KR20220003133A - 증착 마스크, 증착 마스크의 제조 방법, 및, 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

증착 마스크, 증착 마스크의 제조 방법, 및, 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

금속제의 증착 마스크로서, 증착원에 대향하도록 구성된 표면과, 역추대상을 가진 구멍부를 각각 포함하는 복수의 마스크공을 구비한다. 각 마스크공의 구멍부는, 증착 마스크의 표면과 대향하는 시점으로부터 보아, 복수의 모서리부와, 인접하는 모서리부 사이에 각각 위치하는 복수의 선상부를 포함하는 다각형상의 가장자리를 가진 소개구와, 표면에 위치하고, 표면과 대향하는 시점으로부터 보아, 소개구의 가장자리에 있어서의 모서리부가 소개구의 가장자리에 대하여 외측을 향하여 돌출되어 있는 형상의 가장자리를 갖는 대개구를 구비한다. 표면과 대향하는 시점으로부터 보아, 대개구가 소개구를 둘러싼다.

Description

증착 마스크, 증착 마스크의 제조 방법, 및, 표시 장치의 제조 방법
본 발명은, 증착 마스크, 증착 마스크의 제조 방법, 및, 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
유기 EL 디스플레이가 구비하는 표시 소자는, 증착 마스크를 사용한 증착법에 의해 형성된다. 증착 마스크는, 표면, 이면, 및, 표면과 이면 사이를 관통하는 복수의 마스크공을 구비하고 있다. 각 마스크공은, 표면 및 이면으로 개구하고 있다. 표면에는 마스크공의 대개구가 위치하고, 이면에는 마스크공의 소개구가 위치하고 있다. 증착 마스크가 증착 대상에 대한 증착에 사용될 때에는, 증착 마스크의 표면이 증착원에 대향하고, 또한, 증착 마스크의 이면이 증착 대상에 대향한다 (예를 들어, 특허문헌 1 을 참조).
일본 공개특허공보 2015-55007호
그런데, 증착 마스크의 마스크공은, 증착 마스크의 표면에 직교하는 평면을 따른 단면에 있어서, 역추대상을 가지고 있다. 마스크공의 소개구는, 표시 소자에 요구되는 형상에 따른 형상을 가지고 있다. 사각형상 등의 다각형상을 가진 표시 소자를 형성하기 위해서, 마스크공의 소개구는, 통상적으로, 증착 마스크의 표면과 대향하는 평면에서 보아, 모서리부를 포함하는 형상을 갖는다.
한편으로, 증착원으로부터 증착 마스크에 비행하는 증착 재료에 있어서, 증착 재료가 비행하는 방향과, 증착 마스크의 표면이 형성하는 각도가, 증착 재료의 비행 각도이다. 증착 마스크를 향하여 비행하는 증착 재료에는, 여러 가지 비행 각도를 가진 증착 재료가 포함된다. 대개구의 중앙부 근방으로부터 마스크공에 진입하는 증착 재료의 대부분은, 증착 재료의 비행 각도에 상관없이, 대개구로부터 소개구까지 도달한다.
이에 반하여, 대개구의 가장자리 근방으로부터 마스크공에 진입하는 증착 재료의 일부는, 소개구까지 도달하지 않고, 마스크공을 구획하는 측면에 퇴적한다. 특히, 대개구의 가장자리 중에서도 모서리부 근방으로부터 마스크공에 진입하는 증착 재료의 상당수는, 마스크공을 구획하는 측면에 의해 소개구에 도달하는 것이 방해된다. 그 때문에, 증착 재료가 소개구를 통과하는 것을 통하여 형성된 증착 패턴에서는, 증착 패턴의 막 두께에 편차가 생기고, 결과적으로, 증착 패턴을 구비하는 표시 소자 내에 있어서 휘도의 불균일이 발생한다.
또한, 이러한 과제는, 마스크공이 역추대상 이외의 형상을 갖는 경우에도 공통된다. 예를 들어, 마스크공이 표면으로부터 이면을 향한 역추대 형상을 갖는 대구멍부와, 이면으로부터 표면을 향하여 추대 형상을 갖는 소구멍부를 포함하고, 대구멍부가 소구멍부에 연결되는 것에 의해 형성된 개구가, 상기 서술한 소개구로서 기능하는 경우에도 공통되어 있다.
본 발명은, 증착 패턴의 막 두께에 있어서의 편차를 억제 가능하게 한 증착 마스크, 증착 마스크의 제조 방법, 및, 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 증착 마스크는, 금속제의 증착 마스크이다. 증착원에 대향하도록 구성된 표면과, 역추대상을 가진 구멍부를 각각 포함하는 복수의 마스크공을 구비한다. 각 마스크공의 상기 구멍부는, 상기 증착 마스크의 상기 표면과 대향하는 시점으로부터 보아, 복수의 모서리부와, 인접하는 상기 모서리부 사이에 각각 위치하는 선상부를 포함하는 다각형상의 가장자리를 가진 소개구와, 상기 표면에 위치하고, 상기 표면과 대향하는 시점으로부터 보아, 상기 소개구의 상기 가장자리에 있어서의 상기 모서리부가 상기 소개구의 상기 가장자리에 대하여 외측을 향하여 돌출되어 있는 형상의 가장자리를 갖는 대개구를 구비한다. 상기 표면과 대향하는 시점으로부터 보아, 상기 대개구가 상기 소개구를 둘러싼다.
상기 과제를 해결하기 위한 증착 마스크의 제조 방법은, 금속 시트의 표면 및 이면의 적어도 일방에 레지스트 마스크를 형성하는 것과, 상기 레지스트 마스크를 사용하여, 상기 금속 시트에 복수의 마스크공을 형성하는 것을 포함한다. 상기 복수의 마스크공을 형성하는 것은, 역추대상을 가진 구멍부를 각각 포함하는 상기 복수의 마스크공을, 각 마스크공의 상기 구멍부가, 상기 금속 시트가 확대되는 평면과 대향하는 시점으로부터 보아, 복수의 모서리부와, 인접하는 상기 모서리부 사이에 각각 위치하는 선상부를 포함하는 다각형상의 가장자리를 가진 소개구와, 상기 표면에 위치하고, 상기 표면과 대향하는 시점으로부터 보아, 상기 소개구의 상기 가장자리에 있어서의 상기 모서리부가 상기 소개구의 상기 가장자리에 대하여 외측을 향하여 돌출되어 있는 형상의 가장자리를 갖는 대개구를 구비하고, 상기 표면과 대향하는 시점으로부터 보아, 상기 대개구가 상기 소개구를 둘러싸도록, 상기 금속 시트에 형성한다.
상기 과제를 해결하기 위한 표시 장치의 제조 방법은, 상기 증착 마스크의 제조 방법에 의한 증착 마스크를 준비하는 것과, 상기 증착 마스크를 사용한 증착에 의해 패턴을 형성하는 것을 포함한다.
상기 증착 마스크, 증착 마스크의 제조 방법, 및, 표시 장치의 제조 방법에 의하면, 증착원에 대향하는 표면에 위치하는 대개구의 가장자리가, 다각형상에 있어서의 모서리부를 다각형상의 외측을 향하여 돌출된 형상을 갖기 때문에, 대개구의 모서리부의 근방으로부터 마스크공에 진입하는 증착 재료가, 소개구에 도달하기 쉬워진다. 그러므로, 증착 패턴의 막 두께에 있어서의 편차를 억제하는 것이 가능하다.
상기 증착 마스크에 있어서, 상기 표면과 직교하고, 또한, 상기 소개구의 대각 방향을 따른 단면에 있어서, 상기 소개구의 상기 모서리부와 상기 대개구의 대응하는 상기 모서리부를 연결하는 가상 직선이 제 1 가상 직선이고, 상기 표면과 상기 제 1 가상 직선이 형성하는 각도가 제 1 각도이고, 상기 표면과 직교하고, 또한, 상기 소개구의 1 개의 상기 선상부에 직교하는 방향을 따른 단면에 있어서, 상기 소개구의 상기 가장자리와 상기 대개구의 상기 가장자리를 연결하는 가상 직선이 제 2 가상 직선이고, 상기 표면과 상기 제 2 가상 직선이 형성하는 각도가 제 2 각도이고, 상기 제 2 각도는, 상기 제 1 각도보다 크고, 상기 표면과 대향하는 시점으로부터 보아, 상기 소개구의 상기 모서리부와 상기 대개구의 상기 모서리부 사이의 거리는, 상기 표면과 상기 소개구의 상기 가장자리를 포함하는 평면 사이의 거리의 1 배 이상 1.5 배 이하이고, 상기 소개구의 상기 모서리부의 곡률 반경이, 4.5 ㎛ 이하여도 된다.
상기 증착 마스크의 제조 방법에 있어서, 상기 표면과 직교하고, 또한, 상기 소개구의 대각 방향을 따른 단면에 있어서, 상기 소개구의 상기 모서리부와 상기 대개구의 대응하는 상기 모서리부를 연결하는 가상 직선이 제 1 가상 직선이고, 상기 표면과 상기 제 1 가상 직선이 형성하는 각도가 제 1 각도이고, 상기 표면과 직교하고, 또한, 상기 소개구의 1 개의 상기 선상부에 직교하는 방향을 따른 단면에 있어서, 상기 소개구의 상기 가장자리와 상기 대개구의 상기 가장자리를 연결하는 가상 직선이 제 2 가상 직선이고, 상기 표면과 상기 제 2 가상 직선이 형성하는 각도가 제 2 각도이고, 상기 복수의 마스크공을 형성하는 것은, 상기 제 2 각도가, 상기 제 1 각도보다 크고, 상기 표면과 대향하는 시점으로부터 보아, 상기 소개구의 상기 모서리부와 상기 대개구의 상기 모서리부 사이의 거리가, 상기 표면과 상기 소개구의 상기 가장자리를 포함하는 평면 사이의 거리의 1 배 이상 1.5 배 이하이고, 상기 소개구의 상기 모서리부의 곡률 반경이, 4.5 ㎛ 이하이도록, 상기 금속 시트에 상기 복수의 마스크공을 형성해도 된다.
