KR20230018319A - 세정 장치 - Google Patents

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KR20230018319A
KR20230018319A KR1020220079011A KR20220079011A KR20230018319A KR 20230018319 A KR20230018319 A KR 20230018319A KR 1020220079011 A KR1020220079011 A KR 1020220079011A KR 20220079011 A KR20220079011 A KR 20220079011A KR 20230018319 A KR20230018319 A KR 20230018319A
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cleaning
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KR1020220079011A
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신야 아루가
요이치 고바야시
마사아키 시노자키
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 판상 워크의 표면의 세정에 수반하여 주위에 비산한 물방울이 다시 판상 워크의 표면에 부착되는 것을 억제할 수 있는 세정 장치를 제공한다.
(해결 수단) 판상 워크를 반송하는 반송 기구에, 판상 워크를 유지하는 유지부측에 형성되어 있는 포러스판과, 포러스판과 흡인원에 연통하는 흡인로가 형성되어 있는 기판을 포함하는 커버부를 형성한다. 그리고, 이 흡인원이 동작하면, 포러스판의 유지부측의 면 근방의 공간이 부압이 된다. 그 때문에, 판상 워크의 세정 중에 흡인원을 동작시킴으로써, 포러스판을 개재하여 판상 워크의 세정 중에 반송 기구의 근방에 비산한 물방울을 흡인할 수 있다. 이에 따라, 판상 워크의 세정에 수반하는 반송 기구에 대한 물방울의 부착을 억제할 수 있다. 그 결과, 판상 워크의 세정에 수반하여 주위에 비산한 물방울이 다시 판상 워크의 표면에 부착되는 것을 억제할 수 있다.

Description

세정 장치{CLEANING APPARATUS}
본 발명은 판상 워크를 세정하는 세정 장치에 관한 것이다.
IC (Integrated Circuit) 및 LSI (Large Scale Integration) 등의 디바이스의 칩은, 휴대 전화 및 퍼스널 컴퓨터 등의 각종 전자 기기에 있어서 불가결한 구성 요소이다. 이와 같은 칩은, 예를 들어, 표면측에 다수의 디바이스가 형성된 웨이퍼를 분할 예정 라인을 따라 분할함으로써 제조된다.
이와 같은 웨이퍼의 분할에는, 예를 들어, 선단부에 원환상 (圓環狀) 의 절삭 블레이드가 장착된 스핀들을 갖는 절삭 유닛과, 웨이퍼를 유지하는 유지 테이블을 구비하는 절삭 장치가 사용된다. 구체적으로는, 이 절삭 장치에 있어서는, 먼저, 이면에 첩부 (貼付) 된 점착 테이프를 개재하여 환상 프레임과 일체화된 웨이퍼 등의 판상 워크의 표면측을 유지 테이블에 의해 유지한다.
그리고, 유지 테이블에 유지된 웨이퍼의 분할 예정 라인을 따라, 회전하는 절삭 블레이드를 점착 테이프에 이르기까지 절입시킴으로써 웨이퍼를 분할할 수 있다. 단, 이와 같이 웨이퍼를 분할하면, 절삭 부스러기가 발생하여 판상 워크의 표면에 부착되는 경우가 있다.
그 때문에, 이와 같은 웨이퍼를 포함하는 판상 워크는, 일반적으로, 세정 장치에 있어서 세정된다. 이와 같은 세정 장치는, 절삭 장치에 장착되어 있기도 하고 (예를 들어, 특허문헌 1 참조), 절삭 장치로부터 독립된 장치로 여겨지기도 한다 (예를 들어, 특허문헌 2 참조).
구체적으로는, 이들 세정 장치에 있어서는, 먼저, 판상 워크를 회전시키면서 판상 워크의 표면에 물을 공급한다. 그리고, 판상 워크를 회전시키는 것, 또는, 판상 워크를 회전시키면서 판상 워크의 표면에 에어를 분출함으로써 판상 워크의 표면을 건조시킨다. 이에 따라, 웨이퍼의 표면에 부착된 절삭 부스러기를 제거할 수 있다.
