JPH0228546A - 電子部品のリード検査装置 - Google Patents
電子部品のリード検査装置Info
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- JPH0228546A JPH0228546A JP63179581A JP17958188A JPH0228546A JP H0228546 A JPH0228546 A JP H0228546A JP 63179581 A JP63179581 A JP 63179581A JP 17958188 A JP17958188 A JP 17958188A JP H0228546 A JPH0228546 A JP H0228546A
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 6
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95684—Patterns showing highly reflecting parts, e.g. metallic elements
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、電子部品のリード曲がり等を検査するリード
検査装置に関するものである。
検査装置に関するものである。
従来の技術
従来、たとえば半導体装置の外部リードの曲がりを認識
する場合、第３図に示すような検査装置が用いられてい
た。以下、第３図の外観図を参照して従来用いられてい
た電子部品のリード検査装置を説明する。
する場合、第３図に示すような検査装置が用いられてい
た。以下、第３図の外観図を参照して従来用いられてい
た電子部品のリード検査装置を説明する。
これは、支持台１の中央に半導体装置等の電子部品（以
下、試料２と記す）を載せる検査台３が設けられ、支持
台１の両側に、試料２の側面を写し出す低歪の画像反射
板４およびこれを支える保持台５が一体となって係留ビ
ン６で回転自在に取り付けられ、支持台１の斜め上には
、高周波螢光灯の光源７および試料２の方向に光が放射
されるようにしたカバー８が設けられた構造である。
下、試料２と記す）を載せる検査台３が設けられ、支持
台１の両側に、試料２の側面を写し出す低歪の画像反射
板４およびこれを支える保持台５が一体となって係留ビ
ン６で回転自在に取り付けられ、支持台１の斜め上には
、高周波螢光灯の光源７および試料２の方向に光が放射
されるようにしたカバー８が設けられた構造である。
まず、光源７によって試料２の外部リード１０を照射し
、その反射光を回転可能な画像反射板４を調整して試料
２の側面の像がＣＣＤカメラ９に写るようにする。この
ようにしてＣＣＤカメラ９はリード１０の上面および側
面の像を検出する。
、その反射光を回転可能な画像反射板４を調整して試料
２の側面の像がＣＣＤカメラ９に写るようにする。この
ようにしてＣＣＤカメラ９はリード１０の上面および側
面の像を検出する。
この検出された像に基づいて、リード１０の曲がりや本
数の欠けを認識する。
数の欠けを認識する。
発明が解決しようとする課題
このような従来の電子部品のリード検査装置の構成では
、リード表面の光沢状態や、リードビンのエツジによる
照明光の乱反射、および外乱光の影響により、ＣＣＤカ
メラから構成される装置白黒の２値化レベルが変動して
正確な像の認識ができず、評価をあやまることがよくあ
った。
、リード表面の光沢状態や、リードビンのエツジによる
照明光の乱反射、および外乱光の影響により、ＣＣＤカ
メラから構成される装置白黒の２値化レベルが変動して
正確な像の認識ができず、評価をあやまることがよくあ
った。
課題を解決するための手段
本発明の電子部品のリード検査装置は、電子部品のリー
ドを側方撮影する撮像装置と、同電子部品を載せる光散
乱透過物質を有する検査台と、その光散乱透過物値を通
して同電子部品を下方から照明する照明装置とを備えた
ものである。
ドを側方撮影する撮像装置と、同電子部品を載せる光散
乱透過物質を有する検査台と、その光散乱透過物値を通
して同電子部品を下方から照明する照明装置とを備えた
ものである。
作用
本発明の電子部品のリード検査装置によれば、試料を載
せる台に対して撮像装置と照明装置が光路上の互いに反
対の位置にあるため、試料がシルエットとして撮像装置
より写し出される。このため像の２値化レベルが変動せ
ず正確な像の認識ができる。
せる台に対して撮像装置と照明装置が光路上の互いに反
対の位置にあるため、試料がシルエットとして撮像装置
より写し出される。このため像の２値化レベルが変動せ
ず正確な像の認識ができる。
実施例
本発明の電子部品のリード検査装置の一実施例を第１図
に示した外観図を参照して説明する。このリード検査装
置は、光を散乱透過する拡散ガラスまたはそれに相当す
る高分子材料の試料台１２を上部に、高周波螢光灯の光
源７を内部に有する検査台１１を備え、試料台１２の上
に試料２が載せられ、試料２のリード１０に対して、試
料台１２とは光路上の反対側の位置にＣＣＤカメラ９が
備えられた構造である。
に示した外観図を参照して説明する。このリード検査装
置は、光を散乱透過する拡散ガラスまたはそれに相当す
る高分子材料の試料台１２を上部に、高周波螢光灯の光
源７を内部に有する検査台１１を備え、試料台１２の上
に試料２が載せられ、試料２のリード１０に対して、試
料台１２とは光路上の反対側の位置にＣＣＤカメラ９が
備えられた構造である。
試料２は試料台１２の上に置かれて、リード１０は試料
台１２からの散乱光により照射されるため、ＣＣＤカメ
ラ９の方向からはリード１０と検査台１１は黒、他は白
というシルエットとして認識される。そこで、この像を
水平方向からＣＣＤカメラ９によって撮像する。
台１２からの散乱光により照射されるため、ＣＣＤカメ
ラ９の方向からはリード１０と検査台１１は黒、他は白
というシルエットとして認識される。そこで、この像を
水平方向からＣＣＤカメラ９によって撮像する。
試料２に対して水平方向く側方）に位置するＣＣＤカメ
ラ９での認識画像の例を第２図に示す。（ａ）は正常な
もの、（ｂ）は横曲がり、（Ｃ）、ω）は上下的がりの
ものである。これらの白黒の２値化レベルが明確にされ
た認識画像により、リードのピッチおよび先端の浮き上
がりが正常な試料と比べて許容範囲内であるかどうかを
認識判断させて検査を行う。
ラ９での認識画像の例を第２図に示す。（ａ）は正常な
