JP2022135314A - 搬送機構、及び、それを備える加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 複数のワークが載置された載置台を複数のワークとともに搬送する技術について、新しい技術を提供する。【解決手段】 複数のワークが載置されるワーク領域と該ワーク領域を囲繞する外周領域とを有する載置台を、該ワーク領域に複数のワークが載置された状態で搬送する搬送機構であって、該載置台の該外周領域に吸着して該載置台を保持するとともに、該ワーク領域に対応し該ワーク領域に載置された複数のワークを収容する収容部が形成された保持ユニットと、該保持ユニットを移動させる移動ユニットと、を備え、該保持ユニットは、該保持ユニットの移動中にワークの移動を抑止する移動抑止部を有した搬送機構とする。【選択図】図６

Description

本発明は、複数のワークが載置された載置台を複数のワークとともに搬送する搬送装置、及び、搬送装置を備えた加工装置に関する。

従来、例えば小さいサイズのワークを所定サイズのチップに切り出す際に、保持テーブル（保持台）で１つのワークを保持して加工するのでは効率が悪いため、複数のワークを並べて一度に加工することが行われている。

このように複数のワークを一度に加工する場合には、テープに複数のワークを貼着して固定することが広く行われており、テープにワークを貼着する治具も知られている（例えば、特許文献１参照。）。

特開２０１２－７４６５７号公報

しかし、テープのコストが掛かるため、このコストを削減するためにテープを使わずに複数のワークを同時にハンドリングしたいという要望がある。

そこで、テープを用いる代わりに、複数のワークを載置可能な載置台を利用してハンドリングする方法が考えられる。この場合、加工装置の保持テーブル（保持台）に載置台を搬送して載置した際に、ワークの配置が大きくずれることがあると、所定サイズに切り出せない等の加工不良の問題が生じることが懸念される。

本発明は以上の問題に鑑み、複数のワークが載置された載置台を複数のワークとともに搬送する技術について、新しい技術を提供するものである。

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

本発明の一態様によれば、
複数のワークが載置されるワーク領域と該ワーク領域を囲繞する外周領域とを有する載置台を、該ワーク領域に複数のワークが載置された状態で搬送する搬送機構であって、
該載置台の該外周領域に吸着して該載置台を保持するとともに、該ワーク領域に対応し該ワーク領域に載置された複数のワークを収容する収容部が形成された保持ユニットと、
該保持ユニットを移動させる移動ユニットと、を備え、
該保持ユニットは、該保持ユニットの移動中にワークの移動を抑止する移動抑止部を有した搬送機構とする。

また、本発明の一態様によれば、
該移動抑止部は、該収容部に設けられ、該ワークの一部に当接する部位にて構成される、こととする。

また、本発明の一態様によれば、該載置台の該ワーク領域には、複数のワークが互いに間隙を有して載置され、
該移動抑止部は、該間隙に対応し、隣接するワーク間にそれぞれ挿入される壁からなる、こととする。

また、本発明の一態様によれば、搬送機構を備えた加工装置であって、
該ワークを加工する加工ユニットと、
該加工ユニットで加工する複数のワークが載置された該載置台を保持する保持台と、
該加工ユニットを該保持台に対して相対移動させる相対移動機構と、
加工前の複数のワークが載置された該載置台を仮置きするロードテーブルと、
加工後の複数のワークが載置された該載置台を仮置きするアンロードテーブルと、
を備え、
該搬送機構は、該ロードテーブルから該保持台へと該載置台を搬送するとともに、該保持台から該アンロードテーブルへと該載置台を搬送する、加工装置とする。

本発明では、テープを用いる代わりに複数のワークを載置可能な載置台と保持ユニットを利用することで、複数のワークを同時にハンドリングすることが可能となる。また、搬送の際にはワークの位置ずれが抑制されるため、所定サイズに切り出せない等の加工不良の問題発生を防ぐことができる。

