JP2021171881A - 切削装置及び載置プレート - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、切り刃に切削屑が付着するような軟らかい材質を切削した際は、予め設定した距離を切削したら、ドレッサボードの切削により、付着した切削屑を切り刃から除去する。
一方、硬い材質を切削した際には、切り刃の砥粒が目潰れするために切削効率が低下する。そのため、軟らかい材質の切削時と同じようにドレッサボードを切削することにより目潰れした砥粒を除去して新たな砥粒を表出させ切れ味を復活させる必要が有る。
このように、切り刃を目詰まりさせる被加工物、または切り刃を目潰れさせる被加工物を切削する際は、所定の距離を切削したらドレッサボードを切削して切削ブレードの切り刃の切れ味を復活させる必要が有る。
従来、ドレッサボードの交換が必要になった場合には、ウェーハの切削加工を一時停止してドレッシングボードの交換要求を作業者に通知し、そして、その通知を受けた作業者がドレッサボードを交換してドレッシングを実施し、切削加工を再開しており、作業者にとっての負担が大きく、生産性を低下させる要因の一つとなっている。
そこで、切削装置には、ドレッサボードの交換時における作業者の関与度合を低下させ、ドレッシングを可能にすることによって、連続的に切削加工をするという解決すべき課題がある。
上記の切削装置は、該ドレッサボードが仮置きされるドレッサ仮置き部と、制御手段とを備え、該制御手段は、該ドレッサ保持ユニットと、該Y軸移動手段と、該X軸移動手段とを少なくとも制御し、該ドレッサ仮置き部と該サブチャックテーブルとの間で該ドレッサボードを搬送する切削装置であることが望ましい。
本発明は、保持面に被加工物を保持するチャックテーブルを有する保持手段と、切削ブレードが回転可能に配設され被加工物を切削する切削手段と、該切削手段を該保持面に垂直なZ軸方向に移動させるZ軸移動手段と、該切削ブレードの切削送り方向のX軸方向に該保持手段を移動させるX軸移動手段と、該Z軸方向と該X軸方向とに直交するY軸方向に該Z軸移動手段を移動させるY軸移動手段と、該チャックテーブルに隣接するように該保持手段に配設され砥粒を接着し板状にしたドレッサボードを保持するサブチャックテーブルと、被加工物を複数収容可能なカセットが載置されるカセットステージと、被加工物を搬送する該搬送手段と、制御手段と、を備える切削装置であって、さらに該ドレッサボードが載置される載置部を有する載置プレートと、該保持面が保持した該載置プレートの該載置部に載置された該ドレッサボードを保持するドレッサ保持ユニットと、を備え、該ドレッサ保持ユニットは、該ドレッサボードを保持する保持部と、該保持部を該Z軸方向に移動させる上下移動手段と、を備え、該制御手段は、該X軸移動手段と該Y軸移動手段と該ドレッサ保持ユニットとを制御して、該サブチャックテーブルと該チャックテーブルに保持された該載置プレートの該載置部との間に該ドレッサボードを搬送する切削装置である。
上記の切削装置に備える該載置プレートは、該載置部を少なくとも2つ備え、該載置部の少なくとも1つに該ドレッサボードが載置されていて、該制御手段は、該カセットステージに載置された該カセットに収納されている該載置プレートを該保持面に搬入するために該搬送手段を制御する載置プレート搬入制御部と、該保持面に保持された該載置プレートの該ドレッサボードが載置されていない該載置部に該サブチャックテーブルが保持しているドレッサボードを搬出するために該X軸移動手段と該Y軸移動手段と該ドレッサ保持ユニットとを制御するドレッサ搬出制御部と、該保持面に保持された該載置プレートの該載置部に載置されている該ドレッサボードを該サブチャックテーブルに搬入するために該X軸移動手段と該Y軸移動手段と該ドレッサ保持ユニットとを制御するドレッサ搬入制御部と、該保持面に保持されている該載置プレートを該保持面から搬出し該カセットステージに載置された該カセットに収納するために該搬送手段を制御する載置プレート搬出制御部と、を備える切削装置であることが望ましい。
