JP6870795B1 - 蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法、および、表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1から図5を参照して、蒸着マスクを説明する。
図1は、蒸着マスクが備えるパターン領域、および、周辺領域の一部を示している。
図2が示すように、マスク孔11は、小開口11Sと大開口11Lとを含んでいる。小開口11Sは、孔部における一方の開口である。表面10Fと対向する視点から見て、大開口11Lは、小開口11Sを取り囲んでいる。本実施形態では、小開口11Sは、蒸着マスク10の裏面10Rに位置している。小開口11Sは、蒸着マスク10の表面10Fと対向する視点から見て、複数の角部11SCと、角部11SC間に位置する線状部11SLとを含む多角形状の縁11SEを有している。
図3が示す例では、マスク孔11を区画する側面11SDが、第1仮想直線L1よりも裏面10Rに向けて窪む弧状を有している。なお、蒸着マスク10の表面10Fと直交し、かつ、小開口11Sの対角方向に沿う断面において、マスク孔11を区画する側面11SDは、第1仮想直線L1よりも表面10Fに向けて突き出た弧状を有してもよい。あるいは、側面11SDは、第1仮想直線L1に一致していてもよい。
図5が示すように、また、上述したように、小開口11Sの縁11SEにおける角部11SCは、曲率を有している。角部11SCは、曲率中心Cが小開口11S内に位置するような曲率を有している。角部11SCの曲率半径Rは、4.5μm以下である。
図6から図9を参照して、蒸着マスク10の製造方法を説明する。
蒸着マスク10の製造方法は、金属シートの表面および裏面の少なくとも一方にレジストマスクを形成することと、レジストマスクを用いて、金属シートに複数のマスク孔を形成することと、を含んでいる。以下、図面を参照して、蒸着マスク10の製造方法をより詳しく説明する。なお、図6、図7、および、図9では、図示の便宜上、金属シートに形成されるマスク孔を模式的に示している。
図10を参照して、マスク装置を説明する。
図10が示すように、マスク装置20は、フレーム21と、複数の蒸着マスク10とを備えている。図10が示す例では、マスク装置20は、3つの蒸着マスク10を備えているが、マスク装置20は、2つ以下の蒸着マスク10を備えてもよいし、4つ以上の蒸着マスク10を備えてもよい。フレーム21は、複数の蒸着マスク10を支持することが可能な矩形枠状を有している。フレーム21は、蒸着を行うための蒸着装置に取り付けられる。フレーム21は、各蒸着マスク10が位置する範囲のほぼ全体にわたり、フレーム21を貫通するフレーム孔21Hを有する。
表1から表3を参照して実施例を説明する。
[実施例1]
20μmの厚さを有したインバー製の金属シートを準備した。48%塩化第二鉄を用いて金属シートをエッチングすることによって、金属シートの厚さを3.5μmまで薄くした。次いで、ポジ型のレジスト(THMR‐iP5700、東京応化工業(株)製)(THMRは登録商標)を用いて、金属シートの表面にレジスト層を形成した。そして、レジスト層を露光し、露光されたレジスト層を現像することによって、レジストマスクを形成した。これにより、レジストマスクの表面と対向する視点から見て、図8が示すマスク孔と同様の形状を有したマスク孔を備えるレジストマスクを形成した。
実施例1において、金属シートの厚さを20μmから4.0μmまで薄くし、マスク孔幅WRMhが18.0μmであり、角部補正値RMhDCが3.0μmであり、かつ、第4角度θ4が30.1°である以外は、実施例1と同様の方法によって、実施例2の蒸着マスクを得た。
実施例1において、金属シートの厚さを20μmから4.5μmまで薄くし、マスク孔幅WRMhが17.8μmであり、角部補正値RMhDCが2.8μmであり、かつ、第4角度θ4が30.2°である以外は、実施例1と同様の方法によって、実施例3の蒸着マスクを得た。
実施例2において、角部補正値RMhDCが2.0μmであり、かつ、第4角度θ4が30.3°である以外は、実施例2と同様の方法によって、実施例4の蒸着マスクを得た。
実施例2において、角部補正値RMhDCが2.5μmであり、かつ、第4角度θ4が29.9°である以外は、実施例2と同様の方法によって、実施例5の蒸着マスクを得た。
実施例4において、角部補正値RMhDCが1.5μmであり、かつ、第4角度θ4が29.8°である以外は、実施例4と同様の方法によって、実施例6の蒸着マスクを得た。
実施例1において、角部補正値RMhDCが4.3μmであり、かつ、第4角度θ4が30.0°である以外は、実施例1と同様の方法によって、実施例7の蒸着マスクを得た。