ワークと載置台の構成例について示す図。 載置台の側面断面図。 （Ａ）は載置台と保持ユニットについて示す図。（Ｂ）は保持ユニットの内側の構成について示す図。 （Ａ）は保持ユニットの移動抑止部の一実施例について示す図。（Ｂ）は保持ユニットの移動抑止部の他の実施例について示す図。 （Ａ）は保持ユニットの移動抑止部の別の実施例について示す図。（Ｂ）は保持ユニットの移動抑止部の別の実施例について示す図。 加工装置の構成例について示す斜視図。 保持ユニットの搬送について説明する図。 （Ａ）は保持ユニットにて載置台を保持台に載置した状態について説明する図。（Ｂ）は載置台が保持台に載置された状態について説明する図。 載置台が保持台に載置された状態について説明する図。 ワークの加工について説明する図。

以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
図１は、ワーク１と載置台１１の構成例について示す図である。
ワーク１は、サブストレート１ａ（基板）に被加工物１ｂを載置して構成される。サブストレート１ａは、例えば、ガラス、シリコン、カーボン等の板材にて構成される。被加工物１ｂは、例えば、ガラス、樹脂、セラミクス等の板材にて構成される。被加工物１ｂは、サブストレート１ａの上面にワックスや接着剤により固定される。なお、ワーク１は、サブストレート１ａがなく、被加工物１ｂよりなるものであってもよい。

載置台１１の上面１１ａには、複数のワーク１が載置されるワーク領域１２と、ワーク領域１２を囲繞する外周領域１３と、が形成される。

ワーク領域１２には、各ワーク１同士の間に所定の間隙を有して配置するための位置決マーク１２ａが複数箇所に設けられている。本実施例では、ワーク１のサブストレート１ａの底面の輪郭と略一致する大きさの矩形枠（矩形ライン）を表示することで、位置決マーク１２ａが構成される。なお、位置決マーク１２ａの具体的な構成は特に限定されるものではなく、線状の印で構成する他、例えば、ワーク１のサブストレート１ａを嵌め入れるようにして位置決めするための凹部にて構成することとしてもよい。

位置決マーク１２ａの内側には、各ワーク１を吸引保持するための吸引部１２ｂが形成される。本実施例では、四角枠と、その内側の十文字状と、を有する溝にて吸引部１２ｂが構成される。なお、吸引部１２ｂの具体的な構成は特に限定されるものではなく、例えば、複数の孔を有して構成されることとしてもよい。

図２に示すように、載置台１１の内部には、吸引部１２ｂに通じる吸引路１２ｃが形成される。載置台１１の吸引路１２ｃは、例えば、ロードテーブル４０の載置面４０ａに置かれると、載置面４０ａに形成された吸引口４０ｂと接続されるとともに、吸引口４０ｂと連通するバルブ４１ａを介して吸引源４１ｂに接続される。このような構成により、載置台１１の吸引部１２ｂが吸引源４１ｂに接続され、吸引部１２ｂによりワーク１が吸引保持される。

図３（Ａ）は、載置台１１と保持ユニット４４の構成について示す図である。図３（Ｂ）は、保持ユニット４４の内側の構成について示す図である。

図３（Ａ）（Ｂ）に示すように、保持ユニット４４は、載置台１１の外周領域１３に吸着して載置台１１を上から吊り下げるように保持するものである。保持ユニット４４には、ワーク領域１２に対応しワーク領域１２に載置された複数のワーク１を収容する収容部４４ｂが形成される。

図３（Ａ）（Ｂ）に示すように、保持ユニット４４は、載置台１１の上面１１ａに対向する保持側面４４ａを有し、保持側面４４ａにおいてワーク領域１２に対応する領域に窪みを形成することで、凹状の収容部４４ｂが形成される。

図３（Ａ）（Ｂ）に示すように、保持ユニット４４の保持側面４４ａには、収容部４４ｂを取り囲むように吸引溝４４ｃが形成される。吸引溝４４ｃは、保持側面４４ａと反対側の上面４４ｄと吸引路４４ｅを介して接続される。

図３（Ａ）に示すように、保持ユニット４４の上面４４ｄには、略コ字状の被吊り下げ部４６が設けられている。被吊り下げ部４６には吸引路４６ｐが形成されており、吸引路４６ｐがチューブを介して各吸引路４４ｅと接続される。被吊り下げ部４６の吸引路４６ｐは、詳しくは後述するように、吸引源４９ｂ（図６）と通じるように構成される。