上記の切削装置に備える該載置プレートは、該載置部を少なくとも2つ備え、該載置部の少なくとも1つに該ドレッサボードが載置されており、切削加工された被加工物を載置する検査テーブルを備え、該制御手段は、該検査テーブルに載置された該載置プレートを該保持面に搬入するために該搬送手段を制御する第2載置プレート搬入制御部と、該保持面に保持された該載置プレートの該ドレッサボードが載置されていない該載置部に該サブチャックテーブルが保持しているドレッサボードを搬出するために該X軸移動手段と該Y軸移動手段と該ドレッサ保持ユニットとを制御する第2ドレッサ搬出制御部と、該保持面に保持された該載置プレートの該載置部に載置されている該ドレッサボードを該サブチャックテーブルに搬入するために該X軸移動手段と該Y軸移動手段と該ドレッサ保持ユニットとを制御する第2ドレッサ搬入制御部と、該保持面に保持されている該載置プレートを該カセットステージに載置された該カセットに収納するために該搬送手段を制御する第2載置プレート搬出制御部と、を備える切削装置であることが望ましい。
本発明は、ドレッサボードを載置させるための少なくとも2つの載置部を有し、外形が被加工物と同形状の載置プレートである。
図1に示す切削装置1は、被加工物140を切削加工する切削装置である。
被加工物140が環状のフレーム141の内側に位置付けられている状態で、フレーム141の下面と被加工物140の下面とにテープ142が貼着されることにより、ウェーハ140、フレーム141、及びテープ142が一体化されたワークユニット14が形成される。被加工物140の上面1400には、互いに直交する複数の分割予定ライン1402が形成されており、分割予定ライン1402によって区画された領域には、デバイス1401が配設されている。
以下、切削装置1の構成について説明する。
切削装置1における+X方向側の領域は、ワークユニット14等の搬送が行われる搬送エリア18であり、切削装置1における−X方向側の領域は、ワークユニット14を構成する被加工物140の切削加工等が行われる加工エリア19である。加工エリア19は、筐体カバー13に覆われている。
図1においては、載置プレート71の第1載置部711にドレッサボード15が載置されており、第2載置部712にはドレッサボード15が載置されていない様子が図示されている。
検査テーブル17の周りには、図示しない検査キットが配設されており、該検査キットを用いて検査テーブル17に保持された被加工物140の検査をすることが可能となっている。
搬出入手段73は、筐体カバー13の+X方向側の側面に、Y軸方向に延ばされて配設されたボールネジ730を備えている。ボールネジ730には、図示しないモータが接続されている。また、搬出入手段73は、ボールネジ730に平行に配設されたガイドレール731と、側部のナットがボールネジ730に螺合してガイドレール731に摺接するアーム部734とを備えている。アーム部734は、ボールネジ730から−Z方向に向かって垂下している。アーム部734の−Z方向側の端部には、挟持部735が連結されている。挟持部735は、図示しない挟持機構を有している。
チャックテーブル20に隣接する位置には、挟持部735から引き出された載置プレート71が載置される2本のレール27がY軸方向に延ばされて配設されている。この2本のレール27は、互いがY軸方向に接近及び離間可能となっている。
搬送パッド725は、例えば4つの吸盤7250を備えており、吸盤7250は、図示しない吸引源等に接続されている。吸盤7250に載置プレート71が接触している状態で、該吸引源を作動させることにより、吸盤7250に載置プレート71を吸引保持することができる。
また、ガイドレール501に隣接される位置には、保持手段2のX軸方向の水平位置を認識するためのスケール504が配設されている。
また、ガイドレール411に隣接する位置には、昇降板413の高さ位置を認識するためのスケール414が配設されている。昇降板413の高さ位置を認識することによって、昇降板に連結された第1切削手段31等の高さ位置を認識することが可能となっている。
また、ガイドレール421に隣接する位置には、昇降板423の高さ位置を認識するためのスケール424が配設されている。昇降板423の高さ位置を認識することによって、昇降板に連結された第2切削手段32の高さ位置を認識することが可能となっている。
また、ガイドレール511に隣接する位置には、第1Z軸移動手段41、及び第2Z軸移動手段のY軸方向の水平位置を認識するためのスケール514が配設されている。
第1保持部610の下面619には、複数の分岐路680に貫通されて形成された吸引孔6190が設けられている。
吸引路67には、吸引源614が接続されている。吸引源614を作動して吸引力を発揮すると、生み出された吸引力が吸引路67、連通路68、及び分岐路680を通じて吸引孔6190に伝達されることとなる。