일본 공개특허공보 2003-229382호 일본 공개특허공보 2009-188296호
판상 워크를 회전시키면서, 판상 워크의 표면에 물을 공급하면, 절삭 부스러기를 포함한 물방울이 주위에 비산한다. 그리고, 이 물방울은, 예를 들어, 판상 워크를 반송하기 위한 반송 기구에 부착될 우려가 있다.
이 경우, 세정 후에 건조된 판상 워크를 반송 기구에 의해 반송할 때 등에, 판상 워크의 표면에 반송 기구로부터 물방울이 적하할 가능성이 있다. 그 결과, 판상 워크의 표면에 절삭 부스러기가 다시 부착될 우려가 있다.
이러한 점을 감안하여, 본 발명의 목적은, 판상 워크의 표면의 세정에 수반하여 주위에 비산한 물방울이 다시 판상 워크의 표면에 부착되는 것을 억제할 수 있는 세정 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 의하면, 판상 워크를 유지하는 유지면을 갖고, 그 유지면의 중심을 통과하고, 또한, 그 유지면에 수직인 직선을 회전축으로 하여 회전하는 유지 테이블과, 그 유지 테이블에 유지된 그 판상 워크의 상방으로부터 그 판상 워크에 물을 공급하는 세정 노즐과, 그 유지 테이블 및 그 세정 노즐이 배치되는 세정 공간의 상측을 개방하도록 그 세정 공간을 위요 (圍繞) 하는 방수벽과, 그 유지 테이블에 그 판상 워크를 반입하고, 또한/또는, 그 유지 테이블로부터 그 판상 워크를 반출하는 반송 기구, 를 구비하고, 그 반송 기구는, 그 판상 워크를 유지하는 유지부와, 그 유지부의 상방에 배치되는 커버부, 를 갖고, 그 커버부는, 그 유지부측에 형성되어 있는 포러스판과, 그 포러스판과 흡인원에 연통하는 흡인로가 형성되어 있는 기판, 을 포함하는 세정 장치가 제공된다.
본 발명에 있어서는, 판상 워크를 반송하는 반송 기구에, 판상 워크를 유지하는 유지부측에 형성되어 있는 포러스판과, 포러스판과 흡인원에 연통하는 흡인로가 형성되어 있는 기판을 포함하는 커버부가 형성되어 있다. 그리고, 이 흡인원이 동작하면, 포러스판의 유지부측의 면 근방의 공간이 부압이 된다.
그 때문에, 본 발명에 있어서는, 판상 워크의 세정 중에 흡인원을 동작시킴으로써, 포러스판을 개재하여 판상 워크의 세정 중에 반송 기구의 근방에 비산한 물방울을 흡인할 수 있다.
이에 따라, 판상 워크의 세정에 수반하는 반송 기구에 대한 물방울의 부착을 억제할 수 있다. 그 결과, 본 발명에 있어서는, 판상 워크의 세정에 수반하여 주위에 비산한 물방울이 다시 판상 워크의 표면에 부착되는 것을 억제할 수 있다.
도 1 은, 세정 장치의 일례를 모식적으로 나타내는 일부 파단 사시도이다.
도 2(A) 는, 커버부 등의 상면측을 모식적으로 나타내는 부분 확대 사시도이고, 도 2(B) 는, 커버부 등의 하면측을 나타내는 부분 확대 사시도이다.
도 3 은, 도 2(A) 에 있어서 지지판의 상면에 그려진 점선을 통과하는 종단면을 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 4 는, 판상 워크를 세정하는 모습을 모식적으로 나타내는 일부 단면 (斷面) 측면도이다.
첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명한다. 도 1 은, 세정 장치의 일례를 모식적으로 나타내는 일부 파단 사시도이다. 도 1 에 나타나는 세정 장치 (2) 는, 로드 포트 (4) 를 갖는다. 이 로드 포트 (4) 는, 대체로 평탄한 직사각형상의 재치면 (載置面) (4a) 을 갖고, 이 재치면 (4a) 에는, 판상 워크 (11) 가 놓여진다.
이 판상 워크 (11) 는, 예를 들어, 절삭 장치에 있어서 분할된 웨이퍼 (W) 와, 웨이퍼 (W) 의 이면에 첩부된 점착 테이프 (T) 와, 점착 테이프 (T) 를 개재하여 웨이퍼 (W) 와 일체화된 환상 프레임 (F) 을 포함한다. 그리고, 이 판상 워크 (11) 는, 웨이퍼 (W) 가 위를 향하도록 로드 포트 (4) 의 재치면 (4a) 에 반입된다.
또, 로드 포트 (4) 는, 판상 워크 (11) 의 반출입용 개폐구 (도시하지 않음) 에 인접하여 형성되어 있다. 그리고, 재치면 (4a) 의 개폐구측에 위치하는 1 쌍의 모서리에는, 재치면 (4a) 으로부터 판상 워크 (11) 가 낙하하는 것을 방지하기 위한 L 자상의 스토퍼 (4b) 가 형성되어 있다.
로드 포트 (4) 의 재치면 (4a) 에 놓여진 판상 워크 (11) 는, 로드 포트 (4) 의 상방에 형성되어 있는 반송 기구 (6) 에 의해 반송된다. 이 반송 기구 (6) 는, 세정 장치 (2) 의 케이싱 (도시하지 않음) 에 고정되어 있는 1 쌍의 가이드 레일 (8) 을 갖는다. 그리고, 1 쌍의 가이드 레일 (8) 의 표면측에는, 슬라이드 가능한 양태로 이동 부재 (10) 가 연결되어 있다.
또, 1 쌍의 가이드 레일 (8) 의 사이에는, 나사축 (12) 이 배치되어 있다. 이 나사축 (12) 의 일단부에는, 나사축 (12) 을 회전시키기 위한 모터 (14) 가 연결되어 있다. 그리고, 나사축 (12) 의 나선상의 홈이 형성된 표면에는, 회전하는 나사축 (12) 의 표면을 구르는 볼을 수용하는 너트부 (도시하지 않음) 가 형성되고, 볼 나사가 구성되어 있다.
즉, 나사축 (12) 이 회전하면, 볼이 너트부 내를 순환하여, 너트부가 나사축 (12) 을 따라 이동한다. 또, 이 너트부는, 이동 부재 (10) 의 이면측에 고정되어 있다. 그 때문에, 모터 (14) 로 나사축 (12) 을 회전시키면, 너트부와 함께 이동 부재 (10) 가 나사축 (12) 을 따라 이동한다.
또한, 이동 부재 (10) 의 표면측에는, 지지 아암 (16) 의 기단부가 고정되어 있다. 그리고, 지지 아암 (16) 의 선단부에는, 에어 실린더가 수용되어 있다. 이 에어 실린더의 로드 (18) 는, 지지 아암 (16) 의 선단부의 하면에 형성되어 있는 개구를 통과하여 지지 아암 (16) 으로부터 노출되어 있다.
이 로드 (18) 의 선단부 (하단부) 의 측면에는, H 자 형상의 지지판 (20) 의 중심부가 고정되고, 또, 그 선단면 (하단면) 에는, 커버부 (22) 가 고정되어 있다. 또한, 지지판 (20) 및 커버부 (22) 에는 연통 부재 (24) 가 삽입되고, 연통 부재 (24) 의 하단부에는 흡인 패드 (유지부) (26) 가 형성되어 있다.
도 2(A) 는, 커버부 (22) 등의 상면측을 나타내는 부분 확대 사시도이고, 도 2(B) 는, 커버부 (22) 등의 하면측을 나타내는 부분 확대 사시도이다. 또, 도 3 은, 도 2(A) 에 있어서 지지판 (20) 의 상면에 그려진 점선을 통과하는 종단면을 모식적으로 나타내는 단면도이다.