図４（Ａ）に示すように、保持ユニット４４は、保持ユニット４４の移動中にワーク１の移動を抑止する移動抑止部４４ｆを有している。図４（Ａ）の実施例では、移動抑止部４４ｆは、収容部４４ｂに設けられる板状の部材にて構成され、ワーク１の一部である上面１ｍ（被加工物１ｂ）に当接し、ワーク１を上から押さえるようにしてワーク１の横ずれ等の移動を抑制する。

移動抑止部４４ｆは、例えば、ゴムなどからなる弾性部材や、板状のスポンジ等にて構成することができ、ワーク１の上面１ｍ（被加工物１ｂ）にした際の損傷を防止できる。

図４（Ｂ）は、保持ユニット４４Ａの別実施例である。図４（Ｂ）の実施例では、移動抑止部４４ｇは、ワーク１の間に形成される間隙に対応する位置に配置され、隣接するワーク間にそれぞれ挿入される壁にて構成される。ワーク１に横ずれが生じた場合には、サブストレート１ａが壁に接触し、ワーク１の大きな横ずれ等の移動を抑制する。

移動抑止部４４ｇを構成する壁は、保持ユニット４４Ａの本体に突起部を一体的に成形するほか、別部材を付設することで構成してもよい。移動抑止部４４ｇを構成する壁により、収容部４４ｂが小さいスペースに区画され、各スペースにワーク１が収容される。各スペースにおいてワーク１の上面１ｍ（被加工物１ｂ）との間に隙間が確保されることで、保持ユニット４４Ａとの接触による被加工物１ｂの損傷を防止できる。移動抑止部４４ｇを構成する壁は、ワーク１のサブストレート１ａに当接するように構成することとしてもよい。

図５（Ａ）（Ｂ）は、保持ユニット４４Ｂの別実施例である。図５（Ａ）（Ｂ）の実施例では、保持ユニット４４Ｂにバキュームパット４４ｖを設け、バキュームパット４４ｖにて載置台１１を吸引保持する構成とするものである。

移動抑止部４４ｈは、ワーク１の間に形成される間隙に対応する位置に配置され、隣接するワーク１間にそれぞれ挿入される壁にて構成される。ワーク１に横ずれが生じた場合には、サブストレート１ａが壁に接触し、ワーク１の大きな横ずれ等の移動を抑制する。

移動抑止部４４ｈを構成する壁は、保持ユニット４４Ｂの本体に突起部を一体的に成形するほか、別部材を付設することで構成してもよい。移動抑止部４４ｈを構成する壁により、収容部４４ｂが小さいスペースに区画され、各スペースにワーク１が収容される。保持ユニット４４Ｂにおいて、各スペースにおいてワーク１の上面１ｍ（被加工物１ｂ）の上方が開放部４４ｍにより開放され、保持ユニット４４Ｂとの接触による被加工物１ｂの損傷を防止できる。移動抑止部４４ｈを構成する壁は、ワーク１のサブストレート１ａに当接するように構成することとしてもよい。

次に、以上のように構成した載置台と保持ユニットを利用した加工装置の構成例について説明する。図６は、加工装置２の一例である切削装置について示す図である。

図６に示すように、加工装置２は、各構成を支持する装置基台４を備え、装置基台４上にワーク１を載置した載置台１１を吸引保持する保持台６と、ワーク１を切削する加工ユニット８と、を備える。加工装置２は、載置台１１に載置された複数のワーク１を保持台６で吸引保持するとともに、加工ユニット８により切削加工をするものである。

保持台６は、一端が吸引源に接続された吸引路（不図示）を内部に有し、吸引路の他端が保持台６の上面の保持面６ａに形成された吸引溝部に接続される。保持台６は、保持面６ａに垂直な方向に沿った軸の周りに回転可能に構成される。

複数のワーク１を載置した載置台１１を保持面６ａ上に載せ、吸引源を作動させると、載置台１１が保持台６に吸引保持されるとともに、載置台１１の内部に形成される吸引路１２ｃ（図１）を通じて載置台１１の上面の吸引部１２ｂ（図１）に負圧が生じ、この負圧によって各ワーク１が載置台１１に吸引保持される。