上下移動手段611は、例えば図示しないエア源に接続されている。該エア源からシリンダ612の内部にエアを供給することにより、ピストン613をシリンダ612から−Z方向に突出させることができる。該エア源からシリンダ612の内部に供給するエアの供給量を制御して、ピストン613をZ軸方向に昇降させることにより、第1保持部610を昇降させることができる。
第2ドレッサ保持ユニット62は、第1ドレッサ保持ユニット61と同様に構成されている。第2ドレッサ保持ユニット62は、ドレッサボード15を保持する第2保持部620と、第2保持部620をZ軸方向に移動させる上下移動手段621とを備えている。
上下移動手段621は、例えば図示しないエア源に接続されている。該エア源からシリンダ622の内部にエアを供給することにより、ピストン623をシリンダ622から−Z方向に突出させることができる。該エア源からシリンダ622の内部に供給するエアの供給量を制御して、ピストン623をZ軸方向に昇降させることにより、第2保持部620を昇降させることができる。
(被加工物の切削加工)
上記の切削装置1を用いた被加工物140の切削加工の際の切削装置1の動作について、以下に説明する。
そして、搬送手段72を用いてワークユニット14をチャックテーブル20から検査テーブル17に搬送し、検査テーブル17の保持面170に被加工物140保持する。そして、被加工物140が適切に切削加工されたどうか検査する。
なお、検査テーブル17の上方には、保持面170に保持された被加工物140の上面を撮像するカメラが配置されている。
上記のように、切削装置1を用いて複数の被加工物140を切削加工していくと、図2に示した第1切削手段31の切削ブレード310及び第2切削手段の切削ブレード320の切り刃に目つぶれが生じて切削効率が低下する。そこで、切削ブレードを用いて図5に示す第1ドレッサボード151を切削して切削ブレードをドレッシングすることにより、切り刃に生じている目つぶれを解消して切削ブレードの切れ味を取り戻す。
以下、切削装置1に備える第1切削手段31の切削ブレード310のドレッシングを行う際の切削装置1の動作について説明する。
すなわち、撮像手段33のカメラ等を用いて第1サブチャックテーブル251に保持されている第1ドレッサボード151を撮像し、撮像された画像に基づいて、第1切削手段31をY軸方向に移動させる。
これにより、切削ブレード310が切削ブレード310のドレッシングを開始するためのY軸位置に位置づけられる。
なお、撮像手段33を用いなくてもよい。第1サブチャックテーブル251のY軸方向の位置と、第1ドレッサボード151の大きさを記憶していて、第1切削手段31をY軸方向に移動させる。また、ドレッシングの終了時に切削ブレード310のY軸方向の位置を記憶していて、次回のドレッシングを開始するY軸位置に切削ブレード310を位置づけてもよい。
切削ブレード310及び320のドレッシングは、例えば所定の枚数の被加工物140を切削加工する毎に行われるものとする。
例えば、所定の枚数の被加工物140を切削加工する毎に、第1ドレッサボード151に切削ブレード310及び320を切り込ませると、第1ドレッサボード151の上面に複数の溝が形成されていき、次第に第1ドレッサボード151の上面に未切削の領域がなくなっていく。
そこで、例えば、第1サブチャックテーブル251に保持されている第1ドレッサボード151を用いて切削ブレード310を所定の回数だけドレッシングした後、第1ドレッサボード151を未使用の第2ドレッサボード152に交換する。
以下、第1サブチャックテーブル251に保持されている第1ドレッサボード151を第2ドレッサボード152に交換する際の切削装置1の動作について説明する。
そして、図2に示した上下移動手段611を用いて第1保持部610を−Z方向に下降させるとともに、第1保持部610に作用している吸引力を取り除いてドレッサ仮置き部63に第1ドレッサボード151を仮置きする。
載置プレート71は、Y軸方向に第1載置部711と第2載置部712とが並ぶように保持面210に保持させている。
次いで、上下移動手段611を制御して、第1保持部610を下降させて、第1保持部610に第1ドレッサボード151を保持してから、第1保持部610を上昇させる。
なお、検査テーブル17に搬入した第2ドレッサボード152の上面をカメラで撮像し、第1ドレッサボード151がドレッシング可能か否かを検査する。
なお、検査テーブル17の保持面170に保持された載置プレート71の第2ドレッサボード152の上面を洗浄する洗浄ノズルを備えて、洗浄ノズルから洗浄水を噴射させ、チャックテーブル20の保持面210に載置プレート71を搬入する前に載置プレート71に載置されている第2ドレッサボード152を洗浄してもよい。
また、チャックテーブル20の保持面210から搬出し検査テーブル17の保持面170に保持された載置プレート71の第1ドレッサボード151に洗浄ノズルから洗浄水を噴射させ洗浄してもよい。
第3保持部91は、図11に示すように、上下移動手段93に連結された連結部材911と、連結部材911の下端に配設された支持板910と、支持板910の両端に配設された把持部90とを備えている。把持部90は、かぎ爪状を有しており、回転軸95を軸にして回転自在である。また、各々の把持部90の上部側面には、錘94が配設されている。
ドレッサボード15が把持部90に把持されている状態で、上下移動手段93を用いて第3保持部91を+Z方向に上昇させることにより、ドレッサボード15を搬送することができる。
14:ワークユニット
140:被加工物 140:ウェーハ 141:フレーム 142:テープ
1400:上面 1401:デバイス 1402:分割予定ライン
15:ドレッサボード 151:第1ドレッサボード 152:第2ドレッサボード
17:検査テーブル 170:保持面 171:クランプ
18:搬送エリア 19:加工エリア
2:保持手段 20:チャックテーブル 21:吸引部 210:保持面 22:枠体
220:枠体の上面 23:クランプ 24:回転手段
251:第1サブチャックテーブル 252:第2サブチャックテーブル
26:支柱 27:レール
31:第1切削手段 310:切削ブレード 311:スピンドルハウジング
32:第2切削手段 320:切削ブレード 321:スピンドルハウジング
33:撮像手段
41:第1Z軸移動手段 410:ボールネジ 411:ガイドレール
412:Z軸モータ 413:昇降板 414:スケール
42:第2Z軸移動手段 420:ボールネジ 421:ガイドレール
422:Z軸モータ 423:昇降板 424:スケール
50:X軸移動手段 500:ボールネジ 501:ガイドレール
502:X軸モータ 503:可動板 504:スケール
51:第1Y軸移動手段 510:ボールネジ
511:ガイドレール 513:スライド板
52:第2Y軸移動手段 520:ボールネジ 521:ガイドレール
522:Y軸モータ 523:スライド板 524:スケール
61:第1ドレッサ保持ユニット 610:第1保持部 611:上下移動手段
612:シリンダ 613:ピストン 614:吸引源 616:軸部
67:吸引路 68:連通路 680:分岐路 618:シール部 619:下面
6190:吸引孔
62:第2ドレッサ保持ユニット 620:第2保持部 621:上下移動手段
622:シリンダ 623:ピストン
63:ドレッサ仮置き部 630:上面 631:支持柱
700:カセットステージ 70:カセット 71:載置プレート
710:上面 711:第1載置部 712:第2載置部
72:搬送手段 720:ボールネジ 721:ガイドレール 722:モータ
723:可動板 724:連結板 725:搬送パッド 7250:吸盤
73:搬出入手段 730:ボールネジ 731:ガイドレール
734:アーム部 735:引き出し具
9:第3ドレッサ保持ユニット 91:第3保持部 910:支持板
911:連結部材 90:把持部 900:爪 93:上下移動手段
94:錘 95:回転軸
64:制御手段 641:載置プレート搬入制御部 642:ドレッサ搬出制御部
643:ドレッサ搬入制御部 644:載置プレート搬出制御部
651:第2載置プレート搬入制御部 652:第2ドレッサ搬出制御部
653:第2ドレッサ搬入制御部 654:第2載置プレート搬出制御部
Claims (6)
- 保持面に被加工物を保持するチャックテーブルを有する保持手段と、
切削ブレードが回転可能に配設され被加工物を切削する切削手段と、
該切削手段を該保持面に垂直なZ軸方向に移動させるZ軸移動手段と、
該切削ブレードの切削送り方向のX軸方向に該保持手段を移動させるX軸移動手段と、
該Z軸方向と該X軸方向とに直交するY軸方向に該Z軸移動手段を移動させるY軸移動手段と、