상기 증착 마스크, 및, 증착 마스크의 제조 방법에 의하면, 소개구의 가장자리에 있어서의 모서리부와 대개구의 가장자리에 있어서의 모서리부 사이의 거리를 확장하고, 또한, 마스크공을 구획하는 측면에 있어서, 소개구의 가장자리에 있어서의 모서리부와 대개구의 가장자리에 있어서의 모서리부를 연결하는 부분에 있어서의 경사각을 축소하는 것이 가능하기 때문에, 증착 재료가, 소개구의 가장자리에 있어서의 모서리부를 통과하기 쉬워진다. 더하여, 소개구의 가장자리에 있어서의 모서리부가 곡률을 갖는 것에 의해, 증착 재료가, 소개구의 가장자리에 있어서의 모서리부를 더욱 통과하기 쉬워진다. 결과적으로, 증착 패턴에 있어서, 모서리부의 막 두께가 중앙부의 막 두께보다 작아지는 것이 억제되기 때문에, 증착 패턴의 막 두께에 있어서의 편차를 억제할 수 있다.
상기 증착 마스크에 있어서, 상기 증착 마스크는, 상기 표면과는 반대측의 면인 이면을 추가로 구비하고, 상기 복수의 소개구는, 상기 이면에 위치해도 된다. 이 증착 마스크에 의하면, 증착 대상에 형성되는 증착 패턴에 따른 형상을 가진 소개구가 표면과 이면 사이에 위치하는 경우에 비하여, 증착 대상에 증착 패턴을 형성할 때에, 소개구와 증착 대상 사이의 거리를 작게 하는 것이 가능하다. 그 때문에, 소개구가 표면과 이면 사이에 위치하는 경우에 비하여, 증착 대상에 형성된 증착 패턴 내에서의 막 두께에 있어서의 편차를 억제하는 것이 가능하다.
상기 증착 마스크에 있어서, 상기 증착 마스크는, 1 ㎛ 이상 20 ㎛ 이하의 두께를 가져도 된다. 이 증착 마스크에 의하면, 증착 마스크의 두께가 20 ㎛ 를 초과하는 경우에 비하여, 증착 마스크를 형성하기 위한 금속 시트를 관통하는 것이 가능한 대개구의 크기를 작게 하는 것이 가능하다. 그 때문에, 증착 마스크의 두께가 20 ㎛ 를 초과하는 경우에 비하여, 증착 마스크가, 복수의 마스크공을 보다 높은 밀도로 구비하는 것이 가능하다.
상기 증착 마스크에 있어서, 상기 증착 마스크를 형성하는 재료는, 철 니켈계 합금, 또는, 철 니켈 코발트계 합금이어도 된다. 이 증착 마스크에 의하면, 증착 마스크를 사용하여 유리 기판에 대하여 증착을 실시하는 경우에, 증착 마스크 및 유리 기판의 가열에 수반하여, 증착 마스크의 팽창 정도와 유리 기판의 팽창 정도의 차가 과도하게 커지는 것이 억제된다. 그 때문에, 증착 마스크를 사용하여 유리 기판에 형성된 증착 패턴의 정밀도가, 증착 마스크의 팽창률과 유리 기판의 팽창률의 차에서 기인하여 저하하는 것이 억제된다.
본 발명에 의하면, 증착 패턴의 막 두께에 있어서의 편차를 억제하는 것이 가능하다.
도 1 은, 일 실시형태에 있어서의 증착 마스크의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 증착 마스크의 표면과 대향하는 시점으로부터 본 마스크공의 형상을 나타내는 평면도이다.
도 3 은, 도 2 의 III-III 선을 따른 단면도이다.
도 4 는, 도 2 의 IV-IV 선을 따른 단면도이다.
도 5 는, 마스크공이 구비하는 소개구의 일부를 확대하여 나타내는 평면도이다.
도 6 은, 일 실시형태에 있어서의 증착 마스크의 제조 방법을 설명하기 위한 공정도이다.
도 7 은, 증착 마스크의 제조 방법을 설명하기 위한 공정도이다.
도 8 은, 금속 시트의 표면과 대향하는 평면에서 보았을 때에 있어서의 레지스트 마스크가 구비하는 마스크공의 형상을 나타내는 평면도이다.
도 9 는, 증착 마스크의 제조 방법을 설명하기 위한 공정도이다.
도 10 은, 증착 마스크가 적용된 마스크 장치의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 11 은, 증착 마스크의 표면과 대향하는 시점으로부터 본 마스크공의 형상에 있어서의 제 1 변경예의 일부를 나타내는 평면도이다.
도 12 는, 증착 마스크의 표면과 대향하는 시점으로부터 본 마스크공의 형상에 있어서의 제 2 변경예의 일부를 나타내는 평면도이다.
도 13 은, 증착 마스크의 표면과 대향하는 시점으로부터 본 마스크공의 형상에 있어서의 제 3 변경예의 일부를 나타내는 평면도이다.
도 14 는, 증착 마스크의 표면과 대향하는 시점으로부터 본 마스크공의 형상에 있어서의 제 4 변경예의 일부를 나타내는 평면도이다.
도 15 는, 증착 마스크의 표면과 대향하는 시점으로부터 본 마스크공의 형상에 있어서의 제 5 변경예의 일부를 나타내는 평면도이다.
도 16 은, 증착 마스크의 표면과 대향하는 시점으로부터 본 마스크공의 형상에 있어서의 제 6 변경예의 일부를 나타내는 평면도이다.
도 17 은, 증착 마스크의 표면과 대향하는 시점으로부터 본 마스크공의 형상에 있어서의 제 7 변경예를 나타내는 평면도이다.
도 18 은, 증착 마스크가 갖는 마스크공의 형상에서의 제 8 변경예를 나타내는 단면도이다.
도 1 내지 도 10 을 참조하여, 증착 마스크, 증착 마스크의 제조 방법, 및, 표시 장치의 제조 방법에 있어서의 일 실시형태를 설명한다. 이하에서는, 증착 마스크, 증착 마스크의 제조 방법, 마스크 장치, 및, 실시예를 순서대로 설명한다.
[증착 마스크]
도 1 내지 도 5 를 참조하여, 증착 마스크를 설명한다.
도 1 은, 증착 마스크가 구비하는 패턴 영역, 및, 주변 영역의 일부를 나타내고 있다.
도 1 이 나타내는 증착 마스크 (10) 는, 금속제이다. 증착 마스크 (10) 는, 증착원에 대향하는 표면 (10F) 과 이면 (10R) 을 구비하고 있다. 증착 마스크 (10) 는, 역추대상을 가진 구멍부를 포함하는 복수의 마스크공 (11) 을 구비하고 있다. 증착 마스크 (10) 에 있어서, 복수의 마스크공 (11) 이 형성된 영역이 패턴 영역 (R1) 이고, 패턴 영역 (R1) 을 둘러싸는 영역이고, 또한, 마스크공 (11) 이 형성되어 있지 않은 영역이 주변 영역 (R2) 이다.
본 실시형태에 있어서, 복수의 마스크공 (11) 은 지그재그상으로 나열되어 있다. 또한, 복수의 마스크공 (11) 은, 지그재그상 이외의 배치 규칙에 따라 나열되어 있어도 된다. 지그재그상 이외의 규칙은, 예를 들어 정방 격자여도 된다.
증착 마스크 (10) 는, 예를 들어, 1 ㎛ 이상 20 ㎛ 이하의 두께 (T) 를 갖는다. 패턴 영역 (R1) 에서의 두께는, 주변 영역 (R2) 의 두께보다 작아도 된다. 이 경우에는, 증착 마스크 (10) 의 두께는, 주변 영역 (R2) 에서의 두께이다. 증착 마스크 (10) 를 형성하는 재료는, 철 니켈계 합금이다. 철 니켈계 합금은, 예를 들어 36 질량％ 의 니켈을 포함하는 합금, 즉 인바여도 된다. 다시 말하면, 증착 마스크 (10) 는, 실질적으로 철 니켈계 합금으로 이루어진다.
도 2 는, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 대향하는 시점으로부터 본 마스크공 (11) 의 형상을 나타내고 있다.
도 2 가 나타내는 바와 같이, 마스크공 (11) 은, 소개구 (11S) 와 대개구 (11L) 를 포함하고 있다. 소개구 (11S) 는, 구멍부에 있어서의 일방의 개구이다. 표면 (10F) 과 대향하는 시점으로부터 보아, 대개구 (11L) 는, 소개구 (11S) 를 둘러싸고 있다. 본 실시형태에서는, 소개구 (11S) 는, 증착 마스크 (10) 의 이면 (10R) 에 위치하고 있다. 소개구 (11S) 는, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 대향하는 시점으로부터 보아, 복수의 모서리부 (11SC) 와, 모서리부 (11SC) 사이에 위치하는 선상부 (11SL) 를 포함하는 다각형상의 가장자리 (11SE) 를 가지고 있다.