지지판 (20) 은, 각각의 양단부에 연통 부재 (24) 가 삽입되고, 또한, 서로 평행하게 연장하는 제 1 부분 (20a) 및 제 2 부분 (20b) 과, 제 1 부분 (20a) 및 제 2 부분 (20b) 의 중앙부에 양단부가 각각 접속되고, 또한, 제 1 부분 (20a) 및 제 2 부분 (20b) 에 직교하도록 연장하는 제 3 부분 (20c) 을 포함한다.
또, 제 3 부분 (20c) 의 양단부의 하면에는, 지지판 (20) 과 커버부 (22) 를 고정시키는 접속 부재 (28) 가 형성되어 있다. 또한, 제 1 부분 (20a) 및 제 2 부분 (20b) 의 각각의 양단부 (지지판 (20) 의 네 모서리) 에는, 원기둥 형상의 관통공이 형성되고, 이 관통공에는 연통 부재 (24) 가 삽입되어 있다.
커버부 (22) 는, 지지판 (20) 의 하방, 또한, 흡인 패드 (26) 의 상방에 배치되어 있다. 이 커버부 (22) 는, 지지판 (20) 측에 형성되어 있는 원반상의 기판 (30) 을 갖는다. 이 기판 (30) 은, 로드 (18) 의 선단면이 고정되어 있는 상면을 갖는 천판 (30a) 과, 천판 (30a) 의 외주부로부터 하방을 향하여 돌출하는 측벽 (30b) 을 포함한다.
또, 천판 (30a) 의 중앙부에는, 로드 (18) 에 형성되어 있는 흡인로 (18a) 등을 개재하여, 진공 펌프 등의 흡인원과 연통하는 흡인로 (30c) 가 형성되어 있다. 또, 측벽 (30b) 의 하면에는, 기판 (30) 과 동(同) 직경의 원반상의 포러스판 (32) 이 고정되어 있다. 이 포러스판 (32) 은, 커버부 (22) 의 흡인 패드 (26) 측에 형성되고, 예를 들어, 수지로 이루어진다.
또한, 기판 (30) 의 측벽 (30b) 과 포러스판 (32) 에는, 지지판 (20) 의 네 모서리와 겹치는 위치에 관통공이 형성되어 있고, 이 관통공에는 연통 부재 (24) 가 삽입되어 있다. 또, 천판 (30a) 에 형성되어 있는 흡인로 (30c) 와 연통하는 흡인원이 동작하면, 이 포러스판 (32) 의 하면 근방의 공간이 부압이 된다.
연통 부재 (24) 는, 당해 관통공의 직경보다 외경이 길고, 하면이 지지판 (20) 의 상면에 접하는 상단부 (24a) 와, 당해 관통공에 삽입되는 원통부 (24b) 를 갖는다. 또, 연통 부재 (24) 의 상단부 (24a) 는, 배관 (도시하지 않음) 등을 개재하여, 진공 펌프 등의 흡인원에 연통되어 있다.
흡인 패드 (26) 는, 바닥이 개방되고, 또한, 하단부에 가까워질수록 폭이 넓어지는 절구 모양의 형상을 갖는다. 이 흡인 패드 (26) 의 하면은, 판상 워크 (11) 의 환상 프레임 (F) 을 흡인하여 판상 워크 (11) 를 유지하는 유지면으로서 기능한다.
구체적으로는, 연통 부재 (24) 의 상단부 (24a) 에 연통하는 흡인원이 동작하면, 연통 부재 (24) 를 개재하여, 흡인 패드 (26) 의 하방의 공간에 흡인력이 작용한다. 그 때문에, 도 1 에 나타내는 로드 포트 (4) 의 재치면 (4a) 에 놓여진 판상 워크 (11) 의 환상 프레임 (F) 에 흡인 패드 (26) 의 하면이 접근한 상태에서, 이 흡인원을 동작시킴으로써, 흡인 패드 (26) 에 의해 판상 워크 (11) 를 유지할 수 있다.