装置基台４の上面の中央部にはＸ軸方向に沿って長辺を有する開口部１６が設けられており、開口部１６の内部には、保持台６の下方に位置するＸ軸移動テーブル１８と、一端がＸ軸移動テーブル１８に取り付けられた防塵防滴カバー２０と、が配設される。保持台６とＸ軸移動テーブル１８は、防塵防滴カバー２０の下方の領域に配設された加工送りユニット（不図示）によりＸ軸方向に移動される。

ワーク１の切削時には、保持台６は加工送りユニットによりＸ軸方向（加工送り方向）に加工送りされる。また、保持台６は加工送りユニットによりワーク１が切削される加工領域６２と、載置台１１が保持台６へ搬入出される搬入出領域６０と、の間で移動する。

装置基台４の上面の後部には、開口部１６の上部に伸長する突出部を有する支持構造２２が立設される。支持構造２２の前側面には、Ｙ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール２４が設けられており、Ｙ軸ガイドレール２４にはＹ軸移動プレート２６がスライド可能に取り付けられている。

Ｙ軸移動プレート２６の後面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール２４に平行なＹ軸ボールねじ２８が螺合される。Ｙ軸ボールねじ２８の一端には、Ｙ軸パルスモータ３０が連結される。Ｙ軸パルスモータ３０でＹ軸ボールねじ２８を回転させると、Ｙ軸移動プレート２６はＹ軸ガイドレール２４に沿ってＹ軸方向に移動する。

一対のＹ軸ガイドレール２４と、Ｙ軸移動プレート２６と、Ｙ軸ボールねじ２８と、Ｙ軸パルスモータ３０と、は、加工ユニット８及びカメラユニット１０をＹ軸方向に割り出し送りする割り出し送りユニットＵｙとして機能する。

Ｙ軸移動プレート２６の前面には、Ｚ軸方向に伸長する一対のＺ軸ガイドレール３２と、それぞれのＺ軸ガイドレール３２にスライド可能に取り付けられたＺ軸移動プレート３４と、が配設される。Ｚ軸移動プレート３４の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール３２に平行なＺ軸ボールねじ３６が螺合される。

Ｚ軸ボールねじ３６の一端には、Ｚ軸パルスモータ３８が連結される。Ｚ軸パルスモータ３８でＺ軸ボールねじ３６を回転させれば、Ｚ軸移動プレート３４は、Ｚ軸ガイドレール３２に沿ってＺ軸方向に移動する。Ｚ軸移動プレート３４の前面側下部には、加工ユニット８と、カメラユニット１０と、が固定される。

一対のＺ軸ガイドレール３２と、Ｚ軸移動プレート３４と、Ｚ軸ボールねじ３６と、Ｚ軸パルスモータ３８と、は、加工ユニット８及びカメラユニット１０を保持台６の保持面６ａに垂直なＺ軸方向に移動させる昇降ユニットＵｚとして機能する。そして、割り出し送りユニットＵｙと、昇降ユニットＵｚと、は、加工ユニット８を保持台６に対して相対移動させる相対移動機構として機能する。

加工ユニット８は、Ｙ軸方向に沿ったスピンドル（不図示）と、スピンドルの先端に装着された円環状の切削ブレード８ａと、を備える。スピンドルの基端側には、スピンドルをＹ軸方向の周りに回転させるスピンドルモータ（不図示）が接続される。スピンドルモータによりスピンドルを回転させると、切削ブレード８ａが回転する。

切削ブレード８ａは外周部に切刃を備える。切刃は、例えば、砥粒と、砥粒が分散された結合材と、を含む。回転する切削ブレード８ａを所定の高さ位置に位置づけ、載置台１１（保持台６）を加工送り方向に移動させると、切削ブレード８ａによりワーク１が切削される。