본 실시형태에서는, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 는, 사각형상을 가지고 있다. 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 는, 4 개의 선상부 (11SL) 와, 4 개의 모서리부 (11SC) 를 구비하고 있다. 4 개의 선상부 (11SL) 는, 서로 평행한 1 쌍의 선상부 (11SL) 를 2 세트 포함하고, 각 세트에 포함되는 선상부 (11SL) 는, 다른 세트에 포함되는 선상부 (11SL) 와 직교하는 방향을 따라 연장되어 있다. 각 모서리부 (11SC) 는, 서로 직교하는 방향을 따라 연장되는 선상부 (11SL) 에 의해 사이에 끼워지고, 또한, 소정 곡률을 가진 선분이다. 소개구 (11S) 에 있어서, 서로 평행한 선상부 (11SL) 사이의 거리가, 소개구폭 (WS) 이다.
대개구 (11L) 는, 각 구멍부에 있어서의 타방의 개구이다. 대개구 (11L) 는, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 가 갖는 다각형상에 있어서의 모서리부가 다각형상의 외측을 향하여 돌출된 형상의 가장자리 (11LE) 를 가지고 있다. 즉, 대개구 (11L) 는, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 에 있어서의 모서리부 (11SC) 가 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 에 대하여 외측을 향하여 돌출되어 있는 형상의 가장자리 (11LE) 를 갖는다. 대개구 (11L) 는, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 에 위치하고 있다. 대개구 (11L) 는, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 대향하는 시점으로부터 보아, 소개구 (11S) 와 동수의 모서리부 (11LC) 를 가진 형상의 가장자리 (11LE) 를 가지고 있다. 표면 (10F) 과 대향하는 시점으로부터 보아, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 에 있어서의 모서리부 (11SC) 와, 대개구 (11L) 의 가장자리 (11LE) 에 있어서의 모서리부 (11LC) 사이의 거리에 있어서의 최대치가, 모서리부간 거리 (DC) 이다.
본 실시형태에서는, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 대향하는 시점으로부터 보아, 대개구 (11L) 의 가장자리 (11LE) 는, 4 개의 선상부 (11LL) 와, 4 개의 모서리부 (11LC) 를 구비하고 있다. 4 개의 선상부 (11LL) 는, 서로 평행한 1 쌍의 선상부를 2 세트 포함하고, 각 세트에 포함되는 선상부 (11LL) 는, 다른 세트에 포함되는 선상부 (11LL) 와 직교하는 방향을 따라 연장되어 있다. 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 대향하는 시점으로부터 보아, 4 개의 선상부 (11LL) 는, 소개구 (11S) 와 대략 서로 유사한 형상을 가진 가상 가장자리 (VE) 에 포함된다.
대개구 (11L) 의 가장자리 (11LE) 는 추가로, 가상 가장자리 (VE) 로부터, 소개구 (11S) 로부터 멀어지는 방향을 향하여 돌출된 돌출부 (11LP) 를 4 개 구비하고 있다. 각 돌출부 (11LP) 는, 서로 직교하는 2 개의 선상부 (11LL) 에 의해 사이에 끼워져 있다. 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 대향하는 시점으로부터 보아, 각 돌출부 (11LP) 에 의해 구획되는 영역은, 대략 삼각형상을 가지고 있다. 각 모서리부 (11LC) 는, 서로 상이한 1 개의 돌출부 (11LP) 에 속해 있다. 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 대향하는 시점으로부터 보아, 각 모서리부 (11LC) 는, 그 모서리부 (11LC) 가 속하는 돌출부 (11LP) 중에서, 소개구 (11S) 로부터의 거리가 가장 큰 부분을 포함하고 있다. 돌출부 (11LP) 에 있어서, 모서리부 (11LC) 가 갖는 각도가, 제 3 각도 (θ3) 이다. 제 3 각도 (θ3) 는, 모서리부 (11LC) 를 사이에 두는 2 개의 선상부에 의해 형성되는 각도이다. 상세하게는, 가상 가장자리 (VE) 와 돌출부 (11LP) 가 교차하는 부분의 각각에 있어서의 돌출부 (11LP) 의 접선에 의해 형성되는 각도이다.
마스크공 (11) 을 구획하는 측면 (11SD) 은, 대개구 (11L) 와 소개구 (11S) 를 연결하고 있다. 측면 (11SD) 은, 대개구 (11L) 로부터 소개구 (11S) 를 향하여, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 평행한 단면에 있어서의 마스크공 (11) 의 면적이 작아지는 것과 같은 경사를 가지고 있다. 즉, 마스크공 (11) 은, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 직교하는 단면에 있어서, 역추대상을 가지고 있다. 이와 같이, 본 실시형태에서는, 각 마스크공 (11) 은, 역추대상을 갖는 1 개의 구멍부에 의해 형성되어 있다.
이하, 증착 마스크 (10) 의 단면 구조를 나타내는 도 3 및 도 4 를 참조하여, 마스크공 (11) 의 형상을 보다 상세하게 설명한다. 또한, 도 3 은, 도 2 에 나타내는 III-III 선을 따른 단면으로서, 소개구 (11S) 의 대각 방향을 따른 단면에서의 증착 마스크 (10) 의 구조를 나타내고 있다. 이에 반하여, 도 4 는, 도 2 에 나타내는 IV-IV 선을 따른 단면으로서, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 에 있어서의 1 개의 선상부 (11SL) 에 직교하는 방향을 따른 단면에서의 증착 마스크 (10) 의 구조를 나타내고 있다.
도 3 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 직교하고, 또한, 소개구 (11S) 의 대각 방향을 따른 단면에 있어서, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 에 있어서의 모서리부 (11SC) 와 대개구 (11L) 의 가장자리 (11LE) 에 있어서의 모서리부 (11LC) 를 연결하는 가상 직선이 제 1 가상 직선 (L1) 이다. 제 1 가상 직선 (L1) 은, 소개구 (11S) 의 모서리부 (11SC) 와, 당해 소개구 (11S) 의 모서리부 (11SC) 에 대응하는 대개구 (11L) 의 모서리부 (11LC) 를 연결하는 가상 직선이다. 즉, 제 1 가상 직선 (L1) 은, 소개구 (11S) 의 모서리부 (11SC) 와, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 대향하는 시점으로부터 보아 당해 모서리부 (11SC) 로부터의 거리가 가장 작은 대개구 (11L) 의 모서리부 (11LC) 를 연결하는 가상 직선이다.
도 3 이 나타내는 예에서는, 마스크공 (11) 을 구획하는 측면 (11SD) 이, 제 1 가상 직선 (L1) 보다 이면 (10R) 을 향하여 패이는 호상을 가지고 있다. 또한, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 직교하고, 또한, 소개구 (11S) 의 대각 방향을 따른 단면에 있어서, 마스크공 (11) 을 구획하는 측면 (11SD) 은, 제 1 가상 직선 (L1) 보다 표면 (10F) 을 향하여 돌출된 호상을 가져도 된다. 혹은, 측면 (11SD) 은, 제 1 가상 직선 (L1) 에 일치하고 있어도 된다.
증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 제 1 가상 직선 (L1) 이 형성하는 각도가, 제 1 각도 (θ1) 이다. 또한, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 증착 마스크 (10) 의 이면 (10R) 은 대략 평행인 것으로부터, 이면 (10R) 과 제 1 가상 직선 (L1) 이 형성하는 각도는, 제 1 각도 (θ1) 와 동등하다.
모서리부간 거리 (DC) 는, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 를 포함하는 평면 사이의 거리의 1 배 이상 1.5 배 이하이다. 본 실시형태에서는, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 를 포함하는 평면 사이의 거리는, 증착 마스크 (10) 의 두께 (T) 와 동등하다. 상기 서술한 바와 같이, 증착 마스크 (10) 의 두께 (T) 는, 예를 들어 1 ㎛ 이상 20 ㎛ 이하여도 된다. 그 때문에, 모서리부간 거리 (DC) 는, 예를 들어 1 ㎛ 이상 30 ㎛ 이하의 범위에 포함되는 어느 값일 수 있다.
도 4 가 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 직교하고, 또한, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 에 있어서의 1 개의 선상부 (11SL) 에 직교하는 방향을 따른 단면에 있어서, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 와 대개구 (11L) 의 가장자리 (11LE) 를 연결하는 가상 직선이 제 2 가상 직선 (L2) 이다. 도 4 가 나타내는 예에서는, 마스크공 (11) 을 구획하는 측면 (11SD) 이, 제 2 가상 직선 (L2) 보다 이면 (10R) 을 향하여 패이는 호상을 가지고 있다. 또한, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 직교하고, 또한, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 에 있어서의 1 개의 선상부 (11SL) 에 직교하는 방향을 따른 단면에 있어서, 마스크공 (11) 을 구획하는 측면 (11SD) 은, 제 2 가상 직선 (L2) 보다 표면 (10F) 을 향하여 돌출된 호상을 가져도 된다. 혹은, 측면 (11SD) 은, 제 2 가상 직선 (L2) 에 일치하고 있어도 된다.
증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 제 2 가상 직선 (L2) 이 형성하는 각도가, 제 2 각도 (θ2) 이다. 또한, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 증착 마스크 (10) 의 이면 (10R) 은 대략 평행인 것으로부터, 이면 (10R) 과 제 2 가상 직선 (L2) 이 형성하는 각도는, 제 2 각도 (θ2) 와 동등하다. 제 2 각도 (θ2) 는, 제 1 각도 (θ1) 보다 크다.