実施例1において、角部補正値RMhDCが0.8μmであり、かつ、第4角度θ4が29.9°である以外は、実施例1と同様の方法によって、比較例1の蒸着マスクを得た。
実施例1から実施例7の蒸着マスク、および、比較例1の蒸着マスクについて、共焦点レーザー顕微鏡(OLS‐4000、オリンパス(株)製)を用いて各種の寸法などを測定した。各蒸着マスクの測定結果は、以下の表2に示す通りであった。
実施例1から実施例7の蒸着マスクの各々、および、比較例1の蒸着マスクの各々を用いて、蒸着対象に蒸着パターンを形成した。この際に、蒸着対象としてガラス基板を用い、かつ、蒸着パターンを形成するための蒸着材料として有機発光材料を用いた。
100×{(MM−Mm)/(MM+Mm)}/2(%) …式(1)
上記式(1)に従って算出した膜厚のばらつきは、以下の表3に示す通りであった。
(1)大開口11Lの角部11LCの近傍からマスク孔11に進入する蒸着材料が、小開口11Sに到達しやすくなるため、蒸着パターンの膜厚におけるばらつきが抑えられる。
[大開口]
・大開口11Lの縁11LEが含む張出部11LPの形状は、以下のように変更することができる。すなわち、以下に参照する各図面が示すように、蒸着マスク10の表面10Fと対向する視点から見て、張出部11LPが区画する領域は、多様な形状を有することが可能である。
・小開口11Sの縁11SEは、四角形状以外の多角形状を有してもよい。小開口11Sは、例えば5つ以上の角部11SCを有した多角形状を有してもよい。大開口11Lの縁11LEは、例えば5つ以上の角部11LCを有してもよい。
図17が示すように、小開口11Sの縁11SEは、略正八角形状を有している。小開口11Sの縁11SEは、8つの線状部11SLと8つの角部11SCとを含んでいる。各角部11SCにおける曲率半径Rは、上述した実施形態と同様、4.5μm以下である。
・マスク孔は、2つの孔部を有してもよい。
すなわち、図18が示すように、蒸着マスク30が備えるマスク孔31は、1つの孔部である大孔部31aと、他の孔部である小孔部31bとを含んでもよい。蒸着マスク30の厚さ方向における途中にて、大孔部31aが小孔部31bに繋がっている。大孔部31aは、表面30Fに大開口31Lを有し、かつ、大開口31Lとは反対側の開口である小開口31Sを有している。小孔部31bは、大孔部31aとともに小開口31Sを共有し、かつ、小開口31Sとは反対側の開口であって、裏面30Rに開口する裏面開口31Rを有している。なお、大孔部31aと小孔部31bとが繋がる部分と、裏面30Rとの間の距離がステップハイトSHである。シャドウ効果に起因する輝度のむらを蒸着パターンにおいて抑える上では、ステップハイトSHは小さいことが好ましい。マスク孔31が2つの孔部を備える場合には、蒸着マスク30における解像度の低下を抑えつつ、蒸着マスク30の厚さを厚くすることが可能である。
(条件B)角部間距離DCが、蒸着マスク10の表面と小開口11Sの縁11SEを含む平面との間の距離の1倍以上1.5倍以下である。
(条件C)小開口11Sの縁11SEにおける角部11SCの曲率半径Rが、4.5μm以下である。
・蒸着マスク10を形成する材料は、鉄ニッケル系合金以外の金属であってもよい。蒸着マスク10を形成する材料は、鉄ニッケルコバルト系合金、例えば、32質量%のニッケルと4質量%以上5質量%以下のコバルトとを含む合金、すなわちスーパーインバーなどであってもよい。蒸着マスク10を形成する材料は、鉄クロムニッケル系合金、すなわちクロムニッケル系ステンレス鋼であってもよい。クロムニッケル系ステンレス鋼は、例えばSUS304であってよい。なお、鉄クロムニッケル系合金は、鉄ニッケル系合金、および、鉄ニッケルコバルト系合金に比べて熱膨張係数が大きい。そのため、蒸着時において蒸着マスク10の温度が上昇する度合いが小さい場合には、鉄クロムニッケル系合金を用いてもよく、また、蒸着マスク10の温度が上昇する度合いがより大きい場合には、鉄ニッケル系合金、または、鉄ニッケルコバルト系合金を用いることが好ましい。
・蒸着マスクの厚さは、20μmよりも厚くてもよい。この場合であっても、大開口11Lの縁11LEが、小開口11Sの縁11SEが有する多角形状の角部が多角形状の外側に向けて張り出した形状を有することによって、上述した(1)に準じた効果を得ることはできる。
・蒸着マスク10は、パターン領域R1に相当するマスク部と、周辺領域R2に相当するサブフレームとを備えてもよい。この場合には、サブフレームは、マスク部とは別体であり、かつ、サブフレームは、サブフレーム孔を有している。そして、各マスク部は、互いに異なるサブフレーム孔を塞ぐように、サブフレームに対して取り付けられる。結果として、蒸着マスク10において、マスク部の数とサブフレーム孔の数とは同数となる。マスク部は、接着によってサブフレームに取り付けられてもよいし、溶着によってサブフレームに取り付けられてもよい。