加工ユニット８は、切削ブレード８ａの側方にノズル８ｂを備えており、ノズル８ｂからワーク１の上面及び切削ブレード８ａに切削液が供給される。

ノズル８ｂから供給される切削液は、例えば、純水である。切削液は、ワーク１や切削ブレード８ａを冷却する機能を有する。また、切削加工により生じる切削屑等は、切削液によりワーク１の外部に流されて排除される。

装置基台４の上面の搬入出領域６０に隣接した位置には、加工前の複数のワーク１を載置した載置台１１を仮置きするロードテーブル４０が設定される。オペレータは、任意のタイミングで載置台１１をロードテーブル４０に仮置する。

装置基台４の上面の搬入出領域６０に隣接する他の位置には、加工後の複数のワーク１を載置した載置台１１を仮置するアンロードテーブル５０が設けられている。オペレータは、加工後に保持台６から載置台１１をアンロードテーブル５０上に仮置し、任意のタイミングでアンロードテーブル５０から載置台１１を搬出する。

加工装置２は、ロードテーブル４０に載せられた載置台１１を搬入出領域６０に位置する保持台６に搬送するための搬送機構を備える。搬送機構は、保持ユニット４４と、保持ユニット４４を移動させる移動ユニットと、を備えて構成される。

保持ユニット４４の上面には略コの字型の被吊り下げ部４６が設けられており、被吊り下げ部４６の上側の水平部の下面が、アーム４２の先端に設けた吊り下げ部４８に持ち上げられる。これにより、保持ユニット４４がアーム４２に吊り下げられるようにして、アーム４２によって着脱可能に支持され、また搬送されることができる。

保持ユニット４４は、使用されない場合には待機テーブル５８に仮置される。保持ユニット４４が使用される際には、アーム４２を移動させて待機テーブル５８に仮置された保持ユニット４４を装着する。保持ユニット４４はアーム４２と一体となり、Ｚ軸移動プレート３４のＹ軸方向移動、Ｚ軸方向移動に伴って移動する。

以上の構成において、アーム４２（Ｚ軸移動プレート３４）、アーム４２をＹ軸方向移動させる割り出し送りユニットＵｙ、及び、アーム４２をＺ軸方向に移動させる昇降ユニットＵｚ、により、保持ユニット４４を移動させる移動ユニットＵ４４が構成される。なお、アーム４２、割り出し送りユニットＵｙ、及び、昇降ユニットＵｚにより保持ユニット４４を移動させる移動ユニットＵ４４を構成することとするほか、保持ユニット４４を移動させるための専用の移動ユニットを別に設けることとしてもよい。

アーム４２の吊り下げ部４８と、保持ユニット４４の被吊り下げ部４６には、互いに連通する吸引路４２ｐ，４６ｐがそれぞれ形成される。アーム４２で保持ユニット４４を吊り下げて支持した状態では、各吸引路４２ｐ，４６ｐが連通する。アーム４２側の吸引路４２ｐはバルブ４９ａを通じて吸引源４９ｂに通じており、吸引路４２ｐ，４６ｐが連通することで、保持ユニット４４の吸引溝４４ｃ（図３（Ａ）（Ｂ））に負圧が発生する。

保持ユニット４４の吸引溝４４ｃ（図３（Ａ）（Ｂ））に負圧が発生することで、保持ユニット４４により載置台１１が吊り下げられるようにして吸引保持される（図８（Ｂ））。

なお、アーム４２及び被吊り下げ部４６は、軽量化のために、例えば、アルミニウムを主成分とする金属材料で形成される。ただし、アーム４２と被吊り下げ部４６の接触部分にはステンレス鋼が用いられてもよく、接触面は研磨されてもよい。さらに、接触部分には、吸引路４２ｐ，４６ｐの接続部分の気密性を高めるために、該接続部分の周囲を囲むようにＯリング等のシール部材が設けられてもよい。

図６に示すように、加工装置２は、加工領域６２と、搬入出領域６０と、の間における保持台６の移動経路の上方に、開口部１６を割り出し送り方向（Ｙ軸方向）に跨るパイプ状の洗浄ノズル５４を備える。洗浄ノズル５４には、下方に向いた複数の噴出口（不図示）が設けられており、洗浄ノズル５４は噴出口から純水等の洗浄液を噴出できる。保持台６が加工領域６２から搬入出領域６０に移動する際に洗浄ノズル５４から洗浄液を噴出させると、加工ユニット８により切削されたワーク１を洗浄できる。