도 5 는, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 대향하는 시점으로부터 본 소개구 (11S) 의 일부를 확대하여 나타내고 있다.
도 5 가 나타내는 바와 같이, 또한, 상기 서술한 바와 같이, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 에 있어서의 모서리부 (11SC) 는, 곡률을 가지고 있다. 모서리부 (11SC) 는, 곡률 중심 (C) 이 소개구 (11S) 내에 위치하는 것과 같은 곡률을 가지고 있다. 모서리부 (11SC) 의 곡률 반경 (R) 은, 4.5 ㎛ 이하이다.
[증착 마스크의 제조 방법]
도 6 내지 도 9 를 참조하여, 증착 마스크 (10) 의 제조 방법을 설명한다.
증착 마스크 (10) 의 제조 방법은, 금속 시트의 표면 및 이면의 적어도 일방에 레지스트 마스크를 형성하는 것과, 레지스트 마스크를 사용하여, 금속 시트에 복수의 마스크공을 형성하는 것을 포함하고 있다. 이하, 도면을 참조하여, 증착 마스크 (10) 의 제조 방법을 보다 상세하게 설명한다. 또한, 도 6, 도 7, 및, 도 9 에서는, 도시의 편의 상, 금속 시트에 형성되는 마스크공을 모식적으로 나타내고 있다.
도 6 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 (10) 를 제조할 때에는, 먼저, 금속 시트 (10M) 를 준비한다. 금속 시트 (10M) 를 형성하는 재료는, 예를 들어 철 니켈계 합금이다. 철 니켈계 합금은, 예를 들어 인바여도 된다. 금속 시트 (10M) 는, 예를 들어 1 ㎛ 이상 50 ㎛ 이하의 두께를 갖는다. 또한, 금속 시트 (10M) 의 두께가, 증착 마스크 (10) 의 두께 (T) 보다 두꺼운 경우에는, 금속 시트 (10M) 에 대하여 레지스트층을 형성하기 전에, 금속 시트 (10M) 를 에칭함으로써, 금속 시트 (10M) 의 두께를 증착 마스크 (10) 에 요구되는 두께로까지 얇게 하는 것이 가능하다.
이어서, 금속 시트 (10M) 의 표면 (10MF) 에 레지스트층 (RL) 을 형성한다. 레지스트층 (RL) 은, 포지티브형의 레지스트에 의해 형성되어도 되고, 네거티브형의 레지스트에 의해 형성되어도 된다. 레지스트층 (RL) 은, 드라이 필름 레지스트가 금속 시트 (10M) 의 표면 (10MF) 에 첩부되는 것에 의해, 금속 시트 (10M) 의 표면에 형성되어도 된다. 혹은, 레지스트층 (RL) 은, 레지스트층 (RL) 을 형성하기 위한 재료를 포함하는 도액을 금속 시트 (10M) 의 표면 (10MF) 에 도포함으로써 형성되어도 된다.
도 7 이 나타내는 바와 같이, 레지스트층 (RL) 에 대한 노광과 현상이 실시되는 것에 의해, 레지스트층 (RL) 으로부터 레지스트 마스크 (RM) 가 형성된다. 레지스트 마스크 (RM) 는, 금속 시트 (10M) 에 형성되는 마스크공의 형상에 따른 형상을 갖는 마스크공 (RMh) 을 가지고 있다.
도 8 은, 금속 시트 (10M) 의 표면 (10MF) 과 대향하는 시점으로부터 본 레지스트 마스크 (RM) 의 평면 구조를 나타내고 있다. 또한, 도 8 이 나타내는 레지스트 마스크 (RM) 가 갖는 마스크공 (RMh) 의 형상은, 마스크공 (RMh) 이 갖는 것이 가능한 형상의 일례이다.
도 8 이 나타내는 바와 같이, 마스크공 (RMh) 은, 마스크공 (RMh) 을 구획하는 가장자리 (RMhE) 를 가지고 있다. 마스크공 (RMh) 의 가장자리 (RMhE) 는, 다각형상의 가상 가장자리 (RMhV) 에 있어서의 모서리부가 다각형상의 외측을 향하여 돌출된 형상을 가지고 있다. 도 8 이 나타내는 예에서는, 마스크공 (RMh) 의 가장자리 (RMhE) 는, 사각형상의 가상 가장자리 (RMhV) 에 있어서의 모서리부가 사각형상의 외측을 향하여 돌출된 형상을 가지고 있다. 마스크공 (RMh) 의 가장자리 (RMhE) 가 갖는 형상은, 레지스트 마스크 (RM) 를 사용하여 형성된 대개구 (11L) 의 가장자리 (11LE) 가 갖는 형상과 대략 동등하다. 또한, 가상 가장자리 (RMhV) 가 갖는 형상은, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 가 갖는 형상과 대략 동등하다.
마스크공 (RMh) 의 가장자리 (RMhE) 는, 4 개의 돌출부 (RMhP) 와, 4 개의 선상부 (RMhL) 를 구비하고 있다. 마스크공 (RMh) 의 가장자리 (RMhE) 에 있어서, 1 개의 돌출부 (RMhP) 는, 2 개의 선상부 (RMhL) 에 의해 사이에 끼워져 있다. 가상 가장자리 (RMhV) 는, 4 개의 선상부 (RMhL) 를 포함하고 있다. 각 돌출부 (RMhP) 는, 1 개의 모서리부 (RMhC) 를 가지고 있다. 금속 시트 (10M) 의 표면 (10MF) 과 대향하는 시점으로부터 보아, 각 돌출부 (RMhP) 에 의해 구획되는 영역은, 대략 삼각형상을 가지고 있다. 각 돌출부 (RMhP) 의 형상은, 대개구 (11L) 의 가장자리 (11LE) 가 갖는 돌출부 (11LP) 의 형상과 대략 동등하다.
마스크공 (RMh) 에 있어서, 서로 대략 평행인 2 개의 선상부 (RMhL) 사이의 거리가, 마스크공 폭 (WRMh) 이다. 가상 가장자리 (RMhV) 의 모서리부와, 당해 모서리부로부터 돌출된 돌출부 (RMhP) 의 모서리부 (RMhC) 사이의 거리가, 모서리부 보정치 (RMhDC) 이다. 돌출부 (RMhP) 에 있어서, 모서리부 (RMhC) 가 갖는 각도가, 제 4 각도 (θ4) 이다. 마스크공 (RMh) 에 있어서, 마스크공 폭 (WRMh), 모서리부 보정치 (RMhDC), 및, 제 4 각도 (θ4) 의 적어도 1 개가 바뀌는 것에 의해, 금속 시트 (10M) 에 형성되는 마스크공의 형상이 바뀐다.
도 9 가 나타내는 바와 같이, 레지스트 마스크 (RM) 를 사용한 웨트 에칭에 의해, 금속 시트 (10M) 에 복수의 마스크공 (11M) 이 형성된다. 이로써, 금속 시트 (10M) 의 표면 (10MF) 과 이면 (10MR) 에 개구를 갖는 마스크공 (11M) 이 형성된다. 금속 시트 (10M) 로부터 레지스트 마스크 (RM) 가 제거되는 것에 의해, 상기 서술한 증착 마스크 (10) 가 얻어진다. 또한, 금속 시트 (10M) 에 있어서, 표면 (10MF) 이 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 에 대응하고, 이면 (10MR) 이 증착 마스크 (10) 의 이면 (10R) 에 대응하고, 또한, 마스크공 (11M) 이 증착 마스크 (10) 의 마스크공 (11) 에 대응한다.
[마스크 장치]
도 10 을 참조하여, 마스크 장치를 설명한다.
도 10 이 나타내는 바와 같이, 마스크 장치 (20) 는, 프레임 (21) 과, 복수의 증착 마스크 (10) 를 구비하고 있다. 도 10 이 나타내는 예에서는, 마스크 장치 (20) 는, 3 개의 증착 마스크 (10) 를 구비하고 있지만, 마스크 장치 (20) 는, 2 개 이하의 증착 마스크 (10) 를 구비해도 되고, 4 개 이상의 증착 마스크 (10) 를 구비해도 된다. 프레임 (21) 은, 복수의 증착 마스크 (10) 를 지지하는 것이 가능한 직사각형 프레임상을 가지고 있다. 프레임 (21) 은, 증착을 실시하기 위한 증착 장치에 장착된다. 프레임 (21) 은, 각 증착 마스크 (10) 가 위치하는 범위의 대략 전체에 걸쳐서, 프레임 (21) 을 관통하는 프레임공 (21H) 을 갖는다.
각 증착 마스크 (10) 는, 1 개의 방향을 따라 연장되는 띠상을 가지고 있다. 각 증착 마스크 (10) 는, 복수의 패턴 영역 (R1) 과, 패턴 영역 (R1) 을 둘러싸는 주변 영역 (R2) 을 구비하고 있다. 도 10 이 나타내는 예에서는, 증착 마스크 (10) 는 3 개의 패턴 영역 (R1) 을 가지고 있지만, 증착 마스크 (10) 는, 2 개 이하의 패턴 영역 (R1) 을 가져도 되고, 4 개 이상의 패턴 영역 (R1) 을 가져도 된다.
각 증착 마스크 (10) 에 있어서의 주변 영역 (R2) 중에서, 증착 마스크 (10) 가 연장되는 방향에 있어서 복수의 패턴 영역 (R1) 을 사이에 두는 1 쌍의 부분이, 각각 프레임 (21) 에 고정된다. 증착 마스크 (10) 는, 접착 또는 용착 등에 의해 프레임 (21) 에 고정된다.
증착 마스크 (10) 를 사용하여 표시 장치를 제조하는 방법은, 상기 서술한 증착 마스크 (10) 의 제조 방법에 의한 증착 마스크 (10) 를 준비하는 것과, 증착 마스크 (10) 를 사용한 증착에 의해 패턴을 형성하는 것을 포함한다.
표시 장치의 제조 방법에서는, 먼저, 증착 마스크 (10) 를 탑재한 마스크 장치 (20) 를 증착 장치의 진공조 내에 장착한다. 이 때에, 유리 기판 등의 증착 대상과 이면 (10R) 이 대향하고, 또한, 증착원과 표면 (10F) 이 대향하도록, 마스크 장치 (20) 를 진공조 내에 장착한다. 그리고, 증착 장치의 진공조에 증착 대상을 반입하고, 증착원에 의해 증착 재료를 승화시킨다. 이로써, 소개구 (11S) 에 추종한 형상을 갖는 패턴이, 증착 대상에 있어서 소개구 (11S) 와 대향하는 영역에 형성된다. 본 실시형태에 있어서, 증착 재료는, 표시 장치의 일례인 유기 EL 표시 장치의 화소를 형성하기 위한 유기 발광 재료이다. 또한, 증착 재료는, 표시 장치의 화소 회로가 갖는 화소 전극을 형성하기 위한 도전성 재료여도 된다.
[실시예]
표 1 내지 표 3 을 참조하여 실시예를 설명한다.
[실시예 1]
20 ㎛ 의 두께를 가진 인바제의 금속 시트를 준비하였다. 48 ％ 염화 제 2 철을 사용하여 금속 시트를 에칭함으로써, 금속 시트의 두께를 3.5 ㎛ 까지 얇게 하였다. 이어서, 포지티브형의 레지스트 (THMR-iP5700, 토쿄 오카 공업 (주) 제조) (THMR 은 등록상표) 를 사용하여, 금속 시트의 표면에 레지스트층을 형성하였다. 그리고, 레지스트층을 노광하고, 노광된 레지스트층을 현상함으로써, 레지스트 마스크를 형성하였다. 이로써, 레지스트 마스크의 표면과 대향하는 시점으로부터 보아, 도 8 이 나타내는 마스크공과 동일한 형상을 가진 마스크공을 구비하는 레지스트 마스크를 형성하였다.
실시예 1 에서는, 이하에 나타내는 표 1 에 기재된 바와 같이, 1 개의 마스크공에 있어서, 마스크공 폭 (WRMh) 이 18.3 ㎛ 이고, 모서리부 보정치 (RMhDC) 가 3.3 ㎛ 이고, 제 4 각도 (θ4) 의 설계치가 30.2°인 것이 확인되었다. 이로써, 증착 마스크의 소개구폭 (WS) 에 있어서의 목표치가 20 ㎛ 이고, 마스크공의 피치에 있어서의 목표치가 30 ㎛ 이도록 복수의 마스크공을 형성하였다.
그리고, 레지스트 마스크를 사용한 웨트 에칭에 의해, 금속 시트에 복수의 마스크공을 형성하였다. 이 때에, 에칭액으로서 48 ％ 염화 제 2 철을 사용하였다. 금속 시트의 에칭에 있어서, 금속 시트에 형성된 구멍부가 금속 시트의 이면에 이르는 시간을 1 로 했을 경우에, 금속 시트의 에칭 시간을 2 로 설정하였다. 즉, 에칭 시간은, 웨트 에칭이 실시되는 금속 시트의 두께 (T) 에 따른 길이로 설정하였다. 마지막으로, 에칭 후의 금속 시트를 60 ℃ 의 10 ％ 수산화나트륨 수용액에 2 분간 침지시킴으로써, 금속 시트로부터 레지스트 마스크를 제거하였다. 이로써, 실시예 1 의 증착 마스크를 얻었다.
[실시예 2]
실시예 1 에 있어서, 금속 시트의 두께를 20 ㎛ 로부터 4.0 ㎛ 까지 얇게 하고, 마스크공 폭 (WRMh) 이 18.0 ㎛ 이고, 모서리부 보정치 (RMhDC) 가 3.0 ㎛ 이고, 또한, 제 4 각도 (θ4) 가 30.1°인 것 이외에는, 실시예 1 과 동일한 방법에 의해, 실시예 2 의 증착 마스크를 얻었다.
[실시예 3]
실시예 1 에 있어서, 금속 시트의 두께를 20 ㎛ 로부터 4.5 ㎛ 까지 얇게 하고, 마스크공 폭 (WRMh) 이 17.8 ㎛ 이고, 모서리부 보정치 (RMhDC) 가 2.8 ㎛ 이고, 또한, 제 4 각도 (θ4) 가 30.2°인 것 이외에는, 실시예 1 과 동일한 방법에 의해, 실시예 3 의 증착 마스크를 얻었다.
[실시예 4]
실시예 2 에 있어서, 모서리부 보정치 (RMhDC) 가 2.0 ㎛ 이고, 또한, 제 4 각도 (θ4) 가 30.3°인 것 이외에는, 실시예 2 와 동일한 방법에 의해, 실시예 4 의 증착 마스크를 얻었다.
[실시예 5]
실시예 2 에 있어서, 모서리부 보정치 (RMhDC) 가 2.5 ㎛ 이고, 또한, 제 4 각도 (θ4) 가 29.9°인 것 이외에는, 실시예 2 와 동일한 방법에 의해, 실시예 5 의 증착 마스크를 얻었다.
[실시예 6]
실시예 4 에 있어서, 모서리부 보정치 (RMhDC) 가 1.5 ㎛ 이고, 또한, 제 4 각도 (θ4) 가 29.8°인 것 이외에는, 실시예 4 와 동일한 방법에 의해, 실시예 6 의 증착 마스크를 얻었다.
[실시예 7]
실시예 1 에 있어서, 모서리부 보정치 (RMhDC) 가 4.3 ㎛ 이고, 또한, 제 4 각도 (θ4) 가 30.0°인 것 이외에는, 실시예 1 과 동일한 방법에 의해, 실시예 7 의 증착 마스크를 얻었다.
[비교예 1]
실시예 1 에 있어서, 모서리부 보정치 (RMhDC) 가 0.8 ㎛ 이고, 또한, 제 4 각도 (θ4) 가 29.9°인 것 이외에는, 실시예 1 과 동일한 방법에 의해, 비교예 1 의 증착 마스크를 얻었다.
Figure pct00001
[측정 결과]
실시예 1 내지 실시예 7 의 증착 마스크, 및, 비교예 1 의 증착 마스크에 대하여, 공초점 레이저 현미경 (OLS-4000, 올림푸스 (주) 제조) 을 사용하여 각종 치수 등을 측정하였다. 각 증착 마스크의 측정 결과는, 이하의 표 2 에 나타내는 바와 같았다.
Figure pct00002
표 2 가 나타내는 바와 같이, 실시예 1 의 증착 마스크에서는, 이면과 대향하는 방향으로부터 촬영한 투과 이미지에 의해, 대략 20 ㎛ 의 폭을 갖고, 대략 정방형상을 가진 소개구가, 대략 10 ㎛ 의 간격으로 정방 격자상으로 나열되어 있는 것이 확인되었다. 또한, 서로 평행한 1 쌍의 선상부 사이의 거리를 소개구의 폭으로서 측정하였다. 또한, 실시예 2 내지 실시예 6 의 증착 마스크, 및, 비교예 1 의 증착 마스크에 있어서도, 대략 20 ㎛ 의 폭을 갖고, 대략 정방형상을 가진 소개구가, 대략 10 ㎛ 의 간격으로 정방 격자상으로 나열되어 있는 것이 확인되었다. 이에 반하여, 실시예 7 의 증착 마스크에서는, 각 소개구의 폭이 대략 20 ㎛ 이기는 하지만, 모서리부의 에칭이 지나치게 진행된 결과, 각 소개구의 가장자리가, 좌우 방향 및 상하 방향의 양방에 있어서 잘록한 사각형상을 갖는 것이 확인되었다.
또한, 실시예 1 내지 실시예 7 의 어느 것에 있어서도, 대개구의 가장자리가, 사각형상에 있어서의 모서리부가 정방형상의 외측을 향하여 돌출된 형상을 갖는 것이 확인되었다. 이에 반하여, 비교예 1 에서는, 대개구의 가장자리가, 대략 정방형상을 갖고, 또한, 정방형상의 모서리부가 정방형상의 외측을 향하여 돌출되어 있지 않은 것이 확인되었다.
제 1 각도 (θ1) 는, 실시예 1 에 있어서 30.2°이고, 실시예 2 에 있어서 31.1°이고, 실시예 3 에 있어서 30.5°인 것이 확인되었다. 또한, 제 1 각도 (θ1) 는, 실시예 4 에 있어서 31.0°이고, 실시예 5 에 있어서 30.1°인 것이 확인되었다. 또한, 제 1 각도 (θ1) 는, 실시예 6 에 있어서 45.0°이고, 실시예 7 에 있어서 29.9°이고, 비교예 1 에 있어서 45.2°인 것이 확인되었다.
제 2 각도 (θ2) 는, 실시예 1 에 있어서 45.1°이고, 실시예 2 에 있어서 44.8°이고, 실시예 3 에 있어서 44.7°인 것이 확인되었다. 또한, 제 2 각도 (θ2) 는, 실시예 4 에 있어서 45.2°이고, 실시예 5 에 있어서 45.3°인 것이 확인되었다. 또한, 제 2 각도 (θ2) 는, 실시예 6 에 있어서 44.9°이고, 실시예 7 에 있어서 44.7°이고, 비교예 1 에 있어서 45.0°인 것이 확인되었다.
이와 같이, 실시예 1 내지 실시예 5 의 증착 마스크, 및, 실시예 7 의 증착 마스크에서는, 제 2 각도 (θ2) 가 제 1 각도 (θ1) 보다 큰 것이 확인되었다. 이에 반하여, 실시예 6 및 비교예 1 에서는, 제 1 각도 (θ1) 가 제 2 각도 (θ2) 보다 큰 것이 확인되었다.
모서리부간 거리 (DC) 는, 실시예 1 및 실시예 2 에 있어서 4.9 ㎛ 이고, 실시예 3 에 있어서 5.1 ㎛ 이고, 실시예 4 에 있어서 4.0 ㎛ 이고, 실시예 5 에 있어서 4.6 ㎛ 인 것이 확인되었다. 또한, 모서리부간 거리 (DC) 는, 실시예 6 에 있어서 3.3 ㎛ 이고, 실시예 7 에 있어서 6.2 ㎛ 이고, 비교예 1 에 있어서 2.6 ㎛ 인 것이 확인되었다.
즉, 증착 마스크의 두께 (T) 에 대한 모서리부간 거리 (DC) 의 비 (DC/T) 는, 실시예 1 에 있어서 1.4 이고, 실시예 2 에 있어서 1.2 이고, 실시예 3 에 있어서 1.1 인 것이 확인되었다. 또한, 증착 마스크의 두께 (T) 에 대한 모서리부간 거리 (DC) 의 비는, 실시예 4 에 있어서 1.0 이고, 실시예 5 에 있어서 1.2 인 것이 확인되었다. 또한, 증착 마스크의 두께 (T) 에 대한 모서리부간 거리 (DC) 의 비는, 실시예 6 에 있어서 0.8 이고, 실시예 7 에 있어서 1.8 이고, 비교예 1 에 있어서 0.7 인 것이 확인되었다. 이와 같이, 실시예 1 내지 실시예 5 의 증착 마스크에서는, 증착 마스크의 두께 (T) 에 대한 모서리부간 거리 (DC) 의 비가 1 이상 1.5 이하의 범위에 포함되는 한편으로, 실시예 6 및 실시예 7 의 증착 마스크, 및, 비교예 1 의 증착 마스크에서는, 증착 마스크의 두께 (T) 에 대한 모서리부간 거리 (DC) 의 비가 1 이상 1.5 이하의 범위에는 포함되지 않는 것이 확인되었다.
또한, 소개구의 가장자리가 구비하는 모서리부의 곡률 반경 (R) 은, 실시예 1 에 있어서 3.0 ㎛ 이고, 실시예 2 에 있어서 3.2 ㎛ 이고, 실시예 3 에 있어서 3.9 ㎛ 인 것이 확인되었다. 또한, 곡률 반경 (R) 은, 실시예 4 에 있어서 4.4 ㎛ 이고, 실시예 5 에 있어서 3.8 ㎛ 이고, 실시예 6 에 있어서 7.2 ㎛ 인 것이 확인되었다. 또한, 곡률 반경 (R) 은, 비교예 1 에 있어서 8.5 ㎛ 인 것이 확인되었다. 이와 같이, 실시예 1 내지 실시예 5 의 증착 마스크에서는, 곡률 반경 (R) 이 4.5 ㎛ 이하인 한편으로, 실시예 6 및 비교예 1 의 증착 마스크에서는, 곡률 반경 (R) 이 4.5 ㎛ 를 초과하는 것이 확인되었다. 또한, 실시예 7 에서는, 소개구의 가장자리가 좌우 방향 및 상하 방향의 양방에 있어서 잘록한 부분을 갖고, 모서리부에 있어서 곡률을 가지지 않는 것이 확인되었다.
또한, 제 3 각도 (θ3) 는, 실시예 1 에 있어서 51.6°이고, 실시예 2 에 있어서 51.5°이고, 실시예 3 에 있어서 51.6°인 것이 확인되었다. 제 3 각도 (θ3) 는, 실시예 4 에 있어서 51.8°이고, 실시예 5 에 있어서 51.1°이고, 실시예 6 에 있어서 51.0°인 것이 확인되었다. 제 3 각도 (θ3) 는, 실시예 7 에 있어서 51.3°이고, 비교예 1 에 있어서 51.1°인 것이 확인되었다. 또한, 비교예 1 에 있어서의 제 3 각도 (θ3) 는, 대개구가 갖는 모서리부에 있어서의 각도로 설정하였다.
[평가 결과]
실시예 1 내지 실시예 7 의 증착 마스크의 각각, 및, 비교예 1 의 증착 마스크의 각각을 사용하여, 증착 대상에 증착 패턴을 형성하였다. 이 때에, 증착 대상으로서 유리 기판을 이용하고, 또한, 증착 패턴을 형성하기 위한 증착 재료로서 유기 발광 재료를 사용하였다.
각 증착 마스크를 사용하여, 15 행 그리고 15 열로 격자상으로 나열되는 사각형의 증착 패턴을 형성하였다. 그리고, 당해 증착 패턴 중, 중앙에 위치하는 9 행 그리고 9 열의 증착 패턴에 대하여, 막 두께의 편차를 산출하였다. 이 때에, 각 증착 패턴의 중앙부에 있어서의 막 두께를 측정하고, 당해 막 두께를 증착 패턴의 막 두께에 있어서의 최대치 MM 으로 간주하였다. 또한, 각 증착 패턴의 모서리부에 있어서의 막 두께를 측정하고, 당해 막 두께를 증착 패턴의 막 두께에 있어서의 최소치 Mm 으로 간주하였다. 또한, 표면 형상 측정기 (Dektak 6M, Veeco 사 제조) 를 사용하여 각 증착 패턴의 막 두께를 측정하였다. 그리고, 이하의 식 (1) 에 기초하여 산출한 막 두께의 편차가 5 ％ 이하인 경우를 「○」 라고 하고, 10 ％ 이하인 경우를 「△」 라고 하고, 10 ％ 를 초과하는 경우를 「×」 라고 하였다.
100 × {(MM - Mm)/(MM ＋ Mm)}/2 (％) ... 식 (1)
상기 식 (1) 에 따라 산출한 막 두께의 편차는, 이하의 표 3 에 나타내는 바와 같았다.
Figure pct00003
표 3 이 나타내는 바와 같이, 실시예 1 내지 실시예 5, 및, 실시예 7 의 증착 마스크를 평가한 결과는 「○」 이고, 실시예 6 의 증착 마스크를 평가한 결과는 「△」 인 한편으로, 비교예 1 의 증착 마스크를 평가한 결과는 「×」 인 것이 확인되었다. 이와 같이, 실시예 1 내지 실시예 7 의 증착 마스크에 의하면, 비교예 1 에 비하여, 증착 패턴에 있어서의 막 두께의 편차가 억제되는 것이 확인되었다.
또한, 두께 (T) 에 대한 모서리부간 거리 (DC) 의 비가 1 미만인 경우에는, 1 이상인 경우에 비하여, 증착 패턴에 있어서의 막 두께의 편차가 커지는 경향이 확인되었다. 이에 반하여, 두께 (T) 에 대한 모서리부간 거리 (DC) 의 비가 1.5 를 초과하는 경우에는, 증착 패턴에 있어서의 막 두께의 편차는 작은 한편으로, 증착 패턴의 가장자리가, 원하는 다각형상에 대하여 잘록한 형상을 갖는 것이 확인되었다. 이와 같이, 증착 패턴에 있어서의 막 두께의 편차를 억제하고, 또한, 증착 패턴에 있어서의 형상의 정밀도를 높이기 위해서는, 두께 (T) 에 대한 모서리부간 거리 (DC) 의 비가 1 이상 1.5 이하인 것이 바람직하다고 할 수 있다.
또한, 곡률 반경 (R) 이 4.5 ㎛ 를 초과하는 경우에는, 4.5 ㎛ 이하인 경우에 비하여, 증착 패턴에 있어서의 막 두께의 편차가 커지는 경향이 확인되었다. 요컨대, 증착 패턴에 있어서의 막 두께의 편차를 억제하기 위해서는, 곡률 반경 (R) 이 4.5 ㎛ 이하인 것이 바람직하다고 할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 증착 마스크, 증착 마스크의 제조 방법, 및, 표시 장치의 제조 방법에 있어서의 일 실시형태에 의하면, 이하에 기재된 효과를 얻을 수 있다.
(1) 대개구 (11L) 의 모서리부 (11LC) 의 근방으로부터 마스크공 (11) 에 진입하는 증착 재료가, 소개구 (11S) 에 도달하기 쉬워지기 때문에, 증착 패턴의 막 두께에 있어서의 편차가 억제된다.
(2) 증착 패턴에 있어서, 모서리부의 막 두께가 중앙부의 막 두께보다 작아지는 것이 억제되기 때문에, 증착 패턴의 막 두께에 있어서의 편차를 억제할 수 있다.
(3) 증착 대상에 형성되는 증착 패턴에 따른 형상을 가진 소개구 (11S) 가 표면 (10F) 과 이면 (10R) 사이에 위치하는 경우에 비하여, 소개구 (11S) 와 증착 대상 사이의 거리를 작게 하는 것이 가능하기 때문에, 증착 대상에 형성된 증착 패턴 내에서의 막 두께에 있어서의 편차를 억제하는 것이 가능하다.