もの、（ｂ）は横曲がり、（Ｃ）、ω）は上下的がりの
ものである。これらの白黒の２値化レベルが明確にされ
た認識画像により、リードのピッチおよび先端の浮き上
がりが正常な試料と比べて許容範囲内であるかどうかを
認識判断させて検査を行う。
なお、試料の２辺または４辺のリードを検査するために
は、ＣＣＤカメラを４台設置してもよいし、１台または
２台のＣＣＤカメラを４箇所またはＺｉｉｉ所移動させ
て撮影してもよい。さらにＣＣＤカメラでなく他の撮像
装置であってもよい。
は、ＣＣＤカメラを４台設置してもよいし、１台または
２台のＣＣＤカメラを４箇所またはＺｉｉｉ所移動させ
て撮影してもよい。さらにＣＣＤカメラでなく他の撮像
装置であってもよい。
発明の効果
本発明の電子部品のリード検査装置によれば、光散乱透
過部分を有する検査台の上に試料を載せ、下からの光源
により同試料をシルエットになるように検査台の側方か
ら、撮像装置で同試料を撮影するため、像の２値化レベ
ルが変動せず正確な像の認識ができ、評価をあやまるこ
とがなくなり、実用的にきわめて有用な効果がある。
過部分を有する検査台の上に試料を載せ、下からの光源
により同試料をシルエットになるように検査台の側方か
ら、撮像装置で同試料を撮影するため、像の２値化レベ
ルが変動せず正確な像の認識ができ、評価をあやまるこ
とがなくなり、実用的にきわめて有用な効果がある。
第１図は本発明の電子部品のリード検査装置の一実施例
を示す外観図、第２図は第１図の実施例で得られる認識
画像を示す図、第３図は従来のリード検査装置の外観図
である。 ２・・・・・・試料、７・・・・・・光源、９・・・・
・・ＣＣＤカメラ、１０・・・・・・リード、１１・・
・・・・検査台、１２・・・・・・試料台。 −ｍ− −一− １１−−一 ２−一 ￥；ＬＰｌ− 先 瀝 ＣＤ ノード ＆査含 試料台 力 第 図 第 図
を示す外観図、第２図は第１図の実施例で得られる認識
画像を示す図、第３図は従来のリード検査装置の外観図
である。 ２・・・・・・試料、７・・・・・・光源、９・・・・
・・ＣＣＤカメラ、１０・・・・・・リード、１１・・
・・・・検査台、１２・・・・・・試料台。 −ｍ− −一− １１−−一 ２−一 ￥；ＬＰｌ− 先 瀝 ＣＤ ノード ＆査含 試料台 力 第 図 第 図
Claims (1)
- 電子部品の側方から前記電子部品の外部リードを撮影す
る撮像装置と、前記電子部品を載せる光散乱透過部分を
有する検査台と、前記光散乱透過部分を通して前記電子
部品の下面を照明する照明装置とを備えたことを特徴と
する電子部品のリード検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63179581A JPH0814542B2 (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | 電子部品のリード検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63179581A JPH0814542B2 (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | 電子部品のリード検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0228546A true JPH0228546A (ja) | 1990-01-30 |
| JPH0814542B2 JPH0814542B2 (ja) | 1996-02-14 |
Family
ID=16068230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63179581A Expired - Fee Related JPH0814542B2 (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | 電子部品のリード検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0814542B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108575086A (zh) * | 2017-03-08 | 2018-09-25 | 台达电子电源(东莞)有限公司 | 电子元器件接脚位置采集装置、识别装置及自动插件机 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6957184B2 (ja) * | 2017-04-13 | 2021-11-02 | 株式会社コジマプラスチックス | 部品形状検査装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61213709A (ja) * | 1985-03-20 | 1986-09-22 | Hitachi Ltd | 電子部品外観検査方法 |
| JPS63107034A (ja) * | 1986-10-23 | 1988-05-12 | Toshiba Corp | 半導体装置外部リ−ドの検出方式 |
-
1988
- 1988-07-19 JP JP63179581A patent/JPH0814542B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61213709A (ja) * | 1985-03-20 | 1986-09-22 | Hitachi Ltd | 電子部品外観検査方法 |
| JPS63107034A (ja) * | 1986-10-23 | 1988-05-12 | Toshiba Corp | 半導体装置外部リ−ドの検出方式 |
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|---|---|---|---|---|
| CN108575086A (zh) * | 2017-03-08 | 2018-09-25 | 台达电子电源(东莞)有限公司 | 电子元器件接脚位置采集装置、识别装置及自动插件机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0814542B2 (ja) | 1996-02-14 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |