KR890701342A - 관상결정체 성장장치의 제어시스템 - Google Patents

관상결정체 성장장치의 제어시스템

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KR890701342A KR1019880701695A KR880701695A KR890701342A KR 890701342 A KR890701342 A KR 890701342A KR 1019880701695 A KR1019880701695 A KR 1019880701695A KR 880701695 A KR880701695 A KR 880701695A KR 890701342 A KR890701342 A KR 890701342A
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Abstract

내용 없음

Description

관상결정체 성장장치의 제어시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명의 실시형태를 일부 단면으로 표시한 개략 설명도, 제 2 도는 결정체의 실무게에 대한 본발명의 압력감지기 및 무게감지기의 출력을 보인 그래프, 제 3 도는 본 발명의 실시형태에 사용된 실무게 계산회로의 회로도.

Claims (13)

  1. 관상결정체 성장장치의 작동을 제어하기 위한 시스템으로서, 성장장치가 용융물이 용입되는 도가니, 이도가니를 가열하기 위한 가열수단과, 상기 용융물로부터 관상결정체를 성장하기 위한 성장수단을 포함하는 수단으로 구성되고, 상기 성장수단은 결정체가 성장되기 시작하는 종자를 지지하기 위한 종자홀더와, 상기 도가니로 부터 상기 결정체와 종자홀더를 인상하기 위한 견인장치로 구성된 것에 있어서, 상기 시스템이 상기 성장하는 관상결정체의 길이를 나타내는 출력신호를 발생하기 위한 길이감지기, 상기 성장하는 관상결정체, 종자 및 종자홀더의 무게를 나타내는 출력신호를 발생하기 위한 무게감지기, 상기 결정체내의 압력을 나타내는 출력신호를 발생하기 위한 압력감지기와, 상기 성장하는 관상결정체가 균일한 두께를 갖도록 상기 길이감지기, 무게감지기 및 압력감지기의 출력신호에 응답하여 상기 성장장치의 작동을 제어하도록 상기 길이감지기, 상기 무게감지기, 상기 압력감지기와 상기 가열수단에 결합된 제어기로 구성됨을 특징으로 하는 관상결정체 성장장치의 제어시스템.
  2. 청구범위 1항에 있어서, 상기 제어기가 상기 가열수단의 작동을 제어함을 특징으로 하는 시스템.
  3. 청구범위 2항에 있어서, 상기 제어기가 관상결정체의 실무게를 계산하기 위한 수단으로 구성되고, 상기 제어기가 상기 길이감지기 및 상기 계산수단의 출력신호에 응답하여 상기 도가니 가열수단의 작동을 제어함을 특징으로 하는 시스템.
  4. 청구범위 3항에 있어서, 상기 게산수단이 상기 관상결정체와 상기 종자홀더의 실무게를 나타내는 합성신호를 발생하도록 상기 무게감지기와 압력감지기의 출력신호를 조합하기 위한 수단, 상기 종자홀더의 실무게를 나타내는 오프셋트 출력신호를 발생하기 위한 수단과, 상기 관상결정체의 실무게를 나타내는 보정된 출력신호를 발생하도록 상기 합성신호와 오프셋트 출력신호를 조합하기 위한 수단으로 구성됨을 특징으로 하는 시스템.
  5. 청구범위 2항에 있어서, 상기 제어기가 선택된 측정간격에서 상기 관상결정체의 실제 벽두께를 계산하기 위한 수단으로 구성됨을 특징으로 하는 시스템.
  6. 청구범위 5항에 있어서, 상기 제어기가 요구된 벽두께 값을 제공하기 위한 수단과, 상기 요구된 벽두께 값을 상기 실제 벽두께와 비교하여 상기 요구된 벽두께 값이 상기 실제 벽두께보다 작은 경우 상기 가열수단이 제 1 신호를 보내고 상기 요구된 벽두께 값이 상기 실제 벽두께 보다 크거나 같은 경우 상기 가열수단에 제 2 신호를 보내는 수단으로 구성됨을 특징으로 하는 시스템.
  7. 청구범위 1항에 있어서, 상기 종자홀더가 상기 관상결정체의 상측단부를 폐쇄토록 구성되고, 상기 압력감지기는 상기 종자홀더에서 상측으로 작용하는 관상결정체내부의 압력을 측정토록 되어 있음을 특징으로 하는 시스템.
  8. 청구범위 1항에 있어서, 상기 제어기가 상기 관상결정체가 6m이상의 길이로 성장될 수 있도록 상기 도가니 가열수단의 작동을 제어함을 특징으로 하는 시스템.
  9. 청구범위 1항에 있어서, 상기 견인수단이 상기 용융물로부터 일정한 속도로 상기 관상결정체, 상기 종자 및 상기 종자홀더를 인상함을 특징으로 하는 시스템.