(4) 증착 마스크 (10) 의 두께가 20 ㎛ 를 초과하는 경우에 비하여, 금속 시트 (10M) 를 관통하는 것이 가능한 대개구 (11L) 의 크기를 작게 하는 것이 가능하기 때문에, 증착 마스크 (10) 가, 복수의 마스크공 (11) 을 보다 높은 밀도로 구비하는 것이 가능하다.
(5) 증착 마스크 (10) 및 유리 기판의 가열에 수반하여, 증착 마스크 (10) 의 팽창 정도와 유리 기판의 팽창 정도의 차가 과도하게 커지는 것이 억제되기 때문에, 유리 기판에 형성된 증착 패턴의 정밀도가, 증착 마스크 (10) 의 팽창률과 유리 기판의 팽창률의 차에서 기인하여 저하하는 것이 억제된다.
또한, 상기 서술한 실시형태는, 이하와 같이 변경하여 실시할 수 있다.
[대개구]
· 대개구 (11L) 의 가장자리 (11LE) 가 포함하는 돌출부 (11LP) 의 형상은, 이하와 같이 변경할 수 있다. 즉, 이하에 참조하는 각 도면이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 과 대향하는 시점으로부터 보아, 돌출부 (11LP) 가 구획하는 영역은, 다양한 형상을 갖는 것이 가능하다.
예를 들어, 돌출부 (11LP) 가 구획하는 영역은, 도 11 이 나타내는 바와 같이, 대략 장방형상을 가져도 되고, 도 12 가 나타내는 바와 같이, 역사다리꼴상을 가져도 된다. 또한, 돌출부 (11LP) 가 구획하는 영역은, 도 13 이 나타내는 바와 같이, 대략 사다리꼴상을 가져도 되고, 도 14 가 나타내는 바와 같이, 대략 장방형상을 갖고, 또한, 모서리부 (11LC) 가 직선상을 가져도 된다. 또한 혹은, 돌출부 (11LP) 가 구획하는 영역은, 도 15 가 나타내는 바와 같이, 대략 정방형상을 갖고, 또한, 돌출부 (11LP) 가 갖는 3 개의 모서리부가 가상 가장자리 (VE) 보다 외측에 위치해도 된다. 또한 혹은, 돌출부 (11LP) 가 구획하는 영역은, 도 16 이 나타내는 바와 같이, 대략 원상을 가져도 된다.
돌출부 (11LP) 가 구획하는 영역이 상기 서술한 어느 형상을 갖는 경우에도, 대개구 (11L) 의 가장자리 (11LE) 가, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 가 갖는 다각형상의 모서리부가 다각형상으로부터 외측을 향하여 돌출된 형상을 갖는 것에 의해, 상기 서술한 (1) 에 준한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 돌출부 (11LP) 가 구획하는 영역이 상기 서술한 어느 형상을 갖는 경우에도, 모서리부간 거리 (DC) 가 증착 마스크 (10) 의 두께 (T) 에 대한 1 배 이상 1.5 배 이하인 것이 가능하다. 이로써, 마스크공 (11) 을 구획하는 측면 (11SD) 에 있어서, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 에 있어서의 모서리부 (11SC) 와 대개구 (11L) 의 가장자리 (11LE) 에 있어서의 모서리부 (11LC) 를 연결하는 부분에 있어서의 경사각을 축소하는 것이 가능하다.
[모서리부의 수]
· 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 는, 사각형상 이외의 다각형상을 가져도 된다. 소개구 (11S) 는, 예를 들어 5 개 이상의 모서리부 (11SC) 를 가진 다각형상을 가져도 된다. 대개구 (11L) 의 가장자리 (11LE) 는, 예를 들어 5 개 이상의 모서리부 (11LC) 를 가져도 된다.
도 17 은, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 가 갖는 형상에 있어서의 1 개의 변경예를 나타내고 있다.
도 17 이 나타내는 바와 같이, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 는, 대략 정팔각형상을 가지고 있다. 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 는, 8 개의 선상부 (11SL) 와 8 개의 모서리부 (11SC) 를 포함하고 있다. 각 모서리부 (11SC) 에 있어서의 곡률 반경 (R) 은, 상기 서술한 실시형태와 마찬가지로, 4.5 ㎛ 이하이다.
대개구 (11L) 의 가장자리 (11LE) 는, 8 개의 선상부 (11LL), 8 개의 모서리부 (11LC), 및, 8 개의 돌출부 (11LP) 를 포함하고 있다. 각 모서리부 (11LC) 는, 서로 상이한 1 개의 돌출부 (11LP) 에 속해 있다. 각 돌출부 (11LP) 가 구획하는 영역은, 도 11 에 나타내는 변경예와 마찬가지로, 대략 장방형상을 갖고, 모서리부 (11LC) 가 곡률을 가지고 있다. 또한, 각 돌출부 (11LP) 에는, 도 2, 및, 도 12 내지 도 16 을 참조하여 앞서 설명한 각 돌출부 (11LP) 를 적용하는 것이 가능하다.
또한, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 가 사각형상 이외의 다각형상을 갖는 경우에는, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 에 직교하고, 또한, 소개구 (11S) 에 있어서의 1 개의 모서리부 (11SC) 와, 당해 모서리부 (11SC) 에 대응하는 대개구 (11L) 에 있어서의 모서리부 (11LC) 를 포함하는 평면을 따른 단면에 있어서, 제 1 가상 직선 (L1) 을 정의하는 것이 가능하다. 또한, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 가 사각형상 이외의 다각형상을 갖는 경우에는, 증착 마스크 (10) 의 표면 (10F) 에 직교하고, 또한, 소개구 (11S) 에 있어서의 1 개의 선상부 (11SL) 와, 당해 선상부 (11SL) 와 평행한 대개구 (11L) 의 선상부 (11LL) 를 포함하는 평면을 따른 단면에 있어서, 제 2 가상 직선 (L2) 을 정의할 수 있다.
[마스크공]
· 마스크공은, 2 개의 구멍부를 가져도 된다.
즉, 도 18 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 (30) 가 구비하는 마스크공 (31) 은, 1 개의 구멍부인 대구멍부 (31a) 와, 다른 구멍부인 소구멍부 (31b) 를 포함해도 된다. 증착 마스크 (30) 의 두께 방향에 있어서의 도중에, 대구멍부 (31a) 가 소구멍부 (31b) 에 연결되어 있다. 대구멍부 (31a) 는, 표면 (30F) 에 대개구 (31L) 를 갖고, 또한, 대개구 (31L) 와는 반대측의 개구인 소개구 (31S) 를 가지고 있다. 소구멍부 (31b) 는, 대구멍부 (31a) 와 함께 소개구 (31S) 를 공유하고, 또한, 소개구 (31S) 와는 반대측의 개구이고, 이면 (30R) 으로 개구하는 이면 개구 (31R) 를 가지고 있다. 또한, 대구멍부 (31a) 와 소구멍부 (31b) 가 연결되는 부분과, 이면 (30R) 사이의 거리가 스텝 하이트 (SH) 이다. 쉐도우 효과에서 기인하는 휘도의 불균일을 증착 패턴에 있어서 억제하기 위해서는, 스텝 하이트 (SH) 는 작은 것이 바람직하다. 마스크공 (31) 이 2 개의 구멍부를 구비하는 경우에는, 증착 마스크 (30) 에 있어서의 해상도의 저하를 억제하면서, 증착 마스크 (30) 의 두께를 두껍게 하는 것이 가능하다.
또한, 증착 마스크 (30) 의 표면 (30F) 과, 소개구 (31S) 의 가장자리를 포함하는 평면 사이의 거리 (D) 는, 상기 서술한 실시형태와 마찬가지로, 모서리부간 거리 (DC) 가 당해 거리 (D) 의 1 배 이상 1.5 배 이하인 것과 같은 크기를 갖는 것이 가능하다.
이 경우에도, 증착 마스크 (30) 의 대개구 (31L) 가, 소개구 (31S) 의 가장자리가 갖는 다각형상의 모서리부가 다각형상으로부터 돌출된 형상을 갖는 것에 의해, 상기 서술한 (1) 에 준한 효과를 얻을 수 있다.
· 증착 마스크 (10) 가 구비하는 마스크공 (11) 은, 이하의 조건 중 적어도 1 개를 만족하지 않아도 된다.
(조건 A) 제 2 각도 (θ2) 가, 제 1 각도 (θ1) 보다 크다.
(조건 B) 모서리부간 거리 (DC) 가, 증착 마스크 (10) 의 표면과 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 를 포함하는 평면 사이의 거리의 1 배 이상 1.5 배 이하이다.
(조건 C) 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 에 있어서의 모서리부 (11SC) 의 곡률 반경 (R) 이, 4.5 ㎛ 이하이다.
마스크공 (11) 이, 조건 A 내지 조건 C 의 적어도 1 개를 만족하지 않는 경우에도, 대개구 (11L) 의 가장자리 (11LE) 가, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 가 갖는 다각형상의 모서리부가 다각형상의 외측을 향하여 돌출된 형상을 갖는 것에 의해, 상기 서술한 (1) 에 준한 효과를 얻을 수 있다.
[증착 마스크를 형성하는 재료]
· 증착 마스크 (10) 를 형성하는 재료는, 철 니켈계 합금 이외의 금속이어도 된다. 증착 마스크 (10) 를 형성하는 재료는, 철 니켈 코발트계 합금, 예를 들어, 32 질량％ 의 니켈과 4 질량％ 이상 5 질량％ 이하의 코발트를 포함하는 합금, 즉 슈퍼 인바 등이어도 된다. 증착 마스크 (10) 를 형성하는 재료는, 철 크롬 니켈계 합금, 즉 크롬 니켈계 스테인리스강이어도 된다. 크롬 니켈계 스테인리스강은, 예를 들어 SUS304 여도 된다. 또한, 철 크롬 니켈계 합금은, 철 니켈계 합금, 및, 철 니켈 코발트계 합금에 비하여 열 팽창 계수가 크다. 그 때문에, 증착시에 있어서 증착 마스크 (10) 의 온도가 상승하는 정도가 작은 경우에는, 철 크롬 니켈계 합금을 사용해도 되고, 또한, 증착 마스크 (10) 의 온도가 상승하는 정도가 보다 큰 경우에는, 철 니켈계 합금, 또는, 철 니켈 코발트계 합금을 사용하는 것이 바람직하다.
이 경우에도, 대개구 (11L) 의 가장자리 (11LE) 가, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 가 갖는 다각형상의 모서리부가 다각형상으로부터 외측을 향하여 돌출된 형상을 갖는 것에 의해, 상기 서술한 (1) 에 준한 효과를 얻을 수 있다.
[증착 마스크의 두께]
· 증착 마스크의 두께는, 20 ㎛ 보다 두꺼워도 된다. 이 경우에도, 대개구 (11L) 의 가장자리 (11LE) 가, 소개구 (11S) 의 가장자리 (11SE) 가 갖는 다각형상의 모서리부가 다각형상의 외측을 향하여 돌출된 형상을 갖는 것에 의해, 상기 서술한 (1) 에 준한 효과를 얻을 수 있다.
[증착 마스크]
· 증착 마스크 (10) 는, 패턴 영역 (R1) 에 상당하는 마스크부와, 주변 영역 (R2) 에 상당하는 서브 프레임을 구비해도 된다. 이 경우에는, 서브 프레임은, 마스크부와는 별체이고, 또한, 서브 프레임은, 서브 프레임공을 가지고 있다. 그리고, 각 마스크부는, 서로 상이한 서브 프레임공을 막도록, 서브 프레임에 대하여 장착된다. 결과적으로, 증착 마스크 (10) 에 있어서, 마스크부의 수와 서브 프레임공의 수는 동수가 된다. 마스크부는, 접착에 의해 서브 프레임에 장착되어도 되고, 용착에 의해 서브 프레임에 장착되어도 된다.
또한, 이 경우에는, 서브 프레임에 의해 마스크부를 지지하는 것이 가능하기 때문에, 마스크부와 주변부가 일체인 경우에 비하여, 마스크부의 두께를 얇게 하는 것이 가능하다. 마스크부를 형성할 때에는, 마스크부에 대하여 마스크공을 형성하기 전에, 마스크부의 양면을 에칭함으로써, 마스크부의 두께를 얇게 하는 것이 가능하다. 또한, 얇은 마스크부를 형성하는 경우에는, 마스크부의 취급성을 향상시킬 목적으로, 마스크부의 두께를 얇게 하기 위한 에칭, 및, 마스크부에 마스크공을 형성하기 위한 에칭에 있어서, 마스크부를 지지하는 지지층에 마스크부를 적층해도 된다. 지지층은, 서브 프레임에 마스크부를 장착한 후에, 마스크부로부터 제거되면 된다.
10, 30 ; 증착 마스크
10F, 10MF, 30F ; 표면
10M ; 금속 시트
10MR, 10R, 30R ; 이면
11, 11M, 31, RMh ; 마스크공
11L, 31L ; 대개구
11LC, 11SC, RMhC ; 모서리부
11LE, 11SE, RMhE ; 가장자리
11LL, 11SL, RMhL ; 선상부
11LP, RMhP ; 돌출부
11S, 31S ; 소개구
R ; 곡률 반경
L1 ; 제 1 가상 직선
L2 ; 제 2 가상 직선
θ1 ; 제 1 각도
θ2 ; 제 2 각도

Claims (8)

  1. 금속제의 증착 마스크로서,
    증착원에 대향하도록 구성된 표면과,
    역추대상을 가진 구멍부를 각각 포함하는 복수의 마스크공을 구비하고,
    각 마스크공의 상기 구멍부는,
    상기 증착 마스크의 상기 표면과 대향하는 시점으로부터 보아, 복수의 모서리부와, 인접하는 상기 모서리부 사이에 각각 위치하는 복수의 선상부를 포함하는 다각형상의 가장자리를 가진 소개구와,
    상기 표면에 위치하고, 상기 표면과 대향하는 시점으로부터 보아, 상기 소개구의 상기 가장자리에 있어서의 상기 모서리부가 상기 소개구의 상기 가장자리에 대하여 외측을 향하여 돌출되어 있는 형상의 가장자리를 갖는 대개구를 구비하고,
    상기 표면과 대향하는 시점으로부터 보아, 상기 대개구가 상기 소개구를 둘러싸는
    증착 마스크.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 표면과 직교하고, 또한, 상기 소개구의 대각 방향을 따른 단면에 있어서, 상기 소개구의 상기 모서리부와 상기 대개구의 대응하는 상기 모서리부를 연결하는 가상 직선이 제 1 가상 직선이고, 상기 표면과 상기 제 1 가상 직선이 형성하는 각도가 제 1 각도이고,
    상기 표면과 직교하고, 또한, 상기 소개구의 1 개의 상기 선상부에 직교하는 방향을 따른 단면에 있어서, 상기 소개구의 상기 가장자리와 상기 대개구의 상기 가장자리를 연결하는 가상 직선이 제 2 가상 직선이고, 상기 표면과 상기 제 2 가상 직선이 형성하는 각도가 제 2 각도이고,
    상기 제 2 각도는, 상기 제 1 각도보다 크고,
    상기 표면과 대향하는 시점으로부터 보아, 상기 소개구의 상기 모서리부와 상기 대개구의 대응하는 상기 모서리부 사이의 거리는, 상기 표면과 상기 소개구의 상기 가장자리를 포함하는 평면 사이의 거리의 1 배 이상 1.5 배 이하이고,
    상기 소개구의 상기 모서리부의 곡률 반경이, 4.5 ㎛ 이하인
    증착 마스크.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 증착 마스크는, 상기 표면과는 반대측의 면인 이면을 추가로 구비하고,
    상기 복수의 소개구는, 상기 이면에 위치하는
    증착 마스크.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 증착 마스크는, 1 ㎛ 이상 20 ㎛ 이하의 두께를 갖는
    증착 마스크.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 증착 마스크를 형성하는 재료는, 철 니켈계 합금, 또는, 철 니켈 코발트계 합금인
    증착 마스크.
  6. 금속 시트의 표면 및 이면의 적어도 일방에 레지스트 마스크를 형성하는 것과,
    상기 레지스트 마스크를 사용하여, 상기 금속 시트에 복수의 마스크공을 형성하는 것을 포함하고,
    상기 복수의 마스크공을 형성하는 것은,
    역추대상을 가진 구멍부를 각각 포함하는 상기 복수의 마스크공을,
    각 마스크공의 상기 구멍부가,
    상기 금속 시트가 확대되는 평면과 대향하는 시점으로부터 보아, 복수의 모서리부와, 인접하는 상기 모서리부 사이에 각각 위치하는 복수의 선상부를 포함하는 다각형상의 가장자리를 가진 소개구와,
    상기 표면에 위치하고, 상기 표면과 대향하는 시점으로부터 보아, 상기 소개구의 상기 가장자리에 있어서의 상기 모서리부가 상기 소개구의 상기 가장자리에 대하여 외측을 향하여 돌출되어 있는 형상의 가장자리를 갖는 대개구를 구비하고, 상기 표면과 대향하는 시점으로부터 보아, 상기 대개구가 상기 소개구를 둘러싸도록, 상기 금속 시트에 형성하는
    증착 마스크의 제조 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 표면과 직교하고, 또한, 상기 소개구의 대각 방향을 따른 단면에 있어서, 상기 소개구의 상기 모서리부와 상기 대개구의 대응하는 상기 모서리부를 연결하는 가상 직선이 제 1 가상 직선이고, 상기 표면과 상기 제 1 가상 직선이 형성하는 각도가 제 1 각도이고,
    상기 표면과 직교하고, 또한, 상기 소개구의 1 개의 상기 선상부에 직교하는 방향을 따른 단면에 있어서, 상기 소개구의 상기 가장자리와 상기 대개구의 상기 가장자리를 연결하는 가상 직선이 제 2 가상 직선이고, 상기 표면과 상기 제 2 가상 직선이 형성하는 각도가 제 2 각도이고,
    상기 복수의 마스크공을 형성하는 것은,
    상기 제 2 각도가, 상기 제 1 각도보다 크고,
    상기 표면과 대향하는 시점으로부터 보아, 상기 소개구의 상기 모서리부와 상기 대개구의 대응하는 상기 모서리부 사이의 거리가, 상기 표면과 상기 소개구의 상기 가장자리를 포함하는 평면 사이의 거리의 1 배 이상 1.5 배 이하이고,
    상기 소개구의 상기 모서리부의 곡률 반경이, 4.5 ㎛ 이하이도록, 상기 금속 시트에 상기 복수의 마스크공을 형성하는
    증착 마스크의 제조 방법.
  8. 제 6 항 또는 제 7 항에 기재된 증착 마스크의 제조 방법에 의한 증착 마스크를 준비하는 것과,
    상기 증착 마스크를 사용한 증착에 의해 패턴을 형성하는 것을 포함하는
    표시 장치의 제조 방법.
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