흡인 패드 (26) 에 의해 유지된 판상 워크 (11) 는, 유지 테이블 및 세정 노즐이 배치되어 있는 세정 공간에서 판상 워크 (11) 를 세정하는 세정 유닛 (34) 으로 반송된다. 이 세정 유닛 (34) 은, 원반상의 유지 테이블 (36) 을 갖는다. 유지 테이블 (36) 은, 상방으로 노출된 원반상의 포러스판 (36a) 을 갖는다.
이 포러스판 (36a) 은, 유지 테이블 (36) 의 내부에 형성된 흡인로 (도시하지 않음) 등을 개재하여, 진공 펌프 등의 흡인원 (도시하지 않음) 에 연통되어 있다. 그 때문에, 포러스판 (36a) 의 상면에 판상 워크 (11) 가 놓여진 상태에서, 이 흡인원을 동작시키면, 판상 워크 (11) 가 유지 테이블 (36) 에 유지된다.
즉, 유지 테이블 (36) 의 상면은, 판상 워크 (11) 를 유지하는 유지면으로서 기능한다. 또, 유지 테이블 (36) 의 외주면에는, 유지 테이블 (36) 의 둘레 방향을 따라 대체로 등간격으로 판상 워크 (11) 의 환상 프레임 (F) 을 파지하는 클램프 (38) 가 형성되어 있다.
이 클램프 (38) 는, 유지 테이블 (36) 의 외주면에 접속되어 있는 중앙부와, 이 중앙부보다 아래에 형성되어 있는 추부 (錘部) 와, 이 중앙부보다 위에 형성되어 있는 파지부를 갖는다. 그리고, 유지 테이블 (36) 의 둘레 방향을 따라 유지 테이블 (36) 이 회전하면, 클램프 (38) 의 추부에 원심력이 작용하여 추부가 외측으로 이동한다.
또한, 추부의 이동에 부수하여, 파지부가 내측으로 쓰러지도록 이동한다. 이에 따라, 유지 테이블 (36) 의 유지면에 놓여진 판상 워크 (11) 의 환상 프레임 (F) 이 클램프 (38) 의 파지부에 의해 파지된다.
또, 유지 테이블 (36) 의 주위에는, 유지 테이블 (36) 이 배치되어 있는 세정 공간의 상측을 개방하도록 위요하여, 판상 워크 (11) 를 세정할 때의 물방울의 측방으로의 비산을 억제하는 방수벽 (40) 이 형성되어 있다. 이 방수벽 (40) 은, 원통상의 외주벽 (40a) 과, 외주벽 (40a) 의 하단부로부터 직경 방향 내측으로 연장하는 환상의 저벽 (40b) 과, 저벽 (40b) 의 내단부로부터 세워져 형성되는 원통상의 내주벽 (40c) 을 갖는다.
저벽 (40b) 에는 배수구 (42) 가 형성되어 있고, 배수구 (42) 에는 하방으로 연장하는 배수관 (44) 이 접속되어 있다. 또, 저벽 (40b) 의 하면에는, 복수 개 (예를 들어, 3 개) 의 지지다리 (46) 가 고정되어 있다. 복수의 지지다리 (46) 는, 저벽 (40b) 의 둘레 방향을 따라 대체로 등간격으로 형성되어 있고, 방수벽 (40) 을 지지한다.
외주벽 (40a) 의 내측에는, 노즐 유닛 (48) 이 배치되어 있다. 노즐 유닛 (48) 은, 저벽 (40b) 에 삽입되는 파이프 형상의 축부 (48a) 를 갖는다. 축부 (48a) 는, 유지 테이블 (36) 의 외측에서 유지 테이블 (36) 의 유지면에 대하여 수직인 방향으로 연장하는 파이프 형상의 부재이다.
