전기적으로 전도부재(18,20)를 가지며, 제1형태(12)의 소자 및 제2형태(14)의 소자의 최소한 하나를 운반시키는 기판 검사 방법에 있어서, (a) 광이 기판의 표면에 거의 수직으로 기판을 조사하여 제1형태 소자의 전도부재의 영상을 향상시키기 위하여 기판(10)표면에 광을 향하도록 하여 기판을 상부 광으로 비추는 단계와, (b) 선주사 카메라를 사용하여 기판의 표면을 진행하는 얇은 스트립 영역의 영상을 포착하는 단계와(C)카메라가 기판을 가로지르는 표면 영역의 연속적인 스트립 영상을 포착하도록 기판과 선주사 카메라 사이에 상대 이동을 전달하는 단계와 (d) 제1형태의 소자가 누락 또는 잘못 배열되었는지를 결정하는 연속 처리를 위하여 포착된 영상을 기억시키는 단계와 (e) 제2형태의 소자에서 전도 부재의 영상을 향상시키기 위해 표면에 대하여 비스듬한 각도로 광이 기판을 향하도록 측면 광으로 기판을 비추는 단계와 (f) 카메라가 기판을 진행하는 표면 영역의 연속적인 스트립 영상을 포착하도록 기판과 선주사 카메라 사이에 상대 이동을 전달하는 단계와 (g)제2형태의 소자가 누락 또는 잘못 배열되었는지를 결정하는 연속 처리를 위하여 포착된 영상을 기억시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법.
  4. 제3항에 있어서, 기억된 영상은, 처음에 각 소자에서 전도 부재의 실제 위치를 결정하고 전도 부재의 예정된 위치와 실제 위치와 비교함으로써 처리되는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법.
  5. 제1 및 제2형태의 소자가 누락 또는 잘못배열되었는지를 결정하기 위하여 기판 표면상에 금속화된 영역과 일치되어 전도부재(18,20)를 가지며, 제1형태 및 제2형태(12,14)의 소자의 최소한 하나를 이동시키는 기판(10)검사 장치(22)에 있어서, 기판을 이동시키는 제1축을 따라 반대 방향으로 이동가능한 지지부(24)와, 지지부가 제1축을 따라 이동할때 제1축에 수직 방향으로 기판 표면을 가로지르는 표면 영역의 연속적인 스트립 영상을 포착하도록 기판 상부에 위치되는 선주사 카메라(28)와, 제1형태의 소자에서 전도 부재의 영상을 향상시키도록 기판에 상부광이 비추는 평면에 수직인 기판 표면을 광이 비추기 위하여 광이 직접 기판에 향하는 제1수단(34)과, 제2형태의 소자에서 전도 부재의 영상을 향상시키도록 측면 광이 기판을 비추는 비스듬한 각도로 기판표면을 광이 비추기 위하여 광이 기판에 직접 향하는 제2수단(36)과, 제1 및 제2형태의 소자가 누락 또는 잘못 배열되었는지를 검출하기 위해 카메라에 의해 포착된 영상을 기억 및 처리하는 선주사 카메라에 접속된 영상-처리 시스템(33)과, 영상처리 시스템에 응답하여 기판이 연속적으로 상부 및 측면광에 의해 비추어지도록 광방향 수단중 분리 수단을 선택적으로 동작하는 수단(45)을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  6. 제5항에 있어서, 제1광-방향 수단(34)은 영상이 선주사 카메라에 의해 포착되는 표면 영역 스트립의 반대면에 위치되는 제1쌍의 광원(38)을 구비하며, 각 제1광원은 영상이 선주사 카메라에 의해 포착되는 영역 스트립을 비추도록 평면에 수직인 기판 표면으로 광이 직접 향하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  7. 제5항에 있어서, 제2광-방향수단(36)은 영상이 선주사 카메라에 의해 포착되는 표면 영역 스트립의 반대면에 위치되는 제2쌍의 광원(41)을 구비하며, 각 제2광원은 영상이 선주사 카메라에 의해 포착되는 영역의 스트립을 비추는 각도로 광이 기판 표면을 향하여 비추는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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