10F,10MF,30F…表面
10M…金属シート
10MR,10R,30R…裏面
11,11M,31,RMh…マスク孔
11L,31L…大開口
11LC,11SC,RMhC…角部
11LE,11SE,RMhE…縁
11LL,11SL,RMhL…線状部
11LP,RMhP…張出部
11S,31S…小開口
R…曲率半径
L1…第1仮想直線
L2…第2仮想直線
θ1…第1角度
θ2…第2角度
Claims (8)
- 金属製の蒸着マスクであって、
蒸着源に対向するように構成された表面と、
逆錘台状を有した孔部を各々含む複数のマスク孔と、を備え、
各マスク孔の前記孔部は、
前記蒸着マスクの前記表面と対向する視点から見て、複数の角部と、隣接する前記角部間に各々位置する複数の線状部とを含む多角形状の縁を有した小開口と、
前記表面に位置し、前記表面と対向する視点から見て、前記小開口の前記縁における前記角部が前記小開口の前記縁に対して外側に向けて張り出している形状の縁を有する大開口と、を備え、
前記表面と対向する視点から見て、前記大開口が前記小開口を取り囲む
蒸着マスク。 - 前記表面と直交し、かつ、前記小開口の対角方向に沿う断面において、前記小開口の前記角部と前記大開口の対応する前記角部とを結ぶ仮想直線が第1仮想直線であり、前記表面と前記第1仮想直線とが形成する角度が第1角度であり、
前記表面と直交し、かつ、前記小開口の1つの前記線状部に直交する方向に沿う断面において、前記小開口の前記縁と前記大開口の前記縁とを結ぶ仮想直線が第2仮想直線であり、前記表面と前記第2仮想直線とが形成する角度が第2角度であり、
前記第2角度は、前記第1角度よりも大きく、
前記表面と対向する視点から見て、前記小開口の前記角部と前記大開口の対応する前記角部との間の距離は、前記表面と前記小開口の前記縁を含む平面との間の距離の1倍以上1.5倍以下であり、
前記小開口の前記角部の曲率半径が、4.5μm以下である
請求項1に記載の蒸着マスク。 - 前記蒸着マスクは、前記表面とは反対側の面である裏面をさらに備え、
前記複数の小開口は、前記裏面に位置する
請求項1または2に記載の蒸着マスク。 - 前記蒸着マスクは、1μm以上20μm以下の厚さを有する
請求項1から3のいずれか一項に記載の蒸着マスク。 - 前記蒸着マスクを形成する材料は、鉄ニッケル系合金、または、鉄ニッケルコバルト系合金である
請求項1から4のいずれか一項に記載の蒸着マスク。 - 金属シートの表面および裏面の少なくとも一方にレジストマスクを形成することと、
前記レジストマスクを用いて、前記金属シートに複数のマスク孔を形成することと、を含み、
前記複数のマスク孔を形成することは、
逆錘台状を有した孔部を各々含む前記複数のマスク孔を、
各マスク孔の前記孔部が、
前記金属シートが広がる平面と対向する視点から見て、複数の角部と、隣接する前記角部間に各々位置する複数の線状部とを含む多角形状の縁を有した小開口と、
前記表面に位置し、前記表面と対向する視点から見て、前記小開口の前記縁における前記角部が前記小開口の前記縁に対して外側に向けて張り出している形状の縁を有する大開口とを備え、前記表面と対向する視点から見て、前記大開口が前記小開口を取り囲むように、前記金属シートに形成する
蒸着マスクの製造方法。 - 前記表面と直交し、かつ、前記小開口の対角方向に沿う断面において、前記小開口の前記角部と前記大開口の対応する前記角部とを結ぶ仮想直線が第1仮想直線であり、前記表面と前記第1仮想直線とが形成する角度が第1角度であり、
前記表面と直交し、かつ、前記小開口の1つの前記線状部に直交する方向に沿う断面において、前記小開口の前記縁と前記大開口の前記縁とを結ぶ仮想直線が第2仮想直線であり、前記表面と前記第2仮想直線とが形成する角度が第2角度であり、
前記複数のマスク孔を形成することは、
前記第2角度が、前記第1角度よりも大きく、
前記表面と対向する視点から見て、前記小開口の前記角部と前記大開口の対応する前記角部との間の距離が、前記表面と前記小開口の前記縁を含む平面との間の距離の1倍以上1.5倍以下であり、
前記小開口の前記角部の曲率半径が、4.5μm以下であるように、前記金属シートに前記複数のマスク孔を形成する
請求項6に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 請求項6または7に記載の蒸着マスクの製造方法による蒸着マスクを準備することと、
前記蒸着マスクを用いた蒸着によってパターンを形成することと、を含む
表示装置の製造方法。
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