이 축부 (48a) 의 하단부에는, 축부 (48a) 를 회전시키기 위한 모터 등의 회전 구동원 (도시하지 않음) 이 연결되어 있다. 또, 축부 (48a) 의 상단부에는, 아암부 (48b) 가 접속되어 있다. 아암부 (48b) 는, 축부 (48a) 의 상단부로부터 유지 테이블 (36) 의 중앙까지의 거리에 상당하는 길이로 유지 테이블 (36) 의 유지면에 대하여 평행한 방향으로 연장하는 파이프 형상의 부재이다.
이 아암부 (48b) 의 선단부 (축부 (48a) 와 접속되지 않는 측의 아암부 (48b) 의 단부 (端部)) 에는, 하방을 향한 세정 노즐 (48c) 이 형성되어 있다. 또한, 축부 (48a) 및 아암부 (48b) 는, 세정용의 유체 공급원 (도시하지 않음) 에 연통되어 있다.
그 때문에, 예를 들어, 세정 노즐 (48c) 을 유지 테이블 (36) 의 상방에 위치부여하도록 축부 (48a) 를 회전시킨 후에, 유체 공급원으로부터 축부 (48a) 및 아암부 (48b) 에 세정용 유체가 공급되면, 세정 노즐 (48c) 로부터 유지 테이블 (36) 의 유지면에 세정용 유체가 공급된다. 이 유체는, 물을 포함한다. 또, 이 유체는, 물과 공기의 혼합 유체여도 된다.
내주벽 (40c) 의 내측에 존재하는 원통상의 공간에는, 스핀들 (50) 이 상하로 통과되어 있다. 이 스핀들 (50) 은, 상단부가 유지 테이블 (36) 에 연결되고, 유지 테이블 (36) 을 지지한다.
또, 스핀들 (50) 의 하단부에는 모터 (52) 가 연결되어 있다. 그리고, 이 모터 (52) 를 동작시키면, 유지면의 중심을 통과하고, 또한, 유지면에 수직인 직선을 회전축으로 하여 유지 테이블 (36) 이 회전한다.
모터 (52) 는, 상하 방향으로 이동 가능한 양태로 지지 기구 (54) 에 지지되어 있다. 이 지지 기구 (54) 는, 모터 (52) 에 장착된 복수 (예를 들어, 3 개) 의 에어 실린더 (56) 를 구비하고, 각각의 에어 실린더 (56) 의 하부에는 지지다리 (58) 가 연결되어 있다.
그리고, 복수의 에어 실린더 (56) 를 동시에 동작시키면, 모터 (52), 스핀들 (50) 및 유지 테이블 (36) 이 승강한다. 예를 들어, 유지 테이블 (36) 에 판상 워크 (11) 를 반입하거나, 또는, 유지 테이블 (36) 로부터 판상 워크 (11) 를 반출할 때에는, 복수의 에어 실린더 (56) 를 동작시켜 반출입 위치에 유지 테이블 (36) 을 위치부여한다.
또, 판상 워크 (11) 를 세정할 때에는, 반출입 위치보다 하방의 세정 위치에 유지 테이블 (36) 을 위치부여한다. 또한, 도 1 에 있어서는, 유지 테이블 (36) 이 반출입 위치에 있는 상태의 세정 유닛 (34) 이 모식적으로 도시되어 있다.
또, 스핀들 (50) 의 측면에는, 방수벽 (40) 의 내주벽 (40c) 을 외측으로부터 둘러싸는 크기의 커버 부재 (60) 가 형성되어 있다. 이 커버 부재 (60) 는, 유지 테이블 (36) 이 세정 위치에 위치부여되었을 때에, 내주벽 (40c) 의 내측에 존재하는 원통상의 공간을 덮는다. 이에 따라, 판상 워크 (11) 를 세정할 때의 당해 공간으로의 물방울의 비산이 억제된다.