なお、洗浄の効果を高めるために、洗浄ノズル５４からは高圧な洗浄液がワーク１に向けて噴出されてもよい。また、洗浄ノズル５４からはエアーと、水と、が混合された２流体が噴出されてもよい。

図６に示すように、加工装置２は、搬入出領域６０と、アンロードテーブル５０の間には、開口部１６を割り出し送り方向（Ｙ軸方向）に跨るパイプ状の乾燥ノズル５６を備える。乾燥ノズル５６には、下方に向いた複数の噴出口（不図示）が設けられており、乾燥ノズル５６は噴出口から乾燥空気等の気体を噴出できる。加工後に搬入出領域６０に移動した載置台１１に載置されるワーク１に対し、乾燥ノズル５６から気体を噴出させることで、切削液等が付着したワーク１を乾燥できる。

次に、加工装置２への載置台１１の搬入出と、ワーク１の切削について説明する。
まず、図６に示すように、オペレータは、ロードテーブル４０に載置台１１を載せるとともに、載置台１１の各位置決マーク１２ａに合わせるようにしてワーク１を載置する。なお、予めワーク１が載置された載置台１１をロードテーブル４０に載せることとしてもよい。

この際、ロードテーブル４０に載せられた載置台１１の吸引部１２ｂに負圧を生じさせることで、各ワーク１が位置決マーク１２ａ内において吸引保持され、位置決マーク１２ａに合わせて配置されたワーク１の位置ずれが防止される。

次に、図６及び図７に示すように、アーム４２を移動させ、待機テーブル５８に仮置された保持ユニット４４をアーム４２で持ち上げる。そのまま保持ユニット４４をＹ軸方向に移動して載置台１１の上方に移動させた後、保持ユニット４４を下降させて載置台１１の上にセットして図４（Ａ）に示す状態とする。

次に、図４（Ａ）に示すように、ロードテーブル４０側の吸引を停止するとともに、保持ユニット４４にて載置台１１を吸引保持する。そして、保持ユニット４４と一体となった載置台１１を上昇させた後、図７に示すように、そのまま載置台１１を搬入出領域６０に移動した保持台６の上方まで移動させる。

次に、図８（Ａ）に示すように、保持ユニット４４を下降させ保持台６に載置台１１を載置した後、保持ユニット４４による載置台１１の吸引保持を停止する。そして、図８（Ｂ）に示すように、保持ユニット４４を上昇させ、載置台１１を保持台６上に載置したままの状態とする。

以上のようにして、ロードテーブル４０に載置された載置台１１が保持台６へ搬送される。この搬送の過程において、保持ユニット４４の移動抑止部４４ｆ（図４（Ａ））がワーク１の一部に当接することで、ワーク１の横ずれ等の移動が抑制される。

次に、図９に示すように、保持ユニット４４を待機テーブル５８の位置まで移動させ、保持ユニット４４を待機テーブル５８に仮置する。これにより、アーム４２から保持ユニット４４が外された状態となる。

また、図９に示すように、保持台６の保持面６ａの吸引が開始され、載置台１１が保持面６ａに吸引保持されるとともに、載置台１１の吸引溝４４ｃに生じる負圧によって各ワーク１が載置台１１の上面において吸引保持される。

以上のようにして、保持台６に載置台１１が保持された状態として、図１０に示すように、加工送りユニットにて保持台６を加工領域６２に移動する。そして、加工ユニット８の切削ブレード８ａをワーク１の切削に適した所定の高さに位置付けるとともに、保持台６を加工送り方向に移動させることで、割り出し送り方向の或る位置におけるワーク１（被加工物１ｂ）の加工が行われる。

割り出し送り方向の或る位置における切削を行った後、加工ユニット８を割り出し送り方向にインデックス送りをし、再び加工送りユニットを作動させてワーク１を切削する。そして、一つの方向に沿ったワーク１の切削が完了した後、保持台６を保持面６ａに垂直な軸の周りに回転させて、他の方向に沿ってワーク１を切削する。以上の切削加工により、ワーク１の被加工物１ｂ（図１）は、例えば、所定サイズに切り出される。