該チャックテーブルに隣接して該保持手段に配設され砥粒を接着して板状にしたドレッサボードを保持するサブチャックテーブルと、を備える切削装置であって、
さらに、該サブチャックテーブルに該ドレッサボードを搬送可能とするために該ドレッサボードを保持するドレッサ保持ユニットを備え、
該ドレッサ保持ユニットは、
該ドレッサボードを保持する保持部と、該保持部をZ軸方向に移動させる上下移動手段と、を備える切削装置。 - 該ドレッサボードが仮置きされるドレッサ仮置き部と、制御手段とを備え、
該制御手段は、該ドレッサ保持ユニットと、該Y軸移動手段と、該X軸移動手段とを少なくとも制御し、該ドレッサ仮置き部と該サブチャックテーブルとの間で該ドレッサボードを搬送する請求項1記載の切削装置。 - 保持面に被加工物を保持するチャックテーブルを有する保持手段と、
切削ブレードが回転可能に配設され被加工物を切削する切削手段と、
該切削手段を該保持面に垂直なZ軸方向に移動させるZ軸移動手段と、
該切削ブレードの切削送り方向のX軸方向に該保持手段を移動させるX軸移動手段と、
該Z軸方向と該X軸方向とに直交するY軸方向に該Z軸移動手段を移動させるY軸移動手段と、
該チャックテーブルに隣接するように該保持手段に配設され砥粒を接着し板状にしたドレッサボードを保持するサブチャックテーブルと、
被加工物を複数収容可能なカセットが載置されるカセットステージと、
被加工物を搬送する該搬送手段と、
制御手段と、を備える切削装置であって、
さらに該ドレッサボードが載置される載置部を有する載置プレートと、
該保持面が保持した該載置プレートの該載置部に載置された該ドレッサボードを保持するドレッサ保持ユニットと、を備え、
該ドレッサ保持ユニットは、該ドレッサボードを保持する保持部と、
該保持部を該Z軸方向に移動させる上下移動手段と、を備え、
該制御手段は、
該X軸移動手段と該Y軸移動手段と該ドレッサ保持ユニットとを制御して、該サブチャックテーブルと該チャックテーブルに保持された該載置プレートの該載置部との間で該ドレッサボードを搬送する切削装置。 - 該載置プレートは、該載置部を少なくとも2つ備え、該載置部の少なくとも1つに該ドレッサボードが載置されていて、
該制御手段は、
該カセットステージに載置された該カセットに収納されている該載置プレートを該保持面に搬入するために該搬送手段を制御する載置プレート搬入制御部と、
該保持面に保持された該載置プレートの該ドレッサボードが載置されていない該載置部に該サブチャックテーブルが保持しているドレッサボードを搬出するために該X軸移動手段と該Y軸移動手段と該ドレッサ保持ユニットとを制御するドレッサ搬出制御部と、
該保持面に保持された該載置プレートの該載置部に載置されている該ドレッサボードを該サブチャックテーブルに搬入するために該X軸移動手段と該Y軸移動手段と該ドレッサ保持ユニットとを制御するドレッサ搬入制御部と、
該保持面に保持されている該載置プレートを該保持面から搬出し該カセットステージに載置された該カセットに収納するために該搬送手段を制御する載置プレート搬出制御部と、を備える請求項3記載の切削装置。 - 該載置プレートは、該載置部を少なくとも2つ備え、該載置部の少なくとも1つに該ドレッサボードが載置されており、
切削加工された被加工物を載置する検査テーブルを備え、
該制御手段は、
該検査テーブルに載置された該載置プレートを該保持面に搬入するために該搬送手段を制御する第2載置プレート搬入制御部と、
該保持面に保持された該載置プレートの該ドレッサボードが載置されていない該載置部に該サブチャックテーブルが保持しているドレッサボードを搬出するために該X軸移動手段と該Y軸移動手段と該ドレッサ保持ユニットとを制御する第2ドレッサ搬出制御部と、
該保持面に保持された該載置プレートの該載置部に載置されている該ドレッサボードを該サブチャックテーブルに搬入するために該X軸移動手段と該Y軸移動手段と該ドレッサ保持ユニットとを制御する第2ドレッサ搬入制御部と、
該保持面に保持されている該載置プレートを該カセットステージに載置された該カセットに収納するために該搬送手段を制御する第2載置プレート搬出制御部と、を備える請求項3記載の切削装置。 - ドレッサボードを載置するための少なくとも2つの載置部を有し、外形が被加工物と同形状の載置プレート。
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