도 4 는, 유지 테이블 (36) 의 유지면으로 유지된 판상 워크 (11) 를 세정하는 모습을 모식적으로 나타내는 일부 단면 측면도이다. 이 판상 워크 (11) 를 세정할 때에는, 먼저, 반출입 위치에 위치부여된 유지 테이블 (36) 의 유지면에 판상 워크 (11) 를 반입한다.
구체적으로는, 흡인 패드 (26) 의 유지면으로 유지되고 있는 판상 워크 (11) 를 유지 테이블 (36) 의 유지면에 접근시키도록, 모터 (14) 및 지지 아암 (16) 의 선단부에 수용되어 있는 에어 실린더를 동작시킨 후, 흡인 패드 (26) 에 연통하는 흡인원의 동작을 정지한다.
이어서, 유지 테이블 (36) 을 세정 위치에 위치부여함과 함께 유지 테이블 (36) 의 유지면으로 판상 워크 (11) 를 유지한다. 구체적으로는, 유지 테이블 (36) 을 하강시키도록 에어 실린더 (56) 을 동작시킴과 함께 유지 테이블 (36) 의 포러스판 (36a) 에 연통하는 흡인원을 동작시킨다.
이 때, 반송 기구 (6) 에 있어서는, 소정의 간격 (예를 들어, 100 ㎜ ∼ 250 ㎜) 을 띄워, 커버부 (22) 의 포러스판 (32) 의 하면이 유지 테이블 (36) 의 유지면과 대향하도록 커버부 (22) 의 위치가 조정된다.
이어서, 노즐 유닛 (48) 의 세정 노즐 (48c) 을 판상 워크 (11) 의 상방에 위치부여하도록 축부 (48a) 의 하단부에 연결되어 있는 회전 구동원을 동작시킨다. 이어서, 유지 테이블 (36) 을 회전시키도록 모터 (52) 를 동작시킨다.
이에 따라, 클램프 (38) 의 추부에 원심력이 작용하여 추부가 외측으로 이동하고, 또한, 그 파지부가 내측으로 쓰러지도록 이동함으로써, 판상 워크 (11) 의 환상 프레임 (F) 이 클램프 (38) 의 파지부에 의해 파지된다.
이어서, 세정용의 유체 공급원으로부터 축부 (48a) 및 아암부 (48b) 를 개재하여 세정 노즐 (48c) 에 물을 공급한다 (도 4 참조). 이에 따라, 세정 노즐 (48c) 로부터 판상 워크 (11) 의 표면에 물이 공급된다. 그 결과, 판상 워크 (11) 의 웨이퍼 (W) 의 표면에 부착된 절삭 부스러기가 제거된다 (판상 워크 (11) 가 세정된다).
또, 판상 워크 (11) 가 세정될 때에는, 커버부 (22) 의 기판 (30) 의 천판 (30a) 에 형성되어 있는 흡인로 (30c) 와 연통하는 흡인원을 동작시킨다. 예를 들어, 커버부 (22) 의 포러스판 (32) 의 하면이 밀폐되어 있는 상태에 있어서, 흡인로 (30c) 의 게이지압이 -70 ㎪ ∼ -90 ㎪ 가 되도록 흡인원을 동작시킨다.
이 경우, 개방되어 있는 포러스판 (32) 의 하면 근방의 공간이 부압이 된다. 그 때문에, 판상 워크 (11) 의 세정 중에 반송 기구의 근방에 비산한 물방울은, 포러스판 (32) 에 흡인된다. 즉, 판상 워크 (11) 의 세정에 수반하는 반송 기구 (6) 에 대한 물방울의 부착이 억제된다. 그 결과, 판상 워크 (11) 의 세정에 수반하여 주위에 비산한 물방울이 다시 판상 워크 (11) 의 표면에 부착되는 것이 억제된다.