  10. 관상결정체를 성장하기 위한 장치에 있어서, 이 장치가 용융물이 용입되는 도가니, 이 도가니를 가열하기 위한 수단, 상기 웅융물로부터 상기 관상결정체를 형성하기 위하여 상기 결정체가 성장되기 시작하는 종자를 지지하고 상기 결정체의 상측단부를 폐쇄하기 위한 종자홀더와 상기 결정체, 상기 종자 및 상기 종자홀더를 상기 도가니로부터 인상하기 위한 견인수단으로 구성된 수단, 상기 성장하는 관상결정체의 길이를 나타내는 출력신호를 제공하기 위하여 상기 결정체형성수단에 결합된 길이측정수단, 상기 종자홀더에 대하여 상측으로 작용하는 상기 성장하는 결정체내의 압력을 나타내는 출력신호를 제공하기 위하여 상기 결정체형성수단에 결합된 압력측정수단, 상기 성장하는 관상결정체의 무게를 나타내는 출력신호를 제공하기 위하여 상기 결정체형성수단에 결합된 무게측정수단과 상기 결정체가 균일한 벽두께를 갖도록 하기 위하여 상기 길이측정수단, 상기 압력측정수단과, 상기 무게측정수단의 출력신호를 기초로하여 상기 가열수단의 작동을 제어하도록 상기 길이측정수단, 상기 압력측정수단, 상기 무게측정수단과 상기 가열수단에 결합된 제어기수단으로 구성됨을 특징으로 하는 관상결정체 성장장치.
  11. 청구범위 10항에 있어서, 상기 제어기수단이 상기 결정체의 형성중에 어느 측정간격에서 상기 관상결 정체의 실제 벽두께를 계산하기 위한 수단으로 구성됨을 특징으로 하는 장치.
  12. 용융물이 용입되는 도가니, 이 도가니를 가열하기 위한 가열수단과, 상기 용융물로부터 관상결정체를 성장시키기 위한 성장수단을 포함하는 수단으로 구성되고, 상기 성장수단이 상기 용융물과 연통하는 상기 도가니내의 결정체형성수단, 상기 결정체가 성장되기 시작하는 종자를 지지하기 위한 종자홀더와 상기 결정체 형성수단으로부터 상기 관상결정체, 상기 종자 및 상기 종자홀더수단을 인상하기 위한 견인수단으로 구성되는 형태의 장치에서 일정한 벽두께를 갖는 관상결정체의 성장방법에 있어서, 이 방법이 상기 결정체형성수단에 의하여 지지된 상기 용융물로부터 상기 관상결정체를 성장하기 시작토록 상기 장치를 작동시키는 단계, 상기 관상결정체의 현재 길이를 측정하여 측정간격X에서 상기 관상결정체의 길이변화를 나타내는 길이변화값을 제공하는 단계, 상기 관상결정체의 현재무게를 측정하여 상기 측정간격X에서 상기 관상결정체의 무게변화를 나타내는 무게변화 값을 제공하는 단계, 상기 길이변화값, 상기 무게변화값 및 계산상수 K를 이용하여 상기 관상결정체의 실제 벽두께를 나타내는 벽두께 값을 계산하여 제공하는 단계, 상기 벽두께 값을 요구된 벽두께 값과 비교하는 단계, 상기 실제 벽두께 값이 상기 요구된 벽두께 값보다 큰 경우 상기 가열수단의 온도를 증가시키는 단계와, 상기 실제 벽두께 값이 상기 요구된 벽두께 값보다 작은 경우 상기 가열수단의 온도를 감소시키는 단계로 구성됨을 특징으로 하는 관상곁정체 성장방법.
  13. 속이 비어있는 중공형의 결정체를 성장시키는 장치의 작동을 제어하기 위한 시스템으로서 상기 장치가 용융물이 용입되는 도가니, 상기 도가니를 가열하기 위한 가열수단과 상기 용융물로루터 중공형 결정체를 설장시키기 위한 형성수단을 포함하는 수단으로 구성되고, 상기 성장수단이 중공형 결정체가 성장되기 시작하는 종자를 지지하기 위한 종자홀더와 상기 형성수단으로부더 선택된 속도로 상기 중공형 결정체, 상기 증자와 상기 종자홀더를 인상하기 위한 견인수단으로 구성되며, 상기 종자홀더가 상기 중공형 결정체의 상측단부를 폐쇄하도록 구성된 것에 있어서, 상기 시스템이 상기 성장하는 중공형 결정체의 길이를 나타내는 출력신호를 발생하기 위한 길이감지기, 상기 중공형 결정체, 상기 종자 및 상기 종자홀더의 무게를 나타내는 출력신호를 발성하기 위한 무게감지기,상기 종자홀더에서 상측으로 작용하는 상기 중공형 결정체의 내부압력을 나타내는 출력신호를 발생하기 위한 압력감지기와, 상기 성장하는 중공형 결정체가 균일한 벽두께를 갖도록 하기 위하여 상기 길이감지기, 상기 무게감지기 및 상기 압력감지기의 출력신호에 응당하는 상기 가열수단의 작동을 제어하도록 상기 길이감지기, 상기 무게감지기, 상기 압력감지기 및 상기 가열수단에 연결된 제어기로 구성되고, 상기 제어기는 상기 중공형 결정체, 상기 종자 및 상기 증자홀더의 실무게를 나라라는 합성신호를 발생하기 위하여 상기 무게감지기와 상기 압력감지기에 응답하는 계산수단, 상기 종자, 상기 종자홀더의 실무게를 나타내는 오프셋트 출력신호를 발생하기 위한 수단, 상기 관상결정체의 실무게를 나타내는 보정된 출력신호를 발생하도록 상기 합성신호와 상기 오프셋트 출력신호를 조합하기 위한 수단, 선택된 시간에 상기 관상결정체의 실제 벽두께를 나타내는 실제 벽두께 신호를 발생하기 위하여 상기 보정된 출력신호와 상기 길이 지기의 출력신호에 응답하는 수단, 요구된 벽두께 값을 나타내는 기준신호를 발생하기 위한 수단과, 상기 기준 벽두께 신호를 상기 실제 벽두께 신호와 비교하여 상기 요구된 벽두께 값이 상기 실제 벽 두께보다 작으면 상기 가열수단에 제 1 제어신호를 보내고 상기 요구된 벽두께 값이 상기 실제 벽두께보다 크면 상기 가열수단에 제 2 제어신호를 보내는 수단으로 구성됨을 특징으로 하는 중공형 결정체 성장장치의 작동제어 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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