図１０に示すように、ワーク１を切削する際は、ノズル８ｂから切削液を噴出させ、切削ブレード８ａ及びワーク１に切削液を供給する。切削によりワーク１から生じる切削屑は切削液により洗い流される。また、ワーク１と、切削ブレード８ａと、の摩擦により生じる熱は切削液により除去される。

なお、図６に示すように、オペレータは、切削がなされている間に、新たな載置台１１をロードテーブル４０に載せるとともに、ワーク１を載置台１１に載置して、次の載置台１１の搬入の準備を行うこととしてもよい。

図６に示すように、載置台１１に載置された全てのワーク１についての切削が完了した後は、保持台６が搬入出領域６０に移動される。この際、乾燥ノズル５６から高圧気体が噴出され、ワーク１が乾燥される。

乾燥後、搬入出領域６０に移動した保持台６の保持面６ａの吸引が停止され、載置台１１の吸引保持が解除される。オペレータは、載置台１１をアンロードテーブル５０へと搬出する。オペレータは、任意のタイミングでアンロードテーブル５０から載置台１１を搬出する。

以上に説明した実施例では、テープを用いる代わりに複数のワークを載置可能な載置台と保持ユニットを利用することで、複数のワークを同時にハンドリングすることが可能となる。また、搬送の際にはワークの位置ずれが抑制されるため、所定サイズに切り出せない等の問題発生を防ぐことができる。

１ ワーク
１ａ サブストレート
１ｂ 被加工物
１ｍ 上面
２ 加工装置２
６ 保持台
６ａ 保持面
８ 加工ユニット
１１ 載置台
１１ａ 上面
１２ ワーク領域
１２ａ 位置決マーク
１２ｂ 吸引部
１３ 外周領域
４０ ロードテーブル
４２ アーム
４４ 保持ユニット
４４ａ 保持側面
４４ｂ 収容部
４４ｃ 吸引溝
４４ｄ 上面
４４ｅ 吸引路
４４ｆ 移動抑止部
４４ｍ 開放部
４４ｖ バキュームパット
５０ アンロードテーブル
５８ 待機テーブル
６０ 搬入出領域
６２ 加工領域
Ｕ４４ 移動ユニット
Ｕｙ 割り出し送りユニット
Ｕｚ 昇降ユニット

Claims (4)

1. 複数のワークが載置されるワーク領域と該ワーク領域を囲繞する外周領域とを有する載置台を、該ワーク領域に複数のワークが載置された状態で搬送する搬送機構であって、
   該載置台の該外周領域に吸着して該載置台を保持するとともに、該ワーク領域に対応し該ワーク領域に載置された複数のワークを収容する収容部が形成された保持ユニットと、
   該保持ユニットを移動させる移動ユニットと、を備え、
   該保持ユニットは、該保持ユニットの移動中にワークの移動を抑止する移動抑止部を有した搬送機構。
2. 該移動抑止部は、該収容部に設けられ、該ワークの一部に当接する部位にて構成される、ことを特徴とする請求項１に記載の搬送機構。
3. 該載置台の該ワーク領域には、複数のワークが互いに間隙を有して載置され、
   該移動抑止部は、該間隙に対応し、隣接するワーク間にそれぞれ挿入される壁からなる、ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の搬送機構。
4. 請求項１～３のいずれか一項に記載の搬送機構を備えた加工装置であって、
   該ワークを加工する加工ユニットと、
   該加工ユニットで加工する複数のワークが載置された該載置台を保持する保持台と、
   該加工ユニットを該保持台に対して相対移動させる相対移動機構と、
   加工前の複数のワークが載置された該載置台を仮置きするロードテーブルと、
   加工後の複数のワークが載置された該載置台を仮置きするアンロードテーブルと、
   を備え、
   該搬送機構は、該ロードテーブルから該保持台へと該載置台を搬送するとともに、該保持台から該アンロードテーブルへと該載置台を搬送する、加工装置。
   
   
   

Images