또한, 상기 서술한 내용은 본 발명의 일 양태로서, 본 발명의 내용은 상기 서술한 내용에 한정되지 않는다. 예를 들어, 본 발명의 세정 장치는, 절삭 장치 등의 다른 장치에 장착되어 있어도 된다. 또, 본 발명에 있어서는, 판상 워크 (11) 를 반송하는 반송 기구가 에어 실린더 등의 액추에이터 등에 의해 구현화 되어도 된다.
또, 본 발명에 있어서는, 유지 테이블 (36) 에 판상 워크 (11) 를 반입하는 반송 기구와 유지 테이블 (36) 로부터 판상 워크 (11) 를 반출하는 반송 기구가 따로 따로 형성되고, 2 개의 반송 기구의 일방에 커버부 (22) 가 형성되어 있어도 된다.
또, 본 발명에 있어서는, 세정 유닛 (34) 의 유지 테이블 (36) 은, 상면에 형성된 홈에 있어서 흡인력이 작용하는 유니버설 테이블이어도 된다. 또, 본 발명에 있어서는, 유지 테이블 (36) 의 외주면에 클램프 (38) 가 형성되어 있지 않아도 된다.
또, 본 발명에 있어서는, 판상 워크 (11) 를 세정할 때에, 노즐 유닛 (48) 의 세정 노즐 (48c) 로부터 물 및 공기가 동시에 공급되어도 된다. 또, 본 발명에 있어서는, 방수벽 (40) 에 의해 위요되는 세정 공간에, 노즐 유닛 (48) 과는 별도로 유체를 공급하는 노즐을 갖는 노즐 유닛이 형성되어 있어도 된다.
그 밖에, 상기 서술한 실시형태에 관련된 구조 및 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 적절히 변경하여 실시할 수 있다.
11 : 판상 워크 (W : 웨이퍼, T : 점착 테이프, F : 환상 프레임)
2 : 세정 장치
4 : 로드 포트 (4a : 재치면, 4b : 스토퍼)
6 : 반송 기구
8 : 가이드 레일
10 : 이동 부재
12 : 나사축
14 : 모터
16 : 지지 아암
18 : 로드 (18a : 흡인로)
20 : 지지판 (20a : 제 1 부분, 20b : 제 2 부분, 20c : 제 3 부분)
22 : 커버부
24 : 연통 부재
26 : 흡인 패드 (유지부)
28 : 접속 부재
30 : 기판 (30a : 천판, 30b : 측벽, 30c : 흡인로)
32 : 포러스판
34 : 세정 유닛
36 : 유지 테이블 (36a : 포러스판)
38 : 클램프
40 : 방수벽 (40a : 외주벽, 40b : 저벽, 40c : 내주벽)
42 : 배수구
44 : 배수관
46 : 지지다리
48 : 노즐 유닛 (48a : 축부, 48b : 아암부, 48c : 세정 노즐)
50 : 스핀들
52 : 모터
54 : 지지 기구
56 : 에어 실린더
58 : 지지다리
60 : 커버 부재

Claims (1)

  1. 판상 워크를 유지하는 유지면을 갖고, 그 유지면의 중심을 통과하고, 또한, 그 유지면에 수직인 직선을 회전축으로 하여 회전하는 유지 테이블과,
    그 유지 테이블에 유지된 그 판상 워크의 상방으로부터 그 판상 워크에 물을 공급하는 세정 노즐과,
    그 유지 테이블 및 그 세정 노즐이 배치되는 세정 공간의 상측을 개방하도록 그 세정 공간을 위요 (圍繞) 하는 방수벽과,
    그 유지 테이블에 그 판상 워크를 반입하고, 또한/또는, 그 유지 테이블로부터 그 판상 워크를 반출하는 반송 기구를 구비하고,
    그 반송 기구는,
    그 판상 워크를 유지하는 유지부와,
    그 유지부의 상방에 배치되는 커버부를 갖고,
    그 커버부는,
    그 유지부측에 형성되어 있는 포러스판과,
    그 포러스판과 흡인원에 연통하는 흡인로가 형성되어 